JPH01165624U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01165624U JPH01165624U JP6150588U JP6150588U JPH01165624U JP H01165624 U JPH01165624 U JP H01165624U JP 6150588 U JP6150588 U JP 6150588U JP 6150588 U JP6150588 U JP 6150588U JP H01165624 U JPH01165624 U JP H01165624U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace core
- quartz
- diffusion
- protrusion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図
は本考案の他の実施例の縦断面図、第３図ａ，ｂ
は本考案で使用する石英突起部の１例の正面図及
び側面図、第４図ａ，ｂは本考案で使用する石英
突起部の他例の正面図及び側面図、第５図及び第
６図はそれぞれ従来の炉芯管の縦断面図である。 １……石英炉芯管、２……ウエハー、３……ウ
エハーサポート用石英ボート、４，４′……ガス
供給管、５……石英突起部（デイフユーザータイ
プ）、６……石英突起部、７，７′……ガス噴出
口、８……フイン。
は本考案の他の実施例の縦断面図、第３図ａ，ｂ
は本考案で使用する石英突起部の１例の正面図及
び側面図、第４図ａ，ｂは本考案で使用する石英
突起部の他例の正面図及び側面図、第５図及び第
６図はそれぞれ従来の炉芯管の縦断面図である。 １……石英炉芯管、２……ウエハー、３……ウ
エハーサポート用石英ボート、４，４′……ガス
供給管、５……石英突起部（デイフユーザータイ
プ）、６……石英突起部、７，７′……ガス噴出
口、８……フイン。
Claims (1)
- 半導体製造の拡散、酸化工程等で使用される半
導体用炉芯管において、炉心管内のガス噴出口近
辺に流入ガスを受ける石英突起部を設けたことを
特徴とする半導体用炉芯管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6150588U JPH01165624U (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6150588U JPH01165624U (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01165624U true JPH01165624U (ja) | 1989-11-20 |
Family
ID=31287171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6150588U Pending JPH01165624U (ja) | 1988-05-09 | 1988-05-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01165624U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015160747A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-07 | ヤマハ株式会社 | カーボンナノチューブの製造装置 |
-
1988
- 1988-05-09 JP JP6150588U patent/JPH01165624U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015160747A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-07 | ヤマハ株式会社 | カーボンナノチューブの製造装置 |