JPH01184963A - 密着型イメージセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はイメージセンサに係り、特にコンパクトでフ
ァクシミリ送信機の読取装置等に使用して好適な原稿密
着型のイメージセンサに関する。

〔従来の技術〕

例えばファクシミリ送信機に用いられる読取装置は、従
来、ＩＣ技術等で製造されるＭＯＳやアモルファス・シ
リコン等のイメージセンサを用い、その上に原稿を光学
系によって縮小結像させる形式のものが多用されている
が、装置が光学系を使用することのため小型化が困難で
ある等の問題点を有していた。

そのため、装置を小型化できる密着型のイメージセンサ
が提案されている（例えば特公昭６１−１７１８６号公
報参照）。

これは、第３図（Ａ）、（Ｂ）の断面図、平面図に示す
ように、ガラス等の透明基板３７の上に遮光層３３を透
明窓３６の部分を除いて設け、その上にＣｄＳ、Ｓｅ等
の光電効果型の光電変換素子３４を離散的に形成し、さ
らに、／ｌ、Ｉｎ５ｎ等の不透明電極３５を形成して、
層全体を透明保護層３１で覆ったものである。光電変換
素子３４は、例えば、１１１当たり６〜８個程度設けら
れており、全体で原稿の最大長さと略等しい長さに構成
されている。

このイメージセンサの下部に蛍光灯を配置して、この蛍
光灯からの光３０をイメージセンサに導入し、原稿３２
の面を照射する。そして、原稿３２からの反射光を光電
変換素子３４で受けて電気信号に変換する。

〔発明が解決しようとする課題〕

この従来方式では、光学系を必要としないので、全体を
コンパクトに構成することができるが、（１）原稿を照
射する光３０が原稿の読取部分に対して斜め方向に入る
ことになり、照度むらが生ずる、 （２）分解能（ＭＴＦ）を向上させるため、原稿と光電
変換素子間の距離ｄを小さくすると、光３０の入射がさ
らに斜め方向となって照度むらが生じ、逆に距離ｄを大
にすると分解能が落ちる、という問題点を有している。

〔課題を解決するための手段および作用〕上述の問題点
を解決するために、この発明においては、基板上に受光
素子を設けると共に、この受光素子上に透光層を設け、
この透光層を介して発光部からの光を原稿の読取部に導
く光導部を設けたことを特徴とする。

これにより、発光部からの光を効率良く原稿に導くと共
に、受光素子に届く光を原稿面の光だけに制限して分解
能を向上させることができる。

〔実施例〕

第１図は、この発明の実施例を示す図であり、第１図（
Ａ）は、この発明によるイメージセンサの断面図、第１
図（Ｂ）は、同じく平面図である。

第１図において、ｌは、アモルファス・シリコン等の光
電変換素子より構成された受光素子であり、１．１龍程
度の厚さのガラス基板６上に形成されている。この基板
６上には、受光素子１をも覆って第１の透光層４が設け
られており、この第１の透光層４上には光入射窓２、光
導入窓１０を持つ第１の遮光層８が設けられ、さらに、
第２の透光層３、第２の遮光層９が設けられている。第
２の遮光層９には、原稿５の読取部に対抗して読取窓１
１が形成される。また、ガラス基板６の裏面側には、Ｅ
Ｌ素子等の発光層７が設けられている。

このイメージセンサを製造するには、ガラス基板６の上
にアモルファス・シリコン等の受光素子を形成した後、
その上に第１の透光層４として水ガラスを塗布し、２０
０℃程度でキユアリングする。その上に第１の遮光層８
としてＣｒを０．１μ−程度の厚さに蒸着し、フォトリ
ソ・エツチング技術により、受光素子１の真上に光入射
窓２を作成する。

この実施例では、受光素子１の大きさｄ１＝１００μｍ
程度、光入射窓２の大きさｄ２＝４０μｍ程度、受光素
子１間の距離ｄ３＝２５μｍ程度にしである。

次いで、第１の遮光層８の上にガラスをスパッタリング
により、１０μｍ厚さに形成し第２の透光１’ｉＩ３を
得る。さらに、その上に原稿面を規定する第２の遮光層
９を０．１μｍ着膜する。この膜の形成は、第１の遮光
層８と同様な方法で良い。この遮光膜８．９及び透光Ｎ
３によって先導部を構成している。

発光層７は、従来周知のＥＬ素子を貼着すること、或い
は、ガラス基板６上に一体的にＥＬ素子を形成しても良
い。

発光層７からの光７は、遮光層８．９及び第２の透光層
３によって形成される光導部に導かれ、遮光層８．９で
多重反射して原稿面５の読取部に照射される。読取部に
照射された光は、原稿面で乱反射され、光入射窓２を通
って受光素子１に到達し、ここで電気信号に変換される
ことになる。

第２図は、この発明の第２の実施例を示す図である。図
において、第１図に示した第１の実施例と同一の部材に
は同一の番号を付与しであるので、その詳細な説明は省
く。

この第２の実施例においては、光導部として光ファイバ
１５を用いたことを特徴としており、この光ファイバ１
５の一端をレーザーダイオード（ＬＤ）１６に臨ませ、
他端を原稿５の読取窓１１に臨ませている。

これを作成するには、第１の実施例の場合と同様にして
、第１の遮光層８を形成終了した後、第１の遮光層８の
上に光ファイバ１５を設置し、透光層１７として水ガラ
スを８０μｍ程度に塗布して硬化させる。その上Ｇご遮
光層１８として、黒色硬質樹脂を２μｍ程度に着膜すれ
ば良い。

この例の場合、レーザーダイオード（ＬＤ）１６からの
光は、光ファイバ１５を通って原稿５の読取部に至る。

そこで、反射した光は、受光素子ｌに到達して、ここで
電気信号に変換される。

〔発明の効果〕

以上述べたとおり、この発明によれば、光導部によって
光を原稿の読取部に導いているため、光を直行した状態
で原稿面に導くことができ、分解能が高いセンサーを実
現できる。また、原稿面と受光素子との間の距離を大と
しても、分解能はあまり落ちないため、センサー設計上
の自由度が大きくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の第１の実施例を示す図、第２図はこ
の発明の第２の実施例を示す図、第３図は従来例を示す
図である。 １−受光素子、　　　　２−・・光入射窓、３・・・第
２の透光層、　　４−・−第１の透光層、５−・原稿、
　　　　　　６−ガラス基板、７−・発光層、　　　　
　８−第１の遮光層、９・−・第２の遮光層、　　１ｏ
・−光導入窓、１１・−読取窓、　　　　１５・−光フ
ァイバ、１６−・・レーザーダイオード。 特許出願人　　富士ゼロックス株式会社代理人弁理士　
　　山　谷　晧　榮 ｚ 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板と、この基板上に設けられた第１の透光層と
   、この第１の透光層と前記基板の間に配せられた受光素
   子と、前記第１の透光層上に設けられた第２の透光層と
   、この第２の透光層に光を導いて該第２の透光層上に配
   される原稿に反射させて光入射窓を介して前記受光素子
   に受けさせる光導部とを具備することを特徴とするイメ
   ージセンサ。