JPH092830A - ガラス母材の製造装置 - Google Patents
ガラス母材の製造装置Info
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- JPH092830A JPH092830A JP17794295A JP17794295A JPH092830A JP H092830 A JPH092830 A JP H092830A JP 17794295 A JP17794295 A JP 17794295A JP 17794295 A JP17794295 A JP 17794295A JP H092830 A JPH092830 A JP H092830A
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- glass
- rod
- chamber
- shaped member
- burner
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01406—Deposition reactors therefor
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 外付け法におけるガラス微粒子の付着効率を
高める装置を提供する。 【構成】 チャンバ内で外付け法によって光ファイバ母
材を製造する装置において、チャンバの上壁と下壁の間
隔をバーナ側から排気側に次第に狭まるようにするとと
もに、チャンバの上壁と下壁と棒状部材の周りに堆積さ
れたガラス微粒子体との間隔が棒状部材へのガラス微粒
子の堆積中、所定の値となるようにチャンバをバーナと
離れる方向に平行移動させる。これにより、チャンバの
上壁および下壁とガラス微粒子体との間をガス流が定常
状態で流れるため、バーナ炎はこのガス流によってガラ
ス微粒子体に押しつけられることとなり、炎がばたつい
たり、拡がることがなく、もって、ガラス微粒子の堆積
効率が高められる。
高める装置を提供する。 【構成】 チャンバ内で外付け法によって光ファイバ母
材を製造する装置において、チャンバの上壁と下壁の間
隔をバーナ側から排気側に次第に狭まるようにするとと
もに、チャンバの上壁と下壁と棒状部材の周りに堆積さ
れたガラス微粒子体との間隔が棒状部材へのガラス微粒
子の堆積中、所定の値となるようにチャンバをバーナと
離れる方向に平行移動させる。これにより、チャンバの
上壁および下壁とガラス微粒子体との間をガス流が定常
状態で流れるため、バーナ炎はこのガス流によってガラ
ス微粒子体に押しつけられることとなり、炎がばたつい
たり、拡がることがなく、もって、ガラス微粒子の堆積
効率が高められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ガラス母材の製造装
置に関するもので、特に、光ファイバ母材の製造に好適
に使用しうる製造装置を提供する。
置に関するもので、特に、光ファイバ母材の製造に好適
に使用しうる製造装置を提供する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ母材の製造方法としては、い
わゆる外付け法が知られている。この方法は、コアとな
る部分もしくはコアとクラッドの一部となる部分からな
る棒状部材の周りにバーナを用いて生成されるクラッド
となるガラス微粉末を付着堆積させる方法であり、その
装置としては、例えば図２に示す装置が挙げられる。図
２において、１は箱形のチャンバで、１ａ，１ｂは互い
に平行な上壁と下壁で、１ｃは前部の開口５を有する前
壁、１ｄは後部の開口６を有する後壁であり、両者すな
わち前壁と後壁の開口（仮想線で示す）はそれぞれ平行
に形成されている。また、石英ガラス棒はこれら開口
５，６と平行な軸を有し、その周りに回転するようにな
っており石英ガラスの棒状部材２を設けてある。３はチ
ャンバ１の前壁１ｃの開口５より軸に直交するように対
峙しているバーナで、燃焼ガス（酸素、水素、ＬＮＧ
等）と石英ガラス生成ガス（ＳｉＣｌ4 ) が供給され
る。火炎３ａ中で反応生成された石英ガラス微粉末は、
石英系ガラス棒２の周囲に付着堆積してガラス微粒子体
（クラッド）２ａを構成する。４はチャンバ１の後壁１
ｄの開口６に取付けられた排気管で、排気手段（図示せ
ず）と直結して未反応ガスや非付着ガラス微粉末を吸引
排気する。このように全体をチャンバで囲むのは、ガラ
ス原料ガスに前記のように塩素系ガスを用いているた
め、生成されるＨＣｌ等の有害ガスや未反応ガスおよび
非付着ガラス微粉末を周囲と隔離して効率よく吸引排気
するものである。
わゆる外付け法が知られている。この方法は、コアとな
る部分もしくはコアとクラッドの一部となる部分からな
る棒状部材の周りにバーナを用いて生成されるクラッド
となるガラス微粉末を付着堆積させる方法であり、その
装置としては、例えば図２に示す装置が挙げられる。図
２において、１は箱形のチャンバで、１ａ，１ｂは互い
に平行な上壁と下壁で、１ｃは前部の開口５を有する前
壁、１ｄは後部の開口６を有する後壁であり、両者すな
わち前壁と後壁の開口（仮想線で示す）はそれぞれ平行
に形成されている。また、石英ガラス棒はこれら開口
５，６と平行な軸を有し、その周りに回転するようにな
っており石英ガラスの棒状部材２を設けてある。３はチ
ャンバ１の前壁１ｃの開口５より軸に直交するように対
峙しているバーナで、燃焼ガス（酸素、水素、ＬＮＧ
等）と石英ガラス生成ガス（ＳｉＣｌ4 ) が供給され
る。火炎３ａ中で反応生成された石英ガラス微粉末は、
石英系ガラス棒２の周囲に付着堆積してガラス微粒子体
（クラッド）２ａを構成する。４はチャンバ１の後壁１
ｄの開口６に取付けられた排気管で、排気手段（図示せ
ず）と直結して未反応ガスや非付着ガラス微粉末を吸引
排気する。このように全体をチャンバで囲むのは、ガラ
ス原料ガスに前記のように塩素系ガスを用いているた
め、生成されるＨＣｌ等の有害ガスや未反応ガスおよび
非付着ガラス微粉末を周囲と隔離して効率よく吸引排気
するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバの製造コストを低減するために、大型の母材を作成
する要求が高まり、これへの代表的な対応手段として、
投入原料の供給量を多くすることによりガラス微粉末の
堆積速度を速めて製造時間を短縮することが提案されて
いる。ところが、単に投入原料ガスを増量しても、それ
に伴って排気量も増えるためにその処理能力を高めねば
ならず、結果として設備の増強となり、必ずしもコスト
ダウンとはならない。また、投入原料の量を増大させる
とバーナ炎の集束が困難となって、生成されるガラス微
粒子の堆積効率が必ずしも高まるというものでもない。
従って、投入原料の絶対量を増加させずに堆積効率を高
めることで堆積速度を向上させることが望まれている。
イバの製造コストを低減するために、大型の母材を作成
する要求が高まり、これへの代表的な対応手段として、
投入原料の供給量を多くすることによりガラス微粉末の
堆積速度を速めて製造時間を短縮することが提案されて
いる。ところが、単に投入原料ガスを増量しても、それ
に伴って排気量も増えるためにその処理能力を高めねば
ならず、結果として設備の増強となり、必ずしもコスト
ダウンとはならない。また、投入原料の量を増大させる
とバーナ炎の集束が困難となって、生成されるガラス微
粒子の堆積効率が必ずしも高まるというものでもない。
従って、投入原料の絶対量を増加させずに堆積効率を高
めることで堆積速度を向上させることが望まれている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、以上の観点
からなされたもので、その特徴とする請求項１記載の発
明は、全体として箱形でその前後に互いに平行な開口を
有するチャンバと、チャンバの開口の中間部の前記開口
面に平行な軸の周囲に回動自在に支持されたターゲット
となる棒状部材と、一方の開口側に前記棒状部材に直交
して対峙して設置されたガラス微粉末発生用バーナと、
他方の開口側に設けられた排気手段とを具備し、前記バ
ーナによって生成されるガラス微粉末を棒状部材の周囲
に付着堆積すると共に、非付着ガラス微粉末を排気手段
によって排出するようにしたガラス母材の製造装置にお
いて、チャンバの上壁及び下壁とは排気側開口に至るに
従い間隔が次第に小さくなるように傾斜（テーパー）が
付されており、かつ前記棒状部材に堆積されたガラス微
粉末の表面との最小距離が所定の大きさとなるように、
チャンバを棒状部材の軸と直交する方向に移動しうるよ
うに形成されていることを特徴とするガラス母材の製造
装置であり、その特徴とする請求項２記載の発明は、チ
ャンバの上壁及び下壁と、棒状部材の周囲に付着堆積さ
れたガラス微粉末の最小距離を５０〜１００ｍｍとした
ことにある。更に、その特徴とする請求項３記載の発明
は、棒状部材が少なくとも光ファイバのコアとなる部分
を含む石英系ガラスからなり、その周りに付着堆積され
るガラス微粉末が光ファイバのクラッドとなる石英系ガ
ラスからなることにある。
からなされたもので、その特徴とする請求項１記載の発
明は、全体として箱形でその前後に互いに平行な開口を
有するチャンバと、チャンバの開口の中間部の前記開口
面に平行な軸の周囲に回動自在に支持されたターゲット
となる棒状部材と、一方の開口側に前記棒状部材に直交
して対峙して設置されたガラス微粉末発生用バーナと、
他方の開口側に設けられた排気手段とを具備し、前記バ
ーナによって生成されるガラス微粉末を棒状部材の周囲
に付着堆積すると共に、非付着ガラス微粉末を排気手段
によって排出するようにしたガラス母材の製造装置にお
いて、チャンバの上壁及び下壁とは排気側開口に至るに
従い間隔が次第に小さくなるように傾斜（テーパー）が
付されており、かつ前記棒状部材に堆積されたガラス微
粉末の表面との最小距離が所定の大きさとなるように、
チャンバを棒状部材の軸と直交する方向に移動しうるよ
うに形成されていることを特徴とするガラス母材の製造
装置であり、その特徴とする請求項２記載の発明は、チ
ャンバの上壁及び下壁と、棒状部材の周囲に付着堆積さ
れたガラス微粉末の最小距離を５０〜１００ｍｍとした
ことにある。更に、その特徴とする請求項３記載の発明
は、棒状部材が少なくとも光ファイバのコアとなる部分
を含む石英系ガラスからなり、その周りに付着堆積され
るガラス微粉末が光ファイバのクラッドとなる石英系ガ
ラスからなることにある。
【０００５】
【作用】本発明は、上記の構成を有するので、光ファイ
バ母材を製造する過程で、チャンバ内を排気手段により
排気すると、チャンバ内の気流は、上壁および下壁とガ
ラス微粒子体の間の次第に小さくなった隙間を流れ、か
つその隙間すなわち上壁および下壁とガラス微粒子体の
間の最小距離が母材の製造中一定になるので、バーナの
炎はこの空間を流れる気流によりガラス微粒子体に常に
一定して押しつけられるので、ガラス微粒子の堆積効率
が向上する。
バ母材を製造する過程で、チャンバ内を排気手段により
排気すると、チャンバ内の気流は、上壁および下壁とガ
ラス微粒子体の間の次第に小さくなった隙間を流れ、か
つその隙間すなわち上壁および下壁とガラス微粒子体の
間の最小距離が母材の製造中一定になるので、バーナの
炎はこの空間を流れる気流によりガラス微粒子体に常に
一定して押しつけられるので、ガラス微粒子の堆積効率
が向上する。
【０００６】
【実施例】図１は、この発明方法の光ファイバ母材の製
造装置の概略説明図である。図１において、１０はチャ
ンバで、１０ａは上壁で１０ｂはその排気方向の傾斜部
である。また１２ａは下壁で１２ｂはその排気方向の傾
斜部である。さらに１０ｃは前方の壁で開口５（仮想線
で示す）を有している。この開口５にはガラス微粒子生
成用バーナ３が中央にあるガラス微粒子を堆積用の軸に
直角に設けられている。１０ｄは排気側の壁で開口６
（仮想線で示す）を有している。なお、排気側の開口６
には蛇腹４０ａを有する排気管４０が連結されている。
この排気管４０には図示してないが吸引排気装置が取付
けられている。なお、ｒは棒状部材２に付着堆積された
ガラス微粒子体２ａとチャンバ１０の上壁１２ａおよび
下壁１２ｂとの最小距離を示す。
造装置の概略説明図である。図１において、１０はチャ
ンバで、１０ａは上壁で１０ｂはその排気方向の傾斜部
である。また１２ａは下壁で１２ｂはその排気方向の傾
斜部である。さらに１０ｃは前方の壁で開口５（仮想線
で示す）を有している。この開口５にはガラス微粒子生
成用バーナ３が中央にあるガラス微粒子を堆積用の軸に
直角に設けられている。１０ｄは排気側の壁で開口６
（仮想線で示す）を有している。なお、排気側の開口６
には蛇腹４０ａを有する排気管４０が連結されている。
この排気管４０には図示してないが吸引排気装置が取付
けられている。なお、ｒは棒状部材２に付着堆積された
ガラス微粒子体２ａとチャンバ１０の上壁１２ａおよび
下壁１２ｂとの最小距離を示す。
【０００７】チャンバ１０は、棒状部材２に付着堆積さ
れるガラス微粒子の堆積量が増すにつれて矢印方向に移
動させ（図では右側）、棒状部材２もガラス微粒子体２
ａの径が増大するにつれて同方向に移動させる。その
際、チャンバ１０の移動速度を棒状部材２の速度を調製
することにより、丁度距離ｒは常に一定に保たれた状態
とする。これにより、上壁および下壁の傾斜部１０ｂお
よび１２ｂとガラス微粒子体２の間を流れるガス流の流
れが一定になってバーナ炎３ａがガラス微粒子体２ａに
押しつけられる状態となりガラス微粒子が効率良く堆積
される。なお、チャンバ１０の移動吸収は蛇腹４０ａの
伸縮によってなされる。また、棒状部材２を矢印方向に
移動させるのは、この移動によって棒状部材とバーナ２
との距離を一定に保つためである。実験によれば、距離
ｒは５０〜１００ｍｍ程度が好ましく、５０ｍｍ未満で
はバーナ炎のバタツキが見られ、ガラス微粒子の付着効
率が落ちる現象が生じた。その理由は距離ｒが狭過ぎる
とガス流に乱れが生じて、バーナ炎がガラス微粒子体２
ａ側に押さえつけにくくなるためと考えられる。また、
距離ｒが１００ｍｍをこえて大きいとガス流の速度が低
下するため付着効率が従来と余り変わらないことが判っ
た。
れるガラス微粒子の堆積量が増すにつれて矢印方向に移
動させ（図では右側）、棒状部材２もガラス微粒子体２
ａの径が増大するにつれて同方向に移動させる。その
際、チャンバ１０の移動速度を棒状部材２の速度を調製
することにより、丁度距離ｒは常に一定に保たれた状態
とする。これにより、上壁および下壁の傾斜部１０ｂお
よび１２ｂとガラス微粒子体２の間を流れるガス流の流
れが一定になってバーナ炎３ａがガラス微粒子体２ａに
押しつけられる状態となりガラス微粒子が効率良く堆積
される。なお、チャンバ１０の移動吸収は蛇腹４０ａの
伸縮によってなされる。また、棒状部材２を矢印方向に
移動させるのは、この移動によって棒状部材とバーナ２
との距離を一定に保つためである。実験によれば、距離
ｒは５０〜１００ｍｍ程度が好ましく、５０ｍｍ未満で
はバーナ炎のバタツキが見られ、ガラス微粒子の付着効
率が落ちる現象が生じた。その理由は距離ｒが狭過ぎる
とガス流に乱れが生じて、バーナ炎がガラス微粒子体２
ａ側に押さえつけにくくなるためと考えられる。また、
距離ｒが１００ｍｍをこえて大きいとガス流の速度が低
下するため付着効率が従来と余り変わらないことが判っ
た。
【０００８】具体例 棒状部材２として、２０ｍｍφ、長さ６００ｍｍのもの
を使用し、バーナに供給する原料ガスＳｉＣｌ4 ：４Ｓ
ＬＭ，酸素：２０ＳＬＭ，水素；４０ＳＬＭ、バーナと
棒状部材との距離１７０ｍｍ，チャンバの上壁および下
壁と棒状部材との最小距離ｒを８０ｍｍとして、これを
一定に維持しながら棒状部材の周りにＳｉＯ2 ガラス微
粒子を付着堆積させた。本発明では上記の条件下にＳｉ
Ｏ2 ガラス微粒子を３Ｋｇ付着させ、図２の従来法でも
同じくＳｉＯ2 ガラス微粒子を３Ｋｇ付着させてその付
着効率を比較したところ、従来の装置によるものは、上
記のＳｉＯ2 ガラス微粒子の３５％が付着したのに対
し、本発明の装置を用いた場合は４０％が付着し、本発
明によるものは明らかに付着効率が向上した。
を使用し、バーナに供給する原料ガスＳｉＣｌ4 ：４Ｓ
ＬＭ，酸素：２０ＳＬＭ，水素；４０ＳＬＭ、バーナと
棒状部材との距離１７０ｍｍ，チャンバの上壁および下
壁と棒状部材との最小距離ｒを８０ｍｍとして、これを
一定に維持しながら棒状部材の周りにＳｉＯ2 ガラス微
粒子を付着堆積させた。本発明では上記の条件下にＳｉ
Ｏ2 ガラス微粒子を３Ｋｇ付着させ、図２の従来法でも
同じくＳｉＯ2 ガラス微粒子を３Ｋｇ付着させてその付
着効率を比較したところ、従来の装置によるものは、上
記のＳｉＯ2 ガラス微粒子の３５％が付着したのに対
し、本発明の装置を用いた場合は４０％が付着し、本発
明によるものは明らかに付着効率が向上した。
【０００９】
【発明の効果】この発明は、以上のように棒状部材の周
りにガラス状微粒子を付着堆積させる装置において、チ
ャンバの上壁と下壁に後部の排気方向に向かう傾斜部を
設け、かつ、これら傾斜部と棒状部材の周りに付着堆積
されるガラス微粒子との間の最小距離が一定に保たれる
ようにチャンバが移動可能になされているので、上記上
下の壁の傾斜部とガラス微粒子体との間を流れるガス流
が常に一定の流速で流れるので、バーナの炎がガラス微
粒子側に押しつけられることとなり、これによってガラ
ス微粒子の棒状部材への付着効率を高めることができ
る。
りにガラス状微粒子を付着堆積させる装置において、チ
ャンバの上壁と下壁に後部の排気方向に向かう傾斜部を
設け、かつ、これら傾斜部と棒状部材の周りに付着堆積
されるガラス微粒子との間の最小距離が一定に保たれる
ようにチャンバが移動可能になされているので、上記上
下の壁の傾斜部とガラス微粒子体との間を流れるガス流
が常に一定の流速で流れるので、バーナの炎がガラス微
粒子側に押しつけられることとなり、これによってガラ
ス微粒子の棒状部材への付着効率を高めることができ
る。
【図１】この発明の一例を示す概略説明図。
【図２】従来の装置の概略説明図。
１ チャンバ １ａ 上壁 １ｂ 下壁 １ｃ 前壁 １ｄ 後壁 ２ 石英ガラス棒 ２ａ クラッド ３ バーナ ３ａ バーナ炎 ４ 排気管 ５ 前部開口 ６ 後部開口 １０ チャンバ １０ａ 上壁 １０ｂ 傾斜部 １０ｃ 前壁 １０ｄ 後壁 １２ａ 下壁 １２ｂ 傾斜部 ４０ 排気管 ４０ａ 蛇腹 ｒ 傾斜部とガラス微粒子体との最小距離
Claims (3)
- 【請求項１】 全体として箱形でその前後に互いに平行
な開口を有するチャンバと、チャンバの開口の中間部の
前記開口面に平行な軸の周囲に回動自在に支持されたタ
ーゲットとなる棒状部材と、一方の開口側に前記棒状部
材に直交して対峙して設置されたガラス微粉末発生用バ
ーナと、他方の開口側に設けられた排気手段とを具備
し、前記バーナによって生成されるガラス微粉末を棒状
部材の周囲に付着堆積すると共に、非付着ガラス微粉末
を排気手段によって排出するようにしたガラス母材の製
造装置において、チャンバの上壁及び下壁とは排気側開
口に至るに従い間隔が小さくなるように傾斜が付されて
おり、かつ前記棒状部材に堆積されたガラス微粉末の表
面との最小距離が所定の大きさとなるように、チャンバ
を棒状部材の軸と直交する方向に移動しうるように形成
されていることを特徴とするガラス母材の製造装置。 - 【請求項２】 チャンバの上壁及び下壁と、棒状部材の
周囲に付着堆積されたガラス微粉末体との最小距離が５
０〜１００ｍｍであることを特徴とする請求項１記載の
ガラス母材の製造装置。 - 【請求項３】 棒状部材が少なくとも光ファイバのコア
となる部分を含む石英系ガラスからなり、その周りに付
着堆積されるガラス微粉末が光ファイバのクラッドとな
る石英系ガラスからなる請求項１もしくは２記載のガラ
ス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17794295A JPH092830A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17794295A JPH092830A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | ガラス母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH092830A true JPH092830A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=16039774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17794295A Pending JPH092830A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH092830A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1270521A1 (en) * | 2000-05-09 | 2003-01-02 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and device for manufacturing a preform for optical fibres |
| WO2003000609A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| WO2003000608A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| CN117023971A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-11-10 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种用于ovd工艺的变截面沉积腔 |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP17794295A patent/JPH092830A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1270521A1 (en) * | 2000-05-09 | 2003-01-02 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and device for manufacturing a preform for optical fibres |
| WO2003000609A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| WO2003000608A1 (en) * | 2001-06-25 | 2003-01-03 | Pirelli & C. S.P.A. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| CN117023971A (zh) * | 2023-07-17 | 2023-11-10 | 长飞光纤光缆股份有限公司 | 一种用于ovd工艺的变截面沉积腔 |
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