JPH01162114A - スケール装置 - Google Patents

スケール装置

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JPH01162114A
JPH01162114A JP31879687A JP31879687A JPH01162114A JP H01162114 A JPH01162114 A JP H01162114A JP 31879687 A JP31879687 A JP 31879687A JP 31879687 A JP31879687 A JP 31879687A JP H01162114 A JPH01162114 A JP H01162114A
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JP
Japan
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scale
joint
magnetic
long
moving member
Prior art date
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Pending
Application number
JP31879687A
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English (en)
Inventor
Kazunori Tanaka
和規 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sokkisha Co Ltd
Original Assignee
Sokkisha Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sokkisha Co Ltd filed Critical Sokkisha Co Ltd
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、大型工作機械等に装着して使用されるスケ
ール装置において、複数本のスケールを継ぎ合わせた長
尺のスケール装置に関する。
(従来の技術) 大型工作機械等において位置測定に使用される長尺の磁
気スケールは製作上の制約から単位長の磁気スケール単
体を複数本継ぎ合わせて構成されている。このような長
尺の磁気スケールは単位長の磁気スケール単体の継ぎ合
わせ端部を記録格子に対し、一定角度だけ傾斜して切断
したもの同士を継ぎ合わせるのであるが、継ぎ合わせ部
において単位長の磁気スケール単体を互いに上下方向に
水平移動させながら、継ぎ合わせ部での格子ピッチを正
確に合せて継ぎ目のない1本の長尺の磁気スケールと同
じ作用をするようにしである。
(発明が解決しようとする問題点) 単位長の磁気スケール単体を複数本継ぎ合わせて構成し
た従来の長尺の磁気スケールは、その構成のために磁気
目盛が形成された磁気スケール単体を斜めに切断加工し
なければならずこの加工時における熱等の影響で端部で
の磁気特性が変わってしまい、正常な記録とならないこ
とが生ずる。
また、単位長の磁気スケール単体の切断加工面を誤差な
く同一傾斜角度に切断加工することは難しく、斜めの継
ぎ合わせ部には必ず隙間ができ、そこでの漏れ磁束が影
響して正常な再生波形が得られなくなるなどの問題点が
あった。そして、これらの問題点は磁気目盛の格子ピッ
チが粗い場合は、それほど問題にならないが、数十ミク
ロンといった微少な格子ピッチでは誤差の原因となり、
正確な測定が出来ないことになる。
[発明の構成] (問題を解決するための手段、作用) この発明は、上記の欠点を解決するために1つの目盛読
取センサが長尺スケールの継ぎ合わせ部にくると、継ぎ
合わせ部検知手段によりこれを検知し、選択回路が長尺
スケールの継ぎ目に位置しない他の目盛読取センサから
の信号を選択して出力するようにして、継ぎ合わせ部か
らの信号を測定に使用しない構成にしている。すなわち
、長尺スケール上を移動する移動部材にスケール長手方
向に所定の距離だけ離間させて2つの目盛読取センサを
設けそして移動部材と長尺スケールの間に1つの目盛読
取センサが長尺スケールの継ぎ目を含む所定領域内にき
たときこれを検出する継ぎ部検出手段を設けるとともに
2つの目盛読取センサからの出力信号を択一的に選択す
る選択回路をもって構成している。この構成により前記
のような測長を可能としている。
(実施例) 実施例1 第1図ないし第4図に基づいて、この発明を磁気スケー
ル装置に応用した実施例について説明する。第1図およ
び第2図はその構成を示したもので基準台1に複数本の
単位長の磁気スケール2が固定されて長尺の磁気スケー
ルが形成されている。
単位長の磁気スケール2.2は所定の同一長さとされ、
スケール上に磁気的に目盛られた記録格子3の間隔は記
録ピッチPの整数倍となっている。
長尺の磁気スケール上に移動部材4が押圧バネ10によ
って押圧されており、長尺の磁気スケールの長手方向に
摺動できるようになっている。移動部材4の長尺の磁気
スケール対向面には長尺の磁気スケールの記録ピッチP
の整数倍の距離離間する位置に目盛読取センサとなる2
つの磁気抵抗素子5.6が取付けられている。この磁気
抵抗素子5.6は第3図のブロック図に示されたように
増幅器、波形整形回路を介して磁気センサ選択回路に接
続されている。長尺の磁気スケールの継ぎ合わせ部11
の側方には基準台1に固定された永久磁石7が取付けら
れ、一方、移動部材4には長尺の磁気スケール側面より
突出する突出部9があり、この突出部9下面の永久磁石
7に対峠できる位置に継ぎ合わせ部検知センサであるホ
ール素子8が取付けられている。このホール素子8の位
置は第1の磁気抵抗素子5の位置と長尺の磁気スケール
長手方向に同位置にある。
□  単位長の磁気スケールを継ぐ場合、記録格子は目
視できないので、記録ピッチPの整数倍の距離だけ離し
た一対の磁気ヘッドを走行させて各磁気ヘッドからの出
力が同一になるように磁気スケールの位置を調節して継
ぎ合わせることができる。
磁気センサとしてはこの実施例に示した磁気抵抗素子に
限らず、ホール素子、磁束応答型マルチギャップヘッド
等でもよく、また、継ぎ合わせ部検知センサもホール素
子と永久磁石の組合わせ以外のものでもよい。
移動部材4に2つの磁気抵抗素子を5.6を取付ける場
合、記録ピッチPの整数倍の距離だけ離して固定するこ
とは、工具顕微鏡によって目視下で行なえる。また、第
1図および第2図では磁気抵抗素子5.6を絶縁基板表
面に形成したものを移動部材4に取付けるようになって
いるが、移動部材4をガラス等の絶縁材で形成し、この
移動部材に直接磁気抵抗素子を形成するようにしてもよ
い。なお、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8を各
磁気抵抗素子ごとに設け、第1の磁気抵抗素子5が継ぎ
合わせ部11に来た時に第1の継ぎ合わせ部検知センサ
のホール素子がこれを検知し、第2の磁気抵抗素子が継
ぎ合わせ部に来た時、第2の継ぎ合わせ部検知センサの
ホール素子がこれを検知するようにしてもよい。
つぎに、その動作について述べる、2つの磁気抵抗素子
5.6を備えた移動部材4が長尺の磁気スケールの継ぎ
合わせ部11を通過する場合を想定すると、第1の磁気
抵抗素子5が長尺の磁気スケールの継ぎ合わせ部11に
近づいた時、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8が
これを感知して磁気センサ選択回路の働きにより磁気抵
抗素子の出力の受は回路は、第1の磁気抵抗素子5側か
ら第2の磁気抵抗素子6側に接続される。よって、第1
の磁気抵抗素子5が継ぎ合わせ部11に来て再生波形が
乱れても、第1の磁気抵抗素子5の出力は、カウンタ受
は回路につながってないので問題はない。これは第3図
および第4図によって明らかであるが、更に詳細に述べ
ると第2図において右方から移動部材4が移動して来る
ときは、当初継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8の
出力はrOJで、インバータゲートで「1」となってア
ンドゲートエは開状態であり、第1の磁気抵抗素子5の
出力信号がオアゲートを介してカウンタ受は回路に出力
される。一方、アンドゲート■には「0」が入力され、
閉状態であるため第2の磁気抵抗素子6の出力信号はオ
アゲートに出力されない。そして継ぎ合わせ部検知セン
サのホール素子8が継ぎ合わせ部に近づいて「1」を出
力すると、アンドゲートエにはrOJの信号が入り、ア
ンドゲート■には「1」の出力信号が入る。そのため第
2の磁気抵抗素子6の出力がオアゲートを介してカウン
タ受は回路に出力される。
次に移動部材4が、そのま)移動して行き第1の磁気抵
抗索子5が継ぎ合わせ部11を通過し終ったとすると、
継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8がオフとなり磁
気センサ選択回路を介してカウンタ受は回路は第2の磁
気抵抗素子6側から再び第1の磁気抵抗素子5側に接続
される。この時、第2の磁気抵抗素子6が継ぎ合わせ部
11に来て再生波形が乱れても第2の磁気抵抗素子6は
カウンタ受は回路に接続されていないので問題はない。
すなわち、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8が永
久磁石7の位置から離れると、継ぎ合わせ部検知センサ
のホール素子8は「0」を出力しアンドゲートエには「
1」が入力され、アンドゲート■は開となって第1の磁
気抵抗素子5の信号がオアゲートに出力される。継ぎ合
わせ部検知センサのホール素子8の移動によって第1の
磁気抵抗素子5から第2の磁気抵抗素子にバトンタッチ
される時やその逆に第2の磁気抵抗素子6から第1の磁
気抵抗素子5に戻る時は、継ぎ合わせ部の記録各子間隔
と2つの磁気抵抗素子の間隔が磁気目盛のピッチX整故
倍離れているので誤差はない。
なお、この実施例では継ぎ合わせ部検知センサのホール
素子8を移動部材4に、永久磁石7を長尺の磁気スケー
ルに取付けているが、前記ホール素子8を長尺の磁気ス
ケール側に、永久磁石7を移動部材4に取付けてもよい
。そして、前記ホール素子8と永久磁石7の取付は位置
は第2図に示す位置に限定されるものではなく、第1磁
気抵抗素子5が継ぎ合わせ部位置となるときを検出でき
る位置関係であればよく、前記ホール素子8を移動部材
4の長手方向のいかなる位置に設けることも可能である
。
実施例2 第5図に基づいて、この発明を光学式スケール装置に応
用した実施例について説明する。第5図はその構成を示
したもので、図示していない基台に複数本の単位長のメ
インスケール12.12が固定され長尺のメインスケー
ルが形成されている。
単位長のメインスケール12.12は所定の同一長さと
され、スケール上に光遮断部13と光透過部14が交互
に形成されている。光透過部14と光遮断部13とでつ
くられる間隔で目盛ピッチPが形成されている。この単
位長のメインスケール12.12を継ぎ合わせる場合、
隣接する単位長のメインスケール12とは目盛りピッチ
Pの整数倍(nP)の距離だけ離間させて配置されてい
る。
継ぎ合わせて構成された長尺のメインスケールに沿って
移動部材4が長手方向に摺動できるようになっている。
移動部材4の長尺のメインスケール対向面には長尺のメ
インスケールの記録ピッチPの整数倍の距離離間する位
置に目盛読取センサを構成する2つのインデックススケ
ール15.15と第1の発光素子16および受光素子1
8、第2の発光素子17および受光素子19が取付けら
れている。この第1の受光素子18と第2の受光素子1
9からの出力信号は第3図のブロック図と同じように増
幅器、波形整形回路を介してセンサ選択回路に接続され
ている。長尺のメインスケールの継ぎ合わせ部11の側
方には図示しない基台に固定された永久磁石7が取付け
られ、一方、移動部材4には永久磁石7に対峠できる位
置に継ぎ合わせ部検知センサであるホール素子8が取付
けられている。このホール素子8の位置は第1の受光素
子18の位置と長尺のメインスケール長手方向に同位置
にある。
移動部材4に配置されているインデックススケール15
.15の目盛ピッチは単位長のメインスケール12の目
盛ピッチに整合されていることは言うまでもない。
つぎに、その動作について述べる、2つのインデックス
スケール15.15と第1の発光素子16、受光素子1
8および第2の発光素子17、受光素子19を夫々備え
た移動部材4が長尺のメインスケールの継ぎ合わせ部1
1を通過する場合を想定すると、第1の発光、受光素子
16.18とインデックススケール16が長尺のメイン
スケールの継ぎ合わせ部11に近づいた時、継ぎ合わせ
部検知センサのホール素子8がこれを感知してセンサ選
択回路の働きにより受光素子の出力の受は回路は、第1
の発光、受光素子16.18側から第2の発光、受光素
子17.19側に接続される。よって、第1の発光、受
光素子16.18が継ぎ合わせ部11に来て再生波形が
乱れても、第1の発光、受光素子16.18の出力は、
カウンタ受は回路につながってないので問題はない。
次に移動部材4が、そのま)移動して行き第1の発光、
受光素子16.18が継ぎ合わせ部11を通過し終った
とすると、継ぎ合わせ部検知センサのホール素子8がオ
フとなりセンサ選択回路を介してカウンタ受は回路は第
2の発光、受光素子17.19側から再び第1の発光、
受光素子16.18側に接続される。この時、第2の発
光、受光素子17.19が継ぎ合わせ部11に来て再生
波形が乱れても第2の発光、受光素子17.19はカウ
ンタ受は回路に接続されていないのでこれも問題はなく
、その他の動作等については実施例1と殆んど同じであ
る。
前記2つの実施例では、継ぎ合わせ部における隣接する
スケールの目盛間隔が記録ピッチの整数倍(mP)とさ
れ、第1、第2センサ(磁気抵抗素子、発光、受光素子
等)の間隔も記録とツチPの整数倍(nP)とされてい
るが、これに限定されるものでなくこれらの間隔が記録
ピッチの整数倍でなくとも測定精度が低下するだけで充
分測定可能である。すなわち、これらの間隔が記録ピッ
、 チPの整数倍でない場合には最大記録ピッチPの測
定誤差が出るに止どまり、この誤差を許容する測定例え
ば粗の測定を目的とするエンコーダには充分に利用でき
る。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明のスケール装置は単位長
スケールを継ぎ合わせた部分からの信号は測定に使用し
ないようにしたので継ぎ合わせ部から生ずる誤差はなく
なるので正確な測定ができる。
したがって記録ピッチを数十ミクロンと狭くしても精度
の高い測定が可能である。また、前記のように継ぎ合わ
せ部の記録からの信号は測定に使用しないから継ぎ合わ
せ部に隙間があっても差支えないので、継合わせ面の加
工にそれ程の精度を要求されないためその切断、継ぎ合
わせ作業が極めて容易になるなどの優れた効果を有して
いる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるスケール装置を磁気スケールに適
用した実施例の一部断面図(第2図A−への線)、第2
図は上記実施例の平面図、第3図は上記実施例における
測定信号処理を示すブロック図、第4図は上記実施例に
おける出力波形図、第5図は本発明によるスケール装置
を光学式スケールに適用した実施例の斜視図である。 2・・・単位長の磁気スケール、3・・・磁気格子、4
・・・移動部材、5・・・第1の磁気抵抗素子、6・・
・第2の磁気抵抗素子、7・・・永久磁石、8・・・ホ
ール素子、11・・・継ぎ合わせ部、12・・・単位長
のメインスケール、15・・・インデックススケール、
16・・・第1の発光素子、17・・・第2の発光素子
、18・・・第1の受光素子、19・・・第2の受光素
子。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 複数本の単位長スケールが継ぎ合わされて形成された長
    尺スケールと、この長尺スケール上を移動する移動部材
    と、この移動部材にスケール長手方向に所定距離離間さ
    せて取付けられた2つの目盛読取りセンサと、1つの目
    盛読取りセンサが長尺スケールの継ぎ合わせ部を含む所
    定領域内にきたときこれを検知する継ぎ合わせ部検知手
    段と、前記2つの目盛読取センサからの出力信号を択一
    的に選択する選択回路とを備え、1つの目盛読取センサ
    が長尺スケールの継ぎ合わせ部を含む所定領域内にきた
    場合に他の目盛読取センサの出力信号に基づいて測長す
    るようにしたことを特徴とするスケール装置。
JP31879687A 1987-12-18 1987-12-18 スケール装置 Pending JPH01162114A (ja)

Priority Applications (1)

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JP31879687A JPH01162114A (ja) 1987-12-18 1987-12-18 スケール装置

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JP31879687A JPH01162114A (ja) 1987-12-18 1987-12-18 スケール装置

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4842761A (ja) * 1971-09-29 1973-06-21
JPS5870129A (ja) * 1981-07-08 1983-04-26 Sony Corp 長尺磁気スケ−ルの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4842761A (ja) * 1971-09-29 1973-06-21
JPS5870129A (ja) * 1981-07-08 1983-04-26 Sony Corp 長尺磁気スケ−ルの製造方法

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