JPH01174092U - - Google Patents

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JPH01174092U
JPH01174092U JP6979488U JP6979488U JPH01174092U JP H01174092 U JPH01174092 U JP H01174092U JP 6979488 U JP6979488 U JP 6979488U JP 6979488 U JP6979488 U JP 6979488U JP H01174092 U JPH01174092 U JP H01174092U
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JP
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waste liquid
liquid recovery
tank
valve
recovery line
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図はそれぞれ実施例を示す構成
図である。 1……製品加工装置、2―1〜2―3……薬液
処理ユニツト、3,3―1〜3―3……廃液タン
ク、4……廃液、5,5―1〜5―3……開閉弁
、7,7a……ポンプ、8……薬液回収ライン、
10……廃液回収タンク、11……三方弁、12
……溶剤、A……特殊環境室、B……別室。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薬液を使用する装置の下部に設けられた廃
    液タンクと、前記装置が設置されている室とは異
    なる室に設けられた廃液回収タンクと、前記廃液
    タンクの廃液を前記廃液回収タンクに導く廃液回
    収ラインと、前記廃液回収ラインで上流側に設け
    られた開閉弁と、前記開閉弁より下流側に設けら
    れた耐薬液性のポンプとを備えた廃液処理装置。 (2) 前記廃液回収ラインで前記ポンプより上流
    側に三方弁が設けられ、前記三方弁を経て前記薬
    液の溶剤が供給される請求項1記載の廃液処理装
    置。
JP6979488U 1988-05-26 1988-05-26 Pending JPH01174092U (ja)

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