JPH01168855A - 金属膜を含む反射防止膜付着透明板 - Google Patents

金属膜を含む反射防止膜付着透明板

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JPH01168855A
JPH01168855A JP62325721A JP32572187A JPH01168855A JP H01168855 A JPH01168855 A JP H01168855A JP 62325721 A JP62325721 A JP 62325721A JP 32572187 A JP32572187 A JP 32572187A JP H01168855 A JPH01168855 A JP H01168855A
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refractive
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oxide
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Masahiro Ikadai
正博 筏井
Yoshiyuki Hanada
良幸 花田
Masatoshi Maeda
真寿 前田
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Nippon Sheet Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ 本発明は、透明基板の光の反射を低減する反射防止膜付
着透明板、特に光を吸収する金属層、または金属合金層
を有する多層反射防止膜付着透明板に関する。
[従来の技術] 従来、光を吸収する金属層を仔する多層反射防止膜付着
透明板として、透明基板の一方の面に誘電体のみからな
る多層反射防止膜を形成し、もう一方の面に透過率が3
0%〜80%となるような厚みの光吸収のある金属層を
形成したものが特開昭62−58202で公知である。
この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板は多層反
射防止膜により透明板の反射率を下げると共に金属層に
より光を吸収して透明基板の透過率を調整しようとする
ものである。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、このような金属層を打する多層反射防止
膜付着透明板は透明基板表面に付着した多層反射防止膜
により、その表面反射は極めて小さくすることができる
が、透明基体のもう一方の面と金属層との界面の反射等
により、該透明板全体の反射率を約1%程度にしか低下
できず、この金属層を有する多層反射防止膜付着透明板
をCRT等のガラス製デイスプレィに貼付けて使用する
場合でも、その全体の視感度反射率を0.8%程度にま
でしか下げることができなかった。
[問題を解決するための手段] この発明は、このような従来の問題点を解決すべくなさ
れたもので有り、透明板全体の反射率を極めて小さくし
た反射防止膜付着透明板を提供することを目的としたも
のである。
この目的を達成するために、この発明は屈折率が1.4
0〜1.70の透明基板の表面に光の反射を防止するた
めの反射防止膜を付着した透明板において、該反射防止
膜が1.37〜1.50の屈折率で、0.30×λO/
4〜1.IO×λ0/4(但しλOは中心波長、以下同
じ)の光学膜厚の第1の低屈折率誘電体層と、2.00
〜2゜40の屈折率で、0.02×λO/4〜0.25
×λ0/4の第1の高屈折率融電体層と、40A〜80
Aのチタン、クロム、ジルコニウム、モリブデン、ニッ
ケル、ニッケルクロム合金、及ヒステンレスのいずれか
一つの金属層または合金層と、2.00〜2.40の屈
折率で、0.40×λ0/4〜0.90×λ0/4の第
1の高屈折率融電体層と、1.37〜1.50の屈折率
で、1.03×λ0/4〜1.15×λ0/4の第2の
低屈折率誘電体層とからなり、該各層が該透明基板表面
から順次形成されてなる。
本発明において、屈折率が1.40〜1.70の透明基
板としては通常ガラス板、または合成樹脂板が用いられ
る。合成樹脂板としてはアクリル樹脂板、ポリカーボネ
イト樹脂板、またはポリスチレン樹脂板が好んで用いら
れる。
また、本発明において前記第1及び第2゛の高屈折率誘
電層として、酸化チタン(Ti02)、酸化タンタル(
Ta205 ) 、酸化ジルコニウム(Z r 02 
) 、チタン酸プラセオジム(PrTiO3)、酸化ハ
フニウム(Hf02)、硫化亜鉛(2! n S ) 
、酸化スズ(Sn02)、酸化インジウム(In203
)、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(ITO
)のいずれかを用いることができる。
酸化インジウムと酸化スズとの混合物としては酸化イン
ジウムと酸化スズとの重量比が95:5の割合のものを
用いるのが好ましい。
更にまた、本発明において前記第1及び第2の低屈折率
誘電体層としてフッ化マグネシウム(MgF2)、また
は酸化シリコン(Si02)のいずれかを用いることが
できる。
[作 用] このような反射防止膜中に光吸収のある金属層または合
金層を組入れた本発明においては透明板に入射する光は
無論、透明板の裏面での反射光がこの金属層、または合
金層で吸収減衰されるため、反射防止膜付着透明板全体
の反射光は小さくなる。
[実施例1] 以下、本発明の実施例を図面を引用して説明する。
第1図において、1は屈折率が1.51のガラス板であ
って、ガラス板1の表面に反射防止膜7が形成されてい
る。反射防止膜7はガラス板1の表面から順次屈折率が
1.37で、光学膜厚が0.3388×λ0/4(但し
λO=504nm1以下同じ)のフッ化マグネシウム層
2と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.1842×
λ0/4の酸化チタン層3と、膜厚が68λのステンレ
ス(72重量%のニッケルと、16重量%のクロムと、
8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が2.40で、
光学膜厚が0.7355×λO/4の酸化チタン層5と
、屈折率が1.37で、光学膜厚が1.0402×λ0
/4のフッ化マグネシウム層6とからなり、各層はガラ
ス板1面上に順次真空蒸着法を用いて形成された。
反射防止膜7を形成したガラス板1のガラス面側をガラ
スと同じ程度の屈折率を存する接着剤を用いて、CRT
のフェースプレートに接着してガラス面側の反射をなく
した。このときの反射防止膜付着ガラス板の反射特性を
第2図に、透過率特性を第3図に、視感度反射率及び視
感度透過率を第1表に夫々示した。
第1表 なお、従来例においては視感度反射率が0.65%、視
感度透過率が80%のものしか得られなかった。
[実施例2] 第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止膜7として以下の多層膜を用いた。
すなわち、反射防止膜7は屈折率が1.46で、光学膜
厚が0.4045×λO/4の酸化シリコン層2と、屈
折率が2.40で、光学膜厚が0゜1729×λ0/4
の酸化チタン層3と、膜厚が57Aのニッケル・クロム
合金(90重量%のニッケルと10重量%のクロム合金
)層4と、屈折率が2.40で、光学膜厚が0.725
1×λ0/4の酸化チタン層5と、屈折率が1.46で
、光学膜厚が1.0451×λ0/4の酸化シリコン層
6とからなり、これらの層はガラス板1上に順次スパッ
タ法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり視感度反射率が0.12%、視感度透過率
が55%であった。
[実施例3] 第1図に示したと同様な構成の反射防止膜付着ガラス板
であって、反射防止M7として以下の多層膜を用いた。
すなわち、反射防止膜7は屈折率が1.37で、光学膜
厚が0.4153×λO/4のフッ化マグネシウム層2
と、屈折率が2.15で、光学膜厚が0.2031×λ
O/4のチタン酸プラセオジウム層と、膜厚が49Aの
ステンレス合金(72重量%のニッケルと16重量%の
クロムと8重量%の鉄との合金)層4と、屈折率が1.
37で、光学膜厚が1.0284xλO/4のフッ化マ
グネシウム層6とからなり、これらの層はガラス板上に
順次真空蒸着法により形成された。
このようにして得られた反射防止膜付着ガラス板を実施
例1と同様にして光学特性を測定したところ、第1表に
示したとおり、視感度反射率が0゜07%、視感度透過
率が60%であった。
[発明の効果] 以上のように本発明の反射防止膜付着透明板は反射防止
膜中に光吸収のある金属層、または合金層を組入れるこ
とにより、CRT等の反射防止板として使用した場合に
視感度反射率をきわめて小さくすることができる。
従って、CRTの画面が見やすくなり、更に光吸収の金
属層、または合金属によりCRTの蛍光面に入射する光
が吸収されてフントラストがよくなる。また前記金属層
または合金層をアースすることにより、前記透明板に帯
電防止機能を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示すものであって、第1図は反
射防止膜付着透明板の断面図、第2図は反射防止膜付着
透明板の反射特性、第3図はその透過率特性である。 1:透明板、2:第1の低屈折率誘電体層、3:第1の
高屈折率融電体層 4:金属層または合金層 5:第2の低屈折率誘電体層 6:第2の高屈折率融電体層、7:反射防止膜第1因

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)屈折率が1.40〜1.70の透明基板の表面に
    光の反射を防止するための反射防止膜を付着した透明板
    において、該反射防止膜が1.37〜1.50の屈折率
    で、0.30×λ_0/4〜1.10×λ_0/4(但
    しλ_0は中心波長、以下同じ)の光学膜厚の第1の低
    屈折率誘電体層と、2.00〜2.40の屈折率で、0
    .02×λ_0/4〜0.25×λ_0/4の第1の高
    屈折率融電体層と、40Å〜80Åのチタン、クロム、
    ジルコニウム、モリブデン、ニッケル、ニッケルクロム
    合金、及びステンレスのいずれか一つの金属層または合
    金層と、2.00〜2.40の屈折率で、0.40×λ
    _0/4〜0.90×λ_0/4の第1の高屈折率誘電
    体層と、1.37〜1.50の屈折率で、1.03×λ
    _0/4〜1.15×λ_0/4の第2の低屈折率誘電
    体層とからなり、該各層が該透明基板表面から順次形成
    されてなる金属膜を含む反射防止膜付着透明板。
  2. (2)前記第1及び第2の高屈折率誘電体層が酸化チタ
    ン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸プラセ
    オジム、酸化ハフニウム、硫化亜鉛、酸化スズ、酸化イ
    ンジウム、及び酸化インジウムと酸化スズとの混合物(
    ITO)のいずれかである特許請求の範囲第1項に記載
    の金属膜を含む反射防止膜付着透明板。
  3. (3)前記第1及び第2の低屈折率誘電体層がフッ化マ
    グネシウム、または酸化シリコンのいずれかである特許
    請求の範囲第1項または第2項に記載の金属膜を含む反
    射防止膜付着透明板。
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