JPH01167653A - 磁気式酸素計 - Google Patents
磁気式酸素計Info
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- JPH01167653A JPH01167653A JP32791687A JP32791687A JPH01167653A JP H01167653 A JPH01167653 A JP H01167653A JP 32791687 A JP32791687 A JP 32791687A JP 32791687 A JP32791687 A JP 32791687A JP H01167653 A JPH01167653 A JP H01167653A
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- Japan
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- gas
- purge gas
- bypass pipe
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、酸素ガスの磁気的性質を利用して測定ガス中
の酸素ガス濃度を検出する磁気式酸素計に関する。
の酸素ガス濃度を検出する磁気式酸素計に関する。
〈従来の技術〉
磁気式酸素計は、酸素ガスの磁化率が他のガスに比べて
非常に大きく、この性質を利用して測定ガス中の酸素濃
度を測定する分析計である４本件出願人は特願昭第６０
−１６１６０１号によって第５図に示す独特な磁気式酸
素計を提案した。
非常に大きく、この性質を利用して測定ガス中の酸素濃
度を測定する分析計である４本件出願人は特願昭第６０
−１６１６０１号によって第５図に示す独特な磁気式酸
素計を提案した。
図中、−点鎖線で囲んだ部分は検出部、２は変換部であ
る。ＳＣは検出部１に収容された測定セルで、このうち
１０１は測定室を形成する閉ループ状測定通路、１０２
．１０３は測定通路１０１の対称位置に設けられた測定
ガス３ｇ用の入口と出口、１０４は入口１０２と出口１
０３との中間部に設けられた、二つの円弧状測定通路部
分を接続するバイパス管、１０５このバイパス管の中央
に設けられたパージガスＰｇの導入口である。またバイ
パス管１０４と測定通路１ｏ１との接続部分Ａ、Ｂのう
ち一方の接続部分Ａには、例えば永久磁石を用いた磁界
（Ｍｆ）形成手段が設けられている。
る。ＳＣは検出部１に収容された測定セルで、このうち
１０１は測定室を形成する閉ループ状測定通路、１０２
．１０３は測定通路１０１の対称位置に設けられた測定
ガス３ｇ用の入口と出口、１０４は入口１０２と出口１
０３との中間部に設けられた、二つの円弧状測定通路部
分を接続するバイパス管、１０５このバイパス管の中央
に設けられたパージガスＰｇの導入口である。またバイ
パス管１０４と測定通路１ｏ１との接続部分Ａ、Ｂのう
ち一方の接続部分Ａには、例えば永久磁石を用いた磁界
（Ｍｆ）形成手段が設けられている。
１０６．１０７はバイパス管１０４においてパージガス
導入口１０５を挾んで対称位置に設けられたパージガス
流検出用測温抵抗センサで、例えばサーミスタ等、抵抗
値温度係数の大きなセンサが用いられる。
導入口１０５を挾んで対称位置に設けられたパージガス
流検出用測温抵抗センサで、例えばサーミスタ等、抵抗
値温度係数の大きなセンサが用いられる。
変換部２において、２０１．２０２はセンサ１０６．１
０７に夫々接続された温度制御回路、２０３はこれらの
出力の差をとる引算回路である。
０７に夫々接続された温度制御回路、２０３はこれらの
出力の差をとる引算回路である。
温度制御回路２０１，２０２はセンサ１０６゜１０７の
熱的応答の遅れを無くすためセンサの温度を一定に制御
する回路である。
熱的応答の遅れを無くすためセンサの温度を一定に制御
する回路である。
このような構成で、測定ガス３ｇ中に酸素ガスが含まれ
ていない場合、磁界Ｍｆへの酸素ガスの吸引はないから
、バイパス管１０４において接続部分Ａ及びＢに向かっ
て分流されるパージガスＱＬ、ＱＲ流速には変化はない
、一方、測定ガスＳｇに酸素ガスが含まれている場合、
磁界Ｍｆへの酸素ガスの吸引が起こり、矢印Ｑｏの酸素
ガスの流れが生じ、この結果、Ｑしの流速は減少し、Ｑ
Ｒの流速が増大する。
ていない場合、磁界Ｍｆへの酸素ガスの吸引はないから
、バイパス管１０４において接続部分Ａ及びＢに向かっ
て分流されるパージガスＱＬ、ＱＲ流速には変化はない
、一方、測定ガスＳｇに酸素ガスが含まれている場合、
磁界Ｍｆへの酸素ガスの吸引が起こり、矢印Ｑｏの酸素
ガスの流れが生じ、この結果、Ｑしの流速は減少し、Ｑ
Ｒの流速が増大する。
バイパス管１０４を分流するパージガスＱＬ。
ＱＲの流速の変化は測定ガス３ｇ中の酸素濃度に対応し
ており、測温抵抗センサ１０６，１０７の抵抗値変化か
らこれを検出する。尚、これらセンサの抵抗値はパージ
ガスＱＬ、ＱＲの流速に応じて変化するが温度制御回路
２０１，２０２から帰還が掛かり、センサ１０６．１０
７の電源電圧を変化させ、これらセンサの温度、即ち抵
抗値が一定になるように制御される。
ており、測温抵抗センサ１０６，１０７の抵抗値変化か
らこれを検出する。尚、これらセンサの抵抗値はパージ
ガスＱＬ、ＱＲの流速に応じて変化するが温度制御回路
２０１，２０２から帰還が掛かり、センサ１０６．１０
７の電源電圧を変化させ、これらセンサの温度、即ち抵
抗値が一定になるように制御される。
これら帰還信号の大きさは、パージガスＱ Ｌ＋ＱＲの
流速に対応しており、温度制御回路２０１゜２０２の出
力信号ｖ、、ｖＬとして引算回路２０３に与えられ、こ
の回路においてこれらの差がとられ、出力信号Ｖｏとし
て出力される。
流速に対応しており、温度制御回路２０１゜２０２の出
力信号ｖ、、ｖＬとして引算回路２０３に与えられ、こ
の回路においてこれらの差がとられ、出力信号Ｖｏとし
て出力される。
このような装置の場合、センサ１０６．１０７がパージ
ガスＱし、Ｑｐ、が常時流れている管路中に置かれてい
る為、信号分の大きな検出出力が得られる利点があり、
更に、引算回路２０３でセンサ１０６．１０７の検出出
力の差がとられるため、外部からの衝撃や振動に対し強
い利点がある。
ガスＱし、Ｑｐ、が常時流れている管路中に置かれてい
る為、信号分の大きな検出出力が得られる利点があり、
更に、引算回路２０３でセンサ１０６．１０７の検出出
力の差がとられるため、外部からの衝撃や振動に対し強
い利点がある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかしながら、センサ１０６，１０７の検出出力とパー
ジガスＱＬ、ＱＲの流ｊＬ（流速）とは非直線な関係に
あり、パージガスＱＬ、ＱＲの流量が変った場合に、単
純にセンサ１０６，１０７の検出出力の差をとっただけ
では測定誤差を引起、ユす。
ジガスＱＬ、ＱＲの流ｊＬ（流速）とは非直線な関係に
あり、パージガスＱＬ、ＱＲの流量が変った場合に、単
純にセンサ１０６，１０７の検出出力の差をとっただけ
では測定誤差を引起、ユす。
更に測定ガス３ｇ中にＨ２、Ｈｅガスが含まれている場
合、これらガスは他のガスに比べて拡散係数が大きく、
接続部分Ａ、ＢからのパージガスＰｇの流出に逆らって
バイパス管１０４内に入り込む、このようなガスの拡散
によりバイパス管１０４内には温度分布が発生し、セン
サ１０６゜１０７に熱的な影響を与えて出力誤差を発生
させる。
合、これらガスは他のガスに比べて拡散係数が大きく、
接続部分Ａ、ＢからのパージガスＰｇの流出に逆らって
バイパス管１０４内に入り込む、このようなガスの拡散
によりバイパス管１０４内には温度分布が発生し、セン
サ１０６゜１０７に熱的な影響を与えて出力誤差を発生
させる。
本発明において解決しようとする第１の技術的課題は、
前述の磁気式酸素において、前記センサの非直線特性の
影響が検出結果に現れないようにすることにあり、第２
の技術的課題は前記測定ガス中に含まれる拡散係数の大
きなガス成分の影響を受けないようにすることにある。
前述の磁気式酸素において、前記センサの非直線特性の
影響が検出結果に現れないようにすることにあり、第２
の技術的課題は前記測定ガス中に含まれる拡散係数の大
きなガス成分の影響を受けないようにすることにある。
く問題点を解決するための手段〉
本発明の第１の発明の横或は、前記磁気式ａ累計におい
て、前記一対のパージガス流検出用センサで検出された
二つの検出信号のゼロ誤差を補正し、ゼロ誤差が補正さ
れた二つの信号出力の夫々に対し前記センサの非直線補
正を施し、これら非直線補正された二つの信号出力の差
を取ることによって前記測定ガス中の酸素ガス濃度信号
を得るようにしたことにある。
て、前記一対のパージガス流検出用センサで検出された
二つの検出信号のゼロ誤差を補正し、ゼロ誤差が補正さ
れた二つの信号出力の夫々に対し前記センサの非直線補
正を施し、これら非直線補正された二つの信号出力の差
を取ることによって前記測定ガス中の酸素ガス濃度信号
を得るようにしたことにある。
本発明の第２の発明の構成は、前記パージガス導入口を
挾んで一対の絞りを設けて前記バイパス管内を流れるパ
ージガスの流速を高め、前記一対のパージガス流検出用
センサで検出された二つの検出信号のゼロ誤差を補正し
、ゼロ誤差が補正された二つの信号出力の夫々に対して
前記センサの非直線補正を施し、これら非直線補正され
た二つの信号出力の差を取ることによって前記測定ガス
中の酸素ガス濃度信号を得るようにしたことにある。
挾んで一対の絞りを設けて前記バイパス管内を流れるパ
ージガスの流速を高め、前記一対のパージガス流検出用
センサで検出された二つの検出信号のゼロ誤差を補正し
、ゼロ誤差が補正された二つの信号出力の夫々に対して
前記センサの非直線補正を施し、これら非直線補正され
た二つの信号出力の差を取ることによって前記測定ガス
中の酸素ガス濃度信号を得るようにしたことにある。
く作用〉
前記第１の発明は次のように作用する。即ち、先ず、前
記パージガス流量がゼロの状態で前記−対のセンサで検
出されるゼロ誤差信号を記憶し、次に、前記パージガス
を流した状態で検出を行い検出信号から前記ゼロ誤差信
号を差引き、ゼロ補償された信号出力を得る。
記パージガス流量がゼロの状態で前記−対のセンサで検
出されるゼロ誤差信号を記憶し、次に、前記パージガス
を流した状態で検出を行い検出信号から前記ゼロ誤差信
号を差引き、ゼロ補償された信号出力を得る。
前記パージガス流量と前記センサの検出信号との非直線
関係は予め分かっており、この非直線関係式に基づき非
直線補正演算を行い、これら非直線補正された信号の差
を取ることにより前記センサの非直線特性のｗ６８′を
受けないａ累ガス濃度信号を得る。
関係は予め分かっており、この非直線関係式に基づき非
直線補正演算を行い、これら非直線補正された信号の差
を取ることにより前記センサの非直線特性のｗ６８′を
受けないａ累ガス濃度信号を得る。
前記第２の発明は前記第１の発明の作用に加え、次のよ
うに作用する。即ち、前記測定ガスに含まれる拡散係数
の大きなガスは、前記閉ループ状測定通路との接続部分
から前記センサに向かって指数関数的な濃度分布を持ち
、前記センサ部分における拡散ガスの濃度は前記パージ
ガスの流速が大きい程低くなる。
うに作用する。即ち、前記測定ガスに含まれる拡散係数
の大きなガスは、前記閉ループ状測定通路との接続部分
から前記センサに向かって指数関数的な濃度分布を持ち
、前記センサ部分における拡散ガスの濃度は前記パージ
ガスの流速が大きい程低くなる。
本発明では、前記パージガス導入口を挾んで一対の絞り
を設け゛、前記パージガスの流速を大きくして前記セン
サ部分における拡散ガスの濃度を下げ、前記測定ガスの
組成の影響が測定結果に現れないようにしている。
を設け゛、前記パージガスの流速を大きくして前記セン
サ部分における拡散ガスの濃度を下げ、前記測定ガスの
組成の影響が測定結果に現れないようにしている。
〈実施例〉
以下図面に従い本発明の詳細な説明する。第１図は本発
明実施例装置の全体構成を示すブロック線図である。第
２図は本発明実施例装置における測定セルを示し、図（
ａ＞はその平面図、図（ｂ）は図（ａ）におけるＣ Ｄ
Ｆ、断面図である。
明実施例装置の全体構成を示すブロック線図である。第
２図は本発明実施例装置における測定セルを示し、図（
ａ＞はその平面図、図（ｂ）は図（ａ）におけるＣ Ｄ
Ｆ、断面図である。
これらの図中、第５図における要素と実質的に同じ要素
には同一符号を付しこれらについての説明は省略する。
には同一符号を付しこれらについての説明は省略する。
先ず、第１図において、検出部１は恒温槽になっており
、測定ガスＳｇはフィルタ１０８、絞り１０９を経て測
定セルＳＣに与えられる。パージガスＰｇはフィルタ１
１ｏ１キヤピラリ１１１を通り測定セルＳＣに与えられ
る。
、測定ガスＳｇはフィルタ１０８、絞り１０９を経て測
定セルＳＣに与えられる。パージガスＰｇはフィルタ１
１ｏ１キヤピラリ１１１を通り測定セルＳＣに与えられ
る。
１１２は磁界を発生させる磁石、１１３は検出回路、１
１４は温度検出素子、１１５はヒータである。
１４は温度検出素子、１１５はヒータである。
測定セルＳＣ部分について第２因に従い詳しく説明する
。測定セルＳＣは外側のリング１１６と内側のディスク
１１７の二つの部分かち構成されている。閉ループを形
成するリング状測定通路１０１はディスク１１７の外周
に設けられた溝をリング１１６で封止する形で形成され
ている。測定ガスＳｇの入口１０２と出口１０３とはデ
ィスク１１７の上面でリング状測定通路１０１より内側
になるように設けられている。磁石１１２はデ（イスク
１１７に埋め込まれている。１１８と１１９はバイパス
管１０４においてパージガス導入口１０５を挾んで対称
位置に設けられた絞りである。
。測定セルＳＣは外側のリング１１６と内側のディスク
１１７の二つの部分かち構成されている。閉ループを形
成するリング状測定通路１０１はディスク１１７の外周
に設けられた溝をリング１１６で封止する形で形成され
ている。測定ガスＳｇの入口１０２と出口１０３とはデ
ィスク１１７の上面でリング状測定通路１０１より内側
になるように設けられている。磁石１１２はデ（イスク
１１７に埋め込まれている。１１８と１１９はバイパス
管１０４においてパージガス導入口１０５を挾んで対称
位置に設けられた絞りである。
第１図に戻り、変換部２内において、２０４はマルチプ
レクサでここで選択された検出回路１１３の出力はＡ／
Ｄ変換回路２０５によりデジタル量に変換され、入・出
力ボート２０６を経てマイクロプロセッサ２０７に取り
こまれる。一方、温度検出素子１１°４で検出された信
号も検出回路１１３、Ａ／Ｄ変換回路２０５、入・出力
ボート２０６を経てマイクロプロセッサ２０７に取すこ
まれ、ヒータ駆動回路２０８に温度制御信号が与えられ
ヒータ１１５が駆動されて、温度制御される、尚、２０
９は演算プログラム等が格納されたＲＯＭ、２１０は表
示・キ一部、２１１は出力回路である。
レクサでここで選択された検出回路１１３の出力はＡ／
Ｄ変換回路２０５によりデジタル量に変換され、入・出
力ボート２０６を経てマイクロプロセッサ２０７に取り
こまれる。一方、温度検出素子１１°４で検出された信
号も検出回路１１３、Ａ／Ｄ変換回路２０５、入・出力
ボート２０６を経てマイクロプロセッサ２０７に取すこ
まれ、ヒータ駆動回路２０８に温度制御信号が与えられ
ヒータ１１５が駆動されて、温度制御される、尚、２０
９は演算プログラム等が格納されたＲＯＭ、２１０は表
示・キ一部、２１１は出力回路である。
次に、このように構成された装置の動作について説明を
行う４先ず、測定に先立ちパージガスＰｇがゼロの状態
でセンサ１０６．１０７によって検出を行い、このとき
の検出出力をゼロ誤差信号としてマイクロプロセッサ２
０６中に記憶させる６次いで、パージガスｐｇを流して
測定を行い、そのとき検出された検出信号から前記ゼロ
誤差信号を差引きゼロ補正を行う。
行う４先ず、測定に先立ちパージガスＰｇがゼロの状態
でセンサ１０６．１０７によって検出を行い、このとき
の検出出力をゼロ誤差信号としてマイクロプロセッサ２
０６中に記憶させる６次いで、パージガスｐｇを流して
測定を行い、そのとき検出された検出信号から前記ゼロ
誤差信号を差引きゼロ補正を行う。
パージガスＰｇの流量とセンサ１０６．１０７の検出出
力とは非直線の関係にあり、その関係は予め分かってい
る６例えば前記検出信号がパージガス流量に対し第３図
に示すような２乗特性を有しているような場合、 ＶＯ＝Ｋ（（ＶＲＶＲＯ）Ｉ／２ − （ＶＬ−Ｖｔｏ ）”ｌ−（１） なる演算を行い、センサ１０６．１０７の非直線特性の
影響を受けない酸素ガス濃度出力Ｖｏを得ている。
力とは非直線の関係にあり、その関係は予め分かってい
る６例えば前記検出信号がパージガス流量に対し第３図
に示すような２乗特性を有しているような場合、 ＶＯ＝Ｋ（（ＶＲＶＲＯ）Ｉ／２ − （ＶＬ−Ｖｔｏ ）”ｌ−（１） なる演算を行い、センサ１０６．１０７の非直線特性の
影響を受けない酸素ガス濃度出力Ｖｏを得ている。
（但し、ＶＬ：磁界側のセンサ１０６の検出出力、Ｖ＄
Ｉ：非磁界側のセンサ１０７の検出出力、ＶＬＯ：パー
ジガス流量がゼロのときの磁界側のセンサ１０６の検出
出力、■寂。：バージガス流量がゼロのときの非磁界側
のセンサ１０７の検出出力、Ｋ：定数） 一方、測定ガスＳｇに拡散係数の大きなＨ２＋Ｈｅガス
が含まれているとき、接続部分Ａ、ＢからパージガスＰ
ｇの流出に逆らってバイパス管１０４内にこれら拡散ガ
スは入り込む、この拡散ガスは接続部分Ａ、Ｂからセン
サ１０６，１０７に向かって指数関数的濃度分布を持ち
、センサ１０６．１０７部分において次式で示すような
濃度ＣＮ（χ）を持つ。
Ｉ：非磁界側のセンサ１０７の検出出力、ＶＬＯ：パー
ジガス流量がゼロのときの磁界側のセンサ１０６の検出
出力、■寂。：バージガス流量がゼロのときの非磁界側
のセンサ１０７の検出出力、Ｋ：定数） 一方、測定ガスＳｇに拡散係数の大きなＨ２＋Ｈｅガス
が含まれているとき、接続部分Ａ、ＢからパージガスＰ
ｇの流出に逆らってバイパス管１０４内にこれら拡散ガ
スは入り込む、この拡散ガスは接続部分Ａ、Ｂからセン
サ１０６，１０７に向かって指数関数的濃度分布を持ち
、センサ１０６．１０７部分において次式で示すような
濃度ＣＮ（χ）を持つ。
ＣＮ（χ）＝ＣＮＯ・
ｅｘｐ（（？Ｊ・χ）／ＤＴＬ＋
・・・（２）
（但し、ＣＮＯ：接続部分Ａ或はＢにおける拡散ガスの
濃度、Ｖ：パージガスＰｇの流速、χ：接綬部分Ａ、Ｂ
からセンサ１０６，１０７迄の距離、Ｄに拡散ガスの拡
散係数） この式から分るように、パージガスＰｇの流速Ｖを大き
くするか、或は接続部分Ａ、Ｂからセンサ１０６，１０
７迄の距離χを長くすれば、拡散の割合は指数的に小さ
くなる。
濃度、Ｖ：パージガスＰｇの流速、χ：接綬部分Ａ、Ｂ
からセンサ１０６，１０７迄の距離、Ｄに拡散ガスの拡
散係数） この式から分るように、パージガスＰｇの流速Ｖを大き
くするか、或は接続部分Ａ、Ｂからセンサ１０６，１０
７迄の距離χを長くすれば、拡散の割合は指数的に小さ
くなる。
χを長くする方法として、バイパス管１０４を直線的に
長くする方法はセルＳＣ全体が大きくなってしまうため
採用できない、バイパス管１０４を第４図に示すように
逆Ｓ字或はＳ字形に形成し管路長を稼ぐ方法が考えられ
るが、このような方法の場合管路抵抗が増え、加工が難
しくなる欠点がある。
長くする方法はセルＳＣ全体が大きくなってしまうため
採用できない、バイパス管１０４を第４図に示すように
逆Ｓ字或はＳ字形に形成し管路長を稼ぐ方法が考えられ
るが、このような方法の場合管路抵抗が増え、加工が難
しくなる欠点がある。
一方、Ｖを大きくする方法として、パージガスＰｇの流
量を増やす方法が考えられるが、パージガスの消費を早
めて得策ではない。
量を増やす方法が考えられるが、パージガスの消費を早
めて得策ではない。
本発明では、パージガス導入口１０５を挾んで一対の絞
り１１８．１１９を設け、これら絞り部でパージガスの
流速を上げ、拡散ガスの影響を小さくしている。
り１１８．１１９を設け、これら絞り部でパージガスの
流速を上げ、拡散ガスの影響を小さくしている。
〈発明の効果〉
本発明の第１の発明によれば、前述の磁気式酸素計にお
いて、前記センサの非直線特性の影響が検出結果に現れ
ない、また、本発明の第２の発明によれば、前記した効
果に加え、前記測定ガス中に含まれる前記拡散ガスの影
響が検出結果に現れない。
いて、前記センサの非直線特性の影響が検出結果に現れ
ない、また、本発明の第２の発明によれば、前記した効
果に加え、前記測定ガス中に含まれる前記拡散ガスの影
響が検出結果に現れない。
第１図は本発明実施例装置の全体構成を示すブロック線
図、第２図は本発明実施例装置における測定セルを示し
、図（ａ）はその平面図、図（ｂ）はその断面図、第３
図、第４図は本発明実施例装置を説明するための説明図
、第５図は従来装置の構成図である。 １：検出部、２：変換部、１０１：測定通路、１０２：
９定ガス用入口、１０３：測定ガス用出口、１０４：バ
イパス管、１０５：パージガス導入口、１０６，１０７
：センサ、１１２：磁石、１、１３ ：検出回路、１１
８，１１９：絞り、ＳＣ：測定セル、Ｍｆ：磁界、Ｓｇ
：測定ガス、Ｐｇ：パージガス、Ａ、Ｂ・・・接続部分 第２図 第３図 第４図 第５図 ノ
図、第２図は本発明実施例装置における測定セルを示し
、図（ａ）はその平面図、図（ｂ）はその断面図、第３
図、第４図は本発明実施例装置を説明するための説明図
、第５図は従来装置の構成図である。 １：検出部、２：変換部、１０１：測定通路、１０２：
９定ガス用入口、１０３：測定ガス用出口、１０４：バ
イパス管、１０５：パージガス導入口、１０６，１０７
：センサ、１１２：磁石、１、１３ ：検出回路、１１
８，１１９：絞り、ＳＣ：測定セル、Ｍｆ：磁界、Ｓｇ
：測定ガス、Ｐｇ：パージガス、Ａ、Ｂ・・・接続部分 第２図 第３図 第４図 第５図 ノ
Claims (2)
- （１）閉ループ状の測定通路の対称位置に測定ガス用入
口と出口とを設け、これら入口と出口の中間位置にバイ
パス管を接続し、このバイパス管の中央にパージガス導
入口を設けた測定室と、前記バイパス管と前記閉ループ
状測定通路の接続部分の一方に設けた磁界形成手段と、
前記バイパス管において前記パージガス導入口を挾んで
対称位置に設けた一対のパージガス流検出用の測温抵抗
センサと、これらセンサで検出された二つの検出信号に
ゼロ誤差補正を施し、ゼロ誤差が補正された二つの信号
に対し前記センサの非直線補正を施し、これら信号の差
を取つて出力する変換部とを具備する磁気式酸素計。 - （２）閉ループ状の測定通路の対称位置に測定ガス用入
口と出口とを設け、これら入口と出口の中間位置にバイ
パス管を接続し、このバイパス管の中央にパージガス導
入口を設けた測定室と、前記バイパス管と前記閉ループ
状測定通路の接続部分の一方に設けた磁界形成手段と、
前記バイパス管において前記パージガス導入口を挾んで
対称位置に設けた一対の絞りと、前記バイパス管におい
て前記パージガス導入口を挾んで対称位置に設けた一対
のパージガス流検出用の測温抵抗センサと、これらセン
サで検出された二つの検出信号にゼロ誤差補正を施し、
ゼロ誤差が補正された二つの信号に対し前記センサの非
直線補正を施し、これら信号の差を取って出力する変換
部とを具備する磁気式酸素計。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62327916A JPH0713626B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 磁気式酸素計 |
| US07/209,431 US4860574A (en) | 1987-06-29 | 1988-06-21 | Paramagnetic oxygen analyzer |
| DE3821979A DE3821979A1 (de) | 1987-06-29 | 1988-06-29 | Paramagnetischer sauerstoff-analysator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62327916A JPH0713626B2 (ja) | 1987-12-24 | 1987-12-24 | 磁気式酸素計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01167653A true JPH01167653A (ja) | 1989-07-03 |
| JPH0713626B2 JPH0713626B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=18204429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62327916A Expired - Lifetime JPH0713626B2 (ja) | 1987-06-29 | 1987-12-24 | 磁気式酸素計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713626B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3471776A (en) * | 1968-01-09 | 1969-10-07 | Hays Corp | Fluid bridge method and means of detecting gases having magnetic susceptibility |
| JPS4910280A (ja) * | 1972-05-25 | 1974-01-29 | ||
| JPS51144295A (en) * | 1975-05-23 | 1976-12-11 | Siemens Ag | Detecting apparatus for difference in magnetic susceptibility of two gases |
| JPS5312674A (en) * | 1976-07-22 | 1978-02-04 | Kishiyouchiyou Chiyoukan | Semiiconductor thermometer |
| JPS61144925A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Hitachi Ltd | 論理集積回路 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3302448A (en) | 1963-09-26 | 1967-02-07 | Honeywell Inc | Apparatus for supervising the proportion of a magnetically active component in a fluid |
-
1987
- 1987-12-24 JP JP62327916A patent/JPH0713626B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3471776A (en) * | 1968-01-09 | 1969-10-07 | Hays Corp | Fluid bridge method and means of detecting gases having magnetic susceptibility |
| JPS4910280A (ja) * | 1972-05-25 | 1974-01-29 | ||
| JPS51144295A (en) * | 1975-05-23 | 1976-12-11 | Siemens Ag | Detecting apparatus for difference in magnetic susceptibility of two gases |
| JPS5312674A (en) * | 1976-07-22 | 1978-02-04 | Kishiyouchiyou Chiyoukan | Semiiconductor thermometer |
| JPS61144925A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-02 | Hitachi Ltd | 論理集積回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713626B2 (ja) | 1995-02-15 |
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