JPH01162500A - 集中表示・操作装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半導体デバイス製造のためのウェーハプロセス装置等、
制御内容が複雑であったり、制御対象が多岐にわたる装
置においては、複数の制御装置を組み合わせて、全体と
しての装置（混同を避けるため、以下全体としての装置
を制御システムと呼ぶ）を構成することが多い。

また、上記制御システムの構成要素として、運転者が制
御システムを運転、監視するための表示・操作装置が必
要である。

本発明は運転者が制御システムを運転・監視するための
表示・操作装置に係り、特に制御システムを構成する複
数の分散コントローラからの表示内容を操作部により指
定し表示することができる集中表示・操作装置に関する
。

〔従来の技術とその問題点〕

第３図は従来の制御システムの一例を示す説明図で、ａ
＋”−’ａｆｉは分散コントローラである。制御システ
ム１八は分散コントローラａｌ”’−’ａ、、より構成
されている。分散コントローラａ１〜ａ９は通常それぞ
れ異なる機能を有する。具体例として、ウェーハプロセ
ス装置においては、分散コントローラａ１〜ａ、、は、
システム全体を総括するメインコントローラ、ウェーハ
ハンドリング専用のコントローラ、圧力コントローラ、
温度コントローラ等に対応する。おのおのの分散コント
ローラは運転者のための表示、操作部を含んでいる場合
もあるし、ない場合もある。しかし、運転者が知る必要
のある情報を制御するコントローラや運転者の介入を必
要とするコントローラには、通常表示操作部は必ず必要
である。

第４図は表示、操作部を含んだ上記各分散コントローラ
ａ、〜ａｆｉの構成の一例を示すブロック図である。２
は陰極線管またはプラズマデイスプレィまたは液晶デイ
スプレィ、或いは複数のセグメントで構成された表示部
を示す。３はこの表示部２を駆動する表示駆動部、４は
複数の表示メモリ５８〜５ｎを切り換えるための表示メ
モリ切換部、６はキーボード、タッチ式スイッチ、マウ
ス、或いは複数のスイッチセグメントで構成された操作
部、７は制御システムにおいて割当られた制御対象を制
御するコントロール部である。実際には、表示メモリ切
換部４がなく、表示メモリが単数（１個）の場合がある
等のバリエーションがある。

第４図示のような分散コントローラを用いた制御システ
ムには次のような問題点があった。即ち、■表示、操作
部２．６は重複するのでコスト高である。■表示、操作
部２，６が有限の大きさを有し、且つ、制御システムを
含んだ装置前面、或いは、運転者が監視、操作可能な場
所に設置しなければならないので、装置の小形化やレイ
アウト上のフレキシビリティが制約される。■複数の表
示。

操作部２．６にアクセスしなければならないので運転者
の監視や操作が繁雑である。

上述のような問題点を解決するには、表示、操作部を集
約して１個にすればよいことがわかる。

制御システムを分散形にしないで、１個のコントローラ
で装置の制御をするのが最も良い方法に思えるかも知れ
ないが、コントローラの処理速度や処理性能は有限のも
のであり、ソフトウェアの開発効率やデバッグ効率を含
めて考えると一般的には、必ずしも有利とは言えない。

この議論は分散形コントローラ自体の是非を論じるもの
で、ここではこれ以上詳しくふれない。本発明では制御
システムが分散形であるのが好ましい装置についてのみ
対象とする。

制御システムが第４図の構成であり、且つ、表示、操作
部２．６が１個の装置についてはどうであろうか。この
ような装置も従来多く実用化されている。すなわち、分
散コントローラのひとつをシステム全体を統括するメイ
ンコントローラとし、それのみが表示、操作部を有する
場合である。時代背景（コントローラを構成する半導体
デバイスの発展状況等）にも依存するが、そのような装
置には、以下に示すような問題点があった。

即ち、メインコントローラが、他の分散コントローラの
表示、操作の必要なすべての情報について処理しなけれ
ばならず、メインコントローラのソフトウェアの開発効
率や処理速度が低下する。

具体的には、プロセス上の各種データ（温度。

圧力等）のリアルタイムのグラフィックが困難であった
り、メンテナンス情報（装置の故障や対策の表示等）の
サポートが困難であったり、新たに（装置出荷後）出て
きたユーザニーズに対応するのに多大のソフトウェア変
更を要する等の問題点があった。

従来技術の延長線上で、第５図のような制御システムも
容易に考案することができる。ｂ１〜ｂ、ｌば表示部２
のみを前記分散コントローラａ１〜ａ７から取り去った
分散コントローラ、８は制御システムに１個だけ設置さ
れた表示部２に表示される内容を運転者がチャネル切換
操作部９を操作することによ・って、所望の分散コント
ローラの制御情報に切り換えるための表示チャネル切換
部である。

第５図の構成とすることによって、問題点のいくつかは
解決されることになるが、なお下記の問題点をあげるこ
とができる。

即ち、表示のハードウェアを制御するための、表示メモ
リ５ａ〜５ｎや表示メモリ切換部４１表示駆動部３等は
分散コントローラｂ１〜ｂ７内に残されたままなので、
ハードウェアの重複コストは本質的には軽減されない。

表示を細かに制御するためのハードウェアやソフトウェ
アを各分散コントローラｂ、〜ｂｎに同時に設置しなけ
ればならないので、システムの開発効率や処理効率が悪
い（無駄が残る）という問題点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の目的は、複数の分散コントローラで構成される
のが望ましい制御システムにおいて、上述のすべての問
題点を解決するための集中表示・操作装置を提供するこ
とにある。

即ち、本発明装置は第１．第２図示のように分散コント
ローラ０１〜Ｃ，、の数に対応した複数の送信チャネル
ｓｃｈ　、〜ｓｃｈ、、を有し、運転者により操作部６
から入力されたデータを決められたチャネルから送信す
る機能を有するデータ送信部１１と、同じく分散コント
ローラＣ８〜Ｃ９の数に対応した複数の受信チャネルＲ
Ｃｈ、　−ＲＣｈ、を有し１分散コントローラＣ１〜Ｃ
７からの表示データを受信する機能を有するデータ受信
部１０と、このデータ受信部１０の受信チャネルＲＣｈ
、〜ＲＣｈ＋、から受信した表示データをそれぞれ記憶
する表示メモリｍ１１　”ｍ１１ｌ、Ｍ２１〜Ｍ２．．
・・・・・・Ｌ、〜Ｍ、とこの表示メモリｍ１１〜ＭＩ
ｎ　ｌ　Ｍ２１〜Ｍｉｎ・・・・・・Ｍ７□〜Ｍ、ｌ、
ｌに記憶された表示データを切り換える表示メモリ切換
部４と、上記操作部６から入力されたデータを切り換え
ると共にこの表示メモリを切り換えるチャネル切換操作
部９ａと、この表示メモリ切換部４により表示データを
切り換えて表示する表示部２とよりなる構成としたもの
である。

〔作　用〕

運転者は操作部６により所要のデータを順次データ送信
部１１に入力し、この入力されたデータはチャネル切換
操作部９ａにより定められたチャネルからデータ送信部
１１により順次、送信チャネルｓｃｈ、　−ｓｃｈ、を
経て、各分散コントローラＣ１〜Ｃ，ｌに送信され、担
当する制御内容に応じた表示データが各受信チャネルｌ
？ｃｈ　、〜ＲＴ：ｈつを経てデータ受信部１０に入力
される。この受イイ部１０に入力された表示データ（Ｊ
各ナヤネルに対応した表示メモリＭ１１〜旧ｉ　＋　Ｍ
　２１　””’　Ｍ　Ｚ　ｋ　＋・・・・・・Ｍ□−＝
Ｍ、Ａに記憶され、この各７：云ゾ子り旧、・〜ＭＩｊ
１Ｍ２１〜ｈ２１．・・・・・・Ｈ１〜ｈ１、・ｔ、；
ｌ　、Ｊヤネル切換操作部９ａにより表示メモリ切換部
４によって切り換えて各表示メモリに記仮さＡ７．た表
示データが表示部２に入力され、各チャネル毎に表示さ
れることになる。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明装置の一実施例の構成を示ずブロック図
で、２は陰極線管またはプラズマデイスプレィまたは液
晶デイスプレィ、或いは複数のセグメントで構成された
表示部を示す。３はこの表示部２を駆動する表示駆動部
、４は各チャネルに対応（各分散コントローラに対応）
する表示メモリｍ１１　　〜Ｍｌｊ１Ｍ２１〜Ｍ２゜、
・・・・・・　門、〜しｌを切り換える表示メモリ切換
部で、チャネル指定Ｍ。のａの指定はチャネル切換操作
部９ａにより行われる。

ｂの指定は“表示ポインタ”により行われ、“表示ポイ
ンタ”の位置は各分散コントローラが指定する。

Ｍ＋＋　”ｍ１１ｌ　Ｍ２１〜Ｍ２１．・・・・・・Ｍ
□〜Ｍｆｉβは、表示すべきデータを各分散コントロー
ラＣ，”Ｃｎ毎に記憶する表示メモリ、１０は分散コン
トローラからの表示データを受信するデータ受信部で、
分散コントローラＣ５〜Ｃｎの数に対応した複数の受信
チャネルＲＣｈ　Ｉ〜ＲＣｈ、、を有する。このデータ
受信部１０の各受信チャネルＲＣｈ　Ｉ−ＲＣｈ、、は
分散コントローラＣ１〜Ｃｎ　（第５図参照）に接続さ
れている。

工１はデータ送信部で、同じく分散コントローラＣ，”
Ｃｎに接続されており、運転者により操作部６から入力
されたデータをチャネル切換操作部９ａにより決められ
たチャネルから送信する機能を有するものである。６は
キーボード、タッチ式スイッチ、マウスあるいは複数の
スイッチセグメントで構成された操作部である。９ａは
表示メモリと共に操作部６から入力されたデータを切り
換える役目を果たすチャネル切換操作部である。

第２図は本発明の集中表示操作装置１２を用いて構成さ
れた制御システムの例を示し、分散コントローラＣ０〜
Ｃｎは表示・操作部を必要としない。

次に上記の如き構成の本実施例の作用を説明する。

データの送受信には、実施例では各分散コントローラと
の接続を簡潔にするためシリアル通信回線を用いている
。各分散コントローラ０１〜Ｃｎは制御システム　（第
２図）を構成する際あらかじめ割当られた通信回線を通
じて、担当する制御内容に応じた表示データを本発明の
集中表示操作装置１２（以下本発明装置１２と記す）に
適宜送出する。

実施例ではデータをマクロなコマンドとして本発明装置
１２のデータ受信部１０で受信できる。いわゆるプロッ
タのインタフェースや、パソコンのＲＡＳＩＧコマンド
に類僚している　（公知のソフトウェア技術なので、詳
細は省略する）。即ち、各分散コントローラＣＩ−Ｃｎ
から各受信チャネルＲＣｈ　＋〜ＲＣｈゎに入力される
マクロコマンドの解析や表示内容を、ハードウェアイメ
ージに変換することばデータ受信部１０で一括しておこ
なわれる。そのために、各分散コントローラＣ１〜Ｃｎ
におけるデータ表示のためのソフトウェアの負荷は第３
図の分散コントローラａ＋”−’ａ、、や、第５図の分
散コントローラｂ１〜ｂ、、に比して著しく軽減される
。

表示メモリｌ’ｌ＋＋〜ＭＩｊ＋Ｍ２１〜Ｍ　２　ｋ　
＋・・・・・・Ｍｎｌ−ＭＩ＋＃はメモリアドレスａｂ
（ａ＝ｌ・・・・・・ｎ９番号ａは受信チャネルに対応
；ｂは各チャネルのサブ表示画面に対応、ｂの最大数は
ｊ、　　ｋ、　　ｊｌ！のようにチャネルによって異な
ってもかまわない。）で区別される。複数の表示メモリ
の集合である。１つの表示メモリＭａｂは表示部２の１
画面に対応する。

但し、実施例では表示メモリＭａｂとして市販の半導体
メモリＬＳＩを用いているため、ハードウェアとしては
表示メモリは一体化されている（ハードウェア的にはａ
ｂで示されるような特異性や境界はない）。

各チャネルに何百回割り当てるか（ｂの最大数の決め方
）は、本発明装置１２内部の半固定スイッチであらかじ
めプリセントしておく。

また、複数の表示画面を有するチャネル（ｂ〉２）にお
いては、分散コントローラＣ１〜Ｃｆｉは書き込み対象
とする画面指定（ｂの指定）がコマンドとして可能であ
り、該当コマンドはデータ受信部１０で他のコマンドと
同等の解析がおこなわれ、データ受信部１０から表示メ
モリＭａｂに到るデータの流れが適当に切換えられる。

データ受信部１０はまた、もし、チャネル切換操作部９
ａの操作によって、表示部２に表示される内容が該当チ
ャネルに割り当てられた場合、ｉ、に、１等すの最大数
個の表示画面メモリのうちどれを表示するか（表示部２
に送るか）を指定するためのマクロコマンドを受信、解
析できる。それは表示ポインタ（各チャネルメモリに必
ず１個ある）として本発明装置１２内のコントロールメ
モリに記憶される。

表示メモリ切換部４はチャネル切換操作部９ａで指定さ
れたチャネルａの表示画面メモリのうち、表示ポインタ
で指定されたもの（ｂ；従ってａｂで示される表示画面
メモリ）をリアルタイムで表示駆動部３に送る機能を有
する。

なお、実施例で、各チャネルの表示画面メモリを複数個
設けられるようにした理由は、■分散コントローラＣ，
−Ｃ，、の表示対象とする内容が１画面でおさまらない
ことが多いこと、■その際分散コントローラ０１〜Ｃ１
〜Ｃｎの画面書き換えソフトウェアの負荷を軽減できる
こと、■運転者からみて瞬時に画面が変わる利点がある
こと等のためである。

チャネル切換操作部９ａは表示チャネルを切り換える機
能を有すると同時に、操作部６に入力されたデータ（運
転者が入力する。６がキーボードの場合はキー人力デー
タ）を該当チャネルから送信するための切り換え機能を
有する。

データ送信部１１はチャネル切換操作部９ａで指定され
たチャネルから、操作部６に入力されたデータを随時送
出する。

第２図は本発明装置１２を用いて構成された制御システ
ムの例である。１個の表示・操作装置１２があたかも、
分散コントローラＣ６〜Ｃｏの数に対応した複数の表示
・操作装置であるかの如く機能する（但し、運転者から
みれば、システムが複数の分散コントローラによって構
成されているふうには見えないで、１台の大形のコンピ
ュータによって制御されているように見えるであろう）
。

なお、本発明装置１２のハードウェアとしては、（表示
部２と表示駆動部３）、　（操作部６とチャネル切換操
作部９ａ）を更に分割して設置することも可能である。

〔発明の効果〕

上述の説明より理解されるように本発明によれば、分散
コントローラＣ８〜Ｃ，、の数に対応した複数の送信チ
ャネル５Ｃｈｌ　−ＳＣｈ、を有し、運転者により操作
部６から人力されたデータを決められたチャネルから送
信する機能を有するデータ送信部１１と、同じく分散コ
ントローラ６１〜Ｃ１１Ｏ数に対応した複数の受信チャ
ネルＲＣｈ　、〜ＲＣｈ、、を有し。

分散コントローラ０１〜Ｃ，、からの表示データを受信
する機能を有するデータ受信部１０と、このデータ受信
部１０の受信チャネルＲＣｈ　１〜ＲＣｈｎがら受信し
た表示データをそれぞれ記憶する表示メモリ旧。

〜Ｍ＋ｎ　＋　Ｍ２１−Ｍｚｎ・・・・・・九、〜ｍ１
１１１とこの表示メモリＭｚ　〜Ｌ、、＋　Ｍｚ＋　”
”’Ｍｚｎ　・・・・”　Ｍｎｌ”　Ｍｎｎに記憶され
た表示データを切り換える表示メモリ切換部４と、上記
操作部６から入力されたデータを切り換えると共にこの
表示メモリを切り換えるチャネル切換操作部９ａと、こ
の表示メモリ切換部４により表示データを切り換えて表
示する表示部２とよりなるので、■、多品種少量生産で
あるような装置においても、膨大なシステムの表示・操
作ソフトウェアを分散コントローラＣ＋〜Ｃｆｉに応じ
て小ブロックで構成、標準化できる。■９表示・操作ソ
フトウェアの開発コストの低減・期間の短縮と信頼性（
マクロ命令の活用）の向上を図ることができる。■６表
示・操作部２，６の統合によってハードウェアコストの
低減を図ることができる。

■、設置上のフレキシビリティが増し、プロセス装置（
制御システム）全体を小形化できる。■。

運転者は単一の画面を観ながらシステムを監視・操作で
きる。■０表示データを分散コントローラに対応して表
示できるので、リアルタイムのグラフィック表示やメン
テナンス情報のサポートが容易になり、装置出荷後に出
てきたユーザーニーズにソフトウェアの簡単な変更によ
り対処することができる。■、各分散コントローラＣ０
〜Ｃｏに表示を行うためのハードウェアやソフトウェア
を設ける必要がないため、制御システム全体としてのコ
ストを軽減できると同時に、システム開発効率や処理効
率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一実施例の構成を示すブロック図
、第２図は本発明装置を用いた制御システムの説明図、
第３図は従来の制御システムの一例を示す説明図、第４
図は表示、操作部を含んだ第３図における分散コントロ
ーラの構成の一例を示すブロック図、第５図は従来の制
御システムの他側を示す説明図である。 Ｃ０〜Ｃ７・・・・・・分散コントローラ、２・・・・
・・表示部、４・・・・・・表示メモリ切換部、６・・
・・・・操作部、９ａ・・・・・・チャネル切換操作部
、１０・・・・・・データ受信部、１１・・・・・・デ
ータ送信部、１２・・・・・・本発明装置（集中表示・
操作装置）、Ｍ＋１〜ｌ’ｌｌｊ、　ｌ’＋２１〜旧、
・・・・・’　Ｍｎｌ〜Ｍｒ、！！・・・・・・表示メ
モリ、ｓｃｈ、　−ｓｃｈ、・・・・・・送信チャネル
、ＲＣｈ　＋〜ＲＣｈｎ・・・・・・受信チャネル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　分散コントローラＣ＿１〜Ｃ＿ｎの数に対応した複数
   の送信チャネルＳＣｈ＿１〜ＳＣｈ＿ｎを有し、運転者
   により操作部６から入力されたデータを決められたチャ
   ネルから送信する機能を有するデータ送信部１１と、同
   じく分散コントローラＣ＿１〜Ｃ＿ｎの数に対応した複
   数の受信チャネルＲＣｈ＿１〜ＲＣｈ＿ｎを有し、分散
   コントローラＣ＿１〜Ｃ＿ｎからの表示データを受信す
   る機能を有するデータ受信部１０と、このデータ受信部
   １０の受信チャネルＲＣｈ＿１〜ＲＣｈ＿ｎから受信し
   た表示データをそれぞれ記憶する表示メモリＭ＿１＿１
   〜Ｍ＿１＿ｎ、Ｍ＿２＿１〜Ｍ＿２＿ｎ……Ｍ＿ｎ＿１
   〜Ｍ＿ｎ＿ｎとこの表示メモリｍ＿１＿１〜Ｍ＿１＿ｎ
   、Ｍ＿２＿１〜Ｍ＿２＿ｎ……Ｍ＿ｎ＿１〜Ｍ＿ｎ＿ｎ
   に記憶された表示データを切り換える表示メモリ切換部
   ４と、上記操作部６から入力されたデータを切り換える
   と共にこの表示メモリを切り換えるチャネル切換操作部
   ９ａと、この表示メモリ切換部４により表示データを切
   り換えて表示する表示部２とよりなる集中表示・操作装
   置。