JPH01170527A - 流体力学的軸受の製造方法および加工装置 - Google Patents
流体力学的軸受の製造方法および加工装置Info
- Publication number
- JPH01170527A JPH01170527A JP62332555A JP33255587A JPH01170527A JP H01170527 A JPH01170527 A JP H01170527A JP 62332555 A JP62332555 A JP 62332555A JP 33255587 A JP33255587 A JP 33255587A JP H01170527 A JPH01170527 A JP H01170527A
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- JP
- Japan
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- pattern
- bearing
- spiral groove
- surface side
- punch
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は動圧流体型のスラストスパイラルグルーブ軸受
の製造方法および加工装置に環するものである。
の製造方法および加工装置に環するものである。
［従来の技術］
従来の平板型スパイラルグルーブ軸受の溝パターンの形
成は、−昔前は切削により、次いでエツチングにより製
造されている。また最近では本願発明者の一人の先にな
した特許出願（特願昭６２−１８５９３８＠、特願昭８
２−１５１７２９号）に示す如きコイニング加工により
製造されている。
成は、−昔前は切削により、次いでエツチングにより製
造されている。また最近では本願発明者の一人の先にな
した特許出願（特願昭６２−１８５９３８＠、特願昭８
２−１５１７２９号）に示す如きコイニング加工により
製造されている。
［発明が解決しようとする問題点］
切削による場合、溝深さは数十μｍと深く切込まなけれ
ば安定に切削できなかった。スラストスパイラルグルー
ブ軸受の剛性は溝深さが深くなるにつれて小さくなる傾
向にある。
ば安定に切削できなかった。スラストスパイラルグルー
ブ軸受の剛性は溝深さが深くなるにつれて小さくなる傾
向にある。
最近とみに、小型で高剛性のスラスト軸受が要求され溝
深さが数μ程度となり、切削加工では対応できなくなっ
た。そこで切削加工に代ってエツチングによる加工法が
最近取られているが、この加工法はスパイラルグルーブ
の溝パターンのマスキング、エツチング、マスキング除
去といった多くの工程を必要とし、コスト高になるとい
う欠点があった。また、エツチング加工による溝底面の
面粗ざが数μと荒く、軸受としての性能が安定しないと
いう欠点があった。
深さが数μ程度となり、切削加工では対応できなくなっ
た。そこで切削加工に代ってエツチングによる加工法が
最近取られているが、この加工法はスパイラルグルーブ
の溝パターンのマスキング、エツチング、マスキング除
去といった多くの工程を必要とし、コスト高になるとい
う欠点があった。また、エツチング加工による溝底面の
面粗ざが数μと荒く、軸受としての性能が安定しないと
いう欠点があった。
また、本願発明者の一人の先になした特許出願によるコ
イニング加工によって溝パターンを形成しても、加工さ
れた平板がなおも加工された面の側へ凸状に歪んでしま
い、従ってこれを使用すると摩擦による消耗があるとい
う欠点があることが分った。
イニング加工によって溝パターンを形成しても、加工さ
れた平板がなおも加工された面の側へ凸状に歪んでしま
い、従ってこれを使用すると摩擦による消耗があるとい
う欠点があることが分った。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、スラスト軸受の性能が安定するとともにコス
トを低くすることができる加工法および加工装置を得る
こととを目的とする。
たもので、スラスト軸受の性能が安定するとともにコス
トを低くすることができる加工法および加工装置を得る
こととを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
この発明に係る流体軸受製造方法および加工装置は、コ
イニング加工によりそのパンチを超音波振動させながら
、平板型スラストスパイラルグルーブ軸受の平板の軸受
面側に溝パターンを、また非軸受面側に前記溝パターン
と同面積のパターンを形成するという加工方法および加
工装置である。
イニング加工によりそのパンチを超音波振動させながら
、平板型スラストスパイラルグルーブ軸受の平板の軸受
面側に溝パターンを、また非軸受面側に前記溝パターン
と同面積のパターンを形成するという加工方法および加
工装置である。
■作用］
この発明における平板型スパイラルグルーブ軸受の超音
波コイニング加工では、パンチを超音波振動させながら
素材を加圧圧縮することにより低い加圧力でコイニング
が可能になり、歪みの分布も一様に近づく。これは素材
に働く摩擦力が低減するとともに素材の変形抵抗も一時
的に減少するからである。この結果、流体軸受の前記の
凸状変形をなくし、溝深さが一定になり、しかも大量生
産に適し、コスト低減に貢献し、品質の安定した高性能
な軸受を供給できる。
波コイニング加工では、パンチを超音波振動させながら
素材を加圧圧縮することにより低い加圧力でコイニング
が可能になり、歪みの分布も一様に近づく。これは素材
に働く摩擦力が低減するとともに素材の変形抵抗も一時
的に減少するからである。この結果、流体軸受の前記の
凸状変形をなくし、溝深さが一定になり、しかも大量生
産に適し、コスト低減に貢献し、品質の安定した高性能
な軸受を供給できる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図について説明する。第１図
において、（１“）は成形前の平板型スパイラルグルー
ブ軸受の素材である。そして、パンチ（２）の下端面に
はスパイラルグルーブパターン（５）が、ダイ（４）の
上端面にはスパイラルグルーブパターン（５）と同面積
の円形パターン（８）が形成されている。上記素材（１
°）等に潤滑油（７）を塗布してダイ（４）上に保持す
る。超音波電８！（図示せず）からの高周波電圧は超音
波加振装置（１０）にて機械的な撮動に変換され、パン
チ（２）を超音波振動させる。この状態で圧力源（図示
せず）からの圧力（Ｐ）を受けて加圧用移動板（１１）
が案内（１２）によりフレーム（３）を下降し、スパイ
ラルグルーブパターン（５）およびスパイラルグルーブ
パターンと同面積の円形パターン（８）を素材（１°）
の両面に圧縮で転写する。図はこの超音波コイニング法
による加工機の主要部を模式的に示している。
において、（１“）は成形前の平板型スパイラルグルー
ブ軸受の素材である。そして、パンチ（２）の下端面に
はスパイラルグルーブパターン（５）が、ダイ（４）の
上端面にはスパイラルグルーブパターン（５）と同面積
の円形パターン（８）が形成されている。上記素材（１
°）等に潤滑油（７）を塗布してダイ（４）上に保持す
る。超音波電８！（図示せず）からの高周波電圧は超音
波加振装置（１０）にて機械的な撮動に変換され、パン
チ（２）を超音波振動させる。この状態で圧力源（図示
せず）からの圧力（Ｐ）を受けて加圧用移動板（１１）
が案内（１２）によりフレーム（３）を下降し、スパイ
ラルグルーブパターン（５）およびスパイラルグルーブ
パターンと同面積の円形パターン（８）を素材（１°）
の両面に圧縮で転写する。図はこの超音波コイニング法
による加工機の主要部を模式的に示している。
第２図は上記実施例により成形された平板型スパイラル
グルーブ軸受（１）を示すものである。
グルーブ軸受（１）を示すものである。
この図において、スパイラルグルーブパターン（６）お
よびスパイラルグルーブパターン（６）と同面積の円形
パターン（９）が形成されている。
よびスパイラルグルーブパターン（６）と同面積の円形
パターン（９）が形成されている。
また、パンチ（２）のスパイラルグルーブパターン（５
）とダイ（４）の同面積のパターン（８）とが素材（１
゛）に形成されたパターン（６） 、 （９）とは、ス
パイラルの方向および凹凸が逆となることは言うまでも
ない。
）とダイ（４）の同面積のパターン（８）とが素材（１
゛）に形成されたパターン（６） 、 （９）とは、ス
パイラルの方向および凹凸が逆となることは言うまでも
ない。
前記のように超音波振動の効果により流体軸受の反りは
大幅に低減する。ざらにパターンの深さを同じとして同
面積の例えば円形パターン（９）を形成することにより
素材（１°）の上面側の材料流動量と等量の材料流れを
素材（１°）の下面側に与えているので、得られた流体
軸受の反りを一層減少させることができる。
大幅に低減する。ざらにパターンの深さを同じとして同
面積の例えば円形パターン（９）を形成することにより
素材（１°）の上面側の材料流動量と等量の材料流れを
素材（１°）の下面側に与えているので、得られた流体
軸受の反りを一層減少させることができる。
本加工法によれば反りのない成形ができるため、軸受と
して使用した場合に油膜の厚さが均一になり摩耗しにく
いことはいうまでもないが、更にＡｔ２０３などのセラ
ミックをコーティングすると耐摩耗性が大幅に向上する
。
して使用した場合に油膜の厚さが均一になり摩耗しにく
いことはいうまでもないが、更にＡｔ２０３などのセラ
ミックをコーティングすると耐摩耗性が大幅に向上する
。
なお、この実施例では素材のダイ側に円形パターンを形
成しているが、これなしでも超音波振動付加のために同
様の効果が発揮される。
成しているが、これなしでも超音波振動付加のために同
様の効果が発揮される。
またこの実施例ではパンチを超音波振動させているがダ
イあるいはパンチとダイの両方を超音波振動させても同
様の効果が発揮される。
イあるいはパンチとダイの両方を超音波振動させても同
様の効果が発揮される。
さらにこの実施例では潤滑油を塗布しているが、これを
使用しなくても同様の効果が発揮される。
使用しなくても同様の効果が発揮される。
［発明の効果］
この発明はパンチを超音波撮動させながら素材を押圧す
るコイニング加工において平板型スラストスパイラルグ
ルーブ軸受の平板の軸受面側に溝パターンをまた非軸受
面側に前記溝パターンと同面積のパターンを形成すると
いう加工法および加工装置であり、反りのない平板型ス
ラストスパイラルグルーブ軸受が安価に高精度に安定し
て得られる効果がある。
るコイニング加工において平板型スラストスパイラルグ
ルーブ軸受の平板の軸受面側に溝パターンをまた非軸受
面側に前記溝パターンと同面積のパターンを形成すると
いう加工法および加工装置であり、反りのない平板型ス
ラストスパイラルグルーブ軸受が安価に高精度に安定し
て得られる効果がある。
第１図はこの発明による超音波振動式コイニング法によ
る加工装置を示す模式図である。 第２図は本発明の加工法により成形された平板型スラス
トスパイラルグルーブ軸受を示す図である。 図において、（１）は平板型スパイラルグルーブ軸受、
（１°）は素材、（２）はパンチ、（４）はダイ、（５
） 、 （６）はスパイラルグルーブパターン、（７）
は潤滑油、（８） 、 （９）は円形パターン、（１０
）は超音波加振装置、（１１）は加圧用移動板、（１２
）は案内である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
る加工装置を示す模式図である。 第２図は本発明の加工法により成形された平板型スラス
トスパイラルグルーブ軸受を示す図である。 図において、（１）は平板型スパイラルグルーブ軸受、
（１°）は素材、（２）はパンチ、（４）はダイ、（５
） 、 （６）はスパイラルグルーブパターン、（７）
は潤滑油、（８） 、 （９）は円形パターン、（１０
）は超音波加振装置、（１１）は加圧用移動板、（１２
）は案内である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）スラスト動圧流体軸受の平板型スパイラルグルー
ブ軸受の製造方法において、コイニング加工によりパン
チもしくはダイあるいはその両方を超音波振動させ、平
板の軸受面側にスパイラルグルーブパターンを、また非
軸受面側にもスパイラルグルーブパターンと同面積のパ
ターンを形成することを特徴とする流体軸受製造方法。 - （２）コイニング加工後にセラミックコーティングを施
すことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の流体軸
受製造方法。 - （３）スラスト動圧流体軸受の平板型スパイラルグルー
ブ軸受の製造装置において、コイニング加工により平板
の軸受面側にスパイラルグルーブパターンを、また非軸
受面側にもスパイラルグルーブパターンと同面積のパタ
ーンを形成するパンチおよびダイを具備し、更にこれら
の少なくとも一つを超音波振動させるための超音波加振
装置を具備したことを特徴とする流体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332555A JPH01170527A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 流体力学的軸受の製造方法および加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332555A JPH01170527A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 流体力学的軸受の製造方法および加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01170527A true JPH01170527A (ja) | 1989-07-05 |
Family
ID=18256230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62332555A Pending JPH01170527A (ja) | 1987-12-25 | 1987-12-25 | 流体力学的軸受の製造方法および加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01170527A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110154875A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-06-30 | Alphana Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
| WO2012014954A1 (ja) | 2010-07-30 | 2012-02-02 | 富士フイルム株式会社 | 新規なアゾ化合物、水溶液、インク組成物、インクジェット記録用インク、インクジェット記録方法、インクジェット記録用インクカートリッジ、及びインクジェット記録物 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165527A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-19 | Toshiba Corp | Coining method |
-
1987
- 1987-12-25 JP JP62332555A patent/JPH01170527A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56165527A (en) * | 1980-05-26 | 1981-12-19 | Toshiba Corp | Coining method |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110154875A1 (en) * | 2009-12-28 | 2011-06-30 | Alphana Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
| US8631677B2 (en) * | 2009-12-28 | 2014-01-21 | Samsung Electro-Mechanics Japan Advanced Technology Co., Ltd. | Production method of rotating device having thrust dynamic pressure generating site on which a thrust pressure pattern is formed and rotating device produced by said production method |
| WO2012014954A1 (ja) | 2010-07-30 | 2012-02-02 | 富士フイルム株式会社 | 新規なアゾ化合物、水溶液、インク組成物、インクジェット記録用インク、インクジェット記録方法、インクジェット記録用インクカートリッジ、及びインクジェット記録物 |
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