JPH04236367A - 基板検査装置 - Google Patents
基板検査装置Info
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- JPH04236367A JPH04236367A JP3004934A JP493491A JPH04236367A JP H04236367 A JPH04236367 A JP H04236367A JP 3004934 A JP3004934 A JP 3004934A JP 493491 A JP493491 A JP 493491A JP H04236367 A JPH04236367 A JP H04236367A
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Landscapes
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板検査装置、特に、絶
縁基板上に形成された金属配線パンーンの良否の検査に
使用する基板検査装置に関する。
縁基板上に形成された金属配線パンーンの良否の検査に
使用する基板検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の第１の例を示すブロック図
である。図３に示す基板検査装置は、抵抗計１３と、金
属配線パターン１１（以下パターンとする）に接触する
２本のプローブ１５と、前記プローブの位置ぎめ部１４
と、前記抵抗計、プローブ、位置ぎめ部を制御する制御
部７とを含んで構成されている。
である。図３に示す基板検査装置は、抵抗計１３と、金
属配線パターン１１（以下パターンとする）に接触する
２本のプローブ１５と、前記プローブの位置ぎめ部１４
と、前記抵抗計、プローブ、位置ぎめ部を制御する制御
部７とを含んで構成されている。
【０００３】この装置は任意のパターンの２端子間の導
通、非導通の検査を行う。任意のパターンに対して、位
置ぎめ部１４を用いて、プローブ１５を位置ぎめし、２
端子にプローブを接触させて抵抗値を測定し、パターン
の２端子間の導通、被導通を判定している。予め制御部
１７に記憶した順序で、位置ぎめ部により、プローブを
順次移動し、全てのパターンの検査を行う。
通、非導通の検査を行う。任意のパターンに対して、位
置ぎめ部１４を用いて、プローブ１５を位置ぎめし、２
端子にプローブを接触させて抵抗値を測定し、パターン
の２端子間の導通、被導通を判定している。予め制御部
１７に記憶した順序で、位置ぎめ部により、プローブを
順次移動し、全てのパターンの検査を行う。
【０００４】図４は従来の第２の例を示すブロック図で
ある。図４に示す基板検査装置は、静電容量計１２２と
、金属配線パターン１１５（以下パターンとする）に接
触するプローブ１２３と、前記プローブの位置ぎめ部１
２１と、前記静電容量計、プローブ、位置ぎめ部を制御
する制御部１１７とを含んで構成されている。
ある。図４に示す基板検査装置は、静電容量計１２２と
、金属配線パターン１１５（以下パターンとする）に接
触するプローブ１２３と、前記プローブの位置ぎめ部１
２１と、前記静電容量計、プローブ、位置ぎめ部を制御
する制御部１１７とを含んで構成されている。
【０００５】プローブ１２３で任意のパターンを選択し
、プローブ１２３と基準電位面１０４（接地電位面）と
の間の静電容量を測定し、理論的に計算した値と比較し
てパターンの良否を判定している。被測定パターンと基
準電位面の間の等価回路は、図５のように表すことが出
来る。被測定パターンと基準電位面間の静電容量１２０
及び絶縁抵抗１１９のほかに、他のパターンの静電容量
１１８とパターン間の絶縁抵抗１２１との直列接続回路
が並列に接続されている。
、プローブ１２３と基準電位面１０４（接地電位面）と
の間の静電容量を測定し、理論的に計算した値と比較し
てパターンの良否を判定している。被測定パターンと基
準電位面の間の等価回路は、図５のように表すことが出
来る。被測定パターンと基準電位面間の静電容量１２０
及び絶縁抵抗１１９のほかに、他のパターンの静電容量
１１８とパターン間の絶縁抵抗１２１との直列接続回路
が並列に接続されている。
【０００６】被測定パターンが正常な場合、絶縁抵抗１
２１及び絶縁抵抗１１９は共に充分大きいので、静電容
量計による測定値は静電容量１１５とほぼ等しいが、パ
ターンに不良がある場合は、測定値は静電容量１２０と
は違った値となる。例えば、パターンが途中で断線して
いる場合には、静電容量１２０より小さい測定値が得ら
れ、パターンが他のパターンと絶縁不良または短絡を起
こしている場合は、静電容量１２０より大きい測定値と
なる。そこで、理論的に計算した静電容量値が一定レベ
ル以上異なる場合には、パターンに不良があると判定す
ることが出来る。
２１及び絶縁抵抗１１９は共に充分大きいので、静電容
量計による測定値は静電容量１１５とほぼ等しいが、パ
ターンに不良がある場合は、測定値は静電容量１２０と
は違った値となる。例えば、パターンが途中で断線して
いる場合には、静電容量１２０より小さい測定値が得ら
れ、パターンが他のパターンと絶縁不良または短絡を起
こしている場合は、静電容量１２０より大きい測定値と
なる。そこで、理論的に計算した静電容量値が一定レベ
ル以上異なる場合には、パターンに不良があると判定す
ることが出来る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の基板検
査装置は、パターンに、プローブを接触させて抵抗値あ
るいは静電容量を測定している。プローブの先端は、尖
っているので、プローブを接触する際にパターンを損傷
するという欠点がある。
査装置は、パターンに、プローブを接触させて抵抗値あ
るいは静電容量を測定している。プローブの先端は、尖
っているので、プローブを接触する際にパターンを損傷
するという欠点がある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明の基板検査装
置は、被測定基板上の金属配線パターンに照射されるレ
ーザビームを発生するレーザ装置と、前記被測定基板の
レーザビームが当たる面に密着させる光導電静材料のシ
ート、および透明電極板と、前記被検査基板のレーザビ
ームが当たらない面に密着される電極板と、前記電極板
で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手段またはレーザ
ビームを走査する手段と、前記透明電極板に接続される
電流計および電源と、前記レーザ装置、基板を縦横方向
に送る手段またはレーザビームを走査する手段、電流計
、および電源を制御する制御部とを含んで構成される。
置は、被測定基板上の金属配線パターンに照射されるレ
ーザビームを発生するレーザ装置と、前記被測定基板の
レーザビームが当たる面に密着させる光導電静材料のシ
ート、および透明電極板と、前記被検査基板のレーザビ
ームが当たらない面に密着される電極板と、前記電極板
で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手段またはレーザ
ビームを走査する手段と、前記透明電極板に接続される
電流計および電源と、前記レーザ装置、基板を縦横方向
に送る手段またはレーザビームを走査する手段、電流計
、および電源を制御する制御部とを含んで構成される。
【０００９】第２の発明の基板検査装置は、被測定基板
上の金属配線パターンに照射されるレーザビームと、前
記被測定基板のレーザビームが当たる面に密着させる光
導電性材料のシート、および透明電極板と、前記被検査
基板のレーザビームが当たらない面に密着される電極板
と、前記電極板で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手
段または前記レーザビームを被測定基板上で走査する手
段と、前記透明電極板に接続される電流計および電源と
、前記レーザビームを被測定基板上に収束する光学系と
、前記レーザビームを継続するシャッタと、前記基板を
縦横方向に送る手段またはレーザビームを走査する手段
、電流計、電源、およびシャッタを制御する制御部とを
含んで構成される。
上の金属配線パターンに照射されるレーザビームと、前
記被測定基板のレーザビームが当たる面に密着させる光
導電性材料のシート、および透明電極板と、前記被検査
基板のレーザビームが当たらない面に密着される電極板
と、前記電極板で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手
段または前記レーザビームを被測定基板上で走査する手
段と、前記透明電極板に接続される電流計および電源と
、前記レーザビームを被測定基板上に収束する光学系と
、前記レーザビームを継続するシャッタと、前記基板を
縦横方向に送る手段またはレーザビームを走査する手段
、電流計、電源、およびシャッタを制御する制御部とを
含んで構成される。
【００１０】
【実施例】次に本発明について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
【００１１】図１は本発明の第１の実施例を示すブロッ
ク図である。図１に示す基板検査装置は、基板３上に密
着される、光導電性材料のシート２と、シート２に重ね
られる、透明電極板１と、基板３の裏側に密着される電
極板４と、基板３を電極１、４で挟んだものをセットす
るＸ−Ｙステージ９と、前記電極版で挟まれた被検査基
板をＸ−Ｙステージ上に保持する保持具１０と、前記Ｘ
−Ｙステージを制御するシテージ制御部８と、基板３上
に照射されるレーザビームを発生するレーザ装置１２と
、電極板１に流れる電流を測定する電流計５と、電極板
１に電圧を印加する電源６とこれらを制御する制御部７
とを備えて構成されている。
ク図である。図１に示す基板検査装置は、基板３上に密
着される、光導電性材料のシート２と、シート２に重ね
られる、透明電極板１と、基板３の裏側に密着される電
極板４と、基板３を電極１、４で挟んだものをセットす
るＸ−Ｙステージ９と、前記電極版で挟まれた被検査基
板をＸ−Ｙステージ上に保持する保持具１０と、前記Ｘ
−Ｙステージを制御するシテージ制御部８と、基板３上
に照射されるレーザビームを発生するレーザ装置１２と
、電極板１に流れる電流を測定する電流計５と、電極板
１に電圧を印加する電源６とこれらを制御する制御部７
とを備えて構成されている。
【００１２】このうち光導電性材料のシートは、たとえ
ば、電子写真技術を応用した複写機で用いられているも
のを使用する。電極板４は電気的に接地され、基準電位
面として働く。
ば、電子写真技術を応用した複写機で用いられているも
のを使用する。電極板４は電気的に接地され、基準電位
面として働く。
【００１３】つぎにパターンを検査する時の手順につい
て説明する。先ずＸ−Ｙステージを制御してレーザビー
ムが検査対象のパターン１１の端子部の片方に選択的に
照射されるようにする。すると光導電材料のシートのう
ち、レーザビームの当たった部分の電気抵抗が低くなる
ので、電極板１とパターン１５の導通がとれる。この状
態で、電源６の電圧を一定の電圧Ｖ１に設定し、電極板
１の電圧をＶ１とする。パターン１５は電極板１と導通
しているので、パターン１５は電圧Ｖ１に帯電される。 この時のパターン１５の帯電量は、基準電位面として働
く電極板４とパターン１１の間の静電容量（以下パター
ン１１の静電容量とする）と電圧Ｖ１の積である。
て説明する。先ずＸ−Ｙステージを制御してレーザビー
ムが検査対象のパターン１１の端子部の片方に選択的に
照射されるようにする。すると光導電材料のシートのう
ち、レーザビームの当たった部分の電気抵抗が低くなる
ので、電極板１とパターン１５の導通がとれる。この状
態で、電源６の電圧を一定の電圧Ｖ１に設定し、電極板
１の電圧をＶ１とする。パターン１５は電極板１と導通
しているので、パターン１５は電圧Ｖ１に帯電される。 この時のパターン１５の帯電量は、基準電位面として働
く電極板４とパターン１１の間の静電容量（以下パター
ン１１の静電容量とする）と電圧Ｖ１の積である。
【００１４】パターン１５が充分に帯電したら、レーザ
ビームの照射を止める。すると、パターン１５と電極板
１の導通が取れなくなる。この状態で、電源６の電圧を
Ｖ１とは違うＶ２に設定する。するとＶ１に帯電してい
た電極板１が充放電し、Ｖ２の電位になる。
ビームの照射を止める。すると、パターン１５と電極板
１の導通が取れなくなる。この状態で、電源６の電圧を
Ｖ１とは違うＶ２に設定する。するとＶ１に帯電してい
た電極板１が充放電し、Ｖ２の電位になる。
【００１５】次に、Ｘ−Ｙステージを制御して、レーザ
ビームがパターン１１の他方の端子に当たる位置まで基
板を移動して、レーザビームを再び照射する。もしパタ
ーン１１の二つの端子間が導通していたら、今回レーザ
ビームを当てている端子もＶ１に帯電しているので、レ
ーザビームの照射により、Ｖ２の電位になるまで充放電
する。この時流れる電流は、電流計５を通して、電源６
に流れ込むので、電流計５をよむことにより、パターン
１１の放電が判る。一方パターン１１のふたつの端子間
が断線を起こしている場合は、今回レーザビームを当て
ている端子はＶ１に帯電していないので、電流が流れな
い。このことにより、パターン１１の導通、非導通を判
定することが出来る。
ビームがパターン１１の他方の端子に当たる位置まで基
板を移動して、レーザビームを再び照射する。もしパタ
ーン１１の二つの端子間が導通していたら、今回レーザ
ビームを当てている端子もＶ１に帯電しているので、レ
ーザビームの照射により、Ｖ２の電位になるまで充放電
する。この時流れる電流は、電流計５を通して、電源６
に流れ込むので、電流計５をよむことにより、パターン
１１の放電が判る。一方パターン１１のふたつの端子間
が断線を起こしている場合は、今回レーザビームを当て
ている端子はＶ１に帯電していないので、電流が流れな
い。このことにより、パターン１１の導通、非導通を判
定することが出来る。
【００１６】なお基板中のパターンを次々に検査してい
くためには、レーザビームを次々に、検査するパターン
に位置決めする必要がある。本実施例では、基板をＸ−
Ｙステージにより縦横方向に移動してこれを行っている
。本実施例では示していないが、このほか基板は固定し
てレーザビームを縦横方向に走査する方法でも構わない
。また本実施例では、電流計５を電極１と電極６の間に
接続しているが、これを電極４の接地線に挿入しても、
上記手順により検査を行うことが出来る。
くためには、レーザビームを次々に、検査するパターン
に位置決めする必要がある。本実施例では、基板をＸ−
Ｙステージにより縦横方向に移動してこれを行っている
。本実施例では示していないが、このほか基板は固定し
てレーザビームを縦横方向に走査する方法でも構わない
。また本実施例では、電流計５を電極１と電極６の間に
接続しているが、これを電極４の接地線に挿入しても、
上記手順により検査を行うことが出来る。
【００１７】図２は本発明の第２の実施例を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【００１８】図２に示す基板検査装置は、基板１０３上
に密着される光導電性材料のシート１０２と、シート１
０２に重ねられる透明電極板１０１と、基板１０３の裏
側に密着される電極板１０４と、基板１０４を電極１０
１，１０４で挟んだものを横方向に送るローラー１０８
，１０９と、基板１０３上に照射されるレーザビームを
発生する光源１１２とレーザビームを収束する光学系１
１６と、レーザビームを継続するシャッタ１１３と、レ
ーザビームを基板１０３上で走査するための反射鏡１１
０およびこれを回転するモータ１１１と、電極板１０１
に流れる電流を測定する電流計１０５と、電極板１０１
に電圧を印加する電源１０６とこれらを制御する制御部
１０７とを備えて構成されている。
に密着される光導電性材料のシート１０２と、シート１
０２に重ねられる透明電極板１０１と、基板１０３の裏
側に密着される電極板１０４と、基板１０４を電極１０
１，１０４で挟んだものを横方向に送るローラー１０８
，１０９と、基板１０３上に照射されるレーザビームを
発生する光源１１２とレーザビームを収束する光学系１
１６と、レーザビームを継続するシャッタ１１３と、レ
ーザビームを基板１０３上で走査するための反射鏡１１
０およびこれを回転するモータ１１１と、電極板１０１
に流れる電流を測定する電流計１０５と、電極板１０１
に電圧を印加する電源１０６とこれらを制御する制御部
１０７とを備えて構成されている。
【００１９】このうち光導電性材料のシートは、たとえ
ば、電子写真技術を応用した複写機で用いられているも
のを使用する。電極板１０４は電気的に接地され、基準
電位面として働く。電極板１０１，１０４への配線は、
直接半田づけ等により接続してもかまわないが、ローラ
ー１０８，１０９の回転により、電極板自身が移動し、
配線を引きずるので、本実施例では、配線をローラー１
０８，１０９に施し、ローラーを金属等の導電性材質で
構成することにより、電極板への電気的接地を行ってい
る。
ば、電子写真技術を応用した複写機で用いられているも
のを使用する。電極板１０４は電気的に接地され、基準
電位面として働く。電極板１０１，１０４への配線は、
直接半田づけ等により接続してもかまわないが、ローラ
ー１０８，１０９の回転により、電極板自身が移動し、
配線を引きずるので、本実施例では、配線をローラー１
０８，１０９に施し、ローラーを金属等の導電性材質で
構成することにより、電極板への電気的接地を行ってい
る。
【００２０】つぎにパターンを検査する時の手順につい
て説明する。先ず反射鏡１１０の角度を制御してレーザ
ビームを検査対象のパターン１１５に選択的に照射する
。すると光導電材料のシートのうち、レーザビームの当
たった部分の電気抵抗が低くなるので、電極板１０１と
パターン１１５の導通がとれる。この状態で、電源１０
６の電圧を一定の電圧Ｖ１に設定し、電極板１０１の電
圧をＶ１とする。パターン１１５は電極板１０１と導通
しているので、パターン１１５は電圧Ｖ１に帯電される
。
て説明する。先ず反射鏡１１０の角度を制御してレーザ
ビームを検査対象のパターン１１５に選択的に照射する
。すると光導電材料のシートのうち、レーザビームの当
たった部分の電気抵抗が低くなるので、電極板１０１と
パターン１１５の導通がとれる。この状態で、電源１０
６の電圧を一定の電圧Ｖ１に設定し、電極板１０１の電
圧をＶ１とする。パターン１１５は電極板１０１と導通
しているので、パターン１１５は電圧Ｖ１に帯電される
。
【００２１】この時のパターン１１５の帯電量は、基準
電位面として働く電極板１０４とパターン１１５の間の
静電容量（以下パターン１１５の静電容量とする）と電
圧Ｖ１の積である。パターン１１５が充分に帯電したら
、レーザビームの照射を止める。すると、パターン１１
５と電極板１０１の導通が取れなくなる。この状態で、
電源１０６の電圧をＶ１とは違うＶ２に設定する。 するとＶ１に帯電していた電極板１０１が充放電し、Ｖ
２の電位になる。
電位面として働く電極板１０４とパターン１１５の間の
静電容量（以下パターン１１５の静電容量とする）と電
圧Ｖ１の積である。パターン１１５が充分に帯電したら
、レーザビームの照射を止める。すると、パターン１１
５と電極板１０１の導通が取れなくなる。この状態で、
電源１０６の電圧をＶ１とは違うＶ２に設定する。 するとＶ１に帯電していた電極板１０１が充放電し、Ｖ
２の電位になる。
【００２２】次に、レーザビームを再び先と同一箇所に
照射する。すると再び電極板１０１とパターン１１５の
導通が取れるので、パターン１１５が充放電してＶ２と
なる。このときパターン１１５には（パターン１１５の
静電容量）×（Ｖ１−Ｖ２）で表される量の電荷が充放
電される。この電荷は、電源１０６から電流計１０５を
通して供給されるので、電流計１０５の測定値を積分す
ることにより、測定することが出来る。この測定値をも
とにパターン１１５の静電容量を計算し、パターンの良
否判定を行う。
照射する。すると再び電極板１０１とパターン１１５の
導通が取れるので、パターン１１５が充放電してＶ２と
なる。このときパターン１１５には（パターン１１５の
静電容量）×（Ｖ１−Ｖ２）で表される量の電荷が充放
電される。この電荷は、電源１０６から電流計１０５を
通して供給されるので、電流計１０５の測定値を積分す
ることにより、測定することが出来る。この測定値をも
とにパターン１１５の静電容量を計算し、パターンの良
否判定を行う。
【００２３】なお基板中のパターンを次々に検査してい
くためには、レーザビームを次々に、検査するパターン
に位置決めする必要がある。第２の実施例では、レーザ
ビームは横方向にのみ走査し、基板をレーザビームの走
査方向と直交する向きに送って、これをおこなう。パタ
ーンを検査する順番は予め制御部に記憶しておき、基板
の端にあるものから順に行い、レーザビームの位置決め
時間が出来るだけ少なくなるようにする。レーザビーム
をパターンに位置決めする方法は、このほか基板は固定
してレーザビームを縦横方向に走査する、あるいはレー
ザビームは固定して、基板を縦横方向に移動する等があ
るが、いずれの方法を構わない。また、電流計１０５を
電極１０１と電源１０６の間に接続しているが、これを
電極１０４の接地線に挿入しても、上記手順により検査
を行うことが出来る。
くためには、レーザビームを次々に、検査するパターン
に位置決めする必要がある。第２の実施例では、レーザ
ビームは横方向にのみ走査し、基板をレーザビームの走
査方向と直交する向きに送って、これをおこなう。パタ
ーンを検査する順番は予め制御部に記憶しておき、基板
の端にあるものから順に行い、レーザビームの位置決め
時間が出来るだけ少なくなるようにする。レーザビーム
をパターンに位置決めする方法は、このほか基板は固定
してレーザビームを縦横方向に走査する、あるいはレー
ザビームは固定して、基板を縦横方向に移動する等があ
るが、いずれの方法を構わない。また、電流計１０５を
電極１０１と電源１０６の間に接続しているが、これを
電極１０４の接地線に挿入しても、上記手順により検査
を行うことが出来る。
【００２４】
【発明の効果】本発明の基板検査装置は、微細なパター
ンも損傷することなく検査できるという効果がある。
ンも損傷することなく検査できるという効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示すブロック図である
。
。
【図２】本発明の第２の実施例を示すブロック図である
。
。
【図３】従来の第１の例を示すブロック図である。
【図４】従来の第２の例を示すブロック図である。
【図５】図４に示す従来例の動作を説明するための回路
図である。
図である。
１ 透明電極板
２ 光導電材料のシート
３ 被検査基板
４ 電極板
５ 電流計
６ 電源
７ 制御部
８ ステージ制御部
１０ 保持具
１１ パターン
１２ レーザー装置
１３ 抵抗計
１４ 位置ぎめ部
１５ プローブ
Claims (2)
- 【請求項１】 被測定基板上の金属配線パターンに照
射されるレーザビームを発生するレーザ装置と、前記被
測定基板のレーザビームが当たる面に密着させる光導電
性材料のシート、および透明電極板と、前記被検査基板
のレーザビームが当たらない面に密着される電極板と、
前記電極板で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手段ま
たはレーザビームを走査する手段と、前記透明電極板に
接続される電流計および電源と、前記レーザ装置、基板
を縦横方向に送る手段またはレーザビームを走査する手
段、電流計、および電源を制御する制御部とを含む事を
特徴とする基板検査装置。 - 【請求項２】 被測定基板上の金属配線パターンに照
射されるレーザビームを供給するレーザ装置と、前記被
測定基板のレーザビームが当たる面に密着させる光導電
性材料のシート、および透明電極板と、前記被検査基板
のレーザビームが当たらない面に密着される電極板と、
前記電極板で挟んだ被検査基板を縦横方向に送る手段ま
たは前記レーザビームを被測定基板上で操作する手段と
、前記透明電極板に接続される電流計および電源と、前
記レーザビームを被測定基板上に収束する光学系と、前
記レーザビームを継続するシャッタと、前記基板を縦横
方向に送る手段またはレーザビームを走査する手段、電
流計、電源、およびシャッタを制御する制御部とを含む
事を特徴とする基板検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004934A JP2730295B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 基板検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004934A JP2730295B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 基板検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236367A true JPH04236367A (ja) | 1992-08-25 |
| JP2730295B2 JP2730295B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=11597410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004934A Expired - Fee Related JP2730295B2 (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | 基板検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730295B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0949867A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-02-18 | Okano Hightech Kk | 基板検査方法及び装置 |
| JP2004506205A (ja) * | 2000-08-05 | 2004-02-26 | ボテスト ジュステムス ゲーエムベーハー | プリント基板の機能性をテストする方法と装置 |
| JP2005156399A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004934A patent/JP2730295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0949867A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-02-18 | Okano Hightech Kk | 基板検査方法及び装置 |
| JP2004506205A (ja) * | 2000-08-05 | 2004-02-26 | ボテスト ジュステムス ゲーエムベーハー | プリント基板の機能性をテストする方法と装置 |
| JP2005156399A (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置及び基板検査方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2730295B2 (ja) | 1998-03-25 |
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|---|---|---|---|
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