JPH01179330A - ペレットマウント装置 - Google Patents
ペレットマウント装置Info
- Publication number
- JPH01179330A JPH01179330A JP62332350A JP33235087A JPH01179330A JP H01179330 A JPH01179330 A JP H01179330A JP 62332350 A JP62332350 A JP 62332350A JP 33235087 A JP33235087 A JP 33235087A JP H01179330 A JPH01179330 A JP H01179330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- collet
- tool
- mount
- tapered surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体素子等のペレットをステムやリードフレ
ーム等にマウンティングするマウント装置に関する。
ーム等にマウンティングするマウント装置に関する。
従来、半導体素子等のペレットをステムやリードフレー
ムにマウントする装置の一つとして、第３図に示すもの
が提案されている。これは、図示のように半導体重ウェ
ハを切断して得た複数個のベレッ）Ｐを、図外のＸ−Ｙ
方向移動テーブルで駆動されるペレットリング１０上に
載置し、そのピックアップポジションＡに位置されたペ
レットＰａを第１ピツクアツプツール２１によって位置
決めポジションＢへ搬送する。そして、この位置決めポ
ジションＢでは、４方向の位置修正爪２２にてペレット
Ｐａを挟持して位置決めし、さらにこのペレットＰａを
第２ピツクアツプツール２３によりステム１１のマウン
ティングポジションＣに搬送しマウントを行っている。
ムにマウントする装置の一つとして、第３図に示すもの
が提案されている。これは、図示のように半導体重ウェ
ハを切断して得た複数個のベレッ）Ｐを、図外のＸ−Ｙ
方向移動テーブルで駆動されるペレットリング１０上に
載置し、そのピックアップポジションＡに位置されたペ
レットＰａを第１ピツクアツプツール２１によって位置
決めポジションＢへ搬送する。そして、この位置決めポ
ジションＢでは、４方向の位置修正爪２２にてペレット
Ｐａを挟持して位置決めし、さらにこのペレットＰａを
第２ピツクアツプツール２３によりステム１１のマウン
ティングポジションＣに搬送しマウントを行っている。
また、他のマウント装置として第４図に示すものも提案
されている。この装置は図示のように、ピックアップ及
びマウントツールとしてコレット２４を採用し、このコ
レット２４の先端内周のテーパ面２４ａにペレットＰを
吸着して位置決めを行うことにより、第３図の装置にお
ける位置決めポジションＢを不要にし、そのままステム
に搬送してマウントすることができる。
されている。この装置は図示のように、ピックアップ及
びマウントツールとしてコレット２４を採用し、このコ
レット２４の先端内周のテーパ面２４ａにペレットＰを
吸着して位置決めを行うことにより、第３図の装置にお
ける位置決めポジションＢを不要にし、そのままステム
に搬送してマウントすることができる。
〔発明が解決しようとする問題点）
上述した従来のマウント装置には、夫々次のような問題
がある。
がある。
先ず、第３図の装置では、ペレッ）Ｐの位置決めポジシ
ョンＢが必要とされるため、装置が複雑となり、また第
１．第２ピツクアツプツール２１゜２３が２度にわたり
ペレットＰに接触するためにペレットＰの損傷が生じ易
く、ペレット不良の一因となっていた。
ョンＢが必要とされるため、装置が複雑となり、また第
１．第２ピツクアツプツール２１゜２３が２度にわたり
ペレットＰに接触するためにペレットＰの損傷が生じ易
く、ペレット不良の一因となっていた。
また、第４図の装置では、ペレットＰのピックアップの
際に、コレット２４の先端内周のテーパ面２４ａにて位
置決め吸着するために、ペレットリング上に配列された
ペレットＰは隣接するペレットとの間に隙間が必要とさ
れる。例えば、テーパ面２４ａが１２０°に構成され、
ここに厚さｔのペレットＰを吸着する場合、ペレットＰ
の底面よりコレット２４の先端までｔ／２となり、ペレ
ットＰの側面からコレット２４の側面までの距離は０．
８７ｔとなるため、これ以上の間隔がペレット間に必要
となる。このため、半導体ウェハを切断して得たペレッ
トを、この隙間が得られるように配列し直す必要があり
、作業が煩雑化されることになる。
際に、コレット２４の先端内周のテーパ面２４ａにて位
置決め吸着するために、ペレットリング上に配列された
ペレットＰは隣接するペレットとの間に隙間が必要とさ
れる。例えば、テーパ面２４ａが１２０°に構成され、
ここに厚さｔのペレットＰを吸着する場合、ペレットＰ
の底面よりコレット２４の先端までｔ／２となり、ペレ
ットＰの側面からコレット２４の側面までの距離は０．
８７ｔとなるため、これ以上の間隔がペレット間に必要
となる。このため、半導体ウェハを切断して得たペレッ
トを、この隙間が得られるように配列し直す必要があり
、作業が煩雑化されることになる。
本発明は、このような種々の問題を改良しようとするも
ので、装置の簡略化を図るとともに、ペレットの損傷を
防止し、かつ作業の簡易化を達成することができるペレ
ットマウント装置を提供することを目的としている。
ので、装置の簡略化を図るとともに、ペレットの損傷を
防止し、かつ作業の簡易化を達成することができるペレ
ットマウント装置を提供することを目的としている。
本発明のペレットマウント装置は、下端にテーパ面を有
するマウントコレットと、このマウントコレットの中心
軸位置で上下移動され、かつ内部が真空引きされる筒状
のピックアップツールとを備えており、ピックアップツ
ールの下端を前記マウントコレットのテーパ面の下側に
突出させた位置でペレットを真空吸着し、テーパ面の上
側に引き込まれるときにペレットをテーパ面に当接させ
得るように構成している。
するマウントコレットと、このマウントコレットの中心
軸位置で上下移動され、かつ内部が真空引きされる筒状
のピックアップツールとを備えており、ピックアップツ
ールの下端を前記マウントコレットのテーパ面の下側に
突出させた位置でペレットを真空吸着し、テーパ面の上
側に引き込まれるときにペレットをテーパ面に当接させ
得るように構成している。
次に、本発明を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を一部破断した斜視図、第２
図（ａ）及び（ｂ）はその断面図である°。
図（ａ）及び（ｂ）はその断面図である°。
これらの図において、サーボモータ又はパルスモータ等
により、Ｘ、Ｙ、Ｚの３方向に移動する方向移動テーブ
ル（図示せず）に直結されたアーム２の先端にマウンテ
ィングヘッドｌを構成している。このマウンティングヘ
ッドｌは前記アーム２に固定されたブロック３に上下方
向の穴を開設し、この大向に角筒状をしたマウントコレ
ット４を挿入している。このマウントコレット４とブロ
ック３との間には荷重用スプリング５が介挿され、コレ
ット４に下方のスプリング力を付与している。
により、Ｘ、Ｙ、Ｚの３方向に移動する方向移動テーブ
ル（図示せず）に直結されたアーム２の先端にマウンテ
ィングヘッドｌを構成している。このマウンティングヘ
ッドｌは前記アーム２に固定されたブロック３に上下方
向の穴を開設し、この大向に角筒状をしたマウントコレ
ット４を挿入している。このマウントコレット４とブロ
ック３との間には荷重用スプリング５が介挿され、コレ
ット４に下方のスプリング力を付与している。
また、このマウントコレット４は下面をテーパ面４ａと
して形成し、その中心軸位置には細い円筒状をしたピッ
クアップツール６を挿通させている。
して形成し、その中心軸位置には細い円筒状をしたピッ
クアップツール６を挿通させている。
このピックアップツール６は、前記ブロック３に取着し
たシリンダ７に支持されており、シリンダ７によってマ
ウントコレット４内で上下に移動される。このピックア
ップツール６は上端にチューブ８が接続され、図外の真
空源に接続される。
たシリンダ７に支持されており、シリンダ７によってマ
ウントコレット４内で上下に移動される。このピックア
ップツール６は上端にチューブ８が接続され、図外の真
空源に接続される。
また、前記マウントコレット４内におけるピックアップ
ツール６の外周一部にはリング状をしたパツキン９を嵌
合している。
ツール６の外周一部にはリング状をしたパツキン９を嵌
合している。
この構成のマウント装置によれば、半導体素子ペレット
Ｐはウェハを切断した状態でペレットリング１０上に整
列し、このペレットリング１０をＸＹ方向移動テーブル
（図示せず）に乗せて移動することによって１つのペレ
ットＰａをピックアップポジションＡに位置させる。
Ｐはウェハを切断した状態でペレットリング１０上に整
列し、このペレットリング１０をＸＹ方向移動テーブル
（図示せず）に乗せて移動することによって１つのペレ
ットＰａをピックアップポジションＡに位置させる。
ここで、マウンティングヘッド１を降下させ、第２図（
ａ）のように、マウントコレット４よりも下側に突出さ
れているピックアップツール６の下端に、真空によりベ
レン）Ｐａを吸着する。ついで、このペレットＰａを吸
着した状態でマウンティングヘッド１を上昇させ、更に
シリンダ７を作動させてピックアップツール６のみをマ
ウントコレット４の内面で上昇させる。これにより、第
２図（ｂ）に示すように、ピックアップツール６の先端
がマウントコレット４の下端よりも上方に移動される時
点で、ペレットＰａはマウントコレット４のテーパ面４
ａに押当てられ、このテーパを利用して位置決めが行な
われる。
ａ）のように、マウントコレット４よりも下側に突出さ
れているピックアップツール６の下端に、真空によりベ
レン）Ｐａを吸着する。ついで、このペレットＰａを吸
着した状態でマウンティングヘッド１を上昇させ、更に
シリンダ７を作動させてピックアップツール６のみをマ
ウントコレット４の内面で上昇させる。これにより、第
２図（ｂ）に示すように、ピックアップツール６の先端
がマウントコレット４の下端よりも上方に移動される時
点で、ペレットＰａはマウントコレット４のテーパ面４
ａに押当てられ、このテーパを利用して位置決めが行な
われる。
位置決めが完了した時点でピックアップツール６の下端
は更に上昇し、これによりペレットＰａはマウントコレ
ット４に移載される。このとき、ピックアップツール６
の上昇と共にパツキン９がマウントコレット４の内部の
上面に接触して内部を密封し、ピックアップツール６を
通してコレット４の内部が真空状態となり、ペレットＰ
ａをマウントコレット４のテーパ面４ａに支持すること
ができる。
は更に上昇し、これによりペレットＰａはマウントコレ
ット４に移載される。このとき、ピックアップツール６
の上昇と共にパツキン９がマウントコレット４の内部の
上面に接触して内部を密封し、ピックアップツール６を
通してコレット４の内部が真空状態となり、ペレットＰ
ａをマウントコレット４のテーパ面４ａに支持すること
ができる。
ついで、マウンティングヘッド１をマウンティングポジ
ションＣまで搬送し、かつ降下させてペレットをステム
１１上に接触させ、接着材或いは共晶ソルダによるマウ
ントを行なう。
ションＣまで搬送し、かつ降下させてペレットをステム
１１上に接触させ、接着材或いは共晶ソルダによるマウ
ントを行なう。
以後、マウンティングヘッド１を上昇させ、シリンダ７
を作動してピックアップツール６を下降させることによ
り、初期の状態に戻る。
を作動してピックアップツール６を下降させることによ
り、初期の状態に戻る。
以下、上述の動作を繰り返すことにより、複数個のペレ
ットを順次マウントすることが可能となる。
ットを順次マウントすることが可能となる。
したがって、このマウント装置によれば、マウントコレ
ット４のテーパ面４ａにペレットＰａを保持した時点で
ペレットの位置決めを行うことができるので、位置決め
ボジシ町ンは不要となり、構成の簡略化が達成できる。
ット４のテーパ面４ａにペレットＰａを保持した時点で
ペレットの位置決めを行うことができるので、位置決め
ボジシ町ンは不要となり、構成の簡略化が達成できる。
また、ペレットのピーツクアップの際には、ピックアッ
プツール６を用いているので、ウェハを切断したままの
状態からのピックアップを可能とし、ベレットリング１
０上に載置されるペレットの隣接間に隙間を設けておく
必要はなく、作業の簡易化を図ることができる。更に、
ペレットはマウントコレット４のテーパ面に一回接触さ
れるのみであるので、ペレットの損傷を防止することも
できる。
プツール６を用いているので、ウェハを切断したままの
状態からのピックアップを可能とし、ベレットリング１
０上に載置されるペレットの隣接間に隙間を設けておく
必要はなく、作業の簡易化を図ることができる。更に、
ペレットはマウントコレット４のテーパ面に一回接触さ
れるのみであるので、ペレットの損傷を防止することも
できる。
〔発明の効果］
以上説明したように本発明は、下端にテーパ面を有する
マウントコレットと、このマウントコレット内部で上下
移動されるピックアップツールとを備えており、ピック
アップツールの下端をマウントコレットのテーパ面の下
側に突出させた位置でペレットを真空吸着し、テーパ面
の上側に引き込まれるときにペレットをテーパ面に当接
させて位置決め及び移装置を行うように構成しているの
で、ペレットの位置決めポジションが不要となり構成の
簡略化が達成できる。また、ペレットのピックアップ動
作を１回にでき、ペレットの損傷が防止できる。更に、
ウェハ等を完全切断したままの整列状態でのピックアッ
プが可能となり、隣接ベレット間の間隔をとる必要がな
いので、作業の簡易化を図ることもできる効果がある。
マウントコレットと、このマウントコレット内部で上下
移動されるピックアップツールとを備えており、ピック
アップツールの下端をマウントコレットのテーパ面の下
側に突出させた位置でペレットを真空吸着し、テーパ面
の上側に引き込まれるときにペレットをテーパ面に当接
させて位置決め及び移装置を行うように構成しているの
で、ペレットの位置決めポジションが不要となり構成の
簡略化が達成できる。また、ペレットのピックアップ動
作を１回にでき、ペレットの損傷が防止できる。更に、
ウェハ等を完全切断したままの整列状態でのピックアッ
プが可能となり、隣接ベレット間の間隔をとる必要がな
いので、作業の簡易化を図ることもできる効果がある。
第１図は本発明のペレットマウント装置の一実施例の一
部破断斜視図、第２図（ａ）及び（ｂ）は作用を説明す
るための要部の断面図、第３図は従来のマウント装置の
斜視図、第４図は従来の他のマウント装置に使用するコ
レットの一部断面図である。 １・・・マウンティングヘッド、２・・・アーム、３・
・・ブロック、４・・・マウントコレット、４ａ・・・
テーパ面、。 ５・・・荷重用スプリング、６・・・ピックアップツー
ル、７・・・シリンダ、８・・・チューブ、９・・・パ
ツキン、１０・・・ペレットリング、１１・・・ステム
、２１・・・第１ピツクアツプツール、２２・・・位置
修正爪、２３・・・第２ピツクアツプツール、２４・・
・コレット、２４ａ・・・テーパ面、Ｐ、Ｐａ・・・ペ
レット。 ベレ・、トソンソ。 第２図
部破断斜視図、第２図（ａ）及び（ｂ）は作用を説明す
るための要部の断面図、第３図は従来のマウント装置の
斜視図、第４図は従来の他のマウント装置に使用するコ
レットの一部断面図である。 １・・・マウンティングヘッド、２・・・アーム、３・
・・ブロック、４・・・マウントコレット、４ａ・・・
テーパ面、。 ５・・・荷重用スプリング、６・・・ピックアップツー
ル、７・・・シリンダ、８・・・チューブ、９・・・パ
ツキン、１０・・・ペレットリング、１１・・・ステム
、２１・・・第１ピツクアツプツール、２２・・・位置
修正爪、２３・・・第２ピツクアツプツール、２４・・
・コレット、２４ａ・・・テーパ面、Ｐ、Ｐａ・・・ペ
レット。 ベレ・、トソンソ。 第２図
Claims (1)
- （１）平面方向及び上下方向に移動されるマウティング
ヘッドのブロックに取着され、その下端にテーパ面を有
するマウントコレットと、このマウントコレットの中心
軸位置で上下移動され、かつ内部が真空引きされる筒状
のピックアップツールとを備え、このピックアップツー
ルは下端を前記マウントコレットのテーパ面の下側に突
出させた位置でペレットを真空吸着し、テーパ面の上側
に引き込まれるときにペレットをテーパ面に当接させ得
るように構成したことを特徴とするペレットマウント装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332350A JP2557433B2 (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | ペレットマウント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62332350A JP2557433B2 (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | ペレットマウント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179330A true JPH01179330A (ja) | 1989-07-17 |
| JP2557433B2 JP2557433B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=18253977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62332350A Expired - Fee Related JP2557433B2 (ja) | 1987-12-30 | 1987-12-30 | ペレットマウント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2557433B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6742244B2 (en) * | 2000-09-13 | 2004-06-01 | Konirklijke Philips Electronics N.V. | Device for placing components on a carrier |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6343438U (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-23 |
-
1987
- 1987-12-30 JP JP62332350A patent/JP2557433B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6343438U (ja) * | 1986-09-04 | 1988-03-23 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6742244B2 (en) * | 2000-09-13 | 2004-06-01 | Konirklijke Philips Electronics N.V. | Device for placing components on a carrier |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2557433B2 (ja) | 1996-11-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |