JPH01168873U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01168873U JPH01168873U JP6584388U JP6584388U JPH01168873U JP H01168873 U JPH01168873 U JP H01168873U JP 6584388 U JP6584388 U JP 6584388U JP 6584388 U JP6584388 U JP 6584388U JP H01168873 U JPH01168873 U JP H01168873U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- thin plate
- quantity sensor
- opening
- view
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図ないし第３図はこの考案に係る圧電型力
学量センサの第１実施例を示すもので、第１図は
縦断面図、第２図は筐体における上半部を取除い
て示す平面図、第３図は質量体の固着手段の変形
例を示す要部縦断面図、第４図ないし第７図はこ
の考案の第２実施例を示すもので、第４図は縦断
面図、第５図は筐体における上半部を取除いて示
す平面図、第６図は減衰係数比をパラメータとし
たときの共振周波数における金属薄板の振幅量特
性を示す特性図、第７図は共振周波数において圧
電ダイヤフラムに加わる加速度波形を示す波形図
、第８図は従来の圧電型力学量センサにおける質
量体の取付け部分を示す縦断面図である。 １：筐体、２，３：圧電素子、２ａ，３ａ：開
口部、６：金属薄板（弾性材からなる薄板）、１
０：圧電ダイヤフラム、１２，２１：質量体。
学量センサの第１実施例を示すもので、第１図は
縦断面図、第２図は筐体における上半部を取除い
て示す平面図、第３図は質量体の固着手段の変形
例を示す要部縦断面図、第４図ないし第７図はこ
の考案の第２実施例を示すもので、第４図は縦断
面図、第５図は筐体における上半部を取除いて示
す平面図、第６図は減衰係数比をパラメータとし
たときの共振周波数における金属薄板の振幅量特
性を示す特性図、第７図は共振周波数において圧
電ダイヤフラムに加わる加速度波形を示す波形図
、第８図は従来の圧電型力学量センサにおける質
量体の取付け部分を示す縦断面図である。 １：筐体、２，３：圧電素子、２ａ，３ａ：開
口部、６：金属薄板（弾性材からなる薄板）、１
０：圧電ダイヤフラム、１２，２１：質量体。
Claims (1)
- 中央部に開口部を有する薄板状の圧電素子を弾
性材からなる薄板に固着して圧電ダイヤフラムを
形成し、前記圧電素子の開口物の部分における前
記薄板に質量体を固着し、前記薄板の周辺部を筐
体内に支持してなることを特徴とする圧電型力学
量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584388U JPH01168873U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6584388U JPH01168873U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01168873U true JPH01168873U (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=31291268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6584388U Pending JPH01168873U (ja) | 1988-05-20 | 1988-05-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01168873U (ja) |
-
1988
- 1988-05-20 JP JP6584388U patent/JPH01168873U/ja active Pending