JPH01171586U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01171586U JPH01171586U JP6405988U JP6405988U JPH01171586U JP H01171586 U JPH01171586 U JP H01171586U JP 6405988 U JP6405988 U JP 6405988U JP 6405988 U JP6405988 U JP 6405988U JP H01171586 U JPH01171586 U JP H01171586U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- magnet
- linear motor
- magnetic field
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Description
第１図乃至第３図はこの考案に係るリニアモー
タの実施例を示し、第１図は一部切欠斜視図、第
２図は磁石とコイルとの関係を示す模式図、第３
図はコイルに流れる電流及び磁束とから生ずる推
力の関係を示す模式図である。第４図および第５
図は従来の実施例を示し、第４図は一部切欠斜視
図、第５図は従来のコイルに流れる電流及び磁束
とから生ずる推力の関係を示す模式図である。 主な符号の説明、１：磁石、２：ヨーク、３：
コイル。
タの実施例を示し、第１図は一部切欠斜視図、第
２図は磁石とコイルとの関係を示す模式図、第３
図はコイルに流れる電流及び磁束とから生ずる推
力の関係を示す模式図である。第４図および第５
図は従来の実施例を示し、第４図は一部切欠斜視
図、第５図は従来のコイルに流れる電流及び磁束
とから生ずる推力の関係を示す模式図である。 主な符号の説明、１：磁石、２：ヨーク、３：
コイル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 長手方向に交互のＮ極とＳ極との磁極列を有す
る磁石とこの磁石が形成する磁界中を移動するコ
イルとからなるリニアモータにおいて、 前記コイルの各辺がコイルの移動方向と平行に
ならないようにコイルを前記磁界中に配置したこ
とを特徴とするリニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988064059U JPH0721107Y2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988064059U JPH0721107Y2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01171586U true JPH01171586U (ja) | 1989-12-05 |
| JPH0721107Y2 JPH0721107Y2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=31289542
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988064059U Expired - Lifetime JPH0721107Y2 (ja) | 1988-05-17 | 1988-05-17 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0721107Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010154596A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Nikon Corp | リニアモータ、ステージ装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535402A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-19 | Ebara Corp | Eddy engenderment preventive equipment of pumping water tank |
-
1988
- 1988-05-17 JP JP1988064059U patent/JPH0721107Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS535402A (en) * | 1976-07-06 | 1978-01-19 | Ebara Corp | Eddy engenderment preventive equipment of pumping water tank |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010154596A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Nikon Corp | リニアモータ、ステージ装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0721107Y2 (ja) | 1995-05-15 |