JPH0118940Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0118940Y2
JPH0118940Y2 JP6660386U JP6660386U JPH0118940Y2 JP H0118940 Y2 JPH0118940 Y2 JP H0118940Y2 JP 6660386 U JP6660386 U JP 6660386U JP 6660386 U JP6660386 U JP 6660386U JP H0118940 Y2 JPH0118940 Y2 JP H0118940Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
valve body
exhaust
valve seat
iron core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP6660386U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61186874U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP6660386U priority Critical patent/JPH0118940Y2/ja
Publication of JPS61186874U publication Critical patent/JPS61186874U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0118940Y2 publication Critical patent/JPH0118940Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は管球製造工程における管球排気装置に
関する。
一般に管球内の空気を排気する管球排気装置は
回転するターレツト或は、スパイダーの周縁に多
数設けられ、ターレツト等の回転と共に多数の管
球を順次、高い真空度に排気していくようにして
いる。ところで、管球、例えば蛍光管等は特にひ
び割れや、真空耐力の不足による割れが発生しや
すく、しかも、このような管球の割れが突発的に
生ずると、大気がそれらの管球に共通の排気系に
流入し、他のまだ割れていない管球に逆流するか
ら、管球と真空排気系との間に遮断弁を設置する
必要があつた。
しかしながら、従来、この種の遮断弁は大気の
逆流入を検出装置により検出した結果に応じて開
閉操作されるものにすぎないため、その操作制御
のためには、精密で高コストの真空検出装置を
箇々の排気装置に設置しなければならなく、極め
て不経済となる問題があつた。
本考案の目的は、管球の割れに対して自動的に
排気通路と吸気通路を遮断できるとともに電磁石
により異なる磁界を作用させるだけで該二つの通
路の連通、遮断を制御できる管球排気装置を提供
することである。
本考案による管球排気装置は、弁室を介して互
いに接続されかつ該弁室側の開口端が互いに向い
合わせて配置された管球の排気管に通じる排気通
路および真空源に通じる吸気通路と、該吸気通路
の弁室側開口端に形成された弁座と、該弁室内に
該弁座と係合可能に配設されかつ該弁座から離れ
る方向にばねにより弾圧された弁体と、該弁体の
移動方向とほぼ同じ方向に該弁体に関して相対的
に移動可能に配設されかつ磁力の作用により該弁
体を該弁座と係合する状態に移動できる可動鉄心
と、該弁体が該弁座と係合する状態に該可動鉄心
を吸引保持できる磁石と、該可動鉄心に磁力を作
用させて該可動鉄心を動かす電磁石と、を備え、
該排気通路内の圧力が増大したときに該弁体が該
弁座と係合して該排気通路と該吸気通路との連通
を断つように構成されている。
上記構成において、電磁石により可動鉄心に一
方向の磁界を作用させて可動鉄心を動かすと可動
鉄心により弁体が動かされ、弁体は弁座に係合し
て排気通路と吸気通路との連通が断たれ、可動鉄
心が磁石により吸引保持されてその状態を保つ。
次に電磁石により可動鉄心に逆方向の磁界を作用
させると磁石による吸引保持力が解除され、弁体
はばねの作用により押されて弁座から離れ、排気
通路と吸気通路とを連通する。排気通路内の圧力
が突発的に上昇したとき弁体はその圧力により押
されて弁座と係合し、排気通路と吸気通路との連
通を断つ。
以下図面を参照して本考案による管球排気装置
の一実施例について説明する。
この実施例の管球排気装置は、装置本体2に設
けられた排気通路の開口端に遮断弁3を直接取り
付けて構成されている。
本体2には管球Vの排気管Pが挿入される挿入
穴20と、その挿入穴20と通じる排気通路21
とが形成されている。挿入穴20の開口部には挿
入穴内を外部からシールする環状のシール部材、
すなわち口ゴム22がカバー23により取り付け
られ、排気管Pはその口ゴムを通して挿入穴20
内に挿入されている。
遮断弁3は排気通路21の開口端をおおうよう
にして装置本体2に固定されていて、排気通路と
同軸の軸方向貫通孔31が形成された弁本体30
と、装置本体2と弁本体30とによつて限定され
た弁室32内に移動可能に配置された弁体33
と、貫通孔31内に貫挿されていて下端に弁体3
3が固定され、かつ上端に大径部35が形成され
た弁棒34と、弁本体の上部に配設され貫通孔3
1の大径開口部に嵌合された排磁性材製のカバー
36により固定された環状の磁石37と、カバー
内に移動可能に装着されていてばね39により常
時弁体側(磁石37から離れる方向)に弾圧され
ている管状の可動鉄心38とを有している。
貫通孔31の弁室32側開口端には排気通路2
1の開口端24と弁体を挾んで待峙する弁座41
を形成する弁座リング40が嵌められている。弁
体33は、ばね42により排気通路21の開口端
24側にすなわち弁座41から離れる方向に弾圧
され、弁体33が弁室のほぼ中央にある状態で停
止している。このとき、可動鉄心38は、ばね3
9の作用により弾圧されてストツパの機能を果す
環状スペーサ44に当接し、弁棒の大径部35は
可動鉄心の内周フランジ38aに当接している。
弁体33の開口端24側の面には排気通路から
の空気流による力を受け易くするためのわん曲し
た受圧面33aが形成されている。
貫通孔31は吸気通路45を介して真空源(図
示されていない)に接続されている。尚、46は
装置本体と弁体との間から弁室内への空気の流入
を防止するシール47は弁本体とカバーとの間か
ら貫通孔31内への空気の流入を阻止するシール
である。
上記構成の管球排気装置において、公知の管球
ホルダ等に保持された管球Vの排気管Pは排気装
置1の口ゴムを通して、挿入穴20内に挿入され
ている。そして吸気通路45が真空源に接続され
ることにより管球Vは排気管P排気通路21及び
吸気通路を介して排気される。そしてこの時、弁
体33の受圧面33aには急激に空気が作用する
ことがないので、弁体33は、ほぼ図示の状態を
保ち、したがつて、弁体33と弁座41とは離れ
ている。
真空排気を所定時間行なつたにもかゝわらず、
管球Vのひび割れ等により、排気系の真空度が向
上しないときには、吸気通路45の一部に設置し
た真空検出装置(図示してない)により、これを
検出して、電磁石5を作動させ、鉄心38を吸引
する。そのため、弁棒34は大径部35が鉄心と
係合して引き上げられ、弁体33は弁座41に当
接され、管球排気管Pと真空吸気通路45との間
の連通を遮断する。したがつて、真空排気通路4
5内は高真空に維持されると共に、この真空吸気
通路に分岐して接続される他の排気装置に悪影響
を与えることがない。
しかも、電磁石5に吸引されて環状磁石37の
中央部に移動された鉄心38は、ひき続き磁石3
7に吸引保持されているため、電磁石5が消磁さ
れても或は、排気装置1が移動して定位置に設け
られた電磁石から離間しても依然として、弁体3
3と弁座41は係合状態を保ち排気通路と吸気通
路とは閉じている。したがつて、ひび割れ等の欠
陥のある管球をさらに排気することがない。そし
て管球Vに空気洩れがなければ、図のような開弁
状態でひき続き真空排気される。
鉄心38が磁石37に吸引されて弁が閉じられ
たものを解放するには、他の電磁石によつて、電
磁石とは逆方向の磁界を形成することによつて、
或は、磁石の可動鉄心保持力を打ち消すような磁
界を形成することによつて、磁石37の吸引力を
一時的に減じ、ばね39の弾圧力によつて(鉄心
を)解放、復帰させればよい。
一方、管球Vが突発的に割れた場合には、大気
は排気通路の開口端24から弁体33の受圧面3
3aに衝突し、ばね42の反力に抗して、弁体3
3を気流の反動で押し上げ、弁体と弁座41とを
係合させる。このとき、鉄心38は動かず、弁棒
34のみが動く。しかし一たん閉じた弁体33の
受圧面33aには大気圧が作用し、その背面には
真空圧(背圧)が作用するので、弁体33が復帰
することはない。すなわち、割れた管球が再び排
気されることがない。
大気圧の突入によつて閉じられた弁を解放する
には、すなわち弁体33を図示の状態にするに
は、真空吸気通路45に切換弁(図示せず)を介
して一時的に大気を導入すればよい。
尚、排気を完了した管球の排気管Pは公知の手
段によつて溶断封止される。
以上の説明から明らかなように、本考案の管球
排気装置によれば、電磁石及び真空検出装置を1
箇所又は2箇所に設けておくだけで、管球が破損
した場合にも真空吸気系を高真空に維持して、他
の管球排気装置に影響を及ぼすことなく稼動で
き、しかも装置の製造コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
図は本考案による管球排気装置の断面図であ
る。 1:管球排気装置、2:装置本体、20:挿入
穴、21:排気通路、24:開口端、3:遮断
弁、30:弁本体、32:弁室、33:弁体、3
4:弁棒、36:カバー、37:磁石、41:弁
座、42:ばね、5:電磁石。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 弁室を介して互いに接続されかつ該弁室側の開
    口端が互いに向い合わせて配置された管球の排気
    管に通じる排気通路および真空源に通じる吸気通
    路と、該吸気通路の弁室側開口端に形成された弁
    座と、該弁室内に該弁座と係合可能に配設されか
    つ該弁座から離れる方向にばねにより弾圧された
    弁体と、該弁体の移動方向とほぼ同じ方向に該弁
    体に関して相対的に移動可能に配設されかつ磁力
    の作用により該弁体を該弁座と係合する状態に移
    動できる可動鉄心と、該弁体が該弁座と係合する
    状態に該可動鉄心を吸引保持できる磁石と、該可
    動鉄心に磁力を作用させて該可動鉄心を動かす電
    磁石と、を備え、該排気通路内の圧力が増大した
    ときに該弁体が該弁座と係合して該排気通路と該
    吸気通路との連通を断つように構成したことを特
    徴とする管球排気装置。
JP6660386U 1986-05-01 1986-05-01 Expired JPH0118940Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6660386U JPH0118940Y2 (ja) 1986-05-01 1986-05-01

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6660386U JPH0118940Y2 (ja) 1986-05-01 1986-05-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61186874U JPS61186874U (ja) 1986-11-21
JPH0118940Y2 true JPH0118940Y2 (ja) 1989-06-01

Family

ID=30599670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6660386U Expired JPH0118940Y2 (ja) 1986-05-01 1986-05-01

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0118940Y2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS61186874U (ja) 1986-11-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2000023362A1 (en) Vacuum cup
CN109527849A (zh) 一种磁感控制的抽屉式真空储物柜
JPH04132681U (ja) 磁気デイスク組立ハンド機構
US7374217B2 (en) Two way non leaking flow valve with full-open capability
JP2011196113A (ja) 真空弁の制御装置
JPH0142929Y2 (ja)
JPH08508329A (ja) 前制御弁
JPS5973678A (ja) 電磁弁
CN220037290U (zh) 一种外挂式离合器执行机构
JP2769807B2 (ja) 圧力差を利用した挟持検知システム
JPH08505202A (ja) 吸引装置
US2672266A (en) Vacuum leak check valve
US3814132A (en) Combustion valve and components thereof
CN110410514B (zh) 一种可手动泄压和手动应急关阀的控制阀
JP3548508B2 (ja) 真空発生器用の真空破壊ユニット及び真空発生器
CN213956687U (zh) 真空腔体氦检装置
US3118470A (en) Electromagnetic valve for pneumatic distribution systems
JPH10148594A (ja) リークチェック装置及び方法
CN104008992A (zh) 一种并行设备的吸附晶圆装置及吸附晶圆的方法
CN209656620U (zh) 真空进样机构
TWI830899B (zh) 靠模裝置
JPH04300168A (ja) 真空吸着装置
JP3025765U (ja) 切換弁装置
JPS5954868A (ja) 真空破壊弁
JPH0575554B2 (ja)