JPH01185916A - 縦型熱処理装置 - Google Patents
縦型熱処理装置Info
- Publication number
- JPH01185916A JPH01185916A JP63009593A JP959388A JPH01185916A JP H01185916 A JPH01185916 A JP H01185916A JP 63009593 A JP63009593 A JP 63009593A JP 959388 A JP959388 A JP 959388A JP H01185916 A JPH01185916 A JP H01185916A
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- Japan
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- heat treatment
- tube
- wafer
- boat
- treatment tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、たとえばウェハの酸化拡散炉等に適用される
熱処理装置に関する。
熱処理装置に関する。
従来、ウェハの酸化膜形成に用いられる縦型の酸化拡散
炉は、第３図に示すように下端が開口した熱処理チュー
ブ１の周囲にヒータ２を配設するとともに、熱処理チュ
ーブ１の下方にボート搬送装置３を昇降自在に設けた構
成となっている。上記ボート搬送装置３は例えばモータ
４と、このモータ４に連結したボールスクリュー５と、
このボールスクリュー５の回転により昇降動作する昇降
アーム６とからなり、昇降アーム６の先端にはスカベン
ジャ７の開口部を塞ぐ炉蓋８が取付けられている。そし
て、炉蓋８の上面には保温筒９が設けられ、この保温筒
９の上面中央にボート１０が裁、置されるようになって
いる。
炉は、第３図に示すように下端が開口した熱処理チュー
ブ１の周囲にヒータ２を配設するとともに、熱処理チュ
ーブ１の下方にボート搬送装置３を昇降自在に設けた構
成となっている。上記ボート搬送装置３は例えばモータ
４と、このモータ４に連結したボールスクリュー５と、
このボールスクリュー５の回転により昇降動作する昇降
アーム６とからなり、昇降アーム６の先端にはスカベン
ジャ７の開口部を塞ぐ炉蓋８が取付けられている。そし
て、炉蓋８の上面には保温筒９が設けられ、この保温筒
９の上面中央にボート１０が裁、置されるようになって
いる。
上記ボート１０は石英等の耐熱性材料からなり、多数の
ウェハ１１・・・が一定間隔で収容されるように構成さ
れている。また、上記昇降アーム６の先端にはモータ１
２が取付けられ、回転軸１３を介してボート１０を一定
速度で回転させるようになっている。
ウェハ１１・・・が一定間隔で収容されるように構成さ
れている。また、上記昇降アーム６の先端にはモータ１
２が取付けられ、回転軸１３を介してボート１０を一定
速度で回転させるようになっている。
一方、前記熱処理チューブ１の上端にはガス導入口１４
が設けられ、このガス導入口１４よ、り反応ガスが熱処
理チューブ１内に導入されるようになっている。また、
熱処理チューブ１の下部にはガス排気口１５が設けられ
、このガス排気口１５より反応後のガスが外部へ排気さ
れるようになっている。
が設けられ、このガス導入口１４よ、り反応ガスが熱処
理チューブ１内に導入されるようになっている。また、
熱処理チューブ１の下部にはガス排気口１５が設けられ
、このガス排気口１５より反応後のガスが外部へ排気さ
れるようになっている。
このような酸化拡散炉でウェハ１１の表面に酸化膜を形
成する場合は、まずウェハ１１を収容したボート１０を
保温筒９の上面中央に載置する。
成する場合は、まずウェハ１１を収容したボート１０を
保温筒９の上面中央に載置する。
次にボート搬送装置３のモータ４を駆動し、第４図に示
すように昇降アーム６を上昇させてボート１０を熱処理
チューブ１内に搬送する。そして、この状態でヒータ２
を通電し、熱処理チューブ１内を所定温度に加熱する。
すように昇降アーム６を上昇させてボート１０を熱処理
チューブ１内に搬送する。そして、この状態でヒータ２
を通電し、熱処理チューブ１内を所定温度に加熱する。
その後、ガス導入口１４より反応ガスを熱処理チューブ
１内に導入するとともに、モータ１２によりボート１０
を一定速度で回転させることにより、ウェハ１１の表面
に酸化膜が均一に形成される。
１内に導入するとともに、モータ１２によりボート１０
を一定速度で回転させることにより、ウェハ１１の表面
に酸化膜が均一に形成される。
また、熱処理後のウェハ１１を熱処理チューブ１内から
取出す場合は、まず熱処理チューブ１内のガスをガス排
気口１５より完全排気した後、ボート搬送装置３により
ボート１０を降下さ、せてウェハ１１を熱処理チューブ
１内から取出す。
取出す場合は、まず熱処理チューブ１内のガスをガス排
気口１５より完全排気した後、ボート搬送装置３により
ボート１０を降下さ、せてウェハ１１を熱処理チューブ
１内から取出す。
上記のような従来装置では、熱処理後のウェハ１１を熱
処理チューブ１内から取出した際にウェハ１１が空気中
の酸素と反応し、ウェハ１１の表面が必要以上に酸化し
てしまうという不具合があった。
処理チューブ１内から取出した際にウェハ１１が空気中
の酸素と反応し、ウェハ１１の表面が必要以上に酸化し
てしまうという不具合があった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたも
ので、熱処理後のウェハを熱処理チューブ内から取出し
た際にウェハ表面の酸化を防止できる熱処理装置を提供
することを目的とするものである。
ので、熱処理後のウェハを熱処理チューブ内から取出し
た際にウェハ表面の酸化を防止できる熱処理装置を提供
することを目的とするものである。
上記の課題を解決するために本発明は、下端が開口した
熱処理チューブと、この熱処理チューブの周囲に配設さ
れたヒータと、上記熱処理チューブの下方に昇降自在に
設けられウェハを収容したボートを熱処理チューブ内に
搬送するボート搬送装置と、上記熱処理チューブ内に反
応ガスを導入する手段と、上記熱処理チューブ内に導入
された反応ガスを排気する手段と、上記ボートの周囲に
設けられボートと一体に昇降動作する酸化防止チューブ
と、上記ウェハを熱処理チューブ内から取出すとき上記
酸化防止チューブの内側に不活性ガスを導入する手段と
を具備したことを特徴とする。
熱処理チューブと、この熱処理チューブの周囲に配設さ
れたヒータと、上記熱処理チューブの下方に昇降自在に
設けられウェハを収容したボートを熱処理チューブ内に
搬送するボート搬送装置と、上記熱処理チューブ内に反
応ガスを導入する手段と、上記熱処理チューブ内に導入
された反応ガスを排気する手段と、上記ボートの周囲に
設けられボートと一体に昇降動作する酸化防止チューブ
と、上記ウェハを熱処理チューブ内から取出すとき上記
酸化防止チューブの内側に不活性ガスを導入する手段と
を具備したことを特徴とする。
本発明では、熱処理後のウェハを熱処理チューブ内から
取出す際に酸化防止チューブの内側に不活性ガスを導入
することにより、熱処理後のウェハを熱処理チューブ内
から取出した際にウェハが空気中の酸素と接触しないた
め、ウェハ表面の酸化を防止できる。
取出す際に酸化防止チューブの内側に不活性ガスを導入
することにより、熱処理後のウェハを熱処理チューブ内
から取出した際にウェハが空気中の酸素と接触しないた
め、ウェハ表面の酸化を防止できる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すもので、この一実施例
装置は第３図に示した従来装置と同様に、下端が開口し
た熱処理チューブ１の周囲にヒータ２を配設するととも
に、熱処理チューブ１の下方にボート搬送装置３を昇降
自在に設けた構成となっている。上記ボート搬送装置３
は例えばモータ４と、このモータ４に連結したボールス
クリュー５と、このボールスクリュー５の回転により昇
降動作する昇降アーム６とからなり、昇降アーム６の先
端にはスカベンジャ７の開口部を塞ぐ炉蓋８が取付けら
れている。そして、上記炉Ｍ８の上面には保温筒９が設
けられ、この保温筒９の上面中央にボート１０が載置さ
れるようになっている。
装置は第３図に示した従来装置と同様に、下端が開口し
た熱処理チューブ１の周囲にヒータ２を配設するととも
に、熱処理チューブ１の下方にボート搬送装置３を昇降
自在に設けた構成となっている。上記ボート搬送装置３
は例えばモータ４と、このモータ４に連結したボールス
クリュー５と、このボールスクリュー５の回転により昇
降動作する昇降アーム６とからなり、昇降アーム６の先
端にはスカベンジャ７の開口部を塞ぐ炉蓋８が取付けら
れている。そして、上記炉Ｍ８の上面には保温筒９が設
けられ、この保温筒９の上面中央にボート１０が載置さ
れるようになっている。
上記ボート１０は石英等の耐熱材からなり、多数のウェ
ハ１１・・・を水平にかつ一定間隔で収容するように構
成されている。また、上記昇降アーム６の先端にはモー
タ１２が取付けられ、回転軸１３を介してボート１０を
一定速度で回転させるようになっている。
ハ１１・・・を水平にかつ一定間隔で収容するように構
成されている。また、上記昇降アーム６の先端にはモー
タ１２が取付けられ、回転軸１３を介してボート１０を
一定速度で回転させるようになっている。
一方、前記熱処理チューブ１の上端にはガス導入口１４
が設けられ、このガス導入口１４より反応ガスが熱処理
チューブ１内に導入されるようになっている。また、上
記保温筒９およびボート１０の周囲には酸化防止チュー
ブ１６が設けられている。この酸化防止チューブ１６は
石英。
が設けられ、このガス導入口１４より反応ガスが熱処理
チューブ１内に導入されるようになっている。また、上
記保温筒９およびボート１０の周囲には酸化防止チュー
ブ１６が設けられている。この酸化防止チューブ１６は
石英。
ＳｉＣ等の耐熱性材料からなり、ボート１０と一体に昇
降動作するようになっている。
降動作するようになっている。
上記酸化防止チューブ１６の下部外周にはフランジ１７
が設けられ、このフランジ１７で熱処理チューブ１の下
端開口を塞ぐようになっている。
が設けられ、このフランジ１７で熱処理チューブ１の下
端開口を塞ぐようになっている。
また、前記スカベンジャ７内には排気ノズル１８が水平
方向に進退自在に設けられている。この排気ノズル１８
は酸化防止チューブ１６の下部に設けられたガス排出口
１９に着脱可能に接続し、熱処理チューブ１内のガスを
排気するようになっている。また、熱処理チューブ１と
酸化防止チューブ１６との間に形成された環状空間の排
気は、フランジ１７間に設けられた排気孔２１より行わ
れる。そして、前記炉蓋８の側面には窒素ガス導入口２
０が設けられ、この窒素ガス導入口２０より酸化防止チ
ューブ１６の内側に窒素ガスが導入されるようになって
いる。
方向に進退自在に設けられている。この排気ノズル１８
は酸化防止チューブ１６の下部に設けられたガス排出口
１９に着脱可能に接続し、熱処理チューブ１内のガスを
排気するようになっている。また、熱処理チューブ１と
酸化防止チューブ１６との間に形成された環状空間の排
気は、フランジ１７間に設けられた排気孔２１より行わ
れる。そして、前記炉蓋８の側面には窒素ガス導入口２
０が設けられ、この窒素ガス導入口２０より酸化防止チ
ューブ１６の内側に窒素ガスが導入されるようになって
いる。
このように構成された一実施例装置によりウェハ１１の
表面に酸化膜を形成する場合は、まずウェハ１１を収容
したボート１０を保温筒９の上面中央に載置する。次に
ボート搬送装置３のモータ４を駆動し、第２図に示すよ
うに昇降アーム６を上昇させてボート１０を熱処理チュ
ーブ１内に搬送する。そして、この状態でヒータ２を通
電し、熱処理チューブ１内を所定温度に加熱する。その
後、ガス導入口１４より反応ガスを熱処理チューブ１内
に導入するとともに、モータ１２を駆動してボート１０
を一定速度で回転させることにより、ウェハ１１の表面
に酸化膜が均一に形成される。
表面に酸化膜を形成する場合は、まずウェハ１１を収容
したボート１０を保温筒９の上面中央に載置する。次に
ボート搬送装置３のモータ４を駆動し、第２図に示すよ
うに昇降アーム６を上昇させてボート１０を熱処理チュ
ーブ１内に搬送する。そして、この状態でヒータ２を通
電し、熱処理チューブ１内を所定温度に加熱する。その
後、ガス導入口１４より反応ガスを熱処理チューブ１内
に導入するとともに、モータ１２を駆動してボート１０
を一定速度で回転させることにより、ウェハ１１の表面
に酸化膜が均一に形成される。
また、熱処理後のウェハ１１を熱処理チューブ１内から
取出す場合は、まず熱処理チューブ１内のガスを排気ノ
ズル１８より完全排気した後、窒素ガス導入口２０より
酸化防止チューブ１６内に窒素ガスが導入する。そして
、窒素ガスで酸化防止チューブ１６の内側を不活性ガス
雰囲気とした後、ボート搬送装置３によりボート１０を
降下させてウェハ１１を熱処理チューブ１内から取出す
。
取出す場合は、まず熱処理チューブ１内のガスを排気ノ
ズル１８より完全排気した後、窒素ガス導入口２０より
酸化防止チューブ１６内に窒素ガスが導入する。そして
、窒素ガスで酸化防止チューブ１６の内側を不活性ガス
雰囲気とした後、ボート搬送装置３によりボート１０を
降下させてウェハ１１を熱処理チューブ１内から取出す
。
このように本実施例ではボート１０の周囲に酸化防止チ
ューブ１６を設け、ウェハ１１を熱処理チューブ１内か
ら取出す際に酸化防止チューブ１６の内側を不活性ガス
雰囲気にすることにより、ウェハ１１が空気中の酸素と
接触しないため、ウェハ表面の酸化を防止することがで
きる。したがって、ウェハ１１を熱処理チューブ１内か
ら取出した際にウェハ１１の表面が必要以上に酸化する
ようなことがなく、ウェハ１１の表面に均一な膜厚を形
成することができる。
ューブ１６を設け、ウェハ１１を熱処理チューブ１内か
ら取出す際に酸化防止チューブ１６の内側を不活性ガス
雰囲気にすることにより、ウェハ１１が空気中の酸素と
接触しないため、ウェハ表面の酸化を防止することがで
きる。したがって、ウェハ１１を熱処理チューブ１内か
ら取出した際にウェハ１１の表面が必要以上に酸化する
ようなことがなく、ウェハ１１の表面に均一な膜厚を形
成することができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の設計的変更が可
能である。
本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の設計的変更が可
能である。
以上説明したように本発明は、下端が開口した熱処理チ
ューブと、この熱処理チューブの周囲に配設されたヒー
タと、上記熱処理チューブの下方に昇降自在に設けられ
ウェハを収容したボートを熱処理チューブ内に搬送する
ボート搬送装置と、上記熱処理チューブ内に反応ガスを
導入する手段と、上記熱処理チューブ内に導入された反
応ガスを排気する手段と、上記ボートの周囲に設けられ
ボートと一体に昇降動作する酸化防止チューブと、上記
ウェハを熱処理チューブ内から取出すとき上記酸化防止
チューブの内側に不活性ガスを導入する手段とを具備し
たので、ウェハを熱処理チューブ内から取出した際にウ
ェハの表面が必要以上に酸化するようなことがなく、ウ
ェハの表面に均一な膜厚を形成することができる。
ューブと、この熱処理チューブの周囲に配設されたヒー
タと、上記熱処理チューブの下方に昇降自在に設けられ
ウェハを収容したボートを熱処理チューブ内に搬送する
ボート搬送装置と、上記熱処理チューブ内に反応ガスを
導入する手段と、上記熱処理チューブ内に導入された反
応ガスを排気する手段と、上記ボートの周囲に設けられ
ボートと一体に昇降動作する酸化防止チューブと、上記
ウェハを熱処理チューブ内から取出すとき上記酸化防止
チューブの内側に不活性ガスを導入する手段とを具備し
たので、ウェハを熱処理チューブ内から取出した際にウ
ェハの表面が必要以上に酸化するようなことがなく、ウ
ェハの表面に均一な膜厚を形成することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す熱処理装置の概略構成
図、第２図は同装置の作用を示す図、第３図および第４
図は従来装置を示す図である。 １・・・熱処理チューブ、２・・・ヒータ、３・・・ボ
ート搬送装置、７・・・スカベンジャ、８・・・炉蓋、
１０・・・ボート、１１・・・ウェハ、１４・・・反応
ガス導入口、１６・・・酸化防止チューブ、１８・・・
排気ノズル、２０・・・窒素ガス導入口。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図
図、第２図は同装置の作用を示す図、第３図および第４
図は従来装置を示す図である。 １・・・熱処理チューブ、２・・・ヒータ、３・・・ボ
ート搬送装置、７・・・スカベンジャ、８・・・炉蓋、
１０・・・ボート、１１・・・ウェハ、１４・・・反応
ガス導入口、１６・・・酸化防止チューブ、１８・・・
排気ノズル、２０・・・窒素ガス導入口。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第１図 第３図
Claims (1)
- 下端が開口した熱処理チューブと、この熱処理チュー
ブの周囲に配設されたヒータと、上記熱処理チューブの
下方に昇降自在に設けられウェハを収容したボートを熱
処理チューブ内に搬送するボート搬送装置と、上記熱処
理チューブ内に反応ガスを導入する手段と、上記熱処理
チューブ内に導入された反応ガスを排気する手段と、上
記ボートの周囲に設けられボートと一体に昇降動作する
酸化防止チューブと、上記ウェハを熱処理チューブ内か
ら取出すとき上記酸化防止チューブの内側に不活性ガス
を導入する手段とを具備したことを特徴とする熱処理装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009593A JP2686456B2 (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 縦型熱処理装置 |
| KR1019880012971A KR970008319B1 (ko) | 1987-10-05 | 1988-10-05 | 종형 열처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63009593A JP2686456B2 (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 | 縦型熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01185916A true JPH01185916A (ja) | 1989-07-25 |
| JP2686456B2 JP2686456B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=11724629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63009593A Expired - Lifetime JP2686456B2 (ja) | 1987-10-05 | 1988-01-21 | 縦型熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2686456B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01194415A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Kokusai Electric Co Ltd | 縦形炉 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6153721A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-17 | クオ−ツ・エンジニアリング・アンド・マテリアルス・インコ−ポレ−テツド | スロツトを設けた片持ち拡散管装置およびこれに装填する方法および装置 |
| JPS62140413A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-24 | Nec Corp | 縦型拡散装置 |
| JPS62279642A (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-04 | Tokyo Electron Ltd | ウエハの熱処理方法 |
| JPS6319817A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP63009593A patent/JP2686456B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6153721A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-17 | クオ−ツ・エンジニアリング・アンド・マテリアルス・インコ−ポレ−テツド | スロツトを設けた片持ち拡散管装置およびこれに装填する方法および装置 |
| JPS62140413A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-24 | Nec Corp | 縦型拡散装置 |
| JPS62279642A (ja) * | 1986-05-28 | 1987-12-04 | Tokyo Electron Ltd | ウエハの熱処理方法 |
| JPS6319817A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01194415A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Kokusai Electric Co Ltd | 縦形炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2686456B2 (ja) | 1997-12-08 |
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