JPH01180439A - Ｘ線分光装置 - Google Patents
Ｘ線分光装置Info
- Publication number
- JPH01180439A JPH01180439A JP63005328A JP532888A JPH01180439A JP H01180439 A JPH01180439 A JP H01180439A JP 63005328 A JP63005328 A JP 63005328A JP 532888 A JP532888 A JP 532888A JP H01180439 A JPH01180439 A JP H01180439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- rays
- spectroscopic crystal
- sensitive
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明ハ、ＥＰＭＡＳＰ Ｉ ＸＥ、蛍光Ｘ線分析等に
使用されるＸ線分光装置に関する。
使用されるＸ線分光装置に関する。
（ロ）従来技術とその問題点
従来のこの種の装置には、第３図に示すものがある。こ
のＸ線分光装置は、ローランド円り上に試料Ｓ１のＸ線
発生点Ｅ、ローランド円りに沿う円弧面をもつ分光結晶
ｃ８およびＸ線検出器り、がそれぞれ配置されている。
のＸ線分光装置は、ローランド円り上に試料Ｓ１のＸ線
発生点Ｅ、ローランド円りに沿う円弧面をもつ分光結晶
ｃ８およびＸ線検出器り、がそれぞれ配置されている。
そして、試料ｓ１からのＸ線を分光結晶ＣＩで分光し、
特定波長のＸ線をＸ線検出器り、に向けて収束させて検
出する。
特定波長のＸ線をＸ線検出器り、に向けて収束させて検
出する。
この構成のものは、−特定波長のＸ線のみを分光結晶Ｃ
Ｉで分光してＸ線検出器ＤＩに入射させるので、Ｘ線強
度の大きい信号が得られるものの、多元素分析を行う場
合には波長走査をする必要があり、そのために分析に時
間がかかる不具合がある。
Ｉで分光してＸ線検出器ＤＩに入射させるので、Ｘ線強
度の大きい信号が得られるものの、多元素分析を行う場
合には波長走査をする必要があり、そのために分析に時
間がかかる不具合がある。
分析時間を短縮するようにした従来装置としては、第４
図に示すものが提案されている。この装置、では、平板
状の分光結晶Ｃ１と位置敏感型比例計数器り、とを組み
合わせて構成されており、試料Ｓ、から発生された広い
波長範囲のＸ線を同時にこの分光結晶Ｃ１で分光し、分
光された各波長のＸ線を位置敏感型比例計数器り、で位
置検出することによりＸ線を各波長ごとに分解するもの
である。この装置を使用すれば同時多元素分析が可能で
あるが、分光結晶Ｃ，が平板状であるため位置敏感型比
例計数器り、に対すＸ線の入射角はＸ線の波長によって
異なり、そのため、各波長に対するＸ線の検出効率も変
動する。したがって、検出出力に対する較正が必要とな
るばかりか、波長分解能の低下をもたらす。
図に示すものが提案されている。この装置、では、平板
状の分光結晶Ｃ１と位置敏感型比例計数器り、とを組み
合わせて構成されており、試料Ｓ、から発生された広い
波長範囲のＸ線を同時にこの分光結晶Ｃ１で分光し、分
光された各波長のＸ線を位置敏感型比例計数器り、で位
置検出することによりＸ線を各波長ごとに分解するもの
である。この装置を使用すれば同時多元素分析が可能で
あるが、分光結晶Ｃ，が平板状であるため位置敏感型比
例計数器り、に対すＸ線の入射角はＸ線の波長によって
異なり、そのため、各波長に対するＸ線の検出効率も変
動する。したがって、検出出力に対する較正が必要とな
るばかりか、波長分解能の低下をもたらす。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、′Ｘ線の検出効率を波長に依存することなく一定に
保つとともに、波長分解能の向上を図った多元素同時分
析が実現できるようすることを目的とする。
て、′Ｘ線の検出効率を波長に依存することなく一定に
保つとともに、波長分解能の向上を図った多元素同時分
析が実現できるようすることを目的とする。
（ハ）問題点を解決するための手段
本発明は、上記の目的を達成するために、次の構成を採
る。
る。
すなわち、本発明のＸ線分光装置では、所定の放物線に
沿って湾曲された分光結晶と、この分光結晶で反射され
たＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出器とを備え、かつ
、前記分光結晶の焦点が試料上のＸ線の発生位置に設定
されていることを特徴としている。
沿って湾曲された分光結晶と、この分光結晶で反射され
たＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出器とを備え、かつ
、前記分光結晶の焦点が試料上のＸ線の発生位置に設定
されていることを特徴としている。
（ニ）作用
上記構成によれば、試料から発生された散乱Ｘ線は、分
光結晶で各波長ごとに所定の角度で反射されるが、その
反射Ｘ線は全て平行になる。このため、分光されたＸ線
は位置敏感型Ｘ線検出器に常に一定角度で入射する。し
たがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変化が無くな
る。しかも、一般に波長分解能はＸ線の検出位置の精度
に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になることにより
位置精度も高くなって波長分解能が向上する。
光結晶で各波長ごとに所定の角度で反射されるが、その
反射Ｘ線は全て平行になる。このため、分光されたＸ線
は位置敏感型Ｘ線検出器に常に一定角度で入射する。し
たがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変化が無くな
る。しかも、一般に波長分解能はＸ線の検出位置の精度
に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になることにより
位置精度も高くなって波長分解能が向上する。
（ホ）実施例
第１図はＸ線分光装置の全体構成図、第２図は分光結晶
と位置敏感型Ｘ線検出器の斜視図である。
と位置敏感型Ｘ線検出器の斜視図である。
これらの図において、符号１はＸ線分析装置の全体を示
し、２は分析対象となる試料、４は分光結晶、６は分光
結晶４で反射されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出
器（本例では位置敏感型比例計数器）である。上記の分
光結晶４は、所定の放物線Ｐに沿って湾曲されており、
その放物線焦点Ｆが試料２上のＸ線の発生位置と一致す
るように設定されている。さらに、この分光結晶４は、
放物線Ｐとの直交面が位置敏感型比例計数器６の前面に
配置されたスリット８に向けてＸ線が収束されるように
円弧状に形成されている。また、上記の位置敏感型比例
計数器６は、Ｘ線の反射光路に対して直交配置されてい
る。
し、２は分析対象となる試料、４は分光結晶、６は分光
結晶４で反射されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線検出
器（本例では位置敏感型比例計数器）である。上記の分
光結晶４は、所定の放物線Ｐに沿って湾曲されており、
その放物線焦点Ｆが試料２上のＸ線の発生位置と一致す
るように設定されている。さらに、この分光結晶４は、
放物線Ｐとの直交面が位置敏感型比例計数器６の前面に
配置されたスリット８に向けてＸ線が収束されるように
円弧状に形成されている。また、上記の位置敏感型比例
計数器６は、Ｘ線の反射光路に対して直交配置されてい
る。
なお、６ａ、６ｂは位置敏感型比例計数器６のアノード
およびカソード、８ａ〜８ｃは増幅器、１０ａ、１０ｂ
は遅延回路、１２ａ −１２ｃはＴＳＣＡ （Ｔｉｍｉ
ｎｇ Ｓｉｎｇｌｅ Ｃｈａｎｎｅｌ Ａｎａｌｙｚｅ
ｒ）、１４は時間／波高変換器、１６はリニアゲート、
１８は波高分析器である。
およびカソード、８ａ〜８ｃは増幅器、１０ａ、１０ｂ
は遅延回路、１２ａ −１２ｃはＴＳＣＡ （Ｔｉｍｉ
ｎｇ Ｓｉｎｇｌｅ Ｃｈａｎｎｅｌ Ａｎａｌｙｚｅ
ｒ）、１４は時間／波高変換器、１６はリニアゲート、
１８は波高分析器である。
上記構成において、試料２に電子ビーム等の励起線が照
射されると、試料２からＸ線が発生される。試料２から
発生したＸ線は、分光結晶４で各波長に応じて反射され
るが、分光結晶４の放物線焦点Ｆは予め試料２上のＸ線
の発生位置と一致するように設定されているから、その
反射Ｘ線は全て平行になる。しかも、位置敏感型比例計
数器６は、予め反射光路に対して直交配置されているの
で、分光されたＸ線は位置敏感型Ｘ線検出器に垂直に入
射する。したがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変
化は無く一定である。また、波長分解能はＸ線の検出位
置の精度に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になるこ
とにより位置精度が高くなって波長分解能が向上する。
射されると、試料２からＸ線が発生される。試料２から
発生したＸ線は、分光結晶４で各波長に応じて反射され
るが、分光結晶４の放物線焦点Ｆは予め試料２上のＸ線
の発生位置と一致するように設定されているから、その
反射Ｘ線は全て平行になる。しかも、位置敏感型比例計
数器６は、予め反射光路に対して直交配置されているの
で、分光されたＸ線は位置敏感型Ｘ線検出器に垂直に入
射する。したがって、Ｘ線検出効率の入射位置による変
化は無く一定である。また、波長分解能はＸ線の検出位
置の精度に依存するので、Ｘ線の入射角が一定になるこ
とにより位置精度が高くなって波長分解能が向上する。
なお、位置敏感型比例計数器６に入射したＸ線は、入射
位置に応じた時間差信号としてカソード６ｂで位置検出
される。また、Ｘ線強度に対応する信号はアノード６ａ
の検出出力となる。カソード６ｂで得られた時間差信号
は時間／波高変換回路１４で時間差に対応する電圧値に
変換され、次いで、アノード６ａからのＸ線強度信号に
よりゲートがかけられた後、波高分析器１８に入力され
る。また、アノード６ａからのＸ線強度信号も波高分析
器１８に入力される。これにより、横軸を波長、縦軸を
Ｘ線強度としたスペクトルが測定される。
位置に応じた時間差信号としてカソード６ｂで位置検出
される。また、Ｘ線強度に対応する信号はアノード６ａ
の検出出力となる。カソード６ｂで得られた時間差信号
は時間／波高変換回路１４で時間差に対応する電圧値に
変換され、次いで、アノード６ａからのＸ線強度信号に
よりゲートがかけられた後、波高分析器１８に入力され
る。また、アノード６ａからのＸ線強度信号も波高分析
器１８に入力される。これにより、横軸を波長、縦軸を
Ｘ線強度としたスペクトルが測定される。
（へ）効果
本発明によれば、位置敏感型Ｘ線検出器に対するＸ線の
入射角が波長によらず一定になるので、Ｘ線の検出効率
の変化を防止でき、また、波長分解能の向上を図った多
元素同時分析が可能となる等の優れた効果が発揮される
。
入射角が波長によらず一定になるので、Ｘ線の検出効率
の変化を防止でき、また、波長分解能の向上を図った多
元素同時分析が可能となる等の優れた効果が発揮される
。
第１図および第２図は本発明の実施例を、第３図および
第４図は従来例をそれぞれ示し、第１図はＸ線分光装置
の全体構成図、第２図は分光結晶と位置敏感型Ｘ線検出
器の斜視図、第３図および第４図はＸ線分光装置の説明
図である。 ｌ・・・Ｘ線分光装置、２・・・試料、４・・・分光結
晶、６・・・位置敏感型Ｘ線検出器。
第４図は従来例をそれぞれ示し、第１図はＸ線分光装置
の全体構成図、第２図は分光結晶と位置敏感型Ｘ線検出
器の斜視図、第３図および第４図はＸ線分光装置の説明
図である。 ｌ・・・Ｘ線分光装置、２・・・試料、４・・・分光結
晶、６・・・位置敏感型Ｘ線検出器。
Claims (1)
- （１）所定の放物線に沿って湾曲された分光結晶と、こ
の分光結晶で反射されたＸ線を検出する位置敏感型Ｘ線
検出器とを備え、かつ、前記分光結晶の焦点が試料上の
Ｘ線の発生位置に設定されているＸ線分光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63005328A JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01180439A true JPH01180439A (ja) | 1989-07-18 |
| JPH0795045B2 JPH0795045B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=11608177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63005328A Expired - Fee Related JPH0795045B2 (ja) | 1988-01-12 | 1988-01-12 | Ｘ線分光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0795045B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160094A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Jeol Ltd | Ｘ線分光情報取得方法及びｘ線分光装置 |
| JP2021526214A (ja) * | 2018-06-04 | 2021-09-30 | シグレイ、インコーポレイテッド | 波長分散型ｘ線分光計 |
| JPWO2023017636A1 (ja) * | 2021-08-10 | 2023-02-16 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115085A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-09 | ||
| JPS6122240A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-30 | Rigaku Denki Kk | 微小部ｘ線分析装置 |
-
1988
- 1988-01-12 JP JP63005328A patent/JPH0795045B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50115085A (ja) * | 1974-02-20 | 1975-09-09 | ||
| JPS6122240A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-01-30 | Rigaku Denki Kk | 微小部ｘ線分析装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160094A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | Jeol Ltd | Ｘ線分光情報取得方法及びｘ線分光装置 |
| JP2021526214A (ja) * | 2018-06-04 | 2021-09-30 | シグレイ、インコーポレイテッド | 波長分散型ｘ線分光計 |
| JPWO2023017636A1 (ja) * | 2021-08-10 | 2023-02-16 | ||
| WO2023017636A1 (ja) * | 2021-08-10 | 2023-02-16 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0795045B2 (ja) | 1995-10-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5320807B2 (ja) | 波長分散型ｘ線分光器 | |
| EP2772752B1 (en) | X-ray spectrometry detector device | |
| US6310935B1 (en) | Fluorescent x-ray analyzer | |
| CN117012663A (zh) | 晶圆缺陷检测系统及方法 | |
| JP2002189004A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| Georgopoulos et al. | Design criteria for a laboratory EXAFS facility | |
| JP3511826B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| Lake et al. | Time-and space-resolved elliptical crystal spectrometers for high energy density physics research | |
| CN120101936B (zh) | 一种单光子探测装置和基于其的快速光谱与成像系统 | |
| JP6808693B2 (ja) | Ｘ線分析装置および計数率の補正方法 | |
| JP2014211367A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH0795045B2 (ja) | Ｘ線分光装置 | |
| US4256961A (en) | X-ray spectroscope | |
| JP2000146872A (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| JPH08128975A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| CN207423809U (zh) | 光谱仪及光谱检测系统 | |
| JPH0332737B2 (ja) | ||
| JPH08201320A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JPH0961382A (ja) | 全反射蛍光ｘ線分析装置 | |
| JPH06109662A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JPH0269692A (ja) | 荷電粒子ビームのエネルギーの球状ミラー分析器 | |
| JP3055157B2 (ja) | 電子分光分析装置 | |
| CN109187369A (zh) | 一种应用了联合检测技术的油料检测装置及检测方法 | |
| JPH0921766A (ja) | Ｘ線分析方法 | |
| JP3740530B2 (ja) | 全反射局所蛍光ｘ線分析用アライナー |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |