JPH01174092U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01174092U JPH01174092U JP1988069794U JP6979488U JPH01174092U JP H01174092 U JPH01174092 U JP H01174092U JP 1988069794 U JP1988069794 U JP 1988069794U JP 6979488 U JP6979488 U JP 6979488U JP H01174092 U JPH01174092 U JP H01174092U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste liquid
- liquid recovery
- tank
- valve
- recovery line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図及び第２図はそれぞれ実施例を示す構成
図である。 １……製品加工装置、２―１〜２―３……薬液
処理ユニツト、３，３―１〜３―３……廃液タン
ク、４……廃液、５，５―１〜５―３……開閉弁
、７，７ａ……ポンプ、８……薬液回収ライン、
１０……廃液回収タンク、１１……三方弁、１２
……溶剤、Ａ……特殊環境室、Ｂ……別室。
図である。 １……製品加工装置、２―１〜２―３……薬液
処理ユニツト、３，３―１〜３―３……廃液タン
ク、４……廃液、５，５―１〜５―３……開閉弁
、７，７ａ……ポンプ、８……薬液回収ライン、
１０……廃液回収タンク、１１……三方弁、１２
……溶剤、Ａ……特殊環境室、Ｂ……別室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 薬液を使用する装置の下部に設けられた廃
液タンクと、前記装置が設置されている室とは異
なる室に設けられた廃液回収タンクと、前記廃液
タンクの廃液を前記廃液回収タンクに導く廃液回
収ラインと、前記廃液回収ラインで上流側に設け
られた開閉弁と、前記開閉弁より下流側に設けら
れた耐薬液性のポンプとを備えた廃液処理装置。 (2) 前記廃液回収ラインで前記ポンプより上流
側に三方弁が設けられ、前記三方弁を経て前記薬
液の溶剤が供給される請求項１記載の廃液処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988069794U JPH01174092U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988069794U JPH01174092U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01174092U true JPH01174092U (ja) | 1989-12-11 |
Family
ID=31295066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988069794U Pending JPH01174092U (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01174092U (ja) |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP1988069794U patent/JPH01174092U/ja active Pending
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