JPH01185454A - ショート欠陥検査方法、ショート欠陥検査装置、及びショート欠陥リペア装置 - Google Patents
ショート欠陥検査方法、ショート欠陥検査装置、及びショート欠陥リペア装置Info
- Publication number
- JPH01185454A JPH01185454A JP63009610A JP961088A JPH01185454A JP H01185454 A JPH01185454 A JP H01185454A JP 63009610 A JP63009610 A JP 63009610A JP 961088 A JP961088 A JP 961088A JP H01185454 A JPH01185454 A JP H01185454A
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- Japan
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- short
- voltage
- probes
- infrared
- patterns
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
本発明はショート欠陥の検査およびこれにより検出され
たショート欠陥の補修装置に係り、特に基板や液晶基板
等の互いに絶縁されたパターン間のショート欠陥を検査
するショート欠陥検査方法や、ショート欠陥検査装置及
びショート欠陥りペア装置に関する。
たショート欠陥の補修装置に係り、特に基板や液晶基板
等の互いに絶縁されたパターン間のショート欠陥を検査
するショート欠陥検査方法や、ショート欠陥検査装置及
びショート欠陥りペア装置に関する。
（従来の技術）
従来の液晶基板などのパターン間のショートを検査する
ショート欠陥検査方法及び装置若しくはショート欠陥リ
ペア装置は、部分的手段について若干の相違はあるが、
基本的には第４図のような構成により検出を行う。
ショート欠陥検査方法及び装置若しくはショート欠陥リ
ペア装置は、部分的手段について若干の相違はあるが、
基本的には第４図のような構成により検出を行う。
まず、互いに絶縁されている導電体パターン（５１）の
ピッチに合せた２本のプローブ（５２） （５３）が電
源（５４）とペンレコーダ（５５）に直列に接続されて
いる。このプローブ（５２） （５３）に電源（５４）
より電圧を印加する。（通常、５〜ＩＯＶ ’）ここで
この２本のプローブ（５２）（５３）から導電体される
２本の導電体パターン（５１ａ）（５１ｂ）は正常な状
態では互いに絶縁されているものであるから２本のプロ
ーブ（５２）（５３）間には電流は流れないものである
。そこで、この２本の導電体パターン（５１ａ） （５
１ｂ）間に電流が流れるということは、この２本の導電
体パターン（５１ａ） （５１ｂ）間にショートが生じ
ていることとなる。
ピッチに合せた２本のプローブ（５２） （５３）が電
源（５４）とペンレコーダ（５５）に直列に接続されて
いる。このプローブ（５２） （５３）に電源（５４）
より電圧を印加する。（通常、５〜ＩＯＶ ’）ここで
この２本のプローブ（５２）（５３）から導電体される
２本の導電体パターン（５１ａ）（５１ｂ）は正常な状
態では互いに絶縁されているものであるから２本のプロ
ーブ（５２）（５３）間には電流は流れないものである
。そこで、この２本の導電体パターン（５１ａ） （５
１ｂ）間に電流が流れるということは、この２本の導電
体パターン（５１ａ） （５１ｂ）間にショートが生じ
ていることとなる。
このことを利用し、実際にはこの２本のプローブ（５２
） （５３）を導電体パターン（５１）の一端に沿って
移動させ、この２本のプローブ（５２） （５３）の間
に電流が生じたところをペンレコーダ（５５）によって
検出し、電流が生じたところにショート欠陥があると判
断する。
） （５３）を導電体パターン（５１）の一端に沿って
移動させ、この２本のプローブ（５２） （５３）の間
に電流が生じたところをペンレコーダ（５５）によって
検出し、電流が生じたところにショート欠陥があると判
断する。
（発明が解決しようとする課８）
従来の検査装置とそれに用いられる方法では、２本のプ
ローブ（５２） （５３）間に電流が流れたところをシ
ョートしている導電体パターンとして検出しているので
、実際にはショートの有無を検出しただけで、この２本
の導電体パターンのどの部分がショートしたかは、別個
の装置または顕微鏡を用いて検査をしなければならなか
った。
ローブ（５２） （５３）間に電流が流れたところをシ
ョートしている導電体パターンとして検出しているので
、実際にはショートの有無を検出しただけで、この２本
の導電体パターンのどの部分がショートしたかは、別個
の装置または顕微鏡を用いて検査をしなければならなか
った。
本発明は従来の技術のような１次元的な検出から、２次
元的な検出を可能とするショート欠陥検査方法とその装
置、及びショート欠陥リペア装置を提供することを目的
とする。
元的な検出を可能とするショート欠陥検査方法とその装
置、及びショート欠陥リペア装置を提供することを目的
とする。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
予め定まった電圧を所定の導電体パターンに印加する電
圧印加工程と、この電圧印加手段により電圧を印加され
た被検査物のパターン全体から２次元的に赤外線を検出
する赤外線検出工程と、この赤外線検出手段の検出結果
によりショート欠陥の位置を検出するショート欠陥検出
工程とを具備する方法と、これを実現する手段を設けた
装置およびその手段を一部に具備した装置を提供する。
圧印加工程と、この電圧印加手段により電圧を印加され
た被検査物のパターン全体から２次元的に赤外線を検出
する赤外線検出工程と、この赤外線検出手段の検出結果
によりショート欠陥の位置を検出するショート欠陥検出
工程とを具備する方法と、これを実現する手段を設けた
装置およびその手段を一部に具備した装置を提供する。
（作用）
上述のように構成されたパターンショート欠陥検査装置
は、導電体パターンに予め定まった電圧を印加すること
によって、ショートを起こしている部分に熱を発生させ
る。これは通常導電体パターンの導電体路内では発熱を
起こさないか、発熱量は極微少である。しかし、ショー
ト部分の導電体路は導電体パターンの導電体路より狭い
ゆえに、ショート部分では発熱が起こりやすい。この発
熱部分より放射される赤外線を赤外線検出手段により２
次元的に検出するものである。このようにして検出した
ショート部分をショート欠陥として表示するものである
。
は、導電体パターンに予め定まった電圧を印加すること
によって、ショートを起こしている部分に熱を発生させ
る。これは通常導電体パターンの導電体路内では発熱を
起こさないか、発熱量は極微少である。しかし、ショー
ト部分の導電体路は導電体パターンの導電体路より狭い
ゆえに、ショート部分では発熱が起こりやすい。この発
熱部分より放射される赤外線を赤外線検出手段により２
次元的に検出するものである。このようにして検出した
ショート部分をショート欠陥として表示するものである
。
なお、予め定まった電圧とは、導電体パターンの導電体
路内では発熱が少なく、ショート部分では発熱が大きく
なるように設定された電圧のことを指す。（但し、この
電圧は被検出物の導電体パターンの断面積により異なる
ので、ここでは特に明記しない。） （実施例） 本発明の方法と装置の一実施例を図面を用いて説明する
。
路内では発熱が少なく、ショート部分では発熱が大きく
なるように設定された電圧のことを指す。（但し、この
電圧は被検出物の導電体パターンの断面積により異なる
ので、ここでは特に明記しない。） （実施例） 本発明の方法と装置の一実施例を図面を用いて説明する
。
第１図は本発明の装置の基本的構成を示した構成図であ
る。被検査物である液晶用ガラス基板（７）の表面上に
設けられた導電体パターン（８）の配設ピッチに合せた
一組のプローブ（ｌａ）（ｌｂ）に５Ｖと４０Ｖの電圧
を切替えられ、かつ電流の検出が可能な電源（２）が接
続されている。また、この−組のプローブ（ｌａ）（ｌ
ｂ）は移動機構（３）により液晶用ガラス基板（７）の
導電体パターン（８）の一端に沿って移動可能なように
取付けられている。液晶用ガラス基板（７）の導電体パ
ターン（８）全体を撮像可能な位置に赤外線テレビカメ
ラ（４）（以下赤外線カメラと略）を配置しである。こ
の赤外線カメラ（４）によって撮像された画像を表示可
能なようにモニタ（５）に接続されている。また、移動
機構（８）の制御と、プローブ（ｌａ）（ｌｂ）間の電
流の検出、電源（２）の電圧切替え及び赤外線カメラ（
４）の制御とを行なえるように制御部（６）が接続され
ている。
る。被検査物である液晶用ガラス基板（７）の表面上に
設けられた導電体パターン（８）の配設ピッチに合せた
一組のプローブ（ｌａ）（ｌｂ）に５Ｖと４０Ｖの電圧
を切替えられ、かつ電流の検出が可能な電源（２）が接
続されている。また、この−組のプローブ（ｌａ）（ｌ
ｂ）は移動機構（３）により液晶用ガラス基板（７）の
導電体パターン（８）の一端に沿って移動可能なように
取付けられている。液晶用ガラス基板（７）の導電体パ
ターン（８）全体を撮像可能な位置に赤外線テレビカメ
ラ（４）（以下赤外線カメラと略）を配置しである。こ
の赤外線カメラ（４）によって撮像された画像を表示可
能なようにモニタ（５）に接続されている。また、移動
機構（８）の制御と、プローブ（ｌａ）（ｌｂ）間の電
流の検出、電源（２）の電圧切替え及び赤外線カメラ（
４）の制御とを行なえるように制御部（６）が接続され
ている。
以下に本実施例の装置を用いて本発明の方法の作用を説
明する。
明する。
液晶用ガラス基板（７）の導電体パターン（８）の中に
ショートしている導電体パターン（８ａ） （８ｂ）が
ある。このとき、プローブ（ｌａ） （ｌｂ）を移動機
構（３）が導電体パターン（８）の一端に沿って移動を
開始させる。このときプローブ（ｌａ） （ｌｂ）には
５ｖの電圧が印加されている。このプローブ（ｌａ）
（ｌｂ）がショートしている導電体パターン（８ａ）
（８ｂ）のところに来ると、導電体パターン（８ａ）と
導電体パターン（８ｂ）との間にショート部分を通して
電流が流れる。このような電流が流れると制御部（６）
は、その位置で移動機構（３）を停止し、電［（２）の
電圧を切替えプローブ（ｌａ）（ｌｂ）に４０Ｖの電圧
を印加する。ここで、赤外線カメラ（４）が導電体パタ
ーン（８）を撮影する。このとき、ショート部分は抵抗
値が大きいので導電体パターン（８）の導電体路の発熱
量を上回る。この発熱に際して放射される赤外線を赤外
線カメラ（４）が撮像し、モニタ（５）に表示される。
ショートしている導電体パターン（８ａ） （８ｂ）が
ある。このとき、プローブ（ｌａ） （ｌｂ）を移動機
構（３）が導電体パターン（８）の一端に沿って移動を
開始させる。このときプローブ（ｌａ） （ｌｂ）には
５ｖの電圧が印加されている。このプローブ（ｌａ）
（ｌｂ）がショートしている導電体パターン（８ａ）
（８ｂ）のところに来ると、導電体パターン（８ａ）と
導電体パターン（８ｂ）との間にショート部分を通して
電流が流れる。このような電流が流れると制御部（６）
は、その位置で移動機構（３）を停止し、電［（２）の
電圧を切替えプローブ（ｌａ）（ｌｂ）に４０Ｖの電圧
を印加する。ここで、赤外線カメラ（４）が導電体パタ
ーン（８）を撮影する。このとき、ショート部分は抵抗
値が大きいので導電体パターン（８）の導電体路の発熱
量を上回る。この発熱に際して放射される赤外線を赤外
線カメラ（４）が撮像し、モニタ（５）に表示される。
次に本発明の第２の実施例を説明する。
第２図は本発明の第２の実施例の装置の構成を示した構
成図である。被検査物である液晶用ガラス基板（１５）
の表面上に設けられた導電体パターン（１Ｂ）の配設ピ
ッチに合せたプローブを複数配設した接続端子（１１）
のプローブに、−本おきに４０Ｖの電圧を印加できる電
源（１２）が接続されている。液晶用ガラス基板（Ｉ５
）の導電体パターン（１Ｂ）全体を撮像可能に赤外線カ
メラ（１３）を配置しである。この赤外線カメラ（１３
）によって撮像された画像を表示可能なようにモニタ（
１４）に接続されている。
成図である。被検査物である液晶用ガラス基板（１５）
の表面上に設けられた導電体パターン（１Ｂ）の配設ピ
ッチに合せたプローブを複数配設した接続端子（１１）
のプローブに、−本おきに４０Ｖの電圧を印加できる電
源（１２）が接続されている。液晶用ガラス基板（Ｉ５
）の導電体パターン（１Ｂ）全体を撮像可能に赤外線カ
メラ（１３）を配置しである。この赤外線カメラ（１３
）によって撮像された画像を表示可能なようにモニタ（
１４）に接続されている。
以下に第２の実施例の作用を説明する。
液晶用ガラス基板（１５）の導電体パターン（１Ｂ）の
中にショートしている導電体パターン（ｌｅａ） （１
８ｂ）とショートしている導電体パターン（１８ｃ）
（ｌａｄ）がある。このとき、接続端子（１１）の電圧
を印加させられたプローブより導電体パターン（ｌｅａ
）と導電体パターン（１６ｂ）との間にショート部分を
通して電圧を印加してないプローブへと電流が流れる。
中にショートしている導電体パターン（ｌｅａ） （１
８ｂ）とショートしている導電体パターン（１８ｃ）
（ｌａｄ）がある。このとき、接続端子（１１）の電圧
を印加させられたプローブより導電体パターン（ｌｅａ
）と導電体パターン（１６ｂ）との間にショート部分を
通して電圧を印加してないプローブへと電流が流れる。
赤外線カメラ（１３）が液晶用ガラス基板（１５）を撮
影する。このとき、ショート部分は抵抗値が大きいので
導電体パターン（１Ｂ）の導電体路の発熱量を大幅に上
回る。この発熱に際して放射される赤外線を赤外線カメ
ラ（１３）が撮像し、モニタ（１３）に表示される。
影する。このとき、ショート部分は抵抗値が大きいので
導電体パターン（１Ｂ）の導電体路の発熱量を大幅に上
回る。この発熱に際して放射される赤外線を赤外線カメ
ラ（１３）が撮像し、モニタ（１３）に表示される。
以下に本発明の第３の実施例を示す。
第３図は本発明の装置の基本的構成を示した構成図であ
る。被検査物である液晶用ガラス基板（３１）の表面上
に設けられた導電体パターン（３２）の配役ピッチに合
せた一組のプローブ（２１ａ） （２１ｂ）に５ｖと４
０Ｖの電圧を切替えられ、かつ電流の検出が可能な電源
（２２）が接続されている。また、この−組のプローブ
（２１ａ） （２１ｂ）は移動機構（２３）により液晶
用ガラス基板（３１）の導電体パターン（３２）の−端
に沿って移動可能なように取付けられている。
る。被検査物である液晶用ガラス基板（３１）の表面上
に設けられた導電体パターン（３２）の配役ピッチに合
せた一組のプローブ（２１ａ） （２１ｂ）に５ｖと４
０Ｖの電圧を切替えられ、かつ電流の検出が可能な電源
（２２）が接続されている。また、この−組のプローブ
（２１ａ） （２１ｂ）は移動機構（２３）により液晶
用ガラス基板（３１）の導電体パターン（３２）の−端
に沿って移動可能なように取付けられている。
液晶用ガラス基板（３１）の導電体パターン（３２）全
体を撮像可能に赤外線カメラ（２４）を配置しである。
体を撮像可能に赤外線カメラ（２４）を配置しである。
この赤外線カメラ（２４）によって撮像された画像信号
を受信可能に画像処理部（２５）に接続されている。
を受信可能に画像処理部（２５）に接続されている。
また、移動機構（２３）の制御と、プローブ（２１ａ）
（２１ｂ）間の電流の検出、電源（２２）の電圧切替え
及び赤外線カメラ（２４）の制御とを行なえるように制
御部（２６）が接続されている。更に画像処理部（２５
）は撮像された画像を画像処理しモニタ（２７）に表示
できるように接続されている。また、この画像処理部（
２５）の処理データを受信可能にレーザ制御部（２８）
が接続され、このレーザ制御部（２８）によって制御さ
れるリペア用のＹＡＧレーザ発振器（２９）とこのレー
ザ発振器（２９）から射出されたレーザ光を走査する２
機のガルバノミラ−（３０ａ） （３０ｂ）が浸けられ
ている。
（２１ｂ）間の電流の検出、電源（２２）の電圧切替え
及び赤外線カメラ（２４）の制御とを行なえるように制
御部（２６）が接続されている。更に画像処理部（２５
）は撮像された画像を画像処理しモニタ（２７）に表示
できるように接続されている。また、この画像処理部（
２５）の処理データを受信可能にレーザ制御部（２８）
が接続され、このレーザ制御部（２８）によって制御さ
れるリペア用のＹＡＧレーザ発振器（２９）とこのレー
ザ発振器（２９）から射出されたレーザ光を走査する２
機のガルバノミラ−（３０ａ） （３０ｂ）が浸けられ
ている。
以下に第３の実施例の作用を説明する。
液晶用ガラス基板（３１）の導電体パターン（３２）の
中にショートしている導電体パターン（２６ａ） （２
６ｂ）がある。このとき、プローブ（２１ａ） （２１
ｂ）を移動機構（２３）が導電体パターン（３２）の一
端に沿って移動を開始させる。このときプローブ（２１
ａ）（２１ｂ）には５Ｖの電圧が印加されている。この
プローブ（２１ａ） （２１ｂ）がショートしている導
電体パターン（３２ａ） （３２ｂ）のところに来ると
、導電体パターン（３２ａ）と導電体パターン（３２ｂ
）との間にショート部分を通して電流が流れる。このよ
うな電流が流れると制御部（２６）は、その位置で移動
機構（２３）を停止し、電源（２２）の電圧を切替え、
プローブ（２１ａ） （２１ｂ）に４０Ｖの電圧を印加
する。ここで、赤外線カメラ（２４）が導電体パターン
（３２）を撮影する。
中にショートしている導電体パターン（２６ａ） （２
６ｂ）がある。このとき、プローブ（２１ａ） （２１
ｂ）を移動機構（２３）が導電体パターン（３２）の一
端に沿って移動を開始させる。このときプローブ（２１
ａ）（２１ｂ）には５Ｖの電圧が印加されている。この
プローブ（２１ａ） （２１ｂ）がショートしている導
電体パターン（３２ａ） （３２ｂ）のところに来ると
、導電体パターン（３２ａ）と導電体パターン（３２ｂ
）との間にショート部分を通して電流が流れる。このよ
うな電流が流れると制御部（２６）は、その位置で移動
機構（２３）を停止し、電源（２２）の電圧を切替え、
プローブ（２１ａ） （２１ｂ）に４０Ｖの電圧を印加
する。ここで、赤外線カメラ（２４）が導電体パターン
（３２）を撮影する。
このとき、ショート部分は抵抗値が大きいので導電体パ
ターン（３２）の導電体路の発熱量を上回る。
ターン（３２）の導電体路の発熱量を上回る。
この発熱に際して放射される赤外線を赤外線カメラ（２
４）が撮像し、画像処理部（２５）に入力される。
４）が撮像し、画像処理部（２５）に入力される。
画像処理部（２５）に入力された画像は、画像処理を施
されモニタ（２７）に表示される。また、画像処理部（
２５）は画像処理により赤外線が放射されている極大点
を検出し、この検出された極大点の座標をレーザ制御部
（２８）に送信する。レーザ制御部（２８）はこのデー
タを受信すると、ＹＡＧレーザ発振器（２９）より射出
されるレーザ光を極大点°の座標を中心に導電体パター
ン（３２）の配役方向に平行に導電体パターン（３２）
と同じ幅だけレーザ光を走査させるようにガルバノミラ
−（３０ａ） （３０ｂ）を制御し、レーザ光の射出し
、ショート部分の切断を行う。
されモニタ（２７）に表示される。また、画像処理部（
２５）は画像処理により赤外線が放射されている極大点
を検出し、この検出された極大点の座標をレーザ制御部
（２８）に送信する。レーザ制御部（２８）はこのデー
タを受信すると、ＹＡＧレーザ発振器（２９）より射出
されるレーザ光を極大点°の座標を中心に導電体パター
ン（３２）の配役方向に平行に導電体パターン（３２）
と同じ幅だけレーザ光を走査させるようにガルバノミラ
−（３０ａ） （３０ｂ）を制御し、レーザ光の射出し
、ショート部分の切断を行う。
（ここでレーザ光を導電体パターンと同じ幅だけ走査さ
せた理由は、ショート部分の幅が導電体パターン（３２
）の幅以上有るような場合は、先ず有り得ないと言う本
発明の着眼点により暫定的に定めたものであり、これは
画像処理部（２５）によりショート部分を切断できれば
良いものである。）こうしてショート部分を切断すると
、導電体パターン（３２ａ） （３２ｂ）間に電流が流
れなくなる。電流が流れなくなると制御部（２６）は電
源（２２）の電圧を５Ｖに切り替え、移動機構（２３）
を再稼動させ、上述の動作を行い始めるものである。
せた理由は、ショート部分の幅が導電体パターン（３２
）の幅以上有るような場合は、先ず有り得ないと言う本
発明の着眼点により暫定的に定めたものであり、これは
画像処理部（２５）によりショート部分を切断できれば
良いものである。）こうしてショート部分を切断すると
、導電体パターン（３２ａ） （３２ｂ）間に電流が流
れなくなる。電流が流れなくなると制御部（２６）は電
源（２２）の電圧を５Ｖに切り替え、移動機構（２３）
を再稼動させ、上述の動作を行い始めるものである。
尚、第３の実施例はショート欠陥リペア用にＹＡＧレー
ザ発振器（２９）とレーザ制御部（２８）？ｊどを用い
たが、本発明のショート欠陥リペア装置は、ショート欠
陥リペア用の手段を特に限定するものではない。
ザ発振器（２９）とレーザ制御部（２８）？ｊどを用い
たが、本発明のショート欠陥リペア装置は、ショート欠
陥リペア用の手段を特に限定するものではない。
［発明の効果］
上述のようにショート欠陥検査方法とこの方法を用いた
ショート欠陥検査装置及びショート欠陥リペア装置を構
成することで、従来の方法を用いた装置ではショート部
分の存在する一組の導電体パターンつまり一次元的な検
出しかできなかったものを、２次元的に検出することが
可能となった。
ショート欠陥検査装置及びショート欠陥リペア装置を構
成することで、従来の方法を用いた装置ではショート部
分の存在する一組の導電体パターンつまり一次元的な検
出しかできなかったものを、２次元的に検出することが
可能となった。
第１図は本発明の一実施例の構成を示した構成図、第２
図は本発明の第２の実施例の構成を示した構成図、第３
図は本発明の第３の実施例の構成を示した構成図、第４
図は従来のパターンショート欠陥検査装置の基本的な構
成を示した構成図である。 ｌａ、 ｌｂ・・・プローブ ２・・・赤外線テレビカメラ ３・・・モニタ、 ５・・・液晶用ガラス基板６・・
・導電体パターン、 ７・・・電源８・・・駆動機構、
９・・・制御部
図は本発明の第２の実施例の構成を示した構成図、第３
図は本発明の第３の実施例の構成を示した構成図、第４
図は従来のパターンショート欠陥検査装置の基本的な構
成を示した構成図である。 ｌａ、 ｌｂ・・・プローブ ２・・・赤外線テレビカメラ ３・・・モニタ、 ５・・・液晶用ガラス基板６・・
・導電体パターン、 ７・・・電源８・・・駆動機構、
９・・・制御部
Claims (3)
- （１）所定の位置に配置された被検査物の互いに絶縁さ
れている導電体パターンのショート欠陥検査方法におい
て、予め定まった電圧を所定の導電体パターンに印加す
る電圧印加工程と、この電圧印加工程により電圧を印加
された被検査物の導電体パターンから放射される赤外線
を検出する赤外線検出工程と、この赤外線検出工程の検
出結果からショート欠陥の位置を検出するショート欠陥
検出工程とを具備することを特徴とするショート欠陥検
査方法。 - （２）所定の位置に配置された被検査物の互いに絶縁さ
れている導電体パターンのショート欠陥検査方法におい
て、予め定まった電圧を所定の導電体パターンに印加す
る電圧印加手段と、この電圧印加手段により電圧を印加
された被検査物のパターン全体を検査領域に持つ赤外線
検出手段と、この赤外線検出手段からの信号によりショ
ート欠陥の位置を検出するショート欠陥検出手段とを具
備することを特徴とするショート欠陥検査装置。 - （３）所定の位置に配置された被検査物の互いに絶縁さ
れている導電体パターンのショート欠陥検査方法におい
て、予め定まった電圧を所定の導電体パターンに印加す
る電圧印加手段と、この電圧印加手段により電圧を印加
された被検査物のパターン全体を検査領域に持つ赤外線
検出手段と、この赤外線検出手段からの信号によりショ
ート欠陥の位置を検出するショート欠陥検出手段と、こ
のショート欠陥検出手段の検出結果に基づきショート欠
陥を補修するショート欠陥補修手段とを具備することを
特徴とするショート欠陥レペア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009610A JPH01185454A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | ショート欠陥検査方法、ショート欠陥検査装置、及びショート欠陥リペア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009610A JPH01185454A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | ショート欠陥検査方法、ショート欠陥検査装置、及びショート欠陥リペア装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185454A true JPH01185454A (ja) | 1989-07-25 |
Family
ID=11725067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63009610A Pending JPH01185454A (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | ショート欠陥検査方法、ショート欠陥検査装置、及びショート欠陥リペア装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01185454A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0452532A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外線応力分布測定装置 |
| KR100442759B1 (ko) * | 2001-04-27 | 2004-08-02 | (주)동아엘텍 | 무선통신을 이용한 액정표시모듈 시험용 시스템 |
| WO2013039024A1 (ja) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検出方法および配線欠陥検出装置 |
| WO2013145839A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置 |
| JP5705976B2 (ja) * | 2011-04-25 | 2015-04-22 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検査方法および配線欠陥検査装置、並びに半導体基板の製造方法 |
| CN106124917A (zh) * | 2016-08-17 | 2016-11-16 | 深圳晶华显示器材有限公司 | 一种探针测试lcd短路装置 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP63009610A patent/JPH01185454A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0452532A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-02-20 | Nippon Avionics Co Ltd | 赤外線応力分布測定装置 |
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| WO2013039024A1 (ja) * | 2011-09-12 | 2013-03-21 | シャープ株式会社 | 配線欠陥検出方法および配線欠陥検出装置 |
| JP2013061193A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Sharp Corp | 配線欠陥検出方法および配線欠陥検出装置 |
| CN103765202A (zh) * | 2011-09-12 | 2014-04-30 | 夏普株式会社 | 配线缺陷检测方法和配线缺陷检测装置 |
| WO2013145839A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置 |
| JP2013205234A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Sharp Corp | 欠陥検出装置 |
| CN106124917A (zh) * | 2016-08-17 | 2016-11-16 | 深圳晶华显示器材有限公司 | 一种探针测试lcd短路装置 |
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