JPH01182707A - 格子周期測定装置 - Google Patents
格子周期測定装置Info
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- JPH01182707A JPH01182707A JP578788A JP578788A JPH01182707A JP H01182707 A JPH01182707 A JP H01182707A JP 578788 A JP578788 A JP 578788A JP 578788 A JP578788 A JP 578788A JP H01182707 A JPH01182707 A JP H01182707A
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- light
- grating period
- grating
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は格子周期測定装置、特に、分布帰還型半導体レ
ーザの回折格子や、元ディスク基板のプリグループ等の
微細格子の格子周期測定装置に関する。
ーザの回折格子や、元ディスク基板のプリグループ等の
微細格子の格子周期測定装置に関する。
従来の格子周期測定装置は、例えば昭和５８年度電子通
信学会半導体・材料部門全国大会予稿６５頁記載のディ
スク・プレグルーブ検査装置がある。
信学会半導体・材料部門全国大会予稿６５頁記載のディ
スク・プレグルーブ検査装置がある。
第２図に示す従来のディスク・プレグルーブ検査装置は
、測定すべき格子構造表面６にレーザを照射するレーザ
照射部４と、１つの１次回折光の光路上に距離Ｌ３は匁
れて１次回折元と垂直に配置された元ビーム位置検出器
５とを含んで構成され、該光ビーム位置検出器によシ１
次回折角θを測定しく１）式によシ格子周期ｄを求めて
いた。
、測定すべき格子構造表面６にレーザを照射するレーザ
照射部４と、１つの１次回折光の光路上に距離Ｌ３は匁
れて１次回折元と垂直に配置された元ビーム位置検出器
５とを含んで構成され、該光ビーム位置検出器によシ１
次回折角θを測定しく１）式によシ格子周期ｄを求めて
いた。
ｄ＝λ／ｓｉｎθ ・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・ （１）（λ：レーザ光の波長） 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来のディスク・プレグルーブ検査装置は、（
１）式に示すように格子周期ｄが、１次回折角θによシ
決定される。この１次回折角θは、光ビーム検出器５に
垂直に入射する１次回折角を００（基準格子周期の１次
回折角）実際に光ビーム位置検出器５に入射する１次回
折角をθ、光ビーム検出器５上で垂直に入射した点から
実際に入射した点までのズレ量をΔ３とすると θ＝θ。＋ｔａｎ ’ ”／Ｌ３ ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ （２）として算出されるので格
子構造表面が傾くと、レーザの入射角が変化し、これに
伴い元ビーム位置検出器５に入射する１次回折元の位置
が変化する。
・・・・・・・・ （１）（λ：レーザ光の波長） 〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来のディスク・プレグルーブ検査装置は、（
１）式に示すように格子周期ｄが、１次回折角θによシ
決定される。この１次回折角θは、光ビーム検出器５に
垂直に入射する１次回折角を００（基準格子周期の１次
回折角）実際に光ビーム位置検出器５に入射する１次回
折角をθ、光ビーム検出器５上で垂直に入射した点から
実際に入射した点までのズレ量をΔ３とすると θ＝θ。＋ｔａｎ ’ ”／Ｌ３ ・・・・・・・・
・・・・・・・・・・ （２）として算出されるので格
子構造表面が傾くと、レーザの入射角が変化し、これに
伴い元ビーム位置検出器５に入射する１次回折元の位置
が変化する。
例えば、λ＝６３１８ｎｍ、θｏ＝２４°＋ Ｌ３＝３
０ ｍｍ 。
０ ｍｍ 。
△３＝０．２ｍｍとすると１次回折角θは２４．４’と
なシ格子周期ｄは１５３３ｎｍとなる。
なシ格子周期ｄは１５３３ｎｍとなる。
ここで格子構造表面δ＝２°傾くと、従来の検査装置で
は、１次回折角θを２７６°、格子周期ｄを１３６５ｎ
ｍと算出するので格子周期ｄは、計算上１６８ ｎｍ誤
差が生じたことになる。
は、１次回折角θを２７６°、格子周期ｄを１３６５ｎ
ｍと算出するので格子周期ｄは、計算上１６８ ｎｍ誤
差が生じたことになる。
この誤差は、測定値の１１％をしめる値なので、実用上
の許容範囲１０ｎｍを大きく越えてしまうという欠点が
あった。
の許容範囲１０ｎｍを大きく越えてしまうという欠点が
あった。
本発明の格子周期測定装置は、格子構造表面に垂直にレ
ーザ光を照射するレーザ照射部と、前記格子構造表面か
らの２つの１次反射回折光の光路上でレーザ照射点から
それぞれ距離Ｌ１．Ｌ２はなれて１次反射回折光と垂直
に配置され位置ずれ信号ΔｈΔ２を出力する第１と第２
の元ビーム位置検出手段と、前記位置ずれ信号△１．Δ
２から（ｄ：格子周期、λ：レーザ元の波長）なる関係
によシ格子周期を決定する演算処理部とを含んで構成さ
れる。
ーザ光を照射するレーザ照射部と、前記格子構造表面か
らの２つの１次反射回折光の光路上でレーザ照射点から
それぞれ距離Ｌ１．Ｌ２はなれて１次反射回折光と垂直
に配置され位置ずれ信号ΔｈΔ２を出力する第１と第２
の元ビーム位置検出手段と、前記位置ずれ信号△１．Δ
２から（ｄ：格子周期、λ：レーザ元の波長）なる関係
によシ格子周期を決定する演算処理部とを含んで構成さ
れる。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図でちる。
第１図に示す格子周期測定装置は、レーザ照射部１よシ
測定すべき格子構造表面６に垂直にし＝ザ光を照射し、
基準格子周期ａＯに対応する２つの１次回折元の光路上
でレーザ照射点からそれぞれＬ ！ ＋ ” ２はなれ
て１次回折元と垂直に配置された第１．第２の光ビーム
位置検出手段２，３によシ検出される基準格子周期の回
折位置に対する被測定格子の１次回折元位置ずれΔ１．
△２は、格子構造表面の傾き角をδ、基準格子周期の１
次光回折角をθｏ１実際に元ビーム位置検出器に入射す
る１次回折角をθとすると Δ、＝ｔａｎ（−２δ＋（θ−θｏ ） ） Ｘ Ｌ
ｓ −−−（３）△２＝ｊａｎ（２δ＋（θ−θｏ
） ）ｘＬｚ −−・＝（４）となり（３）
、 （４）式より となるよって格子周期ｄは、 で決定される。
測定すべき格子構造表面６に垂直にし＝ザ光を照射し、
基準格子周期ａＯに対応する２つの１次回折元の光路上
でレーザ照射点からそれぞれＬ ！ ＋ ” ２はなれ
て１次回折元と垂直に配置された第１．第２の光ビーム
位置検出手段２，３によシ検出される基準格子周期の回
折位置に対する被測定格子の１次回折元位置ずれΔ１．
△２は、格子構造表面の傾き角をδ、基準格子周期の１
次光回折角をθｏ１実際に元ビーム位置検出器に入射す
る１次回折角をθとすると Δ、＝ｔａｎ（−２δ＋（θ−θｏ ） ） Ｘ Ｌ
ｓ −−−（３）△２＝ｊａｎ（２δ＋（θ−θｏ
） ）ｘＬｚ −−・＝（４）となり（３）
、 （４）式より となるよって格子周期ｄは、 で決定される。
例えば、前記と同様にλ＝６３！８ｎｍ、θｏ＝２４°
。
。
Ｌ３”３０ｍｍ、△３＝０．２ｍｍでδ＝２°傾くと、
（５）式よシ１次回折角θは２４．４°となシ（６）式
よシ格子周期ｄは、真の値と一致する１５３３ｎｍと算
出できる。
（５）式よシ１次回折角θは２４．４°となシ（６）式
よシ格子周期ｄは、真の値と一致する１５３３ｎｍと算
出できる。
本発明の格子周期測定装置は、２つの１次回折光の光路
上に第１と第２の光ビーム位置検出器を設けることによ
り格子構造表面が傾いても正確に格子周期を測定できる
という効果がある。
上に第１と第２の光ビーム位置検出器を設けることによ
り格子構造表面が傾いても正確に格子周期を測定できる
という効果がある。
１・・・レーザ照射部、２，３・・・元ビーム検出手段
、４・・・レーザ照射部、５・・・元ビーム検出器、６
・・・格子構造表面。 代理人 弁理士 内 原 晋
、４・・・レーザ照射部、５・・・元ビーム検出器、６
・・・格子構造表面。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 格子構造表面に垂直にレーザ光を照射するレーザ照射部
と、前記格子構造表面からの２つの１次反射回折光の光
路上でレーザ照射点からそれぞれ距離Ｌ＿ｉ、Ｌ＿２は
なれて１次反射回折光と垂直に配置され位置ずれ信号Δ
＿１、Δ＿２を出力する第１と第２の光ビーム位置検出
手段と、前記位置ずれ信号Δ＿１、Δ＿２から ▲数式、化学式、表等があります▼ （ｄ；格子周期、λ；レーザ光の波長）なる関係により
格子周期を決定する演算処理部とを含むことを特徴とす
る格子周期測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578788A JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP578788A JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01182707A true JPH01182707A (ja) | 1989-07-20 |
| JPH0663745B2 JPH0663745B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=11620812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP578788A Expired - Fee Related JPH0663745B2 (ja) | 1988-01-13 | 1988-01-13 | 格子周期測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0663745B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| KR20180035848A (ko) * | 2015-09-09 | 2018-04-06 | 쟈트코 가부시키가이샤 | 차량용 무단 변속 기구의 제어 장치 및 제어 방법 |
| CN110132549A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-16 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 光栅线密度测量装置及其测量方法 |
| CN121595172A (zh) * | 2026-01-29 | 2026-03-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光栅周期测量装置以及测量方法 |
-
1988
- 1988-01-13 JP JP578788A patent/JPH0663745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7859659B2 (en) | 1998-03-06 | 2010-12-28 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| US7898661B2 (en) | 1998-03-06 | 2011-03-01 | Kla-Tencor Corporation | Spectroscopic scatterometer system |
| KR20180035848A (ko) * | 2015-09-09 | 2018-04-06 | 쟈트코 가부시키가이샤 | 차량용 무단 변속 기구의 제어 장치 및 제어 방법 |
| CN110132549A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-08-16 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 光栅线密度测量装置及其测量方法 |
| CN121595172A (zh) * | 2026-01-29 | 2026-03-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 光栅周期测量装置以及测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0663745B2 (ja) | 1994-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |