JPS62197731A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS62197731A JPS62197731A JP3978486A JP3978486A JPS62197731A JP S62197731 A JPS62197731 A JP S62197731A JP 3978486 A JP3978486 A JP 3978486A JP 3978486 A JP3978486 A JP 3978486A JP S62197731 A JPS62197731 A JP S62197731A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- metal
- pipe
- container
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、ひずみゲージを形成したダイヤフラム部を有
する半導体基板が密閉されたセンサ本体容器内に収容さ
れ、ダイヤフラム部の一方には測定圧力が導かれる構造
を有する半導体圧力センサに関する。
する半導体基板が密閉されたセンサ本体容器内に収容さ
れ、ダイヤフラム部の一方には測定圧力が導かれる構造
を有する半導体圧力センサに関する。
上述のような半導体圧力センサは、特殊ガスあるいは高
圧ガスもしくは金属配管などの圧力を直接検出するに用
いられ、ひずみゲージからの信号処理回路がセンサ本体
容器外に収容されるかもしくは半導体基板内に集積回路
として形成されている。そこで、信号処理回路の出力端
子および測定圧力の導圧管を備えた外部容器内にセンサ
本体容器が入れられる。第２図は従来の半導体圧力セン
サの一例を示し、半導体基板を収容する基準圧力室を兼
ねる容器１はプラスチックからなる外部容器２と蓋３の
形成する空間内に入れられ、シリコーン樹脂４が充填さ
れている。半導体基板に集積されたイ言号処理回路から
引き出された端子５は充填樹脂６を通る導線７を介して
容器２に固定された外部出力端子８に接続されている。 一方、半導体基板のダイヤプラム部の一面への導圧管９
は容器２の下部に設けられる外部導圧管１０に連通して
いる。このような圧力センサへの測定圧力配管との接続
は、外部導圧管１０ヘゴムホースを嵌め、バンド化めす
る方式が採用されるが、圧力Ａが１気圧を越えると圧力
もれが生ずることがある。ゴムホースの材質を変えても
せいぜい２気圧止まりである。別の方式として、外部導
圧管部を金属で形成し２、金属配管と録ろうあるいはは
んだを用いてろう付けすることが考えられる。しかしろ
う付は時の熱により基準圧力室内の気密不良の発生ある
いは圧力センサの保守の困難などの問題がある。
圧ガスもしくは金属配管などの圧力を直接検出するに用
いられ、ひずみゲージからの信号処理回路がセンサ本体
容器外に収容されるかもしくは半導体基板内に集積回路
として形成されている。そこで、信号処理回路の出力端
子および測定圧力の導圧管を備えた外部容器内にセンサ
本体容器が入れられる。第２図は従来の半導体圧力セン
サの一例を示し、半導体基板を収容する基準圧力室を兼
ねる容器１はプラスチックからなる外部容器２と蓋３の
形成する空間内に入れられ、シリコーン樹脂４が充填さ
れている。半導体基板に集積されたイ言号処理回路から
引き出された端子５は充填樹脂６を通る導線７を介して
容器２に固定された外部出力端子８に接続されている。 一方、半導体基板のダイヤプラム部の一面への導圧管９
は容器２の下部に設けられる外部導圧管１０に連通して
いる。このような圧力センサへの測定圧力配管との接続
は、外部導圧管１０ヘゴムホースを嵌め、バンド化めす
る方式が採用されるが、圧力Ａが１気圧を越えると圧力
もれが生ずることがある。ゴムホースの材質を変えても
せいぜい２気圧止まりである。別の方式として、外部導
圧管部を金属で形成し２、金属配管と録ろうあるいはは
んだを用いてろう付けすることが考えられる。しかしろ
う付は時の熱により基準圧力室内の気密不良の発生ある
いは圧力センサの保守の困難などの問題がある。
本発明は、上述の問題を解決し、測定圧力配管との接続
が容易で、しかも測定圧力が高い場合にもｍ力もれのお
それのない半導体圧力センサを提供することを目的とす
る。
が容易で、しかも測定圧力が高い場合にもｍ力もれのお
それのない半導体圧力センサを提供することを目的とす
る。
本発明は、半導体基板を収容するセンサ本体容器を包囲
するプラスチックからなる外部容器におねじ側のフレア
式管継手金具を固定し、センサ本体容器を貫通する導圧
管をその管継手金具に連通させ、導圧管と管継手金具の
接続部に絶縁性Ｏリングを備えるもので、測定圧力が高
圧になってもＯリングによるシールによって容器と管継
手金具との接着部よりの圧力もれが防止され、またおね
じ側のフレア式管継手金具と測定圧力配管の端部に取り
付けられるめねし側のフレア式管継手金具とによって測
定圧力配管との接続部も高圧に耐えるので上記の目的が
達成される。
するプラスチックからなる外部容器におねじ側のフレア
式管継手金具を固定し、センサ本体容器を貫通する導圧
管をその管継手金具に連通させ、導圧管と管継手金具の
接続部に絶縁性Ｏリングを備えるもので、測定圧力が高
圧になってもＯリングによるシールによって容器と管継
手金具との接着部よりの圧力もれが防止され、またおね
じ側のフレア式管継手金具と測定圧力配管の端部に取り
付けられるめねし側のフレア式管継手金具とによって測
定圧力配管との接続部も高圧に耐えるので上記の目的が
達成される。
第１図は本発明の一実施例を示し、第２回と共通の部分
には同一の符号が付されている。この場合は、プラスチ
ックからなる外部容器２の下部にフレア式管継手金具１
１が取り付けられている。管継手金具１１の内孔にセン
サ本体容器１の下側の導圧管９を挿入して組立てる際、
挿入部に絶縁性の押さえリング１３および二つのＯリン
グ１２を挿入し、外部容器２に切られているねじに管継
手金具１１をねじ込み固定することにより、０リング１
２が適度につぶされ、シール効果を高めることができる
。 管継手金具１１にはおねじ１４が設けられているので、
配管側のフレア式管継手金具のめねじ（図示せず）を容
易に結合可能とするとともに測定圧力配管の端部を押し
広げ、両管継手金具の間に密に挟着することができる。 これにより高圧に耐える管継手結合が得られる。 フレア式管継手金具１１を介して高圧の圧力Ａが加わる
と、Ｏリング１２は矢印方向に押されるが、容器２側に
止まる。また圧力Ａが真空側の場合には、０リング１２
は矢印と反対に引張られるが、押さえリング１３のスト
ッパにより固定シールされる。 Ｏリング１２を２個用いることは、シール性および信頼
性の向上に有効である。 半導体圧力センサを冷凍機の圧力測定に用いる場合は、
進縁抵抗、耐電圧などの絶縁特性が要求される。しかし
、フレア式管継手金具１１とセンサ本体容器１とは絶縁
性のＯリング１２および押さえリング１３で絶縁され、
出力端子８と管継手金具１１とはプラスチック容器２お
よび充填樹脂６で絶縁されており、絶縁破壊が起こるこ
とはない。 また、接続される測定圧力配管から機械的応力がこの圧
力センサに加わった場合にも、センサ本体容器１と外部
容器２あるいは管継手金具１１の間にゴム系のやわらか
いＯリングが存在するので、これがクッション作用を行
いセンサ本体を保護する。
には同一の符号が付されている。この場合は、プラスチ
ックからなる外部容器２の下部にフレア式管継手金具１
１が取り付けられている。管継手金具１１の内孔にセン
サ本体容器１の下側の導圧管９を挿入して組立てる際、
挿入部に絶縁性の押さえリング１３および二つのＯリン
グ１２を挿入し、外部容器２に切られているねじに管継
手金具１１をねじ込み固定することにより、０リング１
２が適度につぶされ、シール効果を高めることができる
。 管継手金具１１にはおねじ１４が設けられているので、
配管側のフレア式管継手金具のめねじ（図示せず）を容
易に結合可能とするとともに測定圧力配管の端部を押し
広げ、両管継手金具の間に密に挟着することができる。 これにより高圧に耐える管継手結合が得られる。 フレア式管継手金具１１を介して高圧の圧力Ａが加わる
と、Ｏリング１２は矢印方向に押されるが、容器２側に
止まる。また圧力Ａが真空側の場合には、０リング１２
は矢印と反対に引張られるが、押さえリング１３のスト
ッパにより固定シールされる。 Ｏリング１２を２個用いることは、シール性および信頼
性の向上に有効である。 半導体圧力センサを冷凍機の圧力測定に用いる場合は、
進縁抵抗、耐電圧などの絶縁特性が要求される。しかし
、フレア式管継手金具１１とセンサ本体容器１とは絶縁
性のＯリング１２および押さえリング１３で絶縁され、
出力端子８と管継手金具１１とはプラスチック容器２お
よび充填樹脂６で絶縁されており、絶縁破壊が起こるこ
とはない。 また、接続される測定圧力配管から機械的応力がこの圧
力センサに加わった場合にも、センサ本体容器１と外部
容器２あるいは管継手金具１１の間にゴム系のやわらか
いＯリングが存在するので、これがクッション作用を行
いセンサ本体を保護する。
本発明によれば、測定圧力配管との接続に用いることの
できるフレア式管継手金具を備えているため、高圧にお
いても圧力もれがなく、例えば８気圧の高圧測定も可能
となり、また管継手金具と容器との境界からの圧力もれ
を防ぐＯリングシール構造も備えており、信頼性が向上
する。また、０リングシールｆＩ造により、センサ本体
と管壁手金具あるいは外部金属配管との間における絶縁
抵抗１００ＭΩ以上、絶縁耐電圧１８００Ｖ、 １分
間の電気的環境条件下の使用が可能である。さらにＯリ
ングのクツシラン効果により機械的な外力に対する耐性
も高くなるので、この面でも信φＲ性が向上するなど、
得られる効果は極めて大きい。
できるフレア式管継手金具を備えているため、高圧にお
いても圧力もれがなく、例えば８気圧の高圧測定も可能
となり、また管継手金具と容器との境界からの圧力もれ
を防ぐＯリングシール構造も備えており、信頼性が向上
する。また、０リングシールｆＩ造により、センサ本体
と管壁手金具あるいは外部金属配管との間における絶縁
抵抗１００ＭΩ以上、絶縁耐電圧１８００Ｖ、 １分
間の電気的環境条件下の使用が可能である。さらにＯリ
ングのクツシラン効果により機械的な外力に対する耐性
も高くなるので、この面でも信φＲ性が向上するなど、
得られる効果は極めて大きい。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は従来例の
断面図である。 １：センサ本体容器、２：外部容器、８：出力端子、９
：導圧管、１１：フレア式管継手金具、１２＋０リング
、１３：押さえリング。
断面図である。 １：センサ本体容器、２：外部容器、８：出力端子、９
：導圧管、１１：フレア式管継手金具、１２＋０リング
、１３：押さえリング。
Claims (1)
- １）半導体基板を収容するセンサ本体容器を包囲するプ
ラスチックからなる外部容器におねじ側のフレア式管継
手金具が固定され、センサ本体容器を貫通する導圧管が
該管継手金具に連通し、該導圧管と管継手金具との接続
部に絶縁性Ｏリングを備えたことを特徴とする半導体圧
力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3978486A JPS62197731A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3978486A JPS62197731A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62197731A true JPS62197731A (ja) | 1987-09-01 |
Family
ID=12562559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3978486A Pending JPS62197731A (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62197731A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162645U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-13 |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP3978486A patent/JPS62197731A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01162645U (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-13 |
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