JPH01187438A - ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式 - Google Patents
ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式Info
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- JPH01187438A JPH01187438A JP1231988A JP1231988A JPH01187438A JP H01187438 A JPH01187438 A JP H01187438A JP 1231988 A JP1231988 A JP 1231988A JP 1231988 A JP1231988 A JP 1231988A JP H01187438 A JPH01187438 A JP H01187438A
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- Japan
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、光ディスクなどの情報記録媒体における欠
陥の密集箇所のズーミング表示方式に関するものである
。
陥の密集箇所のズーミング表示方式に関するものである
。
［従来の技術］
情報記録媒体として最近急速に進展している光ディスク
は、ガラス基板に記録媒体を塗布してこれにトラックを
設定し、トラック上に情報ビットを高密度に記録したも
のである。情報ビットは極めて微小な直径が約１μｍの
もので、ディスクになんらかの欠陥があるときは記録情
報のエラーとなる。そこで欠陥検査が行われている。欠
陥検査には従来から例えば、シリコンウェハの表面検査
に使用されているものと本質的に同じ装置が適用される
が、光ディスクの場合は情報ビ・ソトが既に記録された
状態で検査されるので、光学系を改良して欠陥を情報ビ
ットと区別し、さらに欠陥を２種類に大別して検出する
ものである。第４図は光ディスクに対する上記の欠陥検
査装置の光学系の概略の構成を示すものである。図にお
いて、レーザ光源２よりのレーザビームはミラー３を経
てレンズ４により適当な直径のスポットに集束されてデ
ィスク１を照射する。ディスクには情報ビットと各種の
欠陥があるが、スクラッチキズなと散乱光が広く拡散す
るものは、側方に光ファイバー５ａ、５ｂなどを多数設
けて散乱光を集光して光電子増倍管Ａ （ＰＭＴ）５で
検出する。また、光軸付近に集中する塵埃や汚れなどの
反射光はレンズ４により集光してＰＭＴＢ６により検出
する。これらに対して、情報ビットではレーザビームの
正反射光が変化するので、その光軸中心に設けたミラー
７により取り出される。
は、ガラス基板に記録媒体を塗布してこれにトラックを
設定し、トラック上に情報ビットを高密度に記録したも
のである。情報ビットは極めて微小な直径が約１μｍの
もので、ディスクになんらかの欠陥があるときは記録情
報のエラーとなる。そこで欠陥検査が行われている。欠
陥検査には従来から例えば、シリコンウェハの表面検査
に使用されているものと本質的に同じ装置が適用される
が、光ディスクの場合は情報ビ・ソトが既に記録された
状態で検査されるので、光学系を改良して欠陥を情報ビ
ットと区別し、さらに欠陥を２種類に大別して検出する
ものである。第４図は光ディスクに対する上記の欠陥検
査装置の光学系の概略の構成を示すものである。図にお
いて、レーザ光源２よりのレーザビームはミラー３を経
てレンズ４により適当な直径のスポットに集束されてデ
ィスク１を照射する。ディスクには情報ビットと各種の
欠陥があるが、スクラッチキズなと散乱光が広く拡散す
るものは、側方に光ファイバー５ａ、５ｂなどを多数設
けて散乱光を集光して光電子増倍管Ａ （ＰＭＴ）５で
検出する。また、光軸付近に集中する塵埃や汚れなどの
反射光はレンズ４により集光してＰＭＴＢ６により検出
する。これらに対して、情報ビットではレーザビームの
正反射光が変化するので、その光軸中心に設けたミラー
７により取り出される。
［解決しようとする課題］
さて、検出された欠陥データは検査員が観察し易いよう
にディスプレイにマップ表示され、さらに、欠陥の分布
状態を微細に見るためにズーミングマツプ表示されてい
る。これらのマツプ表示方法とズーミング方法に対して
は、この発明の発明者らにより、特願［面板欠陥データ
のマツプ表示方法」および特願「面板欠陥データのズー
ミングマツプ表示方式」が出願されている。その概要を
第５図により説明する。図においてディスプレイ８にデ
ィスク１の映像を設定する。この映像はシリコンウェハ
の場合には、欠陥位置を特定するために、ディスクに設
けられているオリエンティション・フラットＦが図示の
ように下部となるようにディスクのエツジ１ａを表示し
、これに検出された欠陥がマツプ表示されている。欠陥
の分布状態をさらに詳しく観察する必要があるときは、
映像面における観察箇所の対称点、例えば図示のａ。
にディスプレイにマップ表示され、さらに、欠陥の分布
状態を微細に見るためにズーミングマツプ表示されてい
る。これらのマツプ表示方法とズーミング方法に対して
は、この発明の発明者らにより、特願［面板欠陥データ
のマツプ表示方法」および特願「面板欠陥データのズー
ミングマツプ表示方式」が出願されている。その概要を
第５図により説明する。図においてディスプレイ８にデ
ィスク１の映像を設定する。この映像はシリコンウェハ
の場合には、欠陥位置を特定するために、ディスクに設
けられているオリエンティション・フラットＦが図示の
ように下部となるようにディスクのエツジ１ａを表示し
、これに検出された欠陥がマツプ表示されている。欠陥
の分布状態をさらに詳しく観察する必要があるときは、
映像面における観察箇所の対称点、例えば図示のａ。
０点を指定すると、この点を含む４辺形（ａｂｃｄ）１
ｂが、適当なスケールで拡大されて（ＡＢＣＤ）ｌｂ’
として表示されるものである。
ｂが、適当なスケールで拡大されて（ＡＢＣＤ）ｌｂ’
として表示されるものである。
以上のズーミングマツプ表示方式は、欠陥検査にとって
一応便利ではあるが、全面のマツプ表示では表示の素点
が微小欠陥に対して過大であるので、欠陥が密集した箇
所を目視観察により捕捉することが困難であり、密集し
ているか否かはズーミングして始めて判明するのである
。そこで、データ処理の段階で密集度をチェックして、
これが一定の許容値を越えたものがあったとき、映像面
に対する箇所指定を要せずに、自動的にその箇所をズー
ミングして表示することが望ましい。
一応便利ではあるが、全面のマツプ表示では表示の素点
が微小欠陥に対して過大であるので、欠陥が密集した箇
所を目視観察により捕捉することが困難であり、密集し
ているか否かはズーミングして始めて判明するのである
。そこで、データ処理の段階で密集度をチェックして、
これが一定の許容値を越えたものがあったとき、映像面
に対する箇所指定を要せずに、自動的にその箇所をズー
ミングして表示することが望ましい。
この発明は以上に述べた事情に鑑みてなされたもので、
ディスク欠陥の密集した箇所をデータ処理段階でチェッ
クして、その箇所をズーミングしてディスプレイ装置に
マツプ表示する方式を提供することを目的とするもので
ある。
ディスク欠陥の密集した箇所をデータ処理段階でチェッ
クして、その箇所をズーミングしてディスプレイ装置に
マツプ表示する方式を提供することを目的とするもので
ある。
［課題を解決するための手段］
この発明は、光ディスクなどの情報記録媒体の欠陥検査
装置において、欠陥の密集箇所をズーミング表示する方
式であって、欠陥検査装置に設けられた、欠陥種別に対
応する複数の受光器とそれぞれに対する信号処理部より
出力され、微小面積のセルを単位として欠陥の大きさ別
に検出された欠陥データを、各種別ごとに、密集度チェ
ック手段により一定面積の領域ごとに計数し、計数値が
一定の許容値を越えた領域をズーミングして領域内の欠
陥をマツプ表示するものである。
装置において、欠陥の密集箇所をズーミング表示する方
式であって、欠陥検査装置に設けられた、欠陥種別に対
応する複数の受光器とそれぞれに対する信号処理部より
出力され、微小面積のセルを単位として欠陥の大きさ別
に検出された欠陥データを、各種別ごとに、密集度チェ
ック手段により一定面積の領域ごとに計数し、計数値が
一定の許容値を越えた領域をズーミングして領域内の欠
陥をマツプ表示するものである。
上記の密集度チェック手段は、信号処理部より出力され
た欠陥データを逐次、欠陥データバッファの欠陥の座標
に対応するアドレスに記憶し、かつ欠陥データごとに当
該欠陥の座標を中心とする上下左右の一定面積の領域内
の欠陥データの個数６一 を計数し、計数値が一定の許容値を越えたとき、密集エ
ラーフラグを立てるとともに、該領域の座標データを密
集箇所バッファに記憶する。ズーミングマツプ表示の指
定により、密集エラーフラグと密集箇所の座標データに
より、欠陥データバッファに記憶されている上記領域の
欠陥データをディスプレイ面にズーミングマツプ表示を
するものである。
た欠陥データを逐次、欠陥データバッファの欠陥の座標
に対応するアドレスに記憶し、かつ欠陥データごとに当
該欠陥の座標を中心とする上下左右の一定面積の領域内
の欠陥データの個数６一 を計数し、計数値が一定の許容値を越えたとき、密集エ
ラーフラグを立てるとともに、該領域の座標データを密
集箇所バッファに記憶する。ズーミングマツプ表示の指
定により、密集エラーフラグと密集箇所の座標データに
より、欠陥データバッファに記憶されている上記領域の
欠陥データをディスプレイ面にズーミングマツプ表示を
するものである。
上記のズーミングマツプ表示は、種別ごとの欠陥を、そ
れぞれの大きさに区分して、種別と大きさに対する適当
な文字で表現し、各種別の欠陥を一括してディスプレイ
面に並記するものである。
れぞれの大きさに区分して、種別と大きさに対する適当
な文字で表現し、各種別の欠陥を一括してディスプレイ
面に並記するものである。
［作用］
この発明によるディスク欠陥の密集箇所のズーミング表
示方式においては、欠陥の種別に対応した受光器とそれ
ぞれに対する信号処理部より出力される欠陥の大きさに
従って区分された欠陥データについて、密集度チェック
手段により一定面積の領域内の個数が一定の許容値を越
えたとき、その領域をズーミングしてディスプレイ面に
マツプ表示するものである。
示方式においては、欠陥の種別に対応した受光器とそれ
ぞれに対する信号処理部より出力される欠陥の大きさに
従って区分された欠陥データについて、密集度チェック
手段により一定面積の領域内の個数が一定の許容値を越
えたとき、その領域をズーミングしてディスプレイ面に
マツプ表示するものである。
密集度チェック手段は、信号処理部よりの欠陥データを
逐次、欠陥データバッファの該欠陥の座標に対応するア
ドレスに記憶する。欠陥データごとに、当該欠陥信号の
座標を中心とする上下左右の一定面積の領域内の欠陥デ
ー タの個数を計数して、計数値が一定の許容値を越え
たとき、密集エラーフラグを立てるとともに、密集箇所
バッファにその領域の座標データが記憶される。ズーミ
ングマツプ表示の指定により、密集エラーフラグと密集
箇所座標データにより、当該領域の欠陥データがディス
プレイ面にマツプ表示されるものである。
逐次、欠陥データバッファの該欠陥の座標に対応するア
ドレスに記憶する。欠陥データごとに、当該欠陥信号の
座標を中心とする上下左右の一定面積の領域内の欠陥デ
ー タの個数を計数して、計数値が一定の許容値を越え
たとき、密集エラーフラグを立てるとともに、密集箇所
バッファにその領域の座標データが記憶される。ズーミ
ングマツプ表示の指定により、密集エラーフラグと密集
箇所座標データにより、当該領域の欠陥データがディス
プレイ面にマツプ表示されるものである。
上記のズーミングマツプ表示においては、欠陥の種別と
大きさに対して適当な文字で同一ディスプレイ面に一括
して表示がなされる。
大きさに対して適当な文字で同一ディスプレイ面に一括
して表示がなされる。
［実施例］
第１図は、この発明によるディスク欠陥の密集箇所のズ
ーミング表示方式の実施例におけるブロック構成図であ
る０図示左端は、前記した欠陥検査装置の光学系で、第
２区に示すθ方向に回転するディスクにレーザビームを
照射し、半径Ｒ方向にディスクを移動して走査され、デ
ィスクの欠陥による散乱光が光電子増倍管（ＰＭＴ）Ａ
５．同Ｂ６により受光されて、これらより各欠陥種別の
検出信号が出力される。各検出信号は信号処理部Ａ９ａ
、９ｂにおいて大きさ区分され、欠陥データとしてそれ
ぞれデータ取り込み部１０に取り込まれバスを経由して
欠陥データバッファ１１に記憶される。この場合、ディ
スク面の位置は第２図に示すＲ１θ座標で表され、これ
に従って、欠陥データは、ディスク面の微小面積のセル
Ｓ［ｒ、θ］を単位としてこれに対応する欠陥データバ
ッファのアドレスに記憶される。
ーミング表示方式の実施例におけるブロック構成図であ
る０図示左端は、前記した欠陥検査装置の光学系で、第
２区に示すθ方向に回転するディスクにレーザビームを
照射し、半径Ｒ方向にディスクを移動して走査され、デ
ィスクの欠陥による散乱光が光電子増倍管（ＰＭＴ）Ａ
５．同Ｂ６により受光されて、これらより各欠陥種別の
検出信号が出力される。各検出信号は信号処理部Ａ９ａ
、９ｂにおいて大きさ区分され、欠陥データとしてそれ
ぞれデータ取り込み部１０に取り込まれバスを経由して
欠陥データバッファ１１に記憶される。この場合、ディ
スク面の位置は第２図に示すＲ１θ座標で表され、これ
に従って、欠陥データは、ディスク面の微小面積のセル
Ｓ［ｒ、θ］を単位としてこれに対応する欠陥データバ
ッファのアドレスに記憶される。
一方、欠陥データ計数部１２においては逐次入力する欠
陥データを種類と大きさ別に計数して、ディスク全面の
検査が終了した後、この計数値をマツプ表示部１３に転
送し、マツプ表示の指定があったときに、欠陥データバ
ッファに記憶されている全欠陥データをグラフィックデ
ィスプレイ８にマ・ｙ ７表示する。この場合のマツプ
表示は前記した特願の方法により行われる。
陥データを種類と大きさ別に計数して、ディスク全面の
検査が終了した後、この計数値をマツプ表示部１３に転
送し、マツプ表示の指定があったときに、欠陥データバ
ッファに記憶されている全欠陥データをグラフィックデ
ィスプレイ８にマ・ｙ ７表示する。この場合のマツプ
表示は前記した特願の方法により行われる。
次に、欠陥データ計数部１３より密集度チェック部１４
に転送された欠陥データの総数が一定値に達すると、そ
の時点以後の各欠陥データごとに、第２図に示したセル
Ｓを中心とする上下左右の一定面積の領域内の欠陥デー
タを欠陥データバッファ１１より取り出して計数する。
に転送された欠陥データの総数が一定値に達すると、そ
の時点以後の各欠陥データごとに、第２図に示したセル
Ｓを中心とする上下左右の一定面積の領域内の欠陥デー
タを欠陥データバッファ１１より取り出して計数する。
これが一定の許容値を越えたときは、密集エラーフラグ
１５にその旨を示すフラグが立てられ、またその領域の
中心の座標データが密集エラーバッファ１６に記憶され
る。
１５にその旨を示すフラグが立てられ、またその領域の
中心の座標データが密集エラーバッファ１６に記憶され
る。
前記したように欠陥データは微小な、例えば０゜５ｍｍ
角のセル単位であるが、領域はこれより大きい例えば５
ｍｍ角の方形とされる。従ってこの場合は１領域は１０
０個のセルで構成される。
角のセル単位であるが、領域はこれより大きい例えば５
ｍｍ角の方形とされる。従ってこの場合は１領域は１０
０個のセルで構成される。
ディスク全面の検査が終了した後、ズーミングマツプ表
示の指定により、密集エラーフラグ１５に立てられたフ
ラグと密集エラーバッファ１６に記憶された座標データ
により、欠陥データバッファ１１に記憶されている当該
密集箇所の欠陥データが呼び出されて、マツプ表示部１
３の機能によりズーミングされてグラフィックディスプ
レイ８にマツプ表示される。ズーミングマツプ表示の方
法は前記した特許によるものであるが、なおこの発明に
おいては、欠陥の種類と大きさ別に適当な文字で表示す
る。なお、欠陥の種類別に異なる密集領域となるときは
、両者がそれぞれ別個にズーミング表示される。また、
両者が一部重なるときは、その箇所をオーバーラツプし
て一度に表示するなど種々のバリエイジョンが自由に行
われる。
示の指定により、密集エラーフラグ１５に立てられたフ
ラグと密集エラーバッファ１６に記憶された座標データ
により、欠陥データバッファ１１に記憶されている当該
密集箇所の欠陥データが呼び出されて、マツプ表示部１
３の機能によりズーミングされてグラフィックディスプ
レイ８にマツプ表示される。ズーミングマツプ表示の方
法は前記した特許によるものであるが、なおこの発明に
おいては、欠陥の種類と大きさ別に適当な文字で表示す
る。なお、欠陥の種類別に異なる密集領域となるときは
、両者がそれぞれ別個にズーミング表示される。また、
両者が一部重なるときは、その箇所をオーバーラツプし
て一度に表示するなど種々のバリエイジョンが自由に行
われる。
第３図（ａ）、（ｂ）は、この発明のディスク欠陥の密
集箇所のズーミング表示方式によるズーミングマツプ表
示の例で、図（ａ）に示す欠陥が密集した領域（ａｂｃ
ｄ）は、図（ｂ）のようにズーミングされて表示される
。この場合は２種類の欠陥を大きさにより、それぞれ（
Ｓ、Ｍ、Ｌ）および（ａ。
集箇所のズーミング表示方式によるズーミングマツプ表
示の例で、図（ａ）に示す欠陥が密集した領域（ａｂｃ
ｄ）は、図（ｂ）のようにズーミングされて表示される
。この場合は２種類の欠陥を大きさにより、それぞれ（
Ｓ、Ｍ、Ｌ）および（ａ。
ｂ、ｃ）の３段階に区分し、各セル（点線で示す）ごと
に、上、下段に並記したものである。
に、上、下段に並記したものである。
［発明の効果］
以上の説明により明らかなように、この発明によるディ
スク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式においては、
ディスク欠陥検査装置によりえられた種類別、大きさ別
の欠陥データについて、各データを中心とする上下左右
の一定面積の領域内の欠陥データ数が計数されて、これ
が一定の許容値を越えたときに、その領域内の欠陥をズ
ーミ〉・グしてディスプレイ面にマツプ表示するもので
、表示には欠陥の種類別、大きさ別に適当な文字が用い
られているので欠陥が密集した箇所の微細構造を明瞭に
観察できる効果があり、従来のズーミングマツプ表示に
おける密集箇所の指定の困難さが回避され、光ディスク
など高密度の記録媒体の検査に寄与するところには大き
いものがある。
スク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式においては、
ディスク欠陥検査装置によりえられた種類別、大きさ別
の欠陥データについて、各データを中心とする上下左右
の一定面積の領域内の欠陥データ数が計数されて、これ
が一定の許容値を越えたときに、その領域内の欠陥をズ
ーミ〉・グしてディスプレイ面にマツプ表示するもので
、表示には欠陥の種類別、大きさ別に適当な文字が用い
られているので欠陥が密集した箇所の微細構造を明瞭に
観察できる効果があり、従来のズーミングマツプ表示に
おける密集箇所の指定の困難さが回避され、光ディスク
など高密度の記録媒体の検査に寄与するところには大き
いものがある。
第１図はこの発明による、ディスク欠陥の密集箇所のズ
ーミング表示方式の実施例の構成図、第２図は、第１図
におけるディスクに対するセル単位と、密集チェックの
領域を示す図、第３図（ａ）。 （ｂ）はこの発明によるディスク欠陥の密集箇所のズー
ミング表示方式による、密集領域のズーミングマツプ表
示の例を示す図、第４図はディスク欠陥検出装置の構成
図、第５図は従来のズーミングマツプ表示の説明図であ
る。 １・・・ディスク、 １ａ・・・ディスクのエツジ
、ｌｂ、ｌｂ’・・・４辺形、 ２・・・レーザ光源、
３．７・・・ミラー、 ４・・・レンズ、５・・
・光電子増倍管（ＰＭＴ）Ａ、 ！５ａ、５ｂ・−・光ファイバー、６−Ｐ Ｍ Ｔ Ｂ
、８・・・グラフィックディスプレイ、 ９・・・信号処理部、 ｌＯ・−・データ取り込み
部、１１・・・欠陥データバッファ、 １２・・・欠陥データ計数部、１３・・・マツプ表示部
、Ｉ４・・・密集度チェック部、１５・・・密集エラー
フラグ、１６・・・密集エラーバッファ。
ーミング表示方式の実施例の構成図、第２図は、第１図
におけるディスクに対するセル単位と、密集チェックの
領域を示す図、第３図（ａ）。 （ｂ）はこの発明によるディスク欠陥の密集箇所のズー
ミング表示方式による、密集領域のズーミングマツプ表
示の例を示す図、第４図はディスク欠陥検出装置の構成
図、第５図は従来のズーミングマツプ表示の説明図であ
る。 １・・・ディスク、 １ａ・・・ディスクのエツジ
、ｌｂ、ｌｂ’・・・４辺形、 ２・・・レーザ光源、
３．７・・・ミラー、 ４・・・レンズ、５・・
・光電子増倍管（ＰＭＴ）Ａ、 ！５ａ、５ｂ・−・光ファイバー、６−Ｐ Ｍ Ｔ Ｂ
、８・・・グラフィックディスプレイ、 ９・・・信号処理部、 ｌＯ・−・データ取り込み
部、１１・・・欠陥データバッファ、 １２・・・欠陥データ計数部、１３・・・マツプ表示部
、Ｉ４・・・密集度チェック部、１５・・・密集エラー
フラグ、１６・・・密集エラーバッファ。
Claims (3)
- （１）光ディスクなど情報記録媒体の欠陥検査装置にお
ける欠陥のマップ表示において、該欠陥検査装置に設け
られた、欠陥種別に対応する複数の受光器とそれぞれに
対する信号処理部より出力され、微小面積のセルを単位
として欠陥の大きさ別に検出された欠陥データを、該各
種別ごとに、密集度チェック手段により一定面積の領域
ごとに計数し、該計数値が一定の許容値を越えた該領域
をズーミングして該領域内の欠陥をマップ表示すること
を特徴とする、ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表
示方式。 - （２）上記密集チェック手段は、上記欠陥に対して信号
処理部より出力される欠陥データを逐次、欠陥データバ
ッファの該欠陥の座標に対応するアドレスに記憶し、か
つ各欠陥データごとに当該欠陥の座標を中心とする上下
左右の上記一定の領域内の欠陥個数を計数して、該計数
値が一定の許容値を越えたとき密集エラーフラグを立て
るとともに、該領域の座標データを密集エラーバッファ
に記憶し、ズーミングマップ表示の指定により、上記密
集エラーフラグと密集箇所バッファの座標データにより
上記欠陥データバッファに記憶された上記領域内の欠陥
データをズーミングマップ表示する、請求項１記載のデ
ィスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式。 - （３）上記ズーミングマップ表示は、上記各欠陥種別に
対する上記欠陥データを、欠陥の大きさにより区分して
、欠陥種別と大きさに対して適当な文字で表現し、各種
別の欠陥を一括してディスプレイ面に並記して行う、請
求項１記載のディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示
方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231988A JPH01187438A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1231988A JPH01187438A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01187438A true JPH01187438A (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=11801991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1231988A Pending JPH01187438A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ディスク欠陥の密集箇所のズーミング表示方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01187438A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009180627A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| WO2020003888A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | オムロン株式会社 | 外観検査システム、外観検査結果の表示方法、および、外観検査結果の表示プログラム |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1231988A patent/JPH01187438A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009180627A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 欠陥検査装置 |
| WO2020003888A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | オムロン株式会社 | 外観検査システム、外観検査結果の表示方法、および、外観検査結果の表示プログラム |
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