JPH01168855A - 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 - Google Patents
金属膜を含む反射防止膜付着透明板Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
[従来の技術]
従来、光を吸収する金属層を仔する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が3
0%〜80%となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭62−58202で公知である。
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が3
0%〜80%となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭62−58202で公知である。
この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、このような金属層を打する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約1%程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をCRT等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.8%程度にま
でしか下げることができなかった。
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約1%程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をCRT等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.8%程度にま
でしか下げることができなかった。
[問題を解決するための手段]
この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.4
0〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が1.37〜1.50の屈折率で、0.30×λO/
4〜1.IO×λ0/4(但しλOは中心波長、以下同
じ)の光学膜厚の第1の低屈折率誘電体層と、2.00
〜2゜40の屈折率で、0.02×λO/4〜0.25
×λ0/4の第1の高屈折率融電体層と、40A〜80
Aのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケルクロム合金、及ヒステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、2.00〜2.40の屈
折率で、0.40×λ0/4〜0.90×λ0/4の第
1の高屈折率融電体層と、1.37〜1.50の屈折率
で、1.03×λ0/4〜1.15×λ0/4の第2の
低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明基板表面
から順次形成されてなる。
0〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が1.37〜1.50の屈折率で、0.30×λO/
4〜1.IO×λ0/4(但しλOは中心波長、以下同
じ)の光学膜厚の第1の低屈折率誘電体層と、2.00
〜2゜40の屈折率で、0.02×λO/4〜0.25
×λ0/4の第1の高屈折率融電体層と、40A〜80
Aのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケルクロム合金、及ヒステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、2.00〜2.40の屈
折率で、0.40×λ0/4〜0.90×λ0/4の第
1の高屈折率融電体層と、1.37〜1.50の屈折率
で、1.03×λ0/4〜1.15×λ0/4の第2の
低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明基板表面
から順次形成されてなる。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において前記第1及び第2゛の高屈折率誘
電層として、酸化チタン(Ti02)、酸化タンタル(
Ta205 ) 、酸化ジルコニウム(Z r 02
) 、チタン酸プラセオジム(PrTiO3)、酸化ハ
フニウム(Hf02)、硫化亜鉛(2! n S )
、酸化スズ(Sn02)、酸化インジウム(In203
)、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(ITO
)のいずれかを用いることができる。
電層として、酸化チタン(Ti02)、酸化タンタル(
Ta205 ) 、酸化ジルコニウム(Z r 02
) 、チタン酸プラセオジム(PrTiO3)、酸化ハ
フニウム(Hf02)、硫化亜鉛(2! n S )
、酸化スズ(Sn02)、酸化インジウム(In203
)、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(ITO
)のいずれかを用いることができる。
酸化インジウムと酸化スズとの混合物としては酸化イン
ジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを
用いるのが好ましい。
ジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを
用いるのが好ましい。
更にまた、本発明において前記第1及び第2の低屈折率
誘電体層としてフッ化マグネシウム(MgF2)、また
は酸化シリコン(Si02)のいずれかを用いることが
できる。
誘電体層としてフッ化マグネシウム(MgF2)、また
は酸化シリコン(Si02)のいずれかを用いることが
できる。
[作 用]
このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
[実施例1]
以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第1図において、1は屈折率が1.51のガラス板であ
って、ガラス板1の表面に反射防止膜7が形成されてい
る。反射防止膜7はガラス板1の表面から順次屈折率が
1.37で、光学膜厚が0.3388×λ0/4(但し
λO=504nm1以下同じ)のフッ化マグネシウム層
2と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.1842×
λ0/4の酸化チタン層3と、膜厚が68λのステンレ
ス(72重量%のニッケルと、16重量%のクロムと、
8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が2.40で、
光学膜厚が0.7355×λO/4の酸化チタン層5と
、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.0402×λ0
/4のフッ化マグネシウム層6とからなり、各層はガラ
ス板1面上に順次真空蒸着法を用いて形成された。
って、ガラス板1の表面に反射防止膜7が形成されてい
る。反射防止膜7はガラス板1の表面から順次屈折率が
1.37で、光学膜厚が0.3388×λ0/4(但し
λO=504nm1以下同じ)のフッ化マグネシウム層
2と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.1842×
λ0/4の酸化チタン層3と、膜厚が68λのステンレ
ス(72重量%のニッケルと、16重量%のクロムと、
8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が2.40で、
光学膜厚が0.7355×λO/4の酸化チタン層5と
、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.0402×λ0
/4のフッ化マグネシウム層6とからなり、各層はガラ
ス板1面上に順次真空蒸着法を用いて形成された。
反射防止膜7を形成したガラス板1のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を存する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第2図に、透過率特性を第3図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第1表に夫々示した。
スと同じ程度の屈折率を存する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第2図に、透過率特性を第3図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第1表に夫々示した。
第1表
なお、従来例においては視感度反射率が0.65%、視
感度透過率が80%のものしか得られなかった。
感度透過率が80%のものしか得られなかった。
[実施例2]
第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜7として以下の多層膜を用いた。
であって、反射防止膜7として以下の多層膜を用いた。
すなわち、反射防止膜7は屈折率が1.46で、光学膜
厚が0.4045×λO/4の酸化シリコン層2と、屈
折率が2.40で、光学膜厚が0゜1729×λ0/4
の酸化チタン層3と、膜厚が57Aのニッケル・クロム
合金(90重量%のニッケルと10重量%のクロム合金
)層4と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.725
1×λ0/4の酸化チタン層5と、屈折率が1.46で
、光学膜厚が1.0451×λ0/4の酸化シリコン層
6とからなり、これらの層はガラス板1上に順次スパッ
タ法により形成された。
厚が0.4045×λO/4の酸化シリコン層2と、屈
折率が2.40で、光学膜厚が0゜1729×λ0/4
の酸化チタン層3と、膜厚が57Aのニッケル・クロム
合金(90重量%のニッケルと10重量%のクロム合金
)層4と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.725
1×λ0/4の酸化チタン層5と、屈折率が1.46で
、光学膜厚が1.0451×λ0/4の酸化シリコン層
6とからなり、これらの層はガラス板1上に順次スパッ
タ法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり視感度反射率が0.12%、視感度透過率
が55%であった。
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり視感度反射率が0.12%、視感度透過率
が55%であった。
[実施例3]
第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止M7として以下の多層膜を用いた。
であって、反射防止M7として以下の多層膜を用いた。
すなわち、反射防止膜7は屈折率が1.37で、光学膜
厚が0.4153×λO/4のフッ化マグネシウム層2
と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.2031×λ
O/4のチタン酸プラセオジウム層と、膜厚が49Aの
ステンレス合金(72重量%のニッケルと16重量%の
クロムと8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が1.
37で、光学膜厚が1.0284xλO/4のフッ化マ
グネシウム層6とからなり、これらの層はガラス板上に
順次真空蒸着法により形成された。
厚が0.4153×λO/4のフッ化マグネシウム層2
と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.2031×λ
O/4のチタン酸プラセオジウム層と、膜厚が49Aの
ステンレス合金(72重量%のニッケルと16重量%の
クロムと8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が1.
37で、光学膜厚が1.0284xλO/4のフッ化マ
グネシウム層6とからなり、これらの層はガラス板上に
順次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり、視感度反射率が0゜07%、視感度透過
率が60%であった。
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり、視感度反射率が0゜07%、視感度透過
率が60%であった。
[発明の効果]
以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
視感度反射率をきわめて小さくすることができる。
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
視感度反射率をきわめて小さくすることができる。
従って、CRTの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金属によりCRTの蛍光面に入射する光
が吸収されてフントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
属層、または合金属によりCRTの蛍光面に入射する光
が吸収されてフントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第1図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第2図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第3図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第1の低屈折率誘電体層、3:第1の
高屈折率融電体層 4:金属層または合金層 5:第2の低屈折率誘電体層 6:第2の高屈折率融電体層、7:反射防止膜第1因
射防止膜付着透明板の断面図、第2図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第3図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第1の低屈折率誘電体層、3:第1の
高屈折率融電体層 4:金属層または合金層 5:第2の低屈折率誘電体層 6:第2の高屈折率融電体層、7:反射防止膜第1因
Claims (3)
- (1)屈折率が1.40〜1.70の透明基板の表面に
光の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板
において、該反射防止膜が1.37〜1.50の屈折率
で、0.30×λ_0/4〜1.10×λ_0/4(但
しλ_0は中心波長、以下同じ)の光学膜厚の第1の低
屈折率誘電体層と、2.00〜2.40の屈折率で、0
.02×λ_0/4〜0.25×λ_0/4の第1の高
屈折率融電体層と、40Å〜80Åのチタン、クロム、
ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケルクロム
合金、及びステンレスのいずれか一つの金属層または合
金層と、2.00〜2.40の屈折率で、0.40×λ
_0/4〜0.90×λ_0/4の第1の高屈折率誘電
体層と、1.37〜1.50の屈折率で、1.03×λ
_0/4〜1.15×λ_0/4の第2の低屈折率誘電
体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
されてなる金属膜を含む反射防止膜付着透明板。 - (2)前記第1及び第2の高屈折率誘電体層が酸化チタ
ン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセ
オジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化イ
ンジウム、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(
ITO)のいずれかである特許請求の範囲第1項に記載
の金属膜を含む反射防止膜付着透明板。 - (3)前記第1及び第2の低屈折率誘電体層がフッ化マ
グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
請求の範囲第1項または第2項に記載の金属膜を含む反
射防止膜付着透明板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62325721A JPH01168855A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62325721A JPH01168855A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168855A true JPH01168855A (ja) | 1989-07-04 |
Family
ID=18179945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62325721A Pending JPH01168855A (ja) | 1987-12-23 | 1987-12-23 | 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01168855A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5359672A (en) * | 1990-06-13 | 1994-10-25 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Line detecting method using two rectangular windows passing through the line to be detected |
| JPH1164603A (ja) * | 1997-08-18 | 1999-03-05 | Dainippon Printing Co Ltd | 反射防止膜と反射防止膜付き基材、および該反射防止膜付き基材を用いたプラズマディスプレイパネル前面板 |
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| WO2003040782A1 (fr) * | 2001-11-06 | 2003-05-15 | Sony Corporation | Dispositif d'affichage et substrat antireflet |
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| CN113880452A (zh) * | 2021-09-29 | 2022-01-04 | 中建材科创新技术研究院(山东)有限公司 | 一种彩色玻璃及其制备方法和应用 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54134451A (en) * | 1978-04-11 | 1979-10-18 | Mamiya Camera | Multilayer reflection preventive film |
| JPS6149387A (ja) * | 1984-08-13 | 1986-03-11 | ジーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 複数の絶縁された導線のための接続装置 |
-
1987
- 1987-12-23 JP JP62325721A patent/JPH01168855A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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