JPH01183180A - 半導体発光装置 - Google Patents
半導体発光装置Info
- Publication number
- JPH01183180A JPH01183180A JP679988A JP679988A JPH01183180A JP H01183180 A JPH01183180 A JP H01183180A JP 679988 A JP679988 A JP 679988A JP 679988 A JP679988 A JP 679988A JP H01183180 A JPH01183180 A JP H01183180A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- region
- electrode
- phase adjustment
- bias current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
- H01S3/1055—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length one of the reflectors being constituted by a diffraction grating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/0607—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature
- H01S5/0608—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium by varying physical parameters other than the potential of the electrodes, e.g. by an electric or magnetic field, mechanical deformation, pressure, light, temperature controlled by light, e.g. optical switch
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光多重通信に於ける光源に用いて好適な半導体発光装置
に関し、 光信号の波長を別の波長に変換することが可能であると
共にその波長が可変であるように制御することを目的と
し、 バイアス電流を加える電極が二分割され且つ或る波長の
入力光信号が入射されると固有の波長で発振開始する活
性領域と、該活性領域に連なって設けられバイアス電流
を変えることで発振波長の制御を行う位相調整領域と、
該位相調整領域に連なって設けられバイアス電流を変え
ることで発振波長をシフトさせるブラッグ反射領域との
三領域を有してなるよう構成する。
に関し、 光信号の波長を別の波長に変換することが可能であると
共にその波長が可変であるように制御することを目的と
し、 バイアス電流を加える電極が二分割され且つ或る波長の
入力光信号が入射されると固有の波長で発振開始する活
性領域と、該活性領域に連なって設けられバイアス電流
を変えることで発振波長の制御を行う位相調整領域と、
該位相調整領域に連なって設けられバイアス電流を変え
ることで発振波長をシフトさせるブラッグ反射領域との
三領域を有してなるよう構成する。
本発明は、光多重通信に於ける光源に用いて好適な半導
体発光装置に関する。
体発光装置に関する。
〔従来の技術7〕
一般に、光多重通信を実施する為には、或る波長の光信
号を別の波長に変換したり、また、その波長が可変であ
って、且つ、それを制御できなければならない。
号を別の波長に変換したり、また、その波長が可変であ
って、且つ、それを制御できなければならない。
従来、このようなことを実現する為には、入力光信号を
、先ず、電気信号に変換し、その電気信号を用いて波長
が可変で且つその制御を行うことができる半導体レーザ
を駆動し、再び光信号に変換して出力する旨の手段を採
っている。
、先ず、電気信号に変換し、その電気信号を用いて波長
が可変で且つその制御を行うことができる半導体レーザ
を駆動し、再び光信号に変換して出力する旨の手段を採
っている。
現在、前記のような手段を具体化するには、個別の部品
を用いざるを得ず、従って、その構成は゛著しく複雑化
し、一般の用に供することは困難である。
を用いざるを得ず、従って、その構成は゛著しく複雑化
し、一般の用に供することは困難である。
若し、光信号のままで波長変換したり、その変換波長を
変化させるように制御し得る半導体発光装置を得ること
ができれば、光多重通信は、その実用化に向かって大き
く進展する。
変化させるように制御し得る半導体発光装置を得ること
ができれば、光多重通信は、その実用化に向かって大き
く進展する。
本発明は、光信号の波長を別の波長に変換することが可
能であると共にその波長が可変であるように制御するこ
とができる半導体発光装置を提供しようとする。
能であると共にその波長が可変であるように制御するこ
とができる半導体発光装置を提供しようとする。
前記希求されている半導体発光装置を実現するには、先
ず、光信号の波長を別の波長に変換する機能を持たせる
ことが必要である。
ず、光信号の波長を別の波長に変換する機能を持たせる
ことが必要である。
第2図はバイアス電流を供給される電極が分割されてい
る形式の半導体レーザの従来例を説明する為の要部切断
側面図を表している。
る形式の半導体レーザの従来例を説明する為の要部切断
側面図を表している。
図に於いて、1はn型InPクラッド兼基板、2はI
nGaAs P活性層、3はp型InPクラッド兼コン
タクト層、4Aはp側第1電極、4Bはp側第2電極、
5はn側電極、Llは第1電極部分の長さ、L2は第1
電極部分と第2電極部分とを分離する為の溝、L3は第
2電極部分の長さ、LINは入力光信号、I−outは
出力光信号、11及びI2はバイアス電流をそれぞれ示
している。
nGaAs P活性層、3はp型InPクラッド兼コン
タクト層、4Aはp側第1電極、4Bはp側第2電極、
5はn側電極、Llは第1電極部分の長さ、L2は第1
電極部分と第2電極部分とを分離する為の溝、L3は第
2電極部分の長さ、LINは入力光信号、I−outは
出力光信号、11及びI2はバイアス電流をそれぞれ示
している。
この半導体レーザは、双安定レーザ・ダイオードとして
知られているものである(要すれば、昭和60年度電子
通信学会総合全国大会 原稿番号886を参照)。
知られているものである(要すれば、昭和60年度電子
通信学会総合全国大会 原稿番号886を参照)。
この半導体レーザに対し、バイアス電流1+及びI2と
して発振開始直前の値を設定しておき、その状態に於い
て或る波長の入力光信号LINを与えると、固有の波長
で発振開始し、波長変換された出力光信号し。UTが得
られることを実験に依って確認できた。
して発振開始直前の値を設定しておき、その状態に於い
て或る波長の入力光信号LINを与えると、固有の波長
で発振開始し、波長変換された出力光信号し。UTが得
られることを実験に依って確認できた。
本発明では、第2図に見られる構造を有する半導体発光
装置を前記の条件で動作させることで波長変換を行うよ
うにしている。
装置を前記の条件で動作させることで波長変換を行うよ
うにしている。
さて、次に、半導体レーザ固有の発振波長を可変に、且
つ、それを制御することが必要である。
つ、それを制御することが必要である。
第3図は本出願人に於いて開発され波長が可変で且つそ
の制御が可能な三領域半導体レーザの要部切断斜面図を
表している。
の制御が可能な三領域半導体レーザの要部切断斜面図を
表している。
図に於いて、11はn型1nP基板、12はグレーティ
ング、13はn型■nGaASPガイド層、14はn型
1nPクラッド層、15はI nGaAsP活性層、1
6はInGaAsP耐メルト・バック層、17はp型I
nP埋め込み層、18はn型InP埋め込み層、19は
p型InPクラッド層、20はp型1nPコンタクト層
、21は活性領域電極、22は位相調整領域電極、23
はDBR(distributed Bragg
reflector)iJl域電極電極は活性領域、P
は位相調整領域、DはDBR領域をそれぞれ示している
。
ング、13はn型■nGaASPガイド層、14はn型
1nPクラッド層、15はI nGaAsP活性層、1
6はInGaAsP耐メルト・バック層、17はp型I
nP埋め込み層、18はn型InP埋め込み層、19は
p型InPクラッド層、20はp型1nPコンタクト層
、21は活性領域電極、22は位相調整領域電極、23
はDBR(distributed Bragg
reflector)iJl域電極電極は活性領域、P
は位相調整領域、DはDBR領域をそれぞれ示している
。
この半導体レーザは、図から判るように、通常の活性領
域A、位相調整領域P、DBR領域りの三領域からなっ
ていて、発光領域Aに於いては通常の半導体レーザと同
様に発光出力を得る為に発振を行い、位相調整領域Pで
は安定した単一波長の発振を得る為に位相制御を行い、
D B RfJ域りではブラッグ波長の制御を行うもの
である。
域A、位相調整領域P、DBR領域りの三領域からなっ
ていて、発光領域Aに於いては通常の半導体レーザと同
様に発光出力を得る為に発振を行い、位相調整領域Pで
は安定した単一波長の発振を得る為に位相制御を行い、
D B RfJ域りではブラッグ波長の制御を行うもの
である。
さて、活性領域電極21に一定の電流を流して発光領域
Aで発振させると、それに依って得られた出力光は位相
調整領域Pを介しD B Rfii域りの端面から外部
に送出されるのであるが、この状態で、位相調整領域電
極22に流す電流を一定とし、DBR領域電極23に流
す電流を変化させると発振波長はとびとびに短波長側に
シフトする。これは、キャリヤの注入で屈折率が減少し
てブラッグ波長が動いた為である。また、活性領域電極
21及びDBR領域電極23に流す電流を所定値に維持
し、位相調整領域電極22に流す電流を変化させると、
位相条件が変化する為、連続的に波長を制御することが
できる。
Aで発振させると、それに依って得られた出力光は位相
調整領域Pを介しD B Rfii域りの端面から外部
に送出されるのであるが、この状態で、位相調整領域電
極22に流す電流を一定とし、DBR領域電極23に流
す電流を変化させると発振波長はとびとびに短波長側に
シフトする。これは、キャリヤの注入で屈折率が減少し
てブラッグ波長が動いた為である。また、活性領域電極
21及びDBR領域電極23に流す電流を所定値に維持
し、位相調整領域電極22に流す電流を変化させると、
位相条件が変化する為、連続的に波長を制御することが
できる。
本発明では、第3図に見られる構造を有する半導体発光
装置の構造を採り入れて発振波長を可変に、そして、そ
の制御を行うようにしている。
装置の構造を採り入れて発振波長を可変に、そして、そ
の制御を行うようにしている。
そこで、本発明に依る半導体発光装置に於いては、バイ
アス電流(例えばバイアス電流■□及びI A2)を加
える電極(例えば第1電極36A及び36C)が二分割
され且つ或る波長の入力光信号(例えばL IN)が入
射されると固有の波長で発振開始する活性領域(例えば
活性領域A)と、該活性領域に連なって設けられバイア
ス電流(例えばバイアス電流IF)を変えることで発振
波長の制御を行う位相調整領域(例えば位相調整領域P
)と、該位相調整領域に連なって設けられバイアス電流
(例えばバイアス電流ID)を変えることで発振波長を
シフトさせるブラッグ反射領域(例えばDBR領域領域
色の三領域を有している。
アス電流(例えばバイアス電流■□及びI A2)を加
える電極(例えば第1電極36A及び36C)が二分割
され且つ或る波長の入力光信号(例えばL IN)が入
射されると固有の波長で発振開始する活性領域(例えば
活性領域A)と、該活性領域に連なって設けられバイア
ス電流(例えばバイアス電流IF)を変えることで発振
波長の制御を行う位相調整領域(例えば位相調整領域P
)と、該位相調整領域に連なって設けられバイアス電流
(例えばバイアス電流ID)を変えることで発振波長を
シフトさせるブラッグ反射領域(例えばDBR領域領域
色の三領域を有している。
前記手段を採ることに依り、入力光信号の波長を変換す
ること、また、その波長を可変とし且つその制御を行う
ことが可能であることから、光多重通信を実現する為の
光源として有効であり、しかも、全体をモノリシックに
構成することができるから、従来のものとは比較になら
ないほど小型化される。
ること、また、その波長を可変とし且つその制御を行う
ことが可能であることから、光多重通信を実現する為の
光源として有効であり、しかも、全体をモノリシックに
構成することができるから、従来のものとは比較になら
ないほど小型化される。
第1図は本発明一実施例の要部切断側面図を表し、第2
図及び第3図に於いて用いた記号と同記号は同部分を示
すか或いは同じ意味を持つものとする。
図及び第3図に於いて用いた記号と同記号は同部分を示
すか或いは同じ意味を持つものとする。
図に於いて、31はn型1nPクラツド兼基板、32は
グレーティング、33はn型I nGaAsP導波層、
34はI nGaAs P活性層、35はp型InPク
ラッド兼コンタクト層、36Aは活性領域第1電極、3
6Bは分離溝、36Cは活性領域第2電極、37は位相
調整領域電極、38はDBR領域電極、LAは活性領域
Aの長さ、LPは位相調整領域Pの長さ、LDはDBR
領域りの長さ、IAIは第1電極36Aに供給するバイ
アス電流、■1は第2電極36Cに供給するバイアス電
流、■2は電極37に供給するバイアス電流、Inは電
極38に供給するバイアス電流をそれぞれ示している。
グレーティング、33はn型I nGaAsP導波層、
34はI nGaAs P活性層、35はp型InPク
ラッド兼コンタクト層、36Aは活性領域第1電極、3
6Bは分離溝、36Cは活性領域第2電極、37は位相
調整領域電極、38はDBR領域電極、LAは活性領域
Aの長さ、LPは位相調整領域Pの長さ、LDはDBR
領域りの長さ、IAIは第1電極36Aに供給するバイ
アス電流、■1は第2電極36Cに供給するバイアス電
流、■2は電極37に供給するバイアス電流、Inは電
極38に供給するバイアス電流をそれぞれ示している。
本実施例に於ける主要部分に関する諸データを例示する
と次の通りである。
と次の通りである。
tal 活性領域Aについて
長さLA : 300 (,17m)厚さ:0.21
(μm) 組成λPL (波長換算): 1.54 Cμm)(b
l 位相調整領域Pについて 長さLP =172 Cμm〕 厚さ:0.23Cμm〕 組成λPL : 1.、 29 C’ll m)(CI
DBR領域りについて 長さり、、:290Cμm〕 厚さ:0.23(μm〕 組成λPL: 1.29 Cμm) このような半導体発光装置に於いて、 バイアス電流1 a+ : 51 、 5 (mA)バ
イアス電流I A2 : 2 、 05 (mA)バイ
アス電流IF : 0.1 (mA)バイアス電流
In : 0.1 (mA)とした状態で、入力光
信号LINを、 波長:1.531 (μm〕 波形:パルス ピーク値: 0.66 (mW) として入射させたところ、出力光信号し。LITとして
、 波長:1.534Cμm〕 波形:パルス ピーク値: 2.7 (mW) 立ち上がり及び立ち下がり: 1.5 (ns)を得る
ことができた。また、出力波長を、1.530 (μm
〕〜1.534 Cμm〕の範囲で可変にすることがで
きた。
(μm) 組成λPL (波長換算): 1.54 Cμm)(b
l 位相調整領域Pについて 長さLP =172 Cμm〕 厚さ:0.23Cμm〕 組成λPL : 1.、 29 C’ll m)(CI
DBR領域りについて 長さり、、:290Cμm〕 厚さ:0.23(μm〕 組成λPL: 1.29 Cμm) このような半導体発光装置に於いて、 バイアス電流1 a+ : 51 、 5 (mA)バ
イアス電流I A2 : 2 、 05 (mA)バイ
アス電流IF : 0.1 (mA)バイアス電流
In : 0.1 (mA)とした状態で、入力光
信号LINを、 波長:1.531 (μm〕 波形:パルス ピーク値: 0.66 (mW) として入射させたところ、出力光信号し。LITとして
、 波長:1.534Cμm〕 波形:パルス ピーク値: 2.7 (mW) 立ち上がり及び立ち下がり: 1.5 (ns)を得る
ことができた。また、出力波長を、1.530 (μm
〕〜1.534 Cμm〕の範囲で可変にすることがで
きた。
本発明に依る半導体発光装置に於いては、或る波長の入
力光信号が入射されると固有の波長で発振開始する活性
領域と、発振波長の制御を行う位相調整領域と、発振波
長をシフトさせるブラッグ反射領域とを有している。
力光信号が入射されると固有の波長で発振開始する活性
領域と、発振波長の制御を行う位相調整領域と、発振波
長をシフトさせるブラッグ反射領域とを有している。
前記構成を採ることに依り、入力光信号の波長を変換す
ること、また、その波長を可変とし且つその制御を行う
ことが可能であることから、光多重通信を実現する為の
光源として有効であり、しかも、全体をモノリシックに
構成することができるから、従来のものとは比較になら
ないほど小型化される。
ること、また、その波長を可変とし且つその制御を行う
ことが可能であることから、光多重通信を実現する為の
光源として有効であり、しかも、全体をモノリシックに
構成することができるから、従来のものとは比較になら
ないほど小型化される。
第1図は本発明一実施例の要部切断側面図、第2図は二
分割電極をもつ半導体レーザの要部切断側面図、第3図
は三領域をもつ半導体レーザの要部切断斜面図をそれぞ
れ表している。 図に於いて、31はn型InPクラッド兼基板、32は
グレーティング、33はn型1nGaAsP導波層、3
4はI nGaAs P活性層、35はp型1nPクラ
ッド兼コンタクト層、36Aは活性領域第1電極、36
Bは分離溝、36Cは活性領域第2電極、37は位相調
整領域電極、38はDBR領域電極、LAは活性領域A
の長さ、L。 は位相調整領域Pの長さ、LoはDBR領域りの長さ、
IAIは第1電極36Aに供給するバイアス電流、IA
IIは第2電極36Cは供給するバイアス電流、■、は
電極37に供給するバイアス電流、1、は電極38に供
給するバイアス電流をそれぞれ示している。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 相 谷 昭 司 代理人弁理士 渡 邊 弘 −
分割電極をもつ半導体レーザの要部切断側面図、第3図
は三領域をもつ半導体レーザの要部切断斜面図をそれぞ
れ表している。 図に於いて、31はn型InPクラッド兼基板、32は
グレーティング、33はn型1nGaAsP導波層、3
4はI nGaAs P活性層、35はp型1nPクラ
ッド兼コンタクト層、36Aは活性領域第1電極、36
Bは分離溝、36Cは活性領域第2電極、37は位相調
整領域電極、38はDBR領域電極、LAは活性領域A
の長さ、L。 は位相調整領域Pの長さ、LoはDBR領域りの長さ、
IAIは第1電極36Aに供給するバイアス電流、IA
IIは第2電極36Cは供給するバイアス電流、■、は
電極37に供給するバイアス電流、1、は電極38に供
給するバイアス電流をそれぞれ示している。 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 相 谷 昭 司 代理人弁理士 渡 邊 弘 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 バイアス電流を加える電極が二分割され且つ或る波長の
入力光信号が入射されると固有の波長で発振開始する活
性領域と、 該活性領域に連なって設けられバイアス電流を変えるこ
とで発振波長の制御を行う位相調整領域と、 該位相調整領域に連なって設けられバイアス電流を変え
ることで発振波長をシフトさせるブラッグ反射領域と の三領域を有してなる半導体発光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP679988A JPH01183180A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体発光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP679988A JPH01183180A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体発光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01183180A true JPH01183180A (ja) | 1989-07-20 |
Family
ID=11648227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP679988A Pending JPH01183180A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 半導体発光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01183180A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05326921A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-12-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換光レジスタメモリ |
| WO2005091450A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Modulation light source, image display apparatus including the same, and method of driving modulation light source |
| WO2026047933A1 (ja) * | 2024-08-29 | 2026-03-05 | Ntt株式会社 | 半導体レーザ |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP679988A patent/JPH01183180A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05326921A (ja) * | 1991-06-24 | 1993-12-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 波長変換光レジスタメモリ |
| WO2005091450A1 (en) * | 2004-03-23 | 2005-09-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Modulation light source, image display apparatus including the same, and method of driving modulation light source |
| US7376161B2 (en) | 2004-03-23 | 2008-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Modulation light source, image display apparatus including the same, and method of driving modulation light source |
| WO2026047933A1 (ja) * | 2024-08-29 | 2026-03-05 | Ntt株式会社 | 半導体レーザ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06103778B2 (ja) | 半導体分布帰還形レーザを含む光学装置およびその駆動方法 | |
| JP2018018947A (ja) | レーザ部品及びレーザ光発生装置 | |
| EP0285393A2 (en) | Wavelength Conversion Element | |
| JPH01183180A (ja) | 半導体発光装置 | |
| JP3257185B2 (ja) | 半導体光源装置とその駆動方法 | |
| JP3293968B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JPS63116489A (ja) | 光集積回路 | |
| GB2372376A (en) | Semiconductor Laser | |
| CA2267018C (en) | Optical wavelength converter with active waveguide | |
| US5325387A (en) | Method of operating a semiconductor laser as a bistable opto-electronic component | |
| JPS62244185A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JPH04162481A (ja) | 集積化光源装置 | |
| JPS61206285A (ja) | 半導体レ−ザ装置 | |
| JPS6076721A (ja) | 光変調器 | |
| JP2916510B2 (ja) | 光フリップフロップ | |
| JP2000284241A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
| JP2695741B2 (ja) | 光学再生器 | |
| JP3778825B2 (ja) | 光制御素子 | |
| JP2920950B2 (ja) | 集積化光半導体素子 | |
| JPH01262684A (ja) | パルス光発生装置及びパルス光発生方法 | |
| JPS6123382A (ja) | 多重波長半導体レ−ザ | |
| JPH08111561A (ja) | 半導体波長変換素子 | |
| JP2516980B2 (ja) | 光マトリクススイッチ | |
| JPS62291982A (ja) | 光パルス波長制御器 | |
| JPH04114133A (ja) | 光スイッチ |