JPH01189908A - マーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 半導体チップのマーキング装置に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、半導体チップの裏面に固有の情報をマーキン
グすることにより、前記情報を不良解析及び故障解析等
に使用できるようにしたものである。

〔従来の技術〕

従来の技術は、半導体パンケージには、固有のＡ 情報のマーキングは可能である。しかし、半導体チップ
は良否判定のマーク以外のマーキングはできなかった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

半導体チップには固有の情報をマーキングしないため、
パッケージ以外の製品は、不良解析や故障解析に必要な
ロフト番号、ウェハ番号等の情報の入手が困難であった
。そこで本発明は従来のような欠点を解決するため、ロ
ット番号やウェハ番号などの情報入手が、半導体子ノブ
の裏面を読み取ることにより、得られることを目的とし
ている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点を解決するために、この発明はウェハの両端
を押さえつける構造のステージと、前記ウェハの裏面に
外箱に固定されたマーカーにより、ステージが個々のチ
ップ別に動く構成となっており、各チップに固有の情報
をマーキングできるようになる。

〔実施例〕

以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図において、ステージ６の内部にウェハ固定用チャッ
ク１及びウェハ固定用チャック駆動モータ２と駆動軸７
を軸受８を介して装着する。

駆動軸７及びウェハ固定用チャック１は、ネジ状になっ
ており、駆動軸７を回転することによってウェハ固定用
チャック１は左右に動く構造となっている。マーカー４
は外箱９に固定され、さらにマーキング制御装置５によ
ってマーキング文字及びマーキングのタイミングの制御
が行われる。

次にその動作を説明する。ウェハ固定用チャックｌに手
動または自動で、ウェハ３を運び、ウェハ固定用チャッ
ク駆動モータ２を動かし、最適の圧力でウェハ３を固定
する。ウェハ３を固定したステージ６を１チツプ分ずつ
動かし、ステージ６の動作が終わると同時にマーカー４
によりウェハ３の裏面にマーキングされる。マーキング
が終わると、ステージ６が動き、次のチップにマーキン
グされる。

〔発明の効果〕 この発明は以上説明したように、ウェハの裏面にマーカ
ーにより、１チツプずつ固有の情報をマーキングするこ
とにより、故障解析及び不良解析の際の原因究明を容易
にする効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかるマーキング装置の縦断面図で
ある。 １・・・ウェハ固定用チャック ２・・・ウェハ固定用チャック駆動モータ３・・・ウェ
ハ ４・・・マーカー ５・・・マーカー制御装置 ６・・・ステージ ７・・・駆動軸 ８・・・軸受 ９・・・外箱 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　半導体チップの良否判定もしくはネーミングするマー
   キング装置において、半導体チップの裏面に、半導体チ
   ップ固有の情報をマーキングすることを特徴としたマー
   キング装置。