JPH01180674U - - Google Patents

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JPH01180674U
JPH01180674U JP7227088U JP7227088U JPH01180674U JP H01180674 U JPH01180674 U JP H01180674U JP 7227088 U JP7227088 U JP 7227088U JP 7227088 U JP7227088 U JP 7227088U JP H01180674 U JPH01180674 U JP H01180674U
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test chamber
test
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gas circulation
blowout nozzle
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  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例にかかる試験装置の構
成を示す概略縦断面図、第２図は同水平断面図、
第３図は同装置における吹出しノズルおよび受け
皿の拡大斜視図である。 １……テストチヤンバ、６……ＩＣデバイス、
７……クーリングデイスク、８……吹出しノズル
、８ａ……同ノズルの吹出し口、９……受け皿、
１０……ガス循環手段としてのブロワ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 性能試験される被験体としてのＩＣデバイスが
    収容されるテストチヤンバ内に、外部から供給さ
    れる冷媒をテストチヤンバ内に吹出す吹出しノズ
    ルと、この吹出しノズルから液状態で吹出される
    冷媒を受ける受け皿と、テストチヤンバ内の冷媒
    ガスを上記受け皿上を通る経路で循環させてテス
    トチヤンバ内を冷却するガス循環手段と、このガ
    ス循環手段により冷却され上記ＩＣデバイスに接
    触または近接してこのＩＣデバイスを冷却するク
    ーリングデイスクとが設けられてなることを特徴
    とするＩＣデバイスの低温試験装置。
JP7227088U 1987-12-17 1988-05-30 Ｉｃデバイスの低温試験装置 Expired - Lifetime JPH0712943Y2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7227088U JPH0712943Y2 (ja) 1988-05-30 1988-05-30 Ｉｃデバイスの低温試験装置
US07/284,547 US4918928A (en) 1987-12-17 1988-12-15 Apparatus for testing IC devices at low temperature and cooling bag for use in testing IC devices at low temperature

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7227088U JPH0712943Y2 (ja) 1988-05-30 1988-05-30 Ｉｃデバイスの低温試験装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01180674U true JPH01180674U (ja) 1989-12-26
JPH0712943Y2 JPH0712943Y2 (ja) 1995-03-29

Family

ID=31297442

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7227088U Expired - Lifetime JPH0712943Y2 (ja) 1987-12-17 1988-05-30 Ｉｃデバイスの低温試験装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0712943Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0534405A (ja) * 1991-07-31 1993-02-09 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｉｃハンドラの温度制御方式

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0534405A (ja) * 1991-07-31 1993-02-09 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｉｃハンドラの温度制御方式

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Publication number Publication date
JPH0712943Y2 (ja) 1995-03-29

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