JPH01167251A - 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置Info
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- JPH01167251A JPH01167251A JP32376187A JP32376187A JPH01167251A JP H01167251 A JPH01167251 A JP H01167251A JP 32376187 A JP32376187 A JP 32376187A JP 32376187 A JP32376187 A JP 32376187A JP H01167251 A JPH01167251 A JP H01167251A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 18
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、気相一付法による光ファイバ用多孔質ガラス
体の製造装置に係り、特に余剰ガラス微粒子を反応容器
外へ排出する排気管を改善したものに関する。
体の製造装置に係り、特に余剰ガラス微粒子を反応容器
外へ排出する排気管を改善したものに関する。
[従来の技術]
気相軸イ4法による光ファイバ用多孔質ガラス体の製造
は、第6図に示すように、酸水素バーナ1の火炎中に投
じたガラス原料ガスから火炎加水分解反応により発生し
たガラス微粒子2を、回転しながら上方に引き上げられ
るターグツ1〜3上に堆積させ、多孔質ガラス体4を作
製するものである。
は、第6図に示すように、酸水素バーナ1の火炎中に投
じたガラス原料ガスから火炎加水分解反応により発生し
たガラス微粒子2を、回転しながら上方に引き上げられ
るターグツ1〜3上に堆積させ、多孔質ガラス体4を作
製するものである。
通常、多孔質ガラス体4のの作製は反応容器5内で行わ
れ、反応により発生した有毒ガスおよびターグツ+3あ
るいは多孔質ガラス体4に堆積しなかった余剰ガラス微
粒子を外部に排出するために、バーナ1と多孔質ガラス
体4を挾んで対向する下流側位置に排気管6を取り付け
ている。
れ、反応により発生した有毒ガスおよびターグツ+3あ
るいは多孔質ガラス体4に堆積しなかった余剰ガラス微
粒子を外部に排出するために、バーナ1と多孔質ガラス
体4を挾んで対向する下流側位置に排気管6を取り付け
ている。
長時間にわたって安定に多孔質ガラス体4を作製するた
めには、排気管6から効率よく余剰ガラス微粒子を排出
することが重要である。つまり、排気管6からの余剰ガ
ラス微粒子排出が不充分な場合、余剰ガラス微粒子は反
応容器5の壁面に付着することとなる。このような状態
が長時間続くと、壁面l\の付着層の厚みが増し、つい
には剥離して落下し、反応容器5内に不要なガラス微粒
子が飛散してしまう。飛散した不要なガラス微粒子は、
光ファーイバ母材となる多孔質ガラス体4に付着し、光
ファイバの伝送特性を劣化させたり、光ファイバ母材内
に気泡を発生させたりする等の問題をひき起こす。
めには、排気管6から効率よく余剰ガラス微粒子を排出
することが重要である。つまり、排気管6からの余剰ガ
ラス微粒子排出が不充分な場合、余剰ガラス微粒子は反
応容器5の壁面に付着することとなる。このような状態
が長時間続くと、壁面l\の付着層の厚みが増し、つい
には剥離して落下し、反応容器5内に不要なガラス微粒
子が飛散してしまう。飛散した不要なガラス微粒子は、
光ファーイバ母材となる多孔質ガラス体4に付着し、光
ファイバの伝送特性を劣化させたり、光ファイバ母材内
に気泡を発生させたりする等の問題をひき起こす。
このような問題を避(りるため、排気管6は、作製する
多孔質ガラス体4の形状、大きさに応じて改良が加えら
れでさた、第7図に多孔質ガラス体4の作製状況と使用
される排気管6の形状を示す。
多孔質ガラス体4の形状、大きさに応じて改良が加えら
れでさた、第7図に多孔質ガラス体4の作製状況と使用
される排気管6の形状を示す。
第7図(A>は、′1本のバーナ1で多孔質ガラス体4
を形成する場合で、排気管6の断面形状は円形のものを
使用し−(いる。バーナ1が1本の場合は、余剰ガラス
微粒子の量も少ないため、多孔質ガラス体4の直径が1
50 mm程度までは、排気管6を多孔質ガラス体4の
寸法に応じて大径化することで比較的効率のよい排気が
可能である。しかし多孔質ガラス体4がさらに大型とな
り直径が200mm程度になると排気効率が低下し、反
応容器5の壁面に余剰ガラス微粒子が大量に付着してく
る。第7図(B)は、多数本のバーナ1を用いて多孔質
ガラス体4を形成する場合である。この場合、多孔質ガ
ラス体4は、下方から上方に向かうに従い直径が増加す
る。従ってこれに合わせて排気管6の断面形状も下方か
ら上方に向かって広がる台形状とし、さらに、多孔質ガ
ラス体4から排気量[]部までの距離が、どの位置でも
略等しくなるよう、排気開口部を傾斜させている。この
ような排気管6を用いることにより、多数本のバーナ1
を用いた場合でも、多孔質ガラス体4の直径が゛150
mm程度までならば比較的効率よく余剰ガラス微粒子を
排出できる。しかし多孔質ガラス体4の直径が200m
1ll程度になると、前述の側周様反応容器5の壁面に
余剰ガラス微粒子が付着する。
を形成する場合で、排気管6の断面形状は円形のものを
使用し−(いる。バーナ1が1本の場合は、余剰ガラス
微粒子の量も少ないため、多孔質ガラス体4の直径が1
50 mm程度までは、排気管6を多孔質ガラス体4の
寸法に応じて大径化することで比較的効率のよい排気が
可能である。しかし多孔質ガラス体4がさらに大型とな
り直径が200mm程度になると排気効率が低下し、反
応容器5の壁面に余剰ガラス微粒子が大量に付着してく
る。第7図(B)は、多数本のバーナ1を用いて多孔質
ガラス体4を形成する場合である。この場合、多孔質ガ
ラス体4は、下方から上方に向かうに従い直径が増加す
る。従ってこれに合わせて排気管6の断面形状も下方か
ら上方に向かって広がる台形状とし、さらに、多孔質ガ
ラス体4から排気量[]部までの距離が、どの位置でも
略等しくなるよう、排気開口部を傾斜させている。この
ような排気管6を用いることにより、多数本のバーナ1
を用いた場合でも、多孔質ガラス体4の直径が゛150
mm程度までならば比較的効率よく余剰ガラス微粒子を
排出できる。しかし多孔質ガラス体4の直径が200m
1ll程度になると、前述の側周様反応容器5の壁面に
余剰ガラス微粒子が付着する。
「発明が解決しようとする問題点]
このように従来構造の排気管では、多孔質ガラス体が大
型化した場合、余剰ガラス微粒子を効率よく排出できな
くなるという問題があった。
型化した場合、余剰ガラス微粒子を効率よく排出できな
くなるという問題があった。
本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を解消し、大
型の多孔質ガラス体を作製する場合でも効率よく余剰ガ
ラス微粒子を排出できる新規な光ファイバ用多孔質ガラ
ス体の製造装置を提供することにある。
型の多孔質ガラス体を作製する場合でも効率よく余剰ガ
ラス微粒子を排出できる新規な光ファイバ用多孔質ガラ
ス体の製造装置を提供することにある。
L問題点を解決する7jめの手段]
本発明は、反応容器内でバーナにより生成され、ターゲ
ットあるいは多孔質ガラス体に吹き付けて多孔質ガラス
体を形成するガラス微粒子の余剰分を、排気管より吸い
込んで反応容器外へ排出する気相軸付法による光ファイ
バ用多孔質ガラス体の製造装置である。
ットあるいは多孔質ガラス体に吹き付けて多孔質ガラス
体を形成するガラス微粒子の余剰分を、排気管より吸い
込んで反応容器外へ排出する気相軸付法による光ファイ
バ用多孔質ガラス体の製造装置である。
この装置において、多孔質ガラス体の外周を取り囲むよ
うに、排気管の開口部をバーナの下流側から上流側に延
出したものである。
うに、排気管の開口部をバーナの下流側から上流側に延
出したものである。
ここで、多孔質ガラス体の外周を取り囲むような場合と
しては、全周を取り囲む場合、その一部を取り囲む場合
の両方を含むとともに、ガラス体下部も含めて取り囲む
場合、あるいはガラス体下端を除いて中間部まで取り囲
む場合等が含まれる。
しては、全周を取り囲む場合、その一部を取り囲む場合
の両方を含むとともに、ガラス体下部も含めて取り囲む
場合、あるいはガラス体下端を除いて中間部まで取り囲
む場合等が含まれる。
[作用]
前述の如く、排気管からのガラス微粒子の排出6一
効率の低下は、多孔質ガラス体の直径が大きくなった場
合に生じる。そこで多孔質ガラス体の径の遠いによる多
孔質ガラス体回りの流れを観察したところ、第2図に示
すように、多孔質ガラス体4の径が小さい場合は、バー
す1の火炎および発生したガラス微粒子2は、多孔質ガ
ラス体4の背面にまで添う流れを形成している。これに
対して径が大きくなった場合、バーナ1の火炎およびガ
ラス微粒子2の流れは第2図(B)に示すように、多孔
質ガラス体4の背面にまで添う流れを形成せず、途中で
剥離することがわかった。大径の多孔質ガラス体4の作
製時に余剰ガラス微粒子2の排出効率を上げるl〔めに
は、前述した剥離点を、より流れの下流側にもってゆく
ことが必要であり、そのためには多孔質ガラス体4の周
辺に、バーナ1側から排気管6に向かう速い流れを作る
ことが有効である。
合に生じる。そこで多孔質ガラス体の径の遠いによる多
孔質ガラス体回りの流れを観察したところ、第2図に示
すように、多孔質ガラス体4の径が小さい場合は、バー
す1の火炎および発生したガラス微粒子2は、多孔質ガ
ラス体4の背面にまで添う流れを形成している。これに
対して径が大きくなった場合、バーナ1の火炎およびガ
ラス微粒子2の流れは第2図(B)に示すように、多孔
質ガラス体4の背面にまで添う流れを形成せず、途中で
剥離することがわかった。大径の多孔質ガラス体4の作
製時に余剰ガラス微粒子2の排出効率を上げるl〔めに
は、前述した剥離点を、より流れの下流側にもってゆく
ことが必要であり、そのためには多孔質ガラス体4の周
辺に、バーナ1側から排気管6に向かう速い流れを作る
ことが有効である。
この点で、本発明では多孔質ガラス体の外周が、延出し
た排気管の開口端によって取り囲まれているため、多孔
質ガラス体の周辺に上流から下流側に向かう速い流れが
出来る。このため、多孔質ガラス体の背面にまで添う流
れを形成し、剥離点がより下流側に移行する。
た排気管の開口端によって取り囲まれているため、多孔
質ガラス体の周辺に上流から下流側に向かう速い流れが
出来る。このため、多孔質ガラス体の背面にまで添う流
れを形成し、剥離点がより下流側に移行する。
[実施例1
以下、本発明の実施例を第1図、第3図〜第5図を用い
て説明する。
て説明する。
第1図は、多数本のバーナ1を用いて大径の多孔質ガラ
ス体を作成する一括全合成母材製造装置を例にとった本
発明の実施例を示J−05は反応容器であり、この容器
5内で、多段(図示例では3段)に設けたバーナ゛1に
より生成されたガラス微粒子2がターゲットに吹き(=
Jけられ堆積して大径の多孔質ガラス体4が形成される
。
ス体を作成する一括全合成母材製造装置を例にとった本
発明の実施例を示J−05は反応容器であり、この容器
5内で、多段(図示例では3段)に設けたバーナ゛1に
より生成されたガラス微粒子2がターゲットに吹き(=
Jけられ堆積して大径の多孔質ガラス体4が形成される
。
反応容器5内で発生した有毒ガスおよびターゲットある
いは多孔質ガラス体4に堆積しなかっl〔余剰ガラス微
粒子を反応容器5外へ吸引排気するための排気管6は、
多孔質ガラス体4を挾んで単にバーナ1と対向している
に止まらず、その開口部゛10をバーナ1の下流側から
上流側に向けて延出し多孔質ガラス体4の外周を取り囲
んでいる。
いは多孔質ガラス体4に堆積しなかっl〔余剰ガラス微
粒子を反応容器5外へ吸引排気するための排気管6は、
多孔質ガラス体4を挾んで単にバーナ1と対向している
に止まらず、その開口部゛10をバーナ1の下流側から
上流側に向けて延出し多孔質ガラス体4の外周を取り囲
んでいる。
図示例では、水平に取り付けた排気管6の上面と下面と
に、開口端より管軸方向に延びる略半搦円状の切欠き1
1.12をそれぞれ設ける。垂下する多孔質ガラス体4
が、これら上面および下面の切欠き11.12内に嵌つ
−Cその中間部゛13が排気管6内に収められ、これに
より排気管開口部10の延出ど、ガラス体の取り囲みと
を可能としている。
に、開口端より管軸方向に延びる略半搦円状の切欠き1
1.12をそれぞれ設ける。垂下する多孔質ガラス体4
が、これら上面および下面の切欠き11.12内に嵌つ
−Cその中間部゛13が排気管6内に収められ、これに
より排気管開口部10の延出ど、ガラス体の取り囲みと
を可能としている。
上記切欠ぎ11.12の径ないし幅は、上面の切欠き1
″1にあっては多孔質ガラス体4の中間部゛13よりや
や大きく、下面の切欠き12にあっては上面のそれより
は小さいが、多孔質ガラス体4の下部のテーパ部分′1
4には接触しない大きさとなるように設定しである。こ
のように多孔質ガラス体4とのクリアランスを小さくと
っているのは、排気効率を可及的に上げるためである。
″1にあっては多孔質ガラス体4の中間部゛13よりや
や大きく、下面の切欠き12にあっては上面のそれより
は小さいが、多孔質ガラス体4の下部のテーパ部分′1
4には接触しない大きさとなるように設定しである。こ
のように多孔質ガラス体4とのクリアランスを小さくと
っているのは、排気効率を可及的に上げるためである。
下面の切欠き12は、上述したように多孔質ガラス体下
部のテーパ部分14を受は入れる他、このテーパ部分゛
14の傾斜角度に添って3段に一列に並んだバーナ1と
対向すると共に、特に上段のバーナ′1のバーナ口をも
受けいれて、各段のバーナ1により発生するガラス微粒
子を円滑に排気管6内に導くようになっている。
部のテーパ部分14を受は入れる他、このテーパ部分゛
14の傾斜角度に添って3段に一列に並んだバーナ1と
対向すると共に、特に上段のバーナ′1のバーナ口をも
受けいれて、各段のバーナ1により発生するガラス微粒
子を円滑に排気管6内に導くようになっている。
さて、上記のような構成において、下段のバーナ1によ
り堆積された多孔質ガラス体4は、中段、上段のバーナ
1により順次径を大きくし、多孔質ガラス体4の成長と
共に、上方l\引き上げられる。
り堆積された多孔質ガラス体4は、中段、上段のバーナ
1により順次径を大きくし、多孔質ガラス体4の成長と
共に、上方l\引き上げられる。
この過程で多孔質ガラス体4は図示のように排気管6に
設けた切欠き11.12内を通過しつつ成長する。この
ようにして大径の200 mmの多孔質ガラス体4を作
成した時の多孔質ガラス体まわりの流れをみると、第3
図に示すように、第2図(B)の例に比べて剥離がより
下流側で起っでいることがわかる。これは、排気管6内
に多孔質ガラス体4を位置させたために、多孔質ガラス
体4のまわりの流速が速くなったためである。本装置に
より、10時間にねたつ−CC多孔質ガス2体作製した
が反応容器の壁面に付着する余剰ガラス微粒子はほとん
どなかった。このように、本実施例では、多孔質ガラス
体が大型化した場合であっても余剰ガラス微粒子を効率
よく排出できる。
設けた切欠き11.12内を通過しつつ成長する。この
ようにして大径の200 mmの多孔質ガラス体4を作
成した時の多孔質ガラス体まわりの流れをみると、第3
図に示すように、第2図(B)の例に比べて剥離がより
下流側で起っでいることがわかる。これは、排気管6内
に多孔質ガラス体4を位置させたために、多孔質ガラス
体4のまわりの流速が速くなったためである。本装置に
より、10時間にねたつ−CC多孔質ガス2体作製した
が反応容器の壁面に付着する余剰ガラス微粒子はほとん
どなかった。このように、本実施例では、多孔質ガラス
体が大型化した場合であっても余剰ガラス微粒子を効率
よく排出できる。
上記実施例では、多数本のバーナで大型多孔質ガラス体
を作製した場合を説明したが、第4図に示すものは、′
1本のバーナで大型多孔質ガラス体を作製した実施例を
示す。第4図のものでは、排気管6の上面にのみ切欠き
21を設けて、多孔質ガラス体4の一部を取り囲むよう
にしたものである。この場合も第1図と同様、余剰ガラ
ス微粒子の排出は良好であった。また、第5図に示すよ
うに、排気管6に、多孔質ガラス体4が通過できるよう
な大きさの孔22を上面又は上面及び下面に開設した場
合でも第1図、第4図の実施例同様、良好な結果が得ら
れる。
を作製した場合を説明したが、第4図に示すものは、′
1本のバーナで大型多孔質ガラス体を作製した実施例を
示す。第4図のものでは、排気管6の上面にのみ切欠き
21を設けて、多孔質ガラス体4の一部を取り囲むよう
にしたものである。この場合も第1図と同様、余剰ガラ
ス微粒子の排出は良好であった。また、第5図に示すよ
うに、排気管6に、多孔質ガラス体4が通過できるよう
な大きさの孔22を上面又は上面及び下面に開設した場
合でも第1図、第4図の実施例同様、良好な結果が得ら
れる。
[発明の効果]
本発明によれば、多孔質ガラス体の外周を取り囲むよう
に、排気管の開口部をバーナの下流側から上流側に延出
し、余剰ガラス微粒子が排気管外へ逃げないようにした
ので、大径多孔質ガラス体の作製時であっても、余剰ガ
ラス微粒子の排出効率が大きく向上づる。その結果、反
応容器の壁面への余剰ガラス微粒子の付着堆積を無くす
ことができ、付着堆積層の剥離落下に起因する、光ファ
イバ母材中l\の不純物の混入及び気泡の混入を有効に
防止することができる。
に、排気管の開口部をバーナの下流側から上流側に延出
し、余剰ガラス微粒子が排気管外へ逃げないようにした
ので、大径多孔質ガラス体の作製時であっても、余剰ガ
ラス微粒子の排出効率が大きく向上づる。その結果、反
応容器の壁面への余剰ガラス微粒子の付着堆積を無くす
ことができ、付着堆積層の剥離落下に起因する、光ファ
イバ母材中l\の不純物の混入及び気泡の混入を有効に
防止することができる。
第1図は本発明による光ファイバ用多孔質ガラス体の製
造装置の一実施例を示す概略構成図、第2図は従来例の
多孔質ガラス体まわりの流れを示す説明図、第3図は本
発明の実施例における多孔質ガラス体まわりの流れを示
す説明図、第4図は本発明の伯の実施例を示す要部正面
図、第5図は本発明の更に別な実施例を示す要部平面図
、第6図は一般的な気相軸付法による装置例を示す概略
正面図、第7図は従来の多孔質ガラス体の製造装置の説
明図である。 図中、1はバーナ、2はガラス微粒子、4は多孔質ガラ
ス体、5は反応容器、6は排気管、10は開口部、11
’、12は切欠き、13は中間部、21は切欠き、22
は孔である。 第1図 第2図 第4図 第5図 第 7図
造装置の一実施例を示す概略構成図、第2図は従来例の
多孔質ガラス体まわりの流れを示す説明図、第3図は本
発明の実施例における多孔質ガラス体まわりの流れを示
す説明図、第4図は本発明の伯の実施例を示す要部正面
図、第5図は本発明の更に別な実施例を示す要部平面図
、第6図は一般的な気相軸付法による装置例を示す概略
正面図、第7図は従来の多孔質ガラス体の製造装置の説
明図である。 図中、1はバーナ、2はガラス微粒子、4は多孔質ガラ
ス体、5は反応容器、6は排気管、10は開口部、11
’、12は切欠き、13は中間部、21は切欠き、22
は孔である。 第1図 第2図 第4図 第5図 第 7図
Claims (5)
- (1)反応容器内でバーナにより生成されるガラス微粒
子を吹き付けて多孔質ガラス体を形成するガラス微粒子
の余剰分を、排気管より吸い込んで反応容器外へ排出す
る気相軸付法による光ファイバ用多孔質ガラス体の製造
装置において、上記多孔質ガラス体の外周を取り囲むよ
うに、上記排気管の開口部をバーナの下流側から上流側
に延出したことを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス
体の製造装置。 - (2)上記排気管はその開口部の上面に多孔質ガラス体
を排気管内に収めるための切欠きが設けられていること
を特徴とする上記特許請求の範囲第1項記載の光ファイ
バ用多孔質ガラス体の製造装置。 - (3)上記排気管はその開口部の上面と下面とに多孔質
ガラス体の中間部を排気管内に収めるための切欠きがそ
れぞれ設けられていることを特徴とする上記特許請求の
範囲第1項記載の光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装
置。 - (4)上記排気管はその開口部の上面に多孔質ガラス体
を排気管内に挿通するための孔が開設されていることを
特徴とする上記特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ
用多孔質ガラス体の製造装置。 - (5)上記排気管はその開口部の上面と下面とに多孔質
ガラス体の中間部を排気管内に貫通するための孔がそれ
ぞれ開設されていることを特徴とする上記特許請求の範
囲第1項記載の光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32376187A JPH01167251A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32376187A JPH01167251A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167251A true JPH01167251A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18158328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32376187A Pending JPH01167251A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01167251A (ja) |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP32376187A patent/JPH01167251A/ja active Pending
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