JPH01167731A - 液晶表示パネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は液晶表示パネルを用いた装置に係わり、特に非
常に狭小で、かつ均一な間隙の保持が高制度で要求され
る表示パネル例えば強誘電性液晶パネルに関する。また
、液晶表示パネル以外の薄型パネルへの適用も可能であ
る。

〈従来技術〉 液晶表示パネルにおいて、均一なパネル間隙の保持は、
表示品質上重要である。特に強誘電性液晶においては、
液晶の応答特性がパネル間隙に大きく依存するため、高
制度での均一な間隙保持が要求される。

間隙保持の手段としては、ビーズ、ファイバー等ギャッ
プ材の散布による方法とスクリーン印刷。

フォトリソグラフィー法を用いてスペーサーを形成する
方法等があるが、前者では粒径を、後者では基板貼り合
せ前のスペーサー高さをパネル形成後のパネル間隙に適
用していることが多い。

パネル形成後、光学的な干渉縞によりパネル間隙を求め
ることも出来るが、パネル間隙が２μｍ以下の場合は、
干渉縞のピーク間隔が広がり、かつブロードとなるため
に、測定が困難あるいは不可能となる。従って、原理的
にパネルの間隙を狭くする必要がある強誘電性液晶に対
応するパネルのパネル成形後のパネル間隙は、実測され
ていないのが現状である。

〈発明の目的〉 本発明は、パネル形成後のパネル間隙、特に２５ｍ以下
の狭小なパネル間隙を正確にモニターすることを目的と
している。

〈発明の構成〉 すなわち本発明は、画素近傍にパネル間隙測定用の対電
極部を少なくとも１個設け、その静電容量より、パネル
間隙を求める。あるいは、光学的な干渉縞により得られ
るパネル間隙とその静電容量との較正曲線を作成し、パ
ネル間隙を決定する。

電極上に配向膜や絶縁膜等の誘電体が形成されている場
合には、各薄膜の厚さ、比誘電率が既知であれば、それ
らの静電容量を考慮して上述の較正曲線を補正すればよ
いし、あるいは同一条件で薄膜を形成し、種々の間隙を
有する試料を作成し、改めて光学的な間隙測定とその静
電容量を測定し、新たに較正曲線を求めてもよい。

このようにして得られた較正曲線を用いて、実際のパネ
ルに設けられたパネル間隙測定用電極間の静電容量測定
から、パネル成形後のパネル間隙を求める。

く作用〉 パネル間隙測定用の電極を設けることにより、その静電
容量の測定から、非常に簡便かつ確実にパネル間隙をモ
ニターすることが出来る。特にパネル間隙が２μｍ以下
のパネルにおいて有効な手段である。

〈発明の効果〉 本発明は、以上のようなものであり、本発明によれば、
第一に、非常に簡便な方法でパネル間隙のモニターが出
来る。

第二に、パネル成形後のパネル間隙がモニターできるた
め、パネル間隙依存性の高い特性に適合したパネルを作
成する際、有効なデータを得られる。

第三に、特に２μｍ以下の非常に狭小なパネル間隙の測
定が可能になる。

〈実施例〉 パネルの作成方法について以下に図面に基づいて説明す
る。

（１）ガラス基板（１）、　（２１上に透明導電膜（Ｉ
ＴＯ）をスパッタリングにより形成し、通常のフォトリ
ソグラフィー、エツチングの手法に従い、画素電極（６
）および、パネル間隙測定用の電極（３）をバターニン
グする。

（ｉｉ）　ガラス基板（１）上にスパッタリングにより
絶縁膜（ＳｉＯｚ）（８）を設け、さらにその上に配向
膜（ポリイミド）（７）をスピンコードし、ラビングに
より一軸配向処理を施す。

（ｉｉｉ）　ガラス基板（２）上に、ポジ型フォトレジ
ストをスピンコードシ、シール部（４）及びスペーサー
（５）を通常のフォトリソグラフィーの手法に従い形成
する。

（ｉｖ）　　（ｉｉ）及び（ｉｉｉ　）で形成されたガ
ラス基板（１１，（２１を加熱圧着しパネル化する。

以上のようにして得られた本発明液晶表示パネルの一実
施例を第１図に示す、第２図は、要部断面図である。図
によれば（６）の近傍に、パネル間隙測定用の電極（３
）が設けである。

第３図は、を学的な干渉縞の測定より得られた間隙と、
その静電容量との関係を示したものである。

図中のプロットは種々の間隙を有する試料をあらかじめ
作成し、それぞれについて紫外・可視域分光器を用いて
干渉縞を検出しく検出例を第４図に示す）、下式を用い
て間隙を求めその静電容量を示したものである。

２ｎ（λ１−λ２） ここでｄはパネル間隙、λ１．ス、は隣合・う干渉縞の
ピークの波長（λ１〉λ２）、ｎは屈折率（ｎａｉｒ＝
１とする）である。このようにして得られた較正曲線を
用い゛ることによりパネル間隙測定用電極間の静電容量
測定で、非常に簡便に、かつ狭小のパネル間隙をモニタ
ーすることができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の液晶表示パネルの一実施例を示す要
部平面図であり、第２図は同じく要部断面図である。 第３図はパネル間隙（の逆数）と静電容量から導かれた
較正曲線の一例を示すグラフ図である。 第４図は、光学的な干渉縞の検出例を示すグラフ図であ
る。 １．２□ガラス基板 ３□パネル間隙測定要電極 ４□シ一ル部 ５□スペーサー ６□画素電極 ７□配向膜 ８□絶縁膜

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも透明電極パターンを有する透明基板を対
   向させた、１組の透明パネルにおいて、非画素部にパネ
   ル間隙測定用の対電極部を少なくとも１個設けたことを
   特徴とする液晶表示パネル。
2. （２）パネル間隙測定用電極間の静電容量測定からパネ
   ル間隙を導くか、あるいは、光学的な干渉縞より得られ
   る間隙とその静電容量との較正曲線からパネル間隙を導
   く特許請求の範囲第１項に記載の液晶表示パネル。
3. （３）パネル間隙が略２μｍあるいはそれより小である
   特許請求の範囲第１項に記載の液晶表示パネル。