JPH01168861U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01168861U JPH01168861U JP6646988U JP6646988U JPH01168861U JP H01168861 U JPH01168861 U JP H01168861U JP 6646988 U JP6646988 U JP 6646988U JP 6646988 U JP6646988 U JP 6646988U JP H01168861 U JPH01168861 U JP H01168861U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- catalyst layer
- sensor
- vapor deposition
- sensor element
- platinum catalyst
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 claims 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るセンサ素子の一実施例
を示す平面図、第２図ａ，ｂは各小片の熱膨張の
状態を示す説明図、第３図は従来におけるＯ２セ
ンサ全体の断面図、第４図は第３図の部分にお
ける拡大断面図である。 １…センサ素子、２…セラミツクス製チユーブ
、１１…白金触媒層、１１ａ…小片。
を示す平面図、第２図ａ，ｂは各小片の熱膨張の
状態を示す説明図、第３図は従来におけるＯ２セ
ンサ全体の断面図、第４図は第３図の部分にお
ける拡大断面図である。 １…センサ素子、２…セラミツクス製チユーブ
、１１…白金触媒層、１１ａ…小片。
Claims (1)
- 先端が封止されたセラミツクス製チユーブの外
周面に白金触媒層が蒸着形成されるとともに、こ
の白金触媒層の上に、更に保護層が蒸着形成され
てなるＯ２センサのセンサ素子において、上記白
金触媒層を複数の小片に分割形成したことを特徴
とするＯ２センサのセンサ素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6646988U JPH01168861U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6646988U JPH01168861U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168861U true JPH01168861U (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=31291875
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6646988U Pending JPH01168861U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01168861U (ja) |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP6646988U patent/JPH01168861U/ja active Pending