JPH01188263A - 鏡面加工用砥石ポリシャ - Google Patents

鏡面加工用砥石ポリシャ

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Publication number
JPH01188263A
JPH01188263A JP63012484A JP1248488A JPH01188263A JP H01188263 A JPH01188263 A JP H01188263A JP 63012484 A JP63012484 A JP 63012484A JP 1248488 A JP1248488 A JP 1248488A JP H01188263 A JPH01188263 A JP H01188263A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grindstone
polisher
elastic
grains
abrasive grains
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63012484A
Other languages
English (en)
Inventor
Hikoyoshi Baba
彦良 馬場
Akira Sato
顕 佐藤
Katsuo Shoji
庄司 克雄
Akira Yamashita
章 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tohoku Chemical Industries Ltd
Tokin Corp
Original Assignee
Tohoku Chemical Industries Ltd
Tokin Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Chemical Industries Ltd, Tokin Corp filed Critical Tohoku Chemical Industries Ltd
Priority to JP63012484A priority Critical patent/JPH01188263A/ja
Publication of JPH01188263A publication Critical patent/JPH01188263A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ラッピング及びボリシングに用いる鏡面加工
用砥石ポリシャに関するものである。
[従来の技術] 一般に鏡面を得る場合、ラッピング加工を行った後、ボ
リシング加工を行うのが普通である。その場合、ボリシ
ング加工では、弾性体のポリシャを使用するために、面
端部の角が丸くなる等の面精度の低下(面だれ)が問題
になる。それ故通常は、前加工のラッピング加工を第4
図のような、樹脂系結合剤のマトリックス22内に分散
された砥粒21を含有する砥石において砥粒を粗粒から
細粒まで数段階に分け、できるだけボリシングの取り代
を少なくし面だれを防ぐ方法が取られる。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上記した数段階によるラッピング加工及
びボリシング加工の仕上げ方法は、加工能率と作業性を
著しく低下させ、鏡面加工の加工コストを増加させる一
因となっている。
そこで、本発明の技術的課題は、上記の欠点に鑑み、ラ
ッピング加工のラップ及びボリシング加工におけるポリ
シャとして使用することによって、ラッピング加工から
鏡面に至るまでの加工を面だれもなく、高能率で行える
鏡面加工用砥石ポリシャを提供することである。
[問題点を解決するための手段] 本発明によれば、被加工面を研削する砥粒と、被加工面
からの圧力に応じて変形する弾性粒と、切りくずの移動
とともに表面が摩耗する樹脂系結合剤とを有し、砥粒及
び弾性粒は、結合剤の表面及び内部に点在して含まれ、
この弾性粒は結合剤より小さな弾性係数と砥粒より大き
な粒径を有し、この弾性粒は、砥粒の被加工面への接触
調整を行うことを特徴とする鏡面加工用砥石ポリシャが
得られる。
ここで本発明の鏡面加工用砥石ポリシャの使用 。
方法において、予めツルーイングにより平面に成形して
おけば、砥粒1の微小破壊と切りくずによる結合剤除去
が行われるいわゆる自己ドレッシングにエリ弾性粒が億
かに隆起した状態になる。第1図に示すように高荷重、
低速加工時には、弾性粒3に作用する圧力が大きいため
に弾性粒3は変形し、工作物と砥石マトリックス2が直
接接触する。また低速加工のため、個々の砥粒1に作用
する研削抵抗が過大になり、自己ドレッシングが促進さ
れるので、砥石の目づまりもなく能率の良い材料除去が
行われる。また第2図で示すように、低荷重、高速加工
時には、弾性粒の変形が小さくなるために工作物と砥石
マトリックス2が直接接触せず、弾性粒3の表面に埋包
された砥粒1のボリシング作用によって鏡面が得られる
。したがって本発明によれば1個の砥石ポリシャで、中
仕上から鏡面加工まで行うことができ、かつ目づまりが
少なく加工能率の良い加工が可能である0本発明の結合
剤としては、従来のフェノール系やエポキシ系あるいは
ポリビニール系が使用できるがカシュー変性フェノール
樹脂系(東北化工(株)製)のものの方が自己ドレッシ
ング性が良く、望ましい。本発明の砥粒としては、酸化
セリウムの他にダイヤモンド、アルミナ、GC等が使用
できる。
本発明の弾性粒は、PVAの他に天然ゴム、合成ゴム、
ワックス、ピッチ等結合剤より弾性係数の小なる物質で
あれば、PVAと軟化したPVAのような同じ物質でも
使用できる。
[実施例] 本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
第1図は、本発明の実施例に係る鏡面加工用ポリシャの
高荷重、低速加工時の表面状態を示している。この図に
おいて、鏡面加工用ポリシャは、砥粒1と砥粒1より粒
径の大きな弾性粒2をその結合剤3に含んでいる。高荷
重のため、弾性粒2は変形し表面から結合剤内部へ押圧
されているので、鏡面砥石ポリシャの表面上には砥粒の
み点在している。
第2図は、本発明の実施例に係る鏡面加工用ポリシャの
低荷重、高速加工時の表面状態を示している。この図に
おいて、鏡面加工用ポリシャは、低荷重のため、弾性粒
2は表面に突出している。
第3図は、本発明の実施例に係る鏡面加工用砥石ポリシ
ャの取り代と加工時間の関係を示す。この図において曲
線11は加工時間10分間の取り代、曲線12は10〜
20分間の取り代の変化を示す、この測定に、使用した
加工工具は、ラップマスタ一方式のラップ盤であり、鏡
面加工用砥石ポリシャーは、カシュー変性フェノール樹
脂からなる結合剤の弾性砥石(東北化工(株)製)を使
用した。この砥石の砥粒は平均粒径2μmの酸化セリウ
ム、また弾性粒はPVAからなり平均粒径10μmであ
った。
加工条件は、外径30cnの定盤を使用し、最初回転数
60 rpn荷重2000r/−で行い、途中(10分
後)で定盤の回転数を60 rpHから300ron、
同時に荷重を600gr/dから100 gr/ciに
変更して、20分間行った予め修正リングで、定盤の平
面度を出した後行った。うッピング被加工物は外径20
II11、厚さ5111mのガラス板(BK7)を用い
た。
比較の為に、市販されている砥粒として平均粒径2μl
のセリウムを含有し結合剤がポリウレタンである弾性砥
石を用いた。
加工条件は、外径30C1の定盤(砥石)を使用し、回
転数60rpl、荷重200gr/−で予め修正リング
で定盤の平面度を出し、外径201111、厚さ511
1のガラス(BK7)を20分間ララッピング工した。
その結果が第5図である0曲線30は20分間の取り代
の変化を示す。
第3図と第5図のようにして得られた仕上面の粗さを比
較すると実施例の砥石ポリシャによる被加工物の仕上面
粗さは従来の砥石の平均の粗さ0.2μlよりはるかに
優れており、平均の粗さ0.03μlである。又、この
とき加工速度(ラッピングレート)も従来の砥石の平均
加工レート0 、25.tl /ninに対して実施例
は0.5μll/ll1nと2倍の遠さで仕上げること
がわかる。
尚、本発明に係る砥石のポリシャ特徴を一層明確にする
ため、実施例の砥石ポリシャと同一成分のカシュー変性
樹脂で弾性樹脂枝番分散させないで、上述の実施例と同
一条件で加工した例を第6図に示す、結果は図の曲線3
1、曲線32で示される如く加工速度(ラッピングレー
ト)は0.6μII/1inと少し速くなっているが、
表面粗さは平均粗さ0.1μmと粗く、実施例の砥石ポ
リシャによる仕上面より著しく劣ることが確認された。
ここで取り代とは、加工物の被加工面に垂直な方向への
ラッピングによる減少量(μm)を示す。
[発明の効果] 以上述べたように、本発明によれば、ラッピング加工の
中仕上の際に複数段階に渡って砥石を交換しなくとも、
そのままラップとして使用でき、且つボリシング加工の
際には、ポリシャとして使用できる作業性の良い鏡面加
工用砥石ポリシャが得られる。
本発明によれば、結合剤の本来の性質によりラッピング
加工においても目づまりが極めて少なく、被加工面の面
だれを発生せず、ドレッシング回数が少くてすむ。
更に本発明によれば、ラッピング加工の際に被加工面の
加工速度が大きく、ボリシングの際には、砥石マトリッ
クス内の弾性粒によって取り代が少なく且つ緻密な被加
工面すなわち鏡面が得られる等加工能率の良い鏡面加工
用砥石ポリシャが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る鏡面加工用砥石ポリシャの高荷重
、低速回転時の表面状態の説明図、第2図は、本発明に
係る鏡面加工用砥石ポリシャの低荷重、高速回転時表面
状態の説明図を示す。第3図は本発明の実施例に係る弾
性砥石による加工時間と取代の関係図である。第4図は
従来例に係る弾性砥石の模式図である。第5図は従来例
に係る弾性砥石による加工時間と取り代の関係図である
。 第6図はカシュー変性レジンボンドの通常の砥石による
加工時間と取代の関係図を示す。 lは砥粒、2は結合剤、3は弾性粒。 第1図 第2図 第4図 フ1 第3図 ε ゴ 加工時間 第5図 ε ユ 加工時間 第6図 ε コ、 加工時間

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被加工面を研削する砥粒と、変形可能な弾性粒と、
    摩耗可能な結合剤とを混在し、上記弾性粒は、上記結合
    剤より小さな弾性係数と上記砥粒より大きな粒径とを有
    し、上記砥粒の被加工面への接触調整を行うことを特徴
    とする鏡面加工用砥石ポリシャ。 2、上記結合剤は、カシュー変性フェノール樹脂である
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載された鏡
    面加工用砥石ポリシャ。 3、上記砥粒は、酸化セリウムからなることを特徴とす
    る特許請求の範囲の第1項又は第2項に記載された鏡面
    加工用砥石ポリシャ。 4、上記弾性粒は、ポリビニルアルコール樹脂からなる
    ことを特徴とする特許請求の範囲の第1項〜第3項のい
    づれかに記載された鏡面加工用砥石ポリシャ。
JP63012484A 1988-01-25 1988-01-25 鏡面加工用砥石ポリシャ Pending JPH01188263A (ja)

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JP63012484A JPH01188263A (ja) 1988-01-25 1988-01-25 鏡面加工用砥石ポリシャ

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JPH01188263A true JPH01188263A (ja) 1989-07-27

Family

ID=11806671

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JP63012484A Pending JPH01188263A (ja) 1988-01-25 1988-01-25 鏡面加工用砥石ポリシャ

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JP (1) JPH01188263A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6832048B2 (en) 1999-06-15 2004-12-14 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Dispersion compensation apparatus and a dispersion compensation system

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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