JPH01188738A - 光学用除振台 - Google Patents
光学用除振台Info
- Publication number
- JPH01188738A JPH01188738A JP865988A JP865988A JPH01188738A JP H01188738 A JPH01188738 A JP H01188738A JP 865988 A JP865988 A JP 865988A JP 865988 A JP865988 A JP 865988A JP H01188738 A JPH01188738 A JP H01188738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- vacuum container
- vacuum
- optical
- floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
- F16F15/027—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means comprising control arrangements
- F16F15/0275—Control of stiffness
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、光学用除振台に関し、特に高精度が要求さ
れる光学的干渉計に適する光学用除振台に関する。
れる光学的干渉計に適する光学用除振台に関する。
（従来の技術）
従来の光学用除振台は、空気ばねを介してテーブル支持
体に剛性の大きい金属板又は大理石板のテーブルの脚部
を載せ、空気ばねの作用で光学用除振台の設置床から伝
達する振動を吸収する構造を有していた。
体に剛性の大きい金属板又は大理石板のテーブルの脚部
を載せ、空気ばねの作用で光学用除振台の設置床から伝
達する振動を吸収する構造を有していた。
（発明が解決しようとする課題）
前述した従来の光学用除振台においては、それを設置し
た床の振動がテーブルの伝わることを防ぐために空気ば
ねを用いて除振していた。
た床の振動がテーブルの伝わることを防ぐために空気ば
ねを用いて除振していた。
レンズやミラーにおいては、設置床からの振動に対して
は従来の除振台で十分対応し得るが、光学系に対する要
求精度の高度化、例えばレーザー光を用いた干渉計に於
いては、設置床からの振動のみならず光学系と光学系と
の間の気体に対する音響的結合からくる振動の影響がレ
ーザー光に対して光学的雑音となって悪影響を及ぼした
り、使用する波長によっては、レーザー光エネルギーが
空気中に含まれる湿気によって著しく吸収されるなど、
高精度な光学系の構成上問題があった。
は従来の除振台で十分対応し得るが、光学系に対する要
求精度の高度化、例えばレーザー光を用いた干渉計に於
いては、設置床からの振動のみならず光学系と光学系と
の間の気体に対する音響的結合からくる振動の影響がレ
ーザー光に対して光学的雑音となって悪影響を及ぼした
り、使用する波長によっては、レーザー光エネルギーが
空気中に含まれる湿気によって著しく吸収されるなど、
高精度な光学系の構成上問題があった。
（課題を解決するための手段）
前述の課題を解決するために本発明が提供する手段は、
光学系が載置されるテーブルと、床面上に配置されて前
記テーブルの脚部を支持するテーブル支持体と、このテ
ーブル支持体及び前記デープルの脚部間に設けてある空
気ばねとを備えた光学用除振台において、内部を真空状
態に保つ真空容器により前記テーブル全体が包み込まれ
ていることを特徴とする。
光学系が載置されるテーブルと、床面上に配置されて前
記テーブルの脚部を支持するテーブル支持体と、このテ
ーブル支持体及び前記デープルの脚部間に設けてある空
気ばねとを備えた光学用除振台において、内部を真空状
態に保つ真空容器により前記テーブル全体が包み込まれ
ていることを特徴とする。
（実施例）
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の光学用除振台の内部構造
を示す図である。
を示す図である。
図中、１は空気ばね、１ａはばね受部、２はテーブルの
脚部、３はテーブル、４は真空容器、４ａはフレキシブ
ル配管、４ｂは底面部、４ｃは光学窓、４ｄはフランジ
部、５は排気孔、６はテーブル支持体、７は床、８は脚
受部、９は排気弁である。
脚部、３はテーブル、４は真空容器、４ａはフレキシブ
ル配管、４ｂは底面部、４ｃは光学窓、４ｄはフランジ
部、５は排気孔、６はテーブル支持体、７は床、８は脚
受部、９は排気弁である。
本実施例の光学用防振台は、第１図に示すように、光学
系が載置されるテーブル３と、このテーブル３の脚部２
を支持するテーブル支持体６と、このテーブル支持体６
及びテーブル３の脚部２間に設けてある空気ばね１と、
テーブル３を包み込む真空容器４とからなる。
系が載置されるテーブル３と、このテーブル３の脚部２
を支持するテーブル支持体６と、このテーブル支持体６
及びテーブル３の脚部２間に設けてある空気ばね１と、
テーブル３を包み込む真空容器４とからなる。
テーブル３の脚部２は、空気ばね１を介して、床７面上
に配置されたテーブル支持体６にそれぞれ固定される０
本実施例の場合、テーブル３の脚部２と空気ばね１との
間に脚受部８を介在させである。
に配置されたテーブル支持体６にそれぞれ固定される０
本実施例の場合、テーブル３の脚部２と空気ばね１との
間に脚受部８を介在させである。
テーブル３全体は、真空容器４に包み込まれている。
真空容器４は、その底面部４ｂと脚部８とを気密接続す
るフレキシブル配管４ａにより支持されている。
るフレキシブル配管４ａにより支持されている。
真空容器４の底面部４ｂには内部の気体を排出するため
の排気孔５及び排気弁９が設けてある。
の排気孔５及び排気弁９が設けてある。
したがって、真空容器４内を真空に保ち、光学系を真空
中におくことが可能である。
中におくことが可能である。
真空容器４の側面部には７ランジ部４ｄ及び光学窓４Ｃ
が設けてある。フランジ部４ｄは、テーブル３上に光学
系を載置するときに真空容器４を一旦分割するために設
けてある。また、光学窓４Ｃは光学系を、真空容器４外
の他の装置に結合するための窓であり、他の装置と結合
させないときは密閉されている。
が設けてある。フランジ部４ｄは、テーブル３上に光学
系を載置するときに真空容器４を一旦分割するために設
けてある。また、光学窓４Ｃは光学系を、真空容器４外
の他の装置に結合するための窓であり、他の装置と結合
させないときは密閉されている。
真空容器４の材料としては、ガス放出性と重量の点でア
ルミニウム合金が望ましく、フレキシブル配管４ａを用
いた気密接続部は一般的に真空配管で利用されている０
リングシールを適用することによって良好な真空度が得
られる。
ルミニウム合金が望ましく、フレキシブル配管４ａを用
いた気密接続部は一般的に真空配管で利用されている０
リングシールを適用することによって良好な真空度が得
られる。
本実施例の光学用防振台によれば、光学系を真空状態中
におくことによって、テーブル３上の光学機器に対する
音響的結合からくる振動と、光学レンズミラー間の空気
を含む気体のゆらぎや吸収による光学的悪影響を除去で
き、例えばレーザ光を用いた干渉計においては波長の安
定したレーザー光を用いる高精度な分解能が得られる。
におくことによって、テーブル３上の光学機器に対する
音響的結合からくる振動と、光学レンズミラー間の空気
を含む気体のゆらぎや吸収による光学的悪影響を除去で
き、例えばレーザ光を用いた干渉計においては波長の安
定したレーザー光を用いる高精度な分解能が得られる。
第２図は本発明の池の実施例の光学用防振台の内部構造
を示す図である。
を示す図である。
第１図の実施例においては、フレキシブル配管４ａが真
空容器４の低面部４ａ及び脚受部８間に気密接続しであ
る場合について述べたが、これに代え、第２図に示すよ
うに、フレキシブル配管４ａを真空容器４の底面部４ｂ
及び空気ばね１のばね受部１ａに気密接続するようにし
ても、第１図の実施例の場合と同様の効果を得ることが
できる。
空容器４の低面部４ａ及び脚受部８間に気密接続しであ
る場合について述べたが、これに代え、第２図に示すよ
うに、フレキシブル配管４ａを真空容器４の底面部４ｂ
及び空気ばね１のばね受部１ａに気密接続するようにし
ても、第１図の実施例の場合と同様の効果を得ることが
できる。
（発明の効果）
以上に説明したように本発明の光学用除振台によれば、
床からテーブルに振動が伝わるのを防ぐことができると
同時に、光学系間の気体の振動が光路に与える悪影響（
、例えば光学的雑音等）を除去することができ、更に湿
気によるレーザ光エネルギーの吸収を防ぐことができる
ので、例えば光学的干渉計等のように高精度な光学系に
も使用できる。
床からテーブルに振動が伝わるのを防ぐことができると
同時に、光学系間の気体の振動が光路に与える悪影響（
、例えば光学的雑音等）を除去することができ、更に湿
気によるレーザ光エネルギーの吸収を防ぐことができる
ので、例えば光学的干渉計等のように高精度な光学系に
も使用できる。
第１図は本発明の一実施例の光学用除振台の内部構造を
示す図、第２図は本発明の他の実施例の光学用防振台の
内部構造を示す図である。 １・・・空気ばね、１ａ・・・ばね受部、２・・・テー
ブルの脚部、３・・・テーブル、４・・・真空容器、４
ａ・・・フレキシブル配管、４ｂ・・・底面部、４ｃ・
・・光学窓、４ｄ・・・フランジ部、５・・・排気孔、
６・・・テーブル支持体、７・・・床、８・・・脚受部
、９・・・排気弁。
示す図、第２図は本発明の他の実施例の光学用防振台の
内部構造を示す図である。 １・・・空気ばね、１ａ・・・ばね受部、２・・・テー
ブルの脚部、３・・・テーブル、４・・・真空容器、４
ａ・・・フレキシブル配管、４ｂ・・・底面部、４ｃ・
・・光学窓、４ｄ・・・フランジ部、５・・・排気孔、
６・・・テーブル支持体、７・・・床、８・・・脚受部
、９・・・排気弁。
Claims (1)
- 光学系が載置されるテーブルと、床面上に配置されて前
記テーブルの脚部を支持するテーブル支持体と、このテ
ーブル支持体及び前記テーブルの脚部間に設けてある空
気ばねとを備えた光学用除振台において、内部を真空状
態に保つ真空容器により前記テーブル全体が包み込まれ
ていることを特徴とする光学用除振台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP865988A JPH01188738A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 光学用除振台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP865988A JPH01188738A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 光学用除振台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01188738A true JPH01188738A (ja) | 1989-07-28 |
Family
ID=11699058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP865988A Pending JPH01188738A (ja) | 1988-01-18 | 1988-01-18 | 光学用除振台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01188738A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0857989A3 (en) * | 1997-02-11 | 1999-04-21 | Trw Inc. | Mounting platform for optical system |
| JP2018503044A (ja) * | 2014-10-23 | 2018-02-01 | アットキューブ システムズ アーゲー | 光学テーブル |
| CN113188764A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-07-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种带隔振平台的温度试验箱 |
-
1988
- 1988-01-18 JP JP865988A patent/JPH01188738A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0857989A3 (en) * | 1997-02-11 | 1999-04-21 | Trw Inc. | Mounting platform for optical system |
| JP2018503044A (ja) * | 2014-10-23 | 2018-02-01 | アットキューブ システムズ アーゲー | 光学テーブル |
| CN113188764A (zh) * | 2021-04-16 | 2021-07-30 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种带隔振平台的温度试验箱 |
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