JPH01185437A - 真空チャンバの試料加熱装置 - Google Patents
真空チャンバの試料加熱装置Info
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- JPH01185437A JPH01185437A JP63011319A JP1131988A JPH01185437A JP H01185437 A JPH01185437 A JP H01185437A JP 63011319 A JP63011319 A JP 63011319A JP 1131988 A JP1131988 A JP 1131988A JP H01185437 A JPH01185437 A JP H01185437A
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L7/00—Heating or cooling apparatus; Heat insulating devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G01N33/202—Constituents thereof
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- G01N33/2025—Gaseous constituents
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
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- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空チャンバを備え、かっこの真空チャンバ
内にセットした試料を加熱するように構成された分析装
置その他において、前記真空チャンバ内の試料を加熱す
る装置に関するものである。
内にセットした試料を加熱するように構成された分析装
置その他において、前記真空チャンバ内の試料を加熱す
る装置に関するものである。
（従来の技術）
分析装置その他において、その試料を真空チャンバ内で
加熱する装置として、例えば、第５図に示した装置が知
られている。
加熱する装置として、例えば、第５図に示した装置が知
られている。
第５図において、５１は真空チャンバで、それに試料を
出し入れするためにふた５２で開閉可能に構成された出
し入れ口５３が設けられている。５４は前記ふな５２の
内面に固着されたブラケットで、これに取付けられたス
テージ５５上に、ヒータと温度計測素子からなる加熱ブ
ロック５６が取付けられており、その上部が試料台５７
になっている。加熱ブロック５６に対する配線５８は、
前記ふた５２を貫通して、その外部に出されている。５
９は出し入れ口５３の口部に取付けられたパツキンであ
る。
出し入れするためにふた５２で開閉可能に構成された出
し入れ口５３が設けられている。５４は前記ふな５２の
内面に固着されたブラケットで、これに取付けられたス
テージ５５上に、ヒータと温度計測素子からなる加熱ブ
ロック５６が取付けられており、その上部が試料台５７
になっている。加熱ブロック５６に対する配線５８は、
前記ふた５２を貫通して、その外部に出されている。５
９は出し入れ口５３の口部に取付けられたパツキンであ
る。
この装置において、試料台５７に試料を取付ける場合は
、真空チャンバ５１からふた５２を分離することによっ
て、ステージ５５と共に加熱ブロック５６などの全体を
真空チャンバ５１外に取出して、試料台５７に試料を取
付ける。
、真空チャンバ５１からふた５２を分離することによっ
て、ステージ５５と共に加熱ブロック５６などの全体を
真空チャンバ５１外に取出して、試料台５７に試料を取
付ける。
そして、ふた５２を介して加熱ブロック５６などの全体
を真空チャンバ５１内に挿入するとともに、ふた５２で
出し入れ口５３を閉鎖して、真空チャンバ５１を真空に
する。
を真空チャンバ５１内に挿入するとともに、ふた５２で
出し入れ口５３を閉鎖して、真空チャンバ５１を真空に
する。
試料台５７から試料を分離するときも、ふた５２を介し
て真空チャンバ５１から加熱ブロック５６などの全体を
取出す、すなわち、試料の着脱時には、真空チャンバ５
１を大気に解放するものである。
て真空チャンバ５１から加熱ブロック５６などの全体を
取出す、すなわち、試料の着脱時には、真空チャンバ５
１を大気に解放するものである。
また、第６図に示した加熱装置も知られている。
第６図において、６１は底板で、この上にベルジャ６２
が載置されている。６３は底板６１に取付けられたステ
ージで、この上にヒータと温度計測素子がちなる加熱ブ
ロック６４が取付けられ、その上部が試料台６５になっ
ている。加熱ブロック６４の配！６６は底板６１を貫通
してその外に出されている。６７はベルジャ６２に取付
けられたパツキンである。
が載置されている。６３は底板６１に取付けられたステ
ージで、この上にヒータと温度計測素子がちなる加熱ブ
ロック６４が取付けられ、その上部が試料台６５になっ
ている。加熱ブロック６４の配！６６は底板６１を貫通
してその外に出されている。６７はベルジャ６２に取付
けられたパツキンである。
この装置における試料の着脱は、ベルジャ６２を底板６
１から分離し、試料台６５を露出させて行うものである
。
１から分離し、試料台６５を露出させて行うものである
。
（発明が解決しようとする問題点）
前記従来の加熱装置において、第５図に示した装置は、
試料の着脱の都度、ふた５２を介してステージ５５と共
に加熱ブロック５６などの全体を真空チャンバ５１から
取り出すから、多くの労力と手間が必要になる問題があ
る。また、試料の着脱の都度、真空チャンバ５１を大気
に解放するから、それを再度真空にするための手間も多
くなる問題がある。
試料の着脱の都度、ふた５２を介してステージ５５と共
に加熱ブロック５６などの全体を真空チャンバ５１から
取り出すから、多くの労力と手間が必要になる問題があ
る。また、試料の着脱の都度、真空チャンバ５１を大気
に解放するから、それを再度真空にするための手間も多
くなる問題がある。
第６図に示した装置も、試料の着脱の都度ベルジャ６２
を移動させることが必要であるから、その手間が多くな
り、かつその都度ベルジャ６２を大気に解放するから、
それを再度真空にすることが必要である問題がある。
を移動させることが必要であるから、その手間が多くな
り、かつその都度ベルジャ６２を大気に解放するから、
それを再度真空にすることが必要である問題がある。
すなわち、前記両装置のように、真空チャンバ内で試料
を加熱する場合ヒータを使用するから、その配線が必要
になる。したがって、例えば加熱ブロックをステージに
着脱可能にして、その加熱ブロックを予備排気室から真
空チャンバに移送することは、前記配線のために不可能
であることによって、前記の各問題が生じている。
を加熱する場合ヒータを使用するから、その配線が必要
になる。したがって、例えば加熱ブロックをステージに
着脱可能にして、その加熱ブロックを予備排気室から真
空チャンバに移送することは、前記配線のために不可能
であることによって、前記の各問題が生じている。
本発明は、上記のような問題を解決するものであって、
真空チャンバに予備排気室を設けて、試料の着脱時に真
空チャンバを大気に解放することが不必要な、真空チャ
ンバの試料加熱装置をうろことを目的とするものである
。
真空チャンバに予備排気室を設けて、試料の着脱時に真
空チャンバを大気に解放することが不必要な、真空チャ
ンバの試料加熱装置をうろことを目的とするものである
。
（問題点を解決するための手段）
本発明の真空チャンバの試料加熱装置は、分析装置など
の真空チャンバにゲートバルブを介して予備排気室が接
続され、かつ真空チャンバ内に試料用のステージが配置
され、かつこのステージに着脱可能にした試料ホルダが
設けられ、この試料ホルダをステージに着脱するために
、予備排気室と真空チャンバ間で試料ホルダを移動させ
る移送装置が予備排気室に装着され、かつ前記試料ホル
ダにヒータと温度計測素子が取付けられるとともに、前
記ヒータと温度計測素子が試料ホルダに設けられた各コ
ネクタに接続され、前記移送装置で試料ホルダがステー
ジに取付けられたときに、前記コネクタと接続される固
定コネクタが真空チャンバ内に設けられたことを特徴と
するものである。
の真空チャンバにゲートバルブを介して予備排気室が接
続され、かつ真空チャンバ内に試料用のステージが配置
され、かつこのステージに着脱可能にした試料ホルダが
設けられ、この試料ホルダをステージに着脱するために
、予備排気室と真空チャンバ間で試料ホルダを移動させ
る移送装置が予備排気室に装着され、かつ前記試料ホル
ダにヒータと温度計測素子が取付けられるとともに、前
記ヒータと温度計測素子が試料ホルダに設けられた各コ
ネクタに接続され、前記移送装置で試料ホルダがステー
ジに取付けられたときに、前記コネクタと接続される固
定コネクタが真空チャンバ内に設けられたことを特徴と
するものである。
（作用）
この真空チャンバの試料加熱装置は、ゲートバルブを閉
じてから、試料を取付けた試料ホルダを予備排気室で移
送装置に取付ける。この状態で予備排気室を真空にした
のち、ゲートバルブを開いて移送装置で前記試料ホルダ
を、真空チャンバに移送し、かつステージに取付ける。
じてから、試料を取付けた試料ホルダを予備排気室で移
送装置に取付ける。この状態で予備排気室を真空にした
のち、ゲートバルブを開いて移送装置で前記試料ホルダ
を、真空チャンバに移送し、かつステージに取付ける。
前記のようにして、試料ホルダをステージに取付けると
、試料ホルダに設けられたヒータと温度計測素子が接続
された各コネクタが、真空チャンバ内に配置した固定コ
ネクタに接続されて、前記ヒータおよび温度計測素子に
対する電圧の印加が可能になるものである。
、試料ホルダに設けられたヒータと温度計測素子が接続
された各コネクタが、真空チャンバ内に配置した固定コ
ネクタに接続されて、前記ヒータおよび温度計測素子に
対する電圧の印加が可能になるものである。
本発明の真空チャンバの試料加熱装置の実施例を第１〜
４図について説明する。
４図について説明する。
第１〜４図において、１は真空チャンバ、２は真空チャ
ンバ１に連通させて設けられた予備排気室で、その連通
部３にゲートバルブ４を設け、このゲートバルブ４をシ
リンダ５で操作し、連通部３を開閉して真空チャンバ１
と予備排気室２とを連通させることと、真空チャンバ１
を閉鎖することが可能に構成されている。
ンバ１に連通させて設けられた予備排気室で、その連通
部３にゲートバルブ４を設け、このゲートバルブ４をシ
リンダ５で操作し、連通部３を開閉して真空チャンバ１
と予備排気室２とを連通させることと、真空チャンバ１
を閉鎖することが可能に構成されている。
６は予備排気室２に設けられた磁気カップリング式の移
送装置で、そのダイアル７のスライドで、操作シャフト
８を、予備排気室２内から真空チャンバ１内に移動、ま
たは前記と逆に移動させること、およびダイアル７の回
転で、操作シャフト８を回転させることが可能に構成さ
れている。
送装置で、そのダイアル７のスライドで、操作シャフト
８を、予備排気室２内から真空チャンバ１内に移動、ま
たは前記と逆に移動させること、およびダイアル７の回
転で、操作シャフト８を回転させることが可能に構成さ
れている。
９ａ、９ｂは予備排気室２に設けられたパイプ状の直進
ガイドで、これらは移送装置６とほぼ平行にして、その
両側に配置され、かつそのそれぞれにガイドロッド１０
ａ、 １０ｂがスライド可能に挿入されている。１１は
ガイドロッド１０ａ、 １０ｂの各先端に架設状に取付
けられた保持部材で、前記操作シャフト８の先端部が保
持部材１１に、それを貫通して回転可能で、スライド不
能に取付けられている。１２は操作シャフト８を保持す
るベアリングである。
ガイドで、これらは移送装置６とほぼ平行にして、その
両側に配置され、かつそのそれぞれにガイドロッド１０
ａ、 １０ｂがスライド可能に挿入されている。１１は
ガイドロッド１０ａ、 １０ｂの各先端に架設状に取付
けられた保持部材で、前記操作シャフト８の先端部が保
持部材１１に、それを貫通して回転可能で、スライド不
能に取付けられている。１２は操作シャフト８を保持す
るベアリングである。
すなわち、ダイアル７の操作で、その操作シャフト８を
スライドさせると保持部材１１を介してガイドロッド１
０ａ、 １０ｂが同時にスライドするように構成されて
おり、保持部材１１は回転することなく直進する。
スライドさせると保持部材１１を介してガイドロッド１
０ａ、 １０ｂが同時にスライドするように構成されて
おり、保持部材１１は回転することなく直進する。
１３は操作シャフト８の先端に、それに対し直交状に固
着された棒状のフック１．１４ａ、 １４ｂは操作シャ
フト８の両側に位置させて保持部材１１に突設された保
持ピンである。
着された棒状のフック１．１４ａ、 １４ｂは操作シャ
フト８の両側に位置させて保持部材１１に突設された保
持ピンである。
この保持ピン１４ａ、 １４ｂは、ガイドロッド１０ａ
、 １０ｂとほぼ同軸に配置されているが、ガイドロッ
ド１０ａ、 １０ｂと別位置に設けることも可能である
。
、 １０ｂとほぼ同軸に配置されているが、ガイドロッ
ド１０ａ、 １０ｂと別位置に設けることも可能である
。
１５は前記移送装置６で移送されてきた後述の試料ホル
ダを取付けるために、真空チャンバ１内に配置されたス
テージで、その表面に断面例り字状の一対の取付部材１
６ａ、１６ｂ （第４図参照）が、互いに間隔をおい
て平行状に、かつその空隙部が相対向して固着されてい
る。
ダを取付けるために、真空チャンバ１内に配置されたス
テージで、その表面に断面例り字状の一対の取付部材１
６ａ、１６ｂ （第４図参照）が、互いに間隔をおい
て平行状に、かつその空隙部が相対向して固着されてい
る。
１７は試料ホルダ（第２図参照）で、その一端の支持材
１８の端面に、前記フック１３を、その厚さ方向で挿入
可能な開口部１９が設けられるとともに、この開口部１
９に連通させて、フック１３をその長さ方向で挿入可能
な係止孔２０が形成されている。すなわち、前記フック
１３を、その厚さ方向で、開口部１９から係止孔２０に
挿入したのちに、操作シャフト８をほぼ９０度回すこと
によって、フック１３が係止孔２０に係止されるように
構成されている。
１８の端面に、前記フック１３を、その厚さ方向で挿入
可能な開口部１９が設けられるとともに、この開口部１
９に連通させて、フック１３をその長さ方向で挿入可能
な係止孔２０が形成されている。すなわち、前記フック
１３を、その厚さ方向で、開口部１９から係止孔２０に
挿入したのちに、操作シャフト８をほぼ９０度回すこと
によって、フック１３が係止孔２０に係止されるように
構成されている。
２１ａ、２１ｂは前記開口部１８の両側で、試料ホルダ
１７の端面に設けられた挿入孔で、これらと前記開口部
１９との間隔が、フック１３と保持ピン１４ａ、 １４
ｂの間隔に一致しており、挿入孔２１ａ、２１ｂに保持
ピン１４ａ、 １４ｂを挿入することが可能である。
１７の端面に設けられた挿入孔で、これらと前記開口部
１９との間隔が、フック１３と保持ピン１４ａ、 １４
ｂの間隔に一致しており、挿入孔２１ａ、２１ｂに保持
ピン１４ａ、 １４ｂを挿入することが可能である。
２２ａ、 ２２ｂは試料ホルダ１７の両側に設けられた
係止板で、これらを前記取付部材１６ａ、 １６ｂ間に
挿入係止して、試料ホルダ１７をステージ１５に取付け
るように構成されている。
係止板で、これらを前記取付部材１６ａ、 １６ｂ間に
挿入係止して、試料ホルダ１７をステージ１５に取付け
るように構成されている。
２３は絶縁体で、その中心部に試料台２４が埋め込み状
に配置され、かつ絶縁体２３の周面にヒータ２５が、裏
面に熱電対または白金抵抗計測素子などの温度計測素子
２６がそれぞれ取付けられている。そして、試料ホルダ
１７の上面に固着された枠状の取付台２７に一端が固着
されて、その内方に突設された複数の支持板２８の端部
に、前記絶縁体２３が取付けられている。すなわち、絶
縁体２３は取付台２７の内方に、宙に浮いた状態に配置
されている。
に配置され、かつ絶縁体２３の周面にヒータ２５が、裏
面に熱電対または白金抵抗計測素子などの温度計測素子
２６がそれぞれ取付けられている。そして、試料ホルダ
１７の上面に固着された枠状の取付台２７に一端が固着
されて、その内方に突設された複数の支持板２８の端部
に、前記絶縁体２３が取付けられている。すなわち、絶
縁体２３は取付台２７の内方に、宙に浮いた状態に配置
されている。
２９ａ、 ２９ｂは前記ヒータ２５が接続されたコネク
タ、３０ａ、 ３０ｂは温度計測素子２６が接続された
コネクタ、３０ｃ、 ３０ｄはコネクタ３０ａ、 ３０
ｂと相対して設けた補助コネクタ、このコネクタ２９ａ
、 ２９ｂ、 ３０ａ、 ３０ｂ、 ３０ｃ。
タ、３０ａ、 ３０ｂは温度計測素子２６が接続された
コネクタ、３０ｃ、 ３０ｄはコネクタ３０ａ、 ３０
ｂと相対して設けた補助コネクタ、このコネクタ２９ａ
、 ２９ｂ、 ３０ａ、 ３０ｂ、 ３０ｃ。
３０ｄは、試料ホルダ１７の支持材１８と反対の端部で
、取付部材２７に固着されている。
、取付部材２７に固着されている。
３１は試料台２４に設けられた試料固定部材、３２は試
料、３３は絶縁体２３の周面と裏面の輻射熱を反射して
加熱効率を向上させるために、絶縁体２３の下部と側部
に配置された環状の熱反射板、３４は熱反射板の支持ロ
ッドである。
料、３３は絶縁体２３の周面と裏面の輻射熱を反射して
加熱効率を向上させるために、絶縁体２３の下部と側部
に配置された環状の熱反射板、３４は熱反射板の支持ロ
ッドである。
３５はコネクタ２９ａ、 ２９間に挿入される固定コネ
クタで、そのコネクタ２９ａ、 ２９ｂのそれぞれに接
触する面に端子３６ａ、３６ｂを設けている。 ３７ａ
、３７ｂはコネクタ３０ａと補助コネクタＳＱｃ間、お
よびコネクタ３０ｂと補助コネクタ３０６間に挿入され
る固定コネクタで、これらにコネクタ３０ａ、 ３０ｂ
と接触する端子３８ａ、 ３８ｂを設？ｔでイル、。
クタで、そのコネクタ２９ａ、 ２９ｂのそれぞれに接
触する面に端子３６ａ、３６ｂを設けている。 ３７ａ
、３７ｂはコネクタ３０ａと補助コネクタＳＱｃ間、お
よびコネクタ３０ｂと補助コネクタ３０６間に挿入され
る固定コネクタで、これらにコネクタ３０ａ、 ３０ｂ
と接触する端子３８ａ、 ３８ｂを設？ｔでイル、。
前記、固定コネクタ３５．３７ａ、３７ｂは、ステージ
１５の表面に立設された取付板３９の側面に突設されて
、取付部材１６ａ、 １６ｂに係止してステージ１５に
試料ホルダ１７が取付けられたときに、コネクタ２９ａ
、 ２９ｂ間とコネクタ３０ａ、３０ｂと補助コネクタ
３０ｃ、３Ｏｄ間のそれぞれに挿入されるように構成さ
れている。
１５の表面に立設された取付板３９の側面に突設されて
、取付部材１６ａ、 １６ｂに係止してステージ１５に
試料ホルダ１７が取付けられたときに、コネクタ２９ａ
、 ２９ｂ間とコネクタ３０ａ、３０ｂと補助コネクタ
３０ｃ、３Ｏｄ間のそれぞれに挿入されるように構成さ
れている。
そして、端子３６ａ、 ３６ｂ、 ３８ａ、 ３８ｂの
それぞれに接続された各リード線（図示省略）は、真空
チャンバ１外に出されている。
それぞれに接続された各リード線（図示省略）は、真空
チャンバ１外に出されている。
４０は真空チャンバ１に接続された真空ポンプ、４１は
予備排気室２に接続された真空ポンプである。
予備排気室２に接続された真空ポンプである。
そして、予備排気室２には、その内部に試料ホルダ１７
を出し入れするために、ふたで開閉される口部（図示省
略）が設けられている。
を出し入れするために、ふたで開閉される口部（図示省
略）が設けられている。
この装置は、試料ホルダ１７の試料台２４に試料３２を
試料固定部材３１で固定する。この試料ホルダ１７を真
空チャンバ１のステージ１５に取付ける場合は、シリン
ダ５を作動させてゲートバルブ４を閉鎖する。そして、
予備排気室２内に試料ホルダ１７を入れ、かつダイアル
７の操作で、操作シャフト８を回転させてそのフック１
３を、試料ホルダ１７の開口部１９から係止孔２０に挿
入するとともに、試料ホルダ１７の挿入孔２１ａ、２１
ｂに保持ピン１４ａ、 １４ｂを挿入する。
試料固定部材３１で固定する。この試料ホルダ１７を真
空チャンバ１のステージ１５に取付ける場合は、シリン
ダ５を作動させてゲートバルブ４を閉鎖する。そして、
予備排気室２内に試料ホルダ１７を入れ、かつダイアル
７の操作で、操作シャフト８を回転させてそのフック１
３を、試料ホルダ１７の開口部１９から係止孔２０に挿
入するとともに、試料ホルダ１７の挿入孔２１ａ、２１
ｂに保持ピン１４ａ、 １４ｂを挿入する。
次に、操作シャフト８でフック１３をほぼ９０度回転さ
せて、それを係止孔２０に係止し、試料ホルダ１７を移
送装置６に取付ける。（第１〜２図参照）この状態で予
備排気室２を密閉し、真空ポンプ４１の駆動で予備排気
室２を真空にする。
せて、それを係止孔２０に係止し、試料ホルダ１７を移
送装置６に取付ける。（第１〜２図参照）この状態で予
備排気室２を密閉し、真空ポンプ４１の駆動で予備排気
室２を真空にする。
予備排気室２が真空になると、ゲートバルブ４を開き、
ダイアル７をスライドさせて、操作シャフト８をガイド
ロッド１０ａ、 １０ｂと共に真空チャンバ１内に挿入
し、かつステージ１７の表面に沿って試料ホルダ１７を
移動させて、その係止板２２ａ、 ２２ｂを、第４図に
示したように、取付部材１６ａ、 １６ｂの空隙部に挿
入係止して、試料ボルダ１７をステージ１５に取付ける
。
ダイアル７をスライドさせて、操作シャフト８をガイド
ロッド１０ａ、 １０ｂと共に真空チャンバ１内に挿入
し、かつステージ１７の表面に沿って試料ホルダ１７を
移動させて、その係止板２２ａ、 ２２ｂを、第４図に
示したように、取付部材１６ａ、 １６ｂの空隙部に挿
入係止して、試料ボルダ１７をステージ１５に取付ける
。
すると、コネクタ２９ａ、 ２９ｂ間に固定コネクタ３
５、コネクタ３０ａ、 ３０ｂと補助コネクタ３０ｃ、
３０ｄ間に、固定コネクタ３５ｂ、 ３７ａ、 ３７
ｂがそれぞれ挿入されて、コネクタ２９ａ、 ２９ｂ、
３０ａ、 ３０ｂが端子３６ａ、 ３６ｂ、 ３８ａ
、 ３８ｂに接続される。
５、コネクタ３０ａ、 ３０ｂと補助コネクタ３０ｃ、
３０ｄ間に、固定コネクタ３５ｂ、 ３７ａ、 ３７
ｂがそれぞれ挿入されて、コネクタ２９ａ、 ２９ｂ、
３０ａ、 ３０ｂが端子３６ａ、 ３６ｂ、 ３８ａ
、 ３８ｂに接続される。
ステージ１５に試料ホルタ１７を取付けると、ダイアル
７の操作で操作シャフト８を回転して、そのフック１３
を開口部１９と平行状態にしてから、操作シャフト８を
後退させて、試料ホルダ１７からフック１３と保持ビン
１４ａ、 １４ｂを分離する試料ホルダ１７の試料台２
４に取付けられた試料３２の加熱は、端子３６ａ、 ３
６ｂとコネクタ２９ａ、 ２９ｂを経てヒータ２５に電
圧を印加し、絶縁体２３に埋め込み状に取付けた試料台
２４を加熱する。その温度制御は、絶縁体２３の裏面に
設けた温度計測素子２６からコネクタ３０ａ、 ３０ｂ
と端子３８ａ、 ３８ｂを経て出力される信号に基づい
て行う。
７の操作で操作シャフト８を回転して、そのフック１３
を開口部１９と平行状態にしてから、操作シャフト８を
後退させて、試料ホルダ１７からフック１３と保持ビン
１４ａ、 １４ｂを分離する試料ホルダ１７の試料台２
４に取付けられた試料３２の加熱は、端子３６ａ、 ３
６ｂとコネクタ２９ａ、 ２９ｂを経てヒータ２５に電
圧を印加し、絶縁体２３に埋め込み状に取付けた試料台
２４を加熱する。その温度制御は、絶縁体２３の裏面に
設けた温度計測素子２６からコネクタ３０ａ、 ３０ｂ
と端子３８ａ、 ３８ｂを経て出力される信号に基づい
て行う。
前記のように、試料３２を取付けた試料ホルダ１７を、
真空チャンバ１内に設けたステージ１５に取付けて、前
記試料３２を加熱するから、この実施例のように、真空
チャンバ１に予備排気室２を接続して、予備排気室２か
ら真空チャンバ１のステージ１５に試料ホルダ１７を取
付けることができる。
真空チャンバ１内に設けたステージ１５に取付けて、前
記試料３２を加熱するから、この実施例のように、真空
チャンバ１に予備排気室２を接続して、予備排気室２か
ら真空チャンバ１のステージ１５に試料ホルダ１７を取
付けることができる。
したがって、試料の着脱時にゲートバルブ４を開閉する
ことによって、真空チャンバ１を大気に開放することが
不必要であって、試料３２の着脱を容易に能率よく行う
ことが可能である。
ことによって、真空チャンバ１を大気に開放することが
不必要であって、試料３２の着脱を容易に能率よく行う
ことが可能である。
そして、予備排気室２内において移送装置６に試料ホル
ダ１７を取付けて、予備排気室２内を真空にしたのちに
、試料ホルダ１７を真空チャンバ１に移送するから、試
料ホルダ１７に付着した水分などは、あらかじめ予備排
気室２内で除くことができる。このため、真空チャンバ
１内でのガスの発生をなくすることができ、真空中で試
料を加熱する目的を達成することが容易である。
ダ１７を取付けて、予備排気室２内を真空にしたのちに
、試料ホルダ１７を真空チャンバ１に移送するから、試
料ホルダ１７に付着した水分などは、あらかじめ予備排
気室２内で除くことができる。このため、真空チャンバ
１内でのガスの発生をなくすることができ、真空中で試
料を加熱する目的を達成することが容易である。
そして、絶縁体２３の周面にヒータ２５を取付け、かつ
絶縁体２３に埋め込み状にして試料台２４を設けている
から、試料台２４を効率よく加熱することが可能で、試
料を所要の温度に加熱することを効率よく行うことがで
きる。
絶縁体２３に埋め込み状にして試料台２４を設けている
から、試料台２４を効率よく加熱することが可能で、試
料を所要の温度に加熱することを効率よく行うことがで
きる。
この装置は前記のように、試料を加熱して分析するため
などに、ヒータ２５および温度計測素子２６を装着した
試料ホルダ１７を、予備排気室２から真空チャンバ１の
ステージ１５に取付け、または分離することができるも
のであるが、試料を加熱しないで、その分析などを行う
場合にも使用できるものであって、その場合に使用され
る、し−夕２５および温度計測素子２６を装着していな
い試料ホルダも、前記のように移送装置６でステージ１
５に取付けることができる。
などに、ヒータ２５および温度計測素子２６を装着した
試料ホルダ１７を、予備排気室２から真空チャンバ１の
ステージ１５に取付け、または分離することができるも
のであるが、試料を加熱しないで、その分析などを行う
場合にも使用できるものであって、その場合に使用され
る、し−夕２５および温度計測素子２６を装着していな
い試料ホルダも、前記のように移送装置６でステージ１
５に取付けることができる。
なお、コネクタ２９ａ、 ２９ｂ、 ３０ａ、 ３０ｂ
と固定コネクタ３５．３７ａ、３７ｂは、試料ホルダ１
７をステージ１５に取付けるために、その表面に沿って
移動させることによって、接続と分離が可能な任意の構
成のものを使用することができる。移送装置６としては
、Ｏリングシール式のものを使用することも可能である
。そして、操作シャフト８のフック１３は、ねじ軸に代
えることも可能であって、この場合は、試料ホルダ１７
にねじ孔を設ける。
と固定コネクタ３５．３７ａ、３７ｂは、試料ホルダ１
７をステージ１５に取付けるために、その表面に沿って
移動させることによって、接続と分離が可能な任意の構
成のものを使用することができる。移送装置６としては
、Ｏリングシール式のものを使用することも可能である
。そして、操作シャフト８のフック１３は、ねじ軸に代
えることも可能であって、この場合は、試料ホルダ１７
にねじ孔を設ける。
（発明の効果）
本発明の真空チャンバの試料加熱装置は、上記のように
、真空チャンバ内に配置したステージに着脱可能に設け
た試料ホルダにヒータと温度計測素子を装着して、この
辷−夕と温度計測素子を試料ホルダに取付けたコネクタ
に接続し、真空チャンバ内に配置した各固定コネクタに
前記各コネクタを接続するように構成して、真空チャン
バに対する前記試料ホルダの出し入れを、前記真空チャ
ンバに接続した予備排気室から行うことを可能にした。
、真空チャンバ内に配置したステージに着脱可能に設け
た試料ホルダにヒータと温度計測素子を装着して、この
辷−夕と温度計測素子を試料ホルダに取付けたコネクタ
に接続し、真空チャンバ内に配置した各固定コネクタに
前記各コネクタを接続するように構成して、真空チャン
バに対する前記試料ホルダの出し入れを、前記真空チャ
ンバに接続した予備排気室から行うことを可能にした。
したがって、試料の着脱時に真空チャンバを大気に開放
することが不必要であるから、真空チャンバに対する試
料ホルダの着脱操作を容易にかつ能率よく行うことが可
能である。そして、予備排気室内で移送装置に試料ホル
ダを取付け、かつ予備排気室内を真空にしたのちに、試
料ホルダを真空チャンバに移送するから、試料ホルダに
付着した水分などは予備排気室内で除くことができ、真
空チャンバ内の真空度を維持して、真空内で試料を加熱
する目的をより確実に果たすことができる。
することが不必要であるから、真空チャンバに対する試
料ホルダの着脱操作を容易にかつ能率よく行うことが可
能である。そして、予備排気室内で移送装置に試料ホル
ダを取付け、かつ予備排気室内を真空にしたのちに、試
料ホルダを真空チャンバに移送するから、試料ホルダに
付着した水分などは予備排気室内で除くことができ、真
空チャンバ内の真空度を維持して、真空内で試料を加熱
する目的をより確実に果たすことができる。
また、試料ホルダに設けたコネクタと真空チャンバ内に
配置した固定コネクタとの接続と分離は、ステージに試
料ホルダを着脱するための、試料ホルダの移動によって
行われるから、コネクタと固定コネクタとの接続と分離
に対する特別の手間は不要であって、この接続と分離の
操作を能率よくかつ確実に行うことができる。
配置した固定コネクタとの接続と分離は、ステージに試
料ホルダを着脱するための、試料ホルダの移動によって
行われるから、コネクタと固定コネクタとの接続と分離
に対する特別の手間は不要であって、この接続と分離の
操作を能率よくかつ確実に行うことができる。
第２図は試料ホルダとステージ部の拡大平面図、第３図
は同拡大正面図、第４図は同側面図、第５図と第６図は
それぞれ異なった従来例の断面図である。
は同拡大正面図、第４図は同側面図、第５図と第６図は
それぞれ異なった従来例の断面図である。
１：真空チャンバ、２：予備排気室、４：ゲートバルブ
、６：移送装置、１５：ステージ、１７：試料ホルダ、
２２ａ、２２ｂ ：係止板、２４：試料台、２５二ヒー
タ、２６：温度計測素子、２９ａ、２９ｂ、３０ａ、３
０ｂ ：コネクタ、３５，３７ａ、３７ｂ ：固定コネ
クタ。
、６：移送装置、１５：ステージ、１７：試料ホルダ、
２２ａ、２２ｂ ：係止板、２４：試料台、２５二ヒー
タ、２６：温度計測素子、２９ａ、２９ｂ、３０ａ、３
０ｂ ：コネクタ、３５，３７ａ、３７ｂ ：固定コネ
クタ。
第４図
Claims (1)
- 分析装置などの真空チャンバにゲートバルブを介して予
備排気室が接続され、かつ真空チャンバ内に試料用のス
テージが配置され、かつこのステージに着脱可能にした
試料ホルダが設けられ、この試料ホルダをステージに着
脱するために、予備排気室と真空チャンバ間で試料ホル
ダを移動させる移送装置が予備排気室に装着され、かつ
前記試料ホルダにヒータと温度計測素子が取付けられる
とともに、前記ヒータと温度計測素子が試料ホルダに設
けられた各コネクタに接続され、前記移送装置で試料ホ
ルダがステージに取付けられたときに、前記コネクタと
接続される固定コネクタが真空チャンバ内に設けられた
真空チャンバの試料加熱装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63011319A JPH01185437A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空チャンバの試料加熱装置 |
| EP89100589A EP0325178B1 (en) | 1988-01-20 | 1989-01-13 | Apparatus for heating a sample within a vacuum chamber |
| DE8989100589T DE68906405T2 (de) | 1988-01-20 | 1989-01-13 | Vorrichtung zum erwaermen einer probe in einer vakuumkammer. |
| US07/298,558 US4977307A (en) | 1988-01-20 | 1989-01-17 | Apparatus for heating sample within vacuum chamber |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63011319A JPH01185437A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空チャンバの試料加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185437A true JPH01185437A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11774703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63011319A Pending JPH01185437A (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 | 真空チャンバの試料加熱装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4977307A (ja) |
| EP (1) | EP0325178B1 (ja) |
| JP (1) | JPH01185437A (ja) |
| DE (1) | DE68906405T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107727692A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-02-23 | 珠海彩珠实业有限公司 | 一种检测真空玻璃真空度的装置及其检测方法 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2673918B1 (fr) * | 1991-03-14 | 1993-05-28 | Houzay Francoise | Conteneur autonome pour le traitement sous vide d'un objet, et son sas de transfert. |
| JP3060782B2 (ja) * | 1993-06-08 | 2000-07-10 | 住友電気工業株式会社 | 高純度透明ガラスの製造方法 |
| US6072160A (en) * | 1996-06-03 | 2000-06-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for enhancing the efficiency of radiant energy sources used in rapid thermal processing of substrates by energy reflection |
| JP7192620B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2022-12-20 | 新東工業株式会社 | 検査装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1430367A (en) * | 1972-08-04 | 1976-03-31 | Secr Defence | Vacuum chamber |
| US3915118A (en) * | 1973-09-17 | 1975-10-28 | Etec Corp | Specimen coating device for an SEM |
| JPS57137417A (en) * | 1981-02-17 | 1982-08-25 | Michio Sugiyama | Semicontinuous vacuum heat treatment furnace and operating method |
| JPH0693438B2 (ja) * | 1986-12-11 | 1994-11-16 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | 基板温度測定装置 |
| US4751372A (en) * | 1986-12-12 | 1988-06-14 | Daido Sanso K.K. | Vacuum chamber heater apparatus |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP63011319A patent/JPH01185437A/ja active Pending
-
1989
- 1989-01-13 DE DE8989100589T patent/DE68906405T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-01-13 EP EP89100589A patent/EP0325178B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-01-17 US US07/298,558 patent/US4977307A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107727692A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-02-23 | 珠海彩珠实业有限公司 | 一种检测真空玻璃真空度的装置及其检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0325178A3 (en) | 1990-07-25 |
| DE68906405T2 (de) | 1993-09-09 |
| US4977307A (en) | 1990-12-11 |
| DE68906405D1 (de) | 1993-06-17 |
| EP0325178B1 (en) | 1993-05-12 |
| EP0325178A2 (en) | 1989-07-26 |
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