JPH01167036U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01167036U JPH01167036U JP1988063385U JP6338588U JPH01167036U JP H01167036 U JPH01167036 U JP H01167036U JP 1988063385 U JP1988063385 U JP 1988063385U JP 6338588 U JP6338588 U JP 6338588U JP H01167036 U JPH01167036 U JP H01167036U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- plasma processing
- mounting table
- processing apparatus
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は、本考案の一実施例の押えウエイトの
要部縦断面図、第２図は、第１図の押えウエイト
を用いたプラズマ処理装置のプラズマ処理室部の
縦断面図である。 １……プラズマ処理室、２……ホルダー、３…
…押えウエイト、４……支持部、５……押え爪、
６……試料、７……試料載置台、８……コーテイ
ング皮膜。
要部縦断面図、第２図は、第１図の押えウエイト
を用いたプラズマ処理装置のプラズマ処理室部の
縦断面図である。 １……プラズマ処理室、２……ホルダー、３…
…押えウエイト、４……支持部、５……押え爪、
６……試料、７……試料載置台、８……コーテイ
ング皮膜。
Claims (1)
- プラズマ処理室内に設けた試料載置台と、該試
料載置台上の試料を押し付ける手段より成るプラ
ズマ処理装置の試料保持部において、前記試料押
し付け手段の前記試料との接触部に樹脂コーテイ
ングを施こしたことを特徴とするプラズマ処理装
置における試料押し付け手段部の構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988063385U JPH01167036U (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988063385U JPH01167036U (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167036U true JPH01167036U (ja) | 1989-11-22 |
Family
ID=31288891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988063385U Pending JPH01167036U (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01167036U (ja) |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP1988063385U patent/JPH01167036U/ja active Pending