JPH01162645U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01162645U JPH01162645U JP5736888U JP5736888U JPH01162645U JP H01162645 U JPH01162645 U JP H01162645U JP 5736888 U JP5736888 U JP 5736888U JP 5736888 U JP5736888 U JP 5736888U JP H01162645 U JPH01162645 U JP H01162645U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pressure
- pressure circuit
- detection device
- measuring device
- suction pad
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例の一部縦断正面図
、第２図はその変形例の要部を示す縦断正面図、
第３図は本考案の第２実施例の要部を示す縦断正
面図、第４図は同第３実施例の要部を示す一部縦
断正面図、第５図はその変形例の要部を示す一部
縦断正面図である。 １……真空圧回路、２……真空ポンプ、３，１
５，１９，２３，２７……吸着パツド、７，１７
ｂ……シール突起、１０……真空圧測定器、１２
ａ，１５ａ……平坦面、１９ａ，２１ａ……テー
パ面、２４ａ，２５ｂ，２８ｂ，３０ａ……ねじ
。
、第２図はその変形例の要部を示す縦断正面図、
第３図は本考案の第２実施例の要部を示す縦断正
面図、第４図は同第３実施例の要部を示す一部縦
断正面図、第５図はその変形例の要部を示す一部
縦断正面図である。 １……真空圧回路、２……真空ポンプ、３，１
５，１９，２３，２７……吸着パツド、７，１７
ｂ……シール突起、１０……真空圧測定器、１２
ａ，１５ａ……平坦面、１９ａ，２１ａ……テー
パ面、２４ａ，２５ｂ，２８ｂ，３０ａ……ねじ
。
補正 昭６３．８．２６
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 真空圧回路の漏洩検出装置
実用新案登録請求の範囲、図面の簡単な説明を
次のように補正する。
次のように補正する。
【実用新案登録請求の範囲】
１ 一端が真空源に他端が吸着パツドにそれぞれ
接続される真空圧回路と、該真空圧回路の真空圧
を測定する真空圧測定器とを備えた真空圧回路の
漏洩検出装置において、 上記吸着パツドが、その吸着面よりも内方に位
置する通路の開口に、上記真空圧測定器の当接部
と当接する当接部を有し、 これらの当接部の一方に上記通路の開口外周を
シールするためのシール突起を形設するとともに
、当接部の他方を該シール突起に当接する平坦面
とした、 ことを特徴とする真空圧回路の漏洩検出装置。 ２ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に密着するテーパ面を形設したことを特徴とす
る請求項１に記載した真空圧回路の漏洩検出装置
。 ３ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に螺合するねじを設けたことを特徴とする請求
項１に記載した真空圧回路の漏洩検出装置。
接続される真空圧回路と、該真空圧回路の真空圧
を測定する真空圧測定器とを備えた真空圧回路の
漏洩検出装置において、 上記吸着パツドが、その吸着面よりも内方に位
置する通路の開口に、上記真空圧測定器の当接部
と当接する当接部を有し、 これらの当接部の一方に上記通路の開口外周を
シールするためのシール突起を形設するとともに
、当接部の他方を該シール突起に当接する平坦面
とした、 ことを特徴とする真空圧回路の漏洩検出装置。 ２ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に密着するテーパ面を形設したことを特徴とす
る請求項１に記載した真空圧回路の漏洩検出装置
。 ３ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に螺合するねじを設けたことを特徴とする請求
項１に記載した真空圧回路の漏洩検出装置。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１実施例の一部縦断正面図
、第２図はその変形例の要部を示す縦断正面図、
第３図は本考案の第２実施例の要部を示す縦断正
面図、第４図は同第３実施例の要部を示す一部縦
断正面図、第５図はその変形例の要部を示す一部
縦断正面図である。 １……真空圧回路、２……真空ポンプ、３，１
５，１９，２３，２７……吸着パツド、７，１７
ｂ……シール突起、１０……真空圧測定器、１２
ａ，１５ａ……平坦面、１９ａ，２１ａ……テー
パ面、２４ａ，２５ｂ，２８ｂ，３０ａ……ねじ
。
、第２図はその変形例の要部を示す縦断正面図、
第３図は本考案の第２実施例の要部を示す縦断正
面図、第４図は同第３実施例の要部を示す一部縦
断正面図、第５図はその変形例の要部を示す一部
縦断正面図である。 １……真空圧回路、２……真空ポンプ、３，１
５，１９，２３，２７……吸着パツド、７，１７
ｂ……シール突起、１０……真空圧測定器、１２
ａ，１５ａ……平坦面、１９ａ，２１ａ……テー
パ面、２４ａ，２５ｂ，２８ｂ，３０ａ……ねじ
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 一端が真空源に他端が吸着パツドにそれぞれ
接続される真空圧回路と、該真空圧回路の真空圧
を測定する真空圧測定器とを備えた真空圧回路の
洩漏検出装置において、 上記吸着パツドが、その吸着面よりも内方に位
置する通路の開口に、上記真空圧測定器の当接部
と当接する当接部を有し、 これらの当接部の一方に上記通路の開口外周を
シールするためのシール突起を形設するとともに
、当接部の他方を該シール突起に当接する平坦面
とした、 ことを特徴とする真空圧回路の洩漏検出装置。 ２ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に密着するテーパ面を形設したことを特徴とす
る請求項１に記載した真空圧回路の洩漏検出装置
。 ３ 吸着パツド及び真空圧測定器の当接部に、相
互に螺合するねじを設けたことを特徴とする請求
項１に記載した真空圧回路の洩漏検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988057368U JP2544058Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空圧回路の漏洩検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988057368U JP2544058Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空圧回路の漏洩検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01162645U true JPH01162645U (ja) | 1989-11-13 |
| JP2544058Y2 JP2544058Y2 (ja) | 1997-08-13 |
Family
ID=31283227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988057368U Expired - Lifetime JP2544058Y2 (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | 真空圧回路の漏洩検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2544058Y2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52129257U (ja) * | 1976-03-02 | 1977-10-01 | ||
| JPS5371480U (ja) * | 1976-11-17 | 1978-06-15 | ||
| JPS61132379U (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-18 | ||
| JPS6225319U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 | ||
| JPS62197731A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-01 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP1988057368U patent/JP2544058Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52129257U (ja) * | 1976-03-02 | 1977-10-01 | ||
| JPS5371480U (ja) * | 1976-11-17 | 1978-06-15 | ||
| JPS61132379U (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-18 | ||
| JPS6225319U (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-16 | ||
| JPS62197731A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-01 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2544058Y2 (ja) | 1997-08-13 |
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