JPH01193584A - 真空乾燥装置 - Google Patents
真空乾燥装置Info
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- JPH01193584A JPH01193584A JP1465788A JP1465788A JPH01193584A JP H01193584 A JPH01193584 A JP H01193584A JP 1465788 A JP1465788 A JP 1465788A JP 1465788 A JP1465788 A JP 1465788A JP H01193584 A JPH01193584 A JP H01193584A
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
a1発明の目的
(産業上の利用分野)
本発明は、洗浄作業等に伴なって、水等の液体が付着し
た状態の、金属等の物品を乾燥する為の方法及び装置に
関し、特に、内部に複雑な空隙を有しており、この空隙
内に洗浄液等の液体が残溜している物品の乾燥を行なう
場合に有効な、真空乾燥方法及び装置を提供するもので
ある。
た状態の、金属等の物品を乾燥する為の方法及び装置に
関し、特に、内部に複雑な空隙を有しており、この空隙
内に洗浄液等の液体が残溜している物品の乾燥を行なう
場合に有効な、真空乾燥方法及び装置を提供するもので
ある。
(従来の技術)
金属等の物品を洗浄する事で、水等の液体によって濡れ
たままの状態の各種物品を乾燥させる為に、従来から種
々の乾燥方法及び装置が提案され、使用されている。
たままの状態の各種物品を乾燥させる為に、従来から種
々の乾燥方法及び装置が提案され、使用されている。
この様な従来から知られている乾燥方法及び装置として
は、例えばエアブロ−を用いて被乾燥物に付着した液体
を吹き飛ばす方法、熱風により上記被乾燥物を乾燥させ
る方法、或は被乾燥物を遠赤外線により加熱し、被乾燥
物に付着した液体を煮沸蒸発させる方法等が知られてい
る。
は、例えばエアブロ−を用いて被乾燥物に付着した液体
を吹き飛ばす方法、熱風により上記被乾燥物を乾燥させ
る方法、或は被乾燥物を遠赤外線により加熱し、被乾燥
物に付着した液体を煮沸蒸発させる方法等が知られてい
る。
しかしながら、エアブロ−を用いた乾燥方法に於いては
、多孔質金属等の様に、被乾燥物の内部に複雑な空隙が
存在する場合、被乾燥物の内部に入り込んだ液体を吹き
飛ばす事は出来ず、十分な乾燥を行なう事が出来ない。
、多孔質金属等の様に、被乾燥物の内部に複雑な空隙が
存在する場合、被乾燥物の内部に入り込んだ液体を吹き
飛ばす事は出来ず、十分な乾燥を行なう事が出来ない。
又、熱風或は遠赤外線を使用した乾燥方法の場合も、被
乾燥物の内部に入り込んだ液体を乾燥させるのに長時間
を要し、しかも被乾燥物の温度が上昇してしまう為、場
合によっては、乾燥作業終了後、次の行程に移る前に、
被乾燥物を冷却する行程が必要となる。
乾燥物の内部に入り込んだ液体を乾燥させるのに長時間
を要し、しかも被乾燥物の温度が上昇してしまう為、場
合によっては、乾燥作業終了後、次の行程に移る前に、
被乾燥物を冷却する行程が必要となる。
上述の様な不都合を解消する為に、減圧した真空容器内
で被乾燥物を乾燥させる、所謂真空乾燥方法が提案され
、又実際に使用されている。
で被乾燥物を乾燥させる、所謂真空乾燥方法が提案され
、又実際に使用されている。
第3図は、この様な真空乾燥方法を実施する為の装置を
略伝したものであるが、以下この第3図に基づいて真空
乾燥方法に就いて説明する。
略伝したものであるが、以下この第3図に基づいて真空
乾燥方法に就いて説明する。
1は真空容器であり、この真空容器1は、上端が開口す
る有底筒状の本体2と、この本体2の上端開口を開閉自
在な蓋体3とから構成されている。本体2の上端縁と蓋
体3の下端縁とには、それぞれ外向フランジ状部2a、
3aを形成すると共に、これら外向フランジ状部2a、
3aの間にはバッキング4を設けて、上記蓋体3により
真空容器1の上端開口を気密に塞げる様にしている。
る有底筒状の本体2と、この本体2の上端開口を開閉自
在な蓋体3とから構成されている。本体2の上端縁と蓋
体3の下端縁とには、それぞれ外向フランジ状部2a、
3aを形成すると共に、これら外向フランジ状部2a、
3aの間にはバッキング4を設けて、上記蓋体3により
真空容器1の上端開口を気密に塞げる様にしている。
5は真空ポンプであり、この真空ポンプ5に一端を接続
した管6の他端は真空容器1の内部に密に接続している
。
した管6の他端は真空容器1の内部に密に接続している
。
上述の様に構成される真空乾燥装置を用いて被乾燥物を
乾燥する場合、先ず真空容器1の本体2内に被乾燥物1
7を収納し、蓋体3を閉じた後、真空ポンプ5を運転す
る事で真空容器1内の空気を管6を介して排出し、真空
容器1内を減圧する。
乾燥する場合、先ず真空容器1の本体2内に被乾燥物1
7を収納し、蓋体3を閉じた後、真空ポンプ5を運転す
る事で真空容器1内の空気を管6を介して排出し、真空
容器1内を減圧する。
この結果、被乾燥物17に付着の液体の沸点が低下し、
この液体は上記被乾燥物17から熱を奪って蒸発する。
この液体は上記被乾燥物17から熱を奪って蒸発する。
上記被乾燥物17は、液体の蒸発に伴って奪われた熱量
分だけ温度が下がる為、乾燥終了後の上記被乾燥物17
の温度は、乾燥前の温度よりも低くなり、乾燥作業終了
後は、冷却作業を行なう事な(、直ちに次の作業(寸法
検査、組立て等)を開始する事が出来る様になる。
分だけ温度が下がる為、乾燥終了後の上記被乾燥物17
の温度は、乾燥前の温度よりも低くなり、乾燥作業終了
後は、冷却作業を行なう事な(、直ちに次の作業(寸法
検査、組立て等)を開始する事が出来る様になる。
尚、第4図は、上記した真空乾燥装置と洗浄装置とを組
み合わせる事で、真空容器1内で洗浄作業と乾燥作業と
を行なえる様にした、洗浄乾燥装置の1例を示している
。
み合わせる事で、真空容器1内で洗浄作業と乾燥作業と
を行なえる様にした、洗浄乾燥装置の1例を示している
。
この洗浄乾燥装置に於いては、真空容器1内の上部と底
部とに設け、洗浄液やすすぎ液を噴出するノズル7.7
に、洗浄液タンク8に一端を接続し、途中で分岐した接
続管9の他端を接続すると共に、すすぎ液タンク14に
一端を接続した接続管9aの他端を、上記接続管9の途
中に接続して、ノズル7.7に、洗浄液又はすすぎ液を
供給自在としている。第4図中、12.12aは送液ポ
ンプ、15.15aは洗浄液及びすすぎ液を加熱する為
のヒータ、16.16aは洗浄液及びすすぎ液の温度を
検知して上記ヒータ15.15aの通電量を制御する制
御器である。
部とに設け、洗浄液やすすぎ液を噴出するノズル7.7
に、洗浄液タンク8に一端を接続し、途中で分岐した接
続管9の他端を接続すると共に、すすぎ液タンク14に
一端を接続した接続管9aの他端を、上記接続管9の途
中に接続して、ノズル7.7に、洗浄液又はすすぎ液を
供給自在としている。第4図中、12.12aは送液ポ
ンプ、15.15aは洗浄液及びすすぎ液を加熱する為
のヒータ、16.16aは洗浄液及びすすぎ液の温度を
検知して上記ヒータ15.15aの通電量を制御する制
御器である。
上述の様に構成される洗浄乾燥装置を用いて物品を洗浄
、乾燥する場合、真空容器1内に、洗浄すべき物品を収
納してから蓋体3を密に閉じた後、接続管9.9aの途
中に設けた弁を適当に開閉した状態で、送液ポンプ12
を運転し、洗浄液をノズル7.7から噴出させて、上記
物品を洗浄する。
、乾燥する場合、真空容器1内に、洗浄すべき物品を収
納してから蓋体3を密に閉じた後、接続管9.9aの途
中に設けた弁を適当に開閉した状態で、送液ポンプ12
を運転し、洗浄液をノズル7.7から噴出させて、上記
物品を洗浄する。
物品の洗浄を終えたならば、送液ポンプ12を停止し、
真空容器1内の洗浄液を排出した後、再び弁を適当に開
閉して送液ポンプ12aを運転し、ノズル7.7からす
すぎ液を噴出させて、上記洗浄液の場合と同様にして物
品のすすぎを行なう。
真空容器1内の洗浄液を排出した後、再び弁を適当に開
閉して送液ポンプ12aを運転し、ノズル7.7からす
すぎ液を噴出させて、上記洗浄液の場合と同様にして物
品のすすぎを行なう。
物品のすすぎを終えたならば、真空容器1内からすすぎ
液を排出した後、開閉弁11a、13aを閉じ、次の乾
燥行程に移る。
液を排出した後、開閉弁11a、13aを閉じ、次の乾
燥行程に移る。
この乾燥行程は、前述した様に真空ポンプ5を運転して
真空容器1内の空気を排出し、減圧した状態の下で上記
物品自身の熱により、この物品に付着した液体(この場
合に於いてはす′すぎ液)を蒸発させる事で行なう。
真空容器1内の空気を排出し、減圧した状態の下で上記
物品自身の熱により、この物品に付着した液体(この場
合に於いてはす′すぎ液)を蒸発させる事で行なう。
この乾燥行程の際、上記物品は、この物品に付着した液
体が蒸発する為の蒸発熱(気化熱)を奪われる為、乾燥
後の物品の温度は、乾燥前の物品の温度よりも低くなる
。従って、真空容器1内の圧力や乾燥前の物品の温度を
適宜制御する事で、乾燥終了後の物品の温度を所望の温
度にする事が可能となる。
体が蒸発する為の蒸発熱(気化熱)を奪われる為、乾燥
後の物品の温度は、乾燥前の物品の温度よりも低くなる
。従って、真空容器1内の圧力や乾燥前の物品の温度を
適宜制御する事で、乾燥終了後の物品の温度を所望の温
度にする事が可能となる。
(発明が解決しようとする問題点)
ところが、上述した様な真空乾燥方法に於いても、被乾
燥物(乾燥すべき物品)17に多量の液体が付着してい
たり、上記被乾燥物17の温度があまり高くない場合、
上記液体を完全に蒸発させる事が出来ず、乾燥不良とな
り易い。
燥物(乾燥すべき物品)17に多量の液体が付着してい
たり、上記被乾燥物17の温度があまり高くない場合、
上記液体を完全に蒸発させる事が出来ず、乾燥不良とな
り易い。
即ち、被乾燥物17に多量の液体が付着していた場合、
この被乾燥物17が与える熱量が上記液体総てが蒸発す
るのに必要な熱量を下回り、真空ポンプ5の運転を長時
間継続しない限り、この液体を完全に蒸発させる事が出
来ない。
この被乾燥物17が与える熱量が上記液体総てが蒸発す
るのに必要な熱量を下回り、真空ポンプ5の運転を長時
間継続しない限り、この液体を完全に蒸発させる事が出
来ない。
又、被乾燥物17の温度が低い場合も、同様の理由によ
り、この被乾燥物17に付着した液体を完全に蒸発させ
難い。特に前述した従来の乾燥方法の場合と同様、被乾
燥物17が焼結金属等の様に、内部に微細な空隙を有す
るものであり、この空隙内も乾燥する必要性があるもの
の場合、液体がこの空隙内に残溜し易くなる。
り、この被乾燥物17に付着した液体を完全に蒸発させ
難い。特に前述した従来の乾燥方法の場合と同様、被乾
燥物17が焼結金属等の様に、内部に微細な空隙を有す
るものであり、この空隙内も乾燥する必要性があるもの
の場合、液体がこの空隙内に残溜し易くなる。
本発明は、上述の様な不都合を解消し、乾燥すべき物品
に付着した液体の蒸発を効率良く行なえる真空乾燥方法
及び装置を提供するものである。
に付着した液体の蒸発を効率良く行なえる真空乾燥方法
及び装置を提供するものである。
b 発明の構成
(問題を解決するための手段)
本発明の真空乾燥方法及び装置の内、真空乾燥方法は、
乾燥すべき物品を第一の真空容器内に収納すると共に、
第二の真空容器内を減圧した後、第一、第二の両翼空容
器同士を連通ずる事で、この第一の真空容器内を急速に
減圧し、上記液体を突沸させる事で飛散させる。
乾燥すべき物品を第一の真空容器内に収納すると共に、
第二の真空容器内を減圧した後、第一、第二の両翼空容
器同士を連通ずる事で、この第一の真空容器内を急速に
減圧し、上記液体を突沸させる事で飛散させる。
上記第一の真空容器内の圧力と第二の真空容器内の圧力
とが平衡に達したならば、第一の真空容器内を更に減圧
し、物品の有する熱によって上記液体を蒸発させる。
とが平衡に達したならば、第一の真空容器内を更に減圧
し、物品の有する熱によって上記液体を蒸発させる。
又、上記方法の実施に使用する真空乾燥装置は、開口を
気密に閉基自在な蓋体を有する第一の真空容器と、第二
の真空容器とを、接続管により接続すると共に、この接
続管の途中から、真空ポンプに通じる管を分岐させ、第
一、第二の真空容器同士の連通と、真空ポンプと第一の
真空容器との連通と、真空ポンプと第二の真空容器との
連通とを切り換える弁機構を設ける事で構成されている
。
気密に閉基自在な蓋体を有する第一の真空容器と、第二
の真空容器とを、接続管により接続すると共に、この接
続管の途中から、真空ポンプに通じる管を分岐させ、第
一、第二の真空容器同士の連通と、真空ポンプと第一の
真空容器との連通と、真空ポンプと第二の真空容器との
連通とを切り換える弁機構を設ける事で構成されている
。
(作 用)
上述の様に構成される本発明の真空乾燥装置により、被
乾燥物を乾燥するには、次の様に行なう。
乾燥物を乾燥するには、次の様に行なう。
先ず弁機構を、真空ポンプと第二の真空容器とを連通さ
せる状態に切り換えて、真空ポンプを運転し、第二の真
空容器内を減圧する。
せる状態に切り換えて、真空ポンプを運転し、第二の真
空容器内を減圧する。
次に、弁機構の切り換えに基づいて、第一、第二の両翼
空容器同士を連通させ、第一の真空容器内を急速に減圧
する。被乾燥物を収納した第一の真空容器内の圧力が急
に低下する結果、被乾燥物に付着した液体が突沸し、そ
の勢いで未蒸発の液体が吹き飛ばされる。
空容器同士を連通させ、第一の真空容器内を急速に減圧
する。被乾燥物を収納した第一の真空容器内の圧力が急
に低下する結果、被乾燥物に付着した液体が突沸し、そ
の勢いで未蒸発の液体が吹き飛ばされる。
第一、第二の両翼空容器内の圧力が平衡に達したならば
、第一の真空容器内と真空ポンプとを連通させた状態で
真空ポンプを運転し、第一の真空容器内を更に減圧して
、上記液体を完全に蒸発させる。
、第一の真空容器内と真空ポンプとを連通させた状態で
真空ポンプを運転し、第一の真空容器内を更に減圧して
、上記液体を完全に蒸発させる。
(実施例)
次に図示の実施例を説明しつつ本発明を更に詳しく説明
する。
する。
第1図は本発明の真空乾燥装置を示す略縦断面図である
。
。
被乾燥物17を収納する第一の真空容器18は、上端が
開口した有底円筒状の本体19と、この本体19の上端
開口を気密に塞ぐ蓋体20とから成り、前述した従来の
真空乾燥装置の真空容器と同様に、本体19の上端に形
成した外向フランジ状部19aと蓋体20の下端に形成
した外向フランジ状部20aとの間にバッキング4を設
けて、蓋体20を閉じた際の気密保持を図っている。
− 21は第二の真空容器であり、上記第一の真空容器18
よりも大きな内容積を有している。
開口した有底円筒状の本体19と、この本体19の上端
開口を気密に塞ぐ蓋体20とから成り、前述した従来の
真空乾燥装置の真空容器と同様に、本体19の上端に形
成した外向フランジ状部19aと蓋体20の下端に形成
した外向フランジ状部20aとの間にバッキング4を設
けて、蓋体20を閉じた際の気密保持を図っている。
− 21は第二の真空容器であり、上記第一の真空容器18
よりも大きな内容積を有している。
これら第一の真空容器18と第二の真空容器21とは、
接続管22によって互いに接続しているが、この接続管
22は、第二の真空容器21内の負圧を急速に第一の真
空容器18内に導入するのに十分な大きさの断面積を有
している。
接続管22によって互いに接続しているが、この接続管
22は、第二の真空容器21内の負圧を急速に第一の真
空容器18内に導入するのに十分な大きさの断面積を有
している。
この接続管22の途中には、第一の真空容器18側から
順に、共に開放速度の速い第一の電磁開閉弁23と第二
の電磁開閉弁24とを設けると共に、これら第一の電磁
開閉弁23と第二の電磁開閉弁24との間に、管6を介
して真空ポンプ5を接続している。
順に、共に開放速度の速い第一の電磁開閉弁23と第二
の電磁開閉弁24とを設けると共に、これら第一の電磁
開閉弁23と第二の電磁開閉弁24との間に、管6を介
して真空ポンプ5を接続している。
図中、25は吸入管、26は第三の電磁開閉弁で、第一
、第二の両翼空容器18.21内に外気を導入し、両翼
空容器18.21内を大気圧に戻す為に使用される。
、第二の両翼空容器18.21内に外気を導入し、両翼
空容器18.21内を大気圧に戻す為に使用される。
上述の様に構成される本発明の真空乾燥装置により、被
乾燥物を乾燥する場合、次の様に行なう。
乾燥物を乾燥する場合、次の様に行なう。
先ず、第一の真空容器18の本体19内に被乾燥物17
を収納し、この本体19の開口を蓋体20により気密に
塞ぐ。
を収納し、この本体19の開口を蓋体20により気密に
塞ぐ。
次いで、第一の電磁開閉弁23を閉じた状態で第二の電
磁開閉弁24を開け、真空ポンプ5を運転して、第二の
真空容器21内を減圧する。この際、第二の真空容器2
1に設けた圧力計27を観測しつつ、上記被乾燥物17
に付着した液体の温度に於ける、この液体の蒸気圧(第
2図のP2)を下回る所定の圧力P4に迄、第二の真空
容器21内を減圧する(第2図の区間T1に於ける鎖線
イ参照)。
磁開閉弁24を開け、真空ポンプ5を運転して、第二の
真空容器21内を減圧する。この際、第二の真空容器2
1に設けた圧力計27を観測しつつ、上記被乾燥物17
に付着した液体の温度に於ける、この液体の蒸気圧(第
2図のP2)を下回る所定の圧力P4に迄、第二の真空
容器21内を減圧する(第2図の区間T1に於ける鎖線
イ参照)。
第二の真空容器21内の圧力がP4に迄低下したならば
、第二の電磁開閉弁24を閉じ、第一の電磁開閉弁23
を開いた状態で真空ポンプ5を運転し、第一の真空容器
18内を減圧する。
、第二の電磁開閉弁24を閉じ、第一の電磁開閉弁23
を開いた状態で真空ポンプ5を運転し、第一の真空容器
18内を減圧する。
この場合は、第二の真空容器21内を減圧する場合と同
様に、第一の真空容器18に設けた圧力計28を観測し
つつ、前記した蒸気圧P2 (第2図参照)程度に迄
、第一の真空容器18内を減圧する(第2図の区間T2
に於ける実線口参照)。
様に、第一の真空容器18に設けた圧力計28を観測し
つつ、前記した蒸気圧P2 (第2図参照)程度に迄
、第一の真空容器18内を減圧する(第2図の区間T2
に於ける実線口参照)。
第一の真空容器18内を、圧力P2付近に迄減圧したな
らば、真空ポンプ5を停止して第二の電磁開閉弁24を
開き、第二の真空容器21内の負圧を第一の真空容器1
8内に導入する。
らば、真空ポンプ5を停止して第二の電磁開閉弁24を
開き、第二の真空容器21内の負圧を第一の真空容器1
8内に導入する。
第一、第二の両翼空容器18.21を接続する接続管2
2は、十分に大きな内径を有している為、第二の真空容
器21内の負圧は、急速に第一の真空容器18内に導入
され、その結果、第一の真空容器18内の圧力は急速に
低下する。予め圧力P2付近に迄減圧されていた第一の
真空容器18内の被乾燥物17に付着した液体は、沸騰
寸前であった為、第一の真空容器18内の圧力がP2か
ら更に低下する事で、被乾燥物17に付着した液体は突
沸し、その勢いで未蒸発の液体も被乾燥物17から分離
して、周囲に飛散する(第2図の区間T、参照)。
2は、十分に大きな内径を有している為、第二の真空容
器21内の負圧は、急速に第一の真空容器18内に導入
され、その結果、第一の真空容器18内の圧力は急速に
低下する。予め圧力P2付近に迄減圧されていた第一の
真空容器18内の被乾燥物17に付着した液体は、沸騰
寸前であった為、第一の真空容器18内の圧力がP2か
ら更に低下する事で、被乾燥物17に付着した液体は突
沸し、その勢いで未蒸発の液体も被乾燥物17から分離
して、周囲に飛散する(第2図の区間T、参照)。
第一、第二の両翼空容器18.21が圧力P3で平衡に
達したならば、第二の電磁開閉弁24を閉じ、真空ポン
プ5を運転して第一の真空容器18内を更に減圧する。
達したならば、第二の電磁開閉弁24を閉じ、真空ポン
プ5を運転して第一の真空容器18内を更に減圧する。
この真空ポンプ5の運転により、第一の真空容器18内
の圧力は第2図の区間T4に於ける実線口に示す様に徐
々に低下するが、この過程で、被乾燥物17の表面に残
っていた液体は、被乾燥物17から熱を奪い、蒸発する
。
の圧力は第2図の区間T4に於ける実線口に示す様に徐
々に低下するが、この過程で、被乾燥物17の表面に残
っていた液体は、被乾燥物17から熱を奪い、蒸発する
。
上記の様に、本発明の真空乾燥装置は、被乾燥物17に
付着の液体を先ず突沸により飛散させ、次いで、従来の
真空乾燥と同様、減圧下で上記液体を蒸発させる為、多
孔質の被乾燥物17の内部に存在する液体を含めて、被
乾燥物17に付着した液体を確実に蒸発させ、この被乾
燥物17を完全に乾燥する事が出来る。
付着の液体を先ず突沸により飛散させ、次いで、従来の
真空乾燥と同様、減圧下で上記液体を蒸発させる為、多
孔質の被乾燥物17の内部に存在する液体を含めて、被
乾燥物17に付着した液体を確実に蒸発させ、この被乾
燥物17を完全に乾燥する事が出来る。
更に、被乾燥物17に付着した液体を蒸発させる為の熱
は、被乾燥物17から得る為、乾燥終了後の被乾燥物1
7の温度は、乾燥前よりも低い温度となる。その為、乾
燥前の被乾燥物17の温度を予め適宜に定めておけば、
乾燥終了後に冷却作業を行なう事なく被乾燥物17を直
ちに次の作業行程へ送り出す事が出来る。
は、被乾燥物17から得る為、乾燥終了後の被乾燥物1
7の温度は、乾燥前よりも低い温度となる。その為、乾
燥前の被乾燥物17の温度を予め適宜に定めておけば、
乾燥終了後に冷却作業を行なう事なく被乾燥物17を直
ちに次の作業行程へ送り出す事が出来る。
被乾燥物17の乾燥行程を終了したならば、真空ポンプ
5を停止し、第三の電磁開閉弁26を開いて、吸入管2
5から第一の真空容器18内に大気を導入する。
5を停止し、第三の電磁開閉弁26を開いて、吸入管2
5から第一の真空容器18内に大気を導入する。
尚、図示の実施例の場合、接続管22の途中に2個の電
磁開閉弁23.24を設ける事により、第一、第二の真
空容器18.21内士の連通、並びに両真空容器18.
21と真空ポンプ5との連通を切り換える様に構成して
いるが、2個の電磁開閉弁に代えて、接続管22と管6
との分岐部に、1個の電磁式三方弁を設けても良い。
磁開閉弁23.24を設ける事により、第一、第二の真
空容器18.21内士の連通、並びに両真空容器18.
21と真空ポンプ5との連通を切り換える様に構成して
いるが、2個の電磁開閉弁に代えて、接続管22と管6
との分岐部に、1個の電磁式三方弁を設けても良い。
又、第一の真空容器18内に第4図で示した様なノズル
7.7を設け、この第一の真空容器18内で物品の洗浄
、すすぎを行ない、更に乾燥する様に構成する事も出来
る。
7.7を設け、この第一の真空容器18内で物品の洗浄
、すすぎを行ない、更に乾燥する様に構成する事も出来
る。
C1発明の効果
本発明の真空乾燥装置は、上述の様に構成され作用する
ので、乾燥すべき物品が内部に複雑な空隙を有する場合
でも、この物品に付着した液体を迅速に除去する事が可
能となると共に、乾燥作業終了後は、冷却作業を行なう
事なく、直ちに次の作業を行なう事が出来る。
ので、乾燥すべき物品が内部に複雑な空隙を有する場合
でも、この物品に付着した液体を迅速に除去する事が可
能となると共に、乾燥作業終了後は、冷却作業を行なう
事なく、直ちに次の作業を行なう事が出来る。
第一1図は、本発明の真空乾燥装置の1例を示す略縦断
面図、第2図は第一、第二の両真空容器内の圧力変化を
示す線図、第3図は従来の真空乾燥装置を示す略縦断面
図、第4図は第3図の真空乾燥装置を用いた洗浄乾燥装
置を示す、略縦断面図である。 1:真空容器、2:本体、2a+外向フランジ状部、3
.蓋体、3a:外向フランジ状部、4:パッキング、5
:真空ポンプ、6・管、7:ノズル、8:洗浄液タンク
、9.9a:接続管、12.12a:送液ポンプ、14
:すすぎ液タンク、15.15a・ヒータ、16.16
a:制御器、17:被乾燥物、18:第一の真空容器、
19:本体、19a:外向フランジ状部、20:M体、
20a:外向フランジ状部、21:第二の真空容器、2
2:接続管、23:第一の電磁開閉弁、24:第二の電
磁開閉弁、25:吸入管、26:第三の電磁開閉弁、2
7.28:圧力計。 特許出願人 株式会社千代田製作所 代 理 人 小 山 欽造(ほか1名)第1図 箆2図
面図、第2図は第一、第二の両真空容器内の圧力変化を
示す線図、第3図は従来の真空乾燥装置を示す略縦断面
図、第4図は第3図の真空乾燥装置を用いた洗浄乾燥装
置を示す、略縦断面図である。 1:真空容器、2:本体、2a+外向フランジ状部、3
.蓋体、3a:外向フランジ状部、4:パッキング、5
:真空ポンプ、6・管、7:ノズル、8:洗浄液タンク
、9.9a:接続管、12.12a:送液ポンプ、14
:すすぎ液タンク、15.15a・ヒータ、16.16
a:制御器、17:被乾燥物、18:第一の真空容器、
19:本体、19a:外向フランジ状部、20:M体、
20a:外向フランジ状部、21:第二の真空容器、2
2:接続管、23:第一の電磁開閉弁、24:第二の電
磁開閉弁、25:吸入管、26:第三の電磁開閉弁、2
7.28:圧力計。 特許出願人 株式会社千代田製作所 代 理 人 小 山 欽造(ほか1名)第1図 箆2図
Claims (2)
- (1)乾燥すべき物品を第一の真空容器内に収納すると
共に、第二の真空容器内を減圧した後、これら第一、第
二の両真空容器同士を連通し、上記第一の真空容器内を
急速に減圧する事で、上記物品に付着した液体を突沸、
飛散させ、第一、第二の両真空容器の圧力が平衡に達し
た後に、更に第一の真空容器内を減圧して、上記液体を
蒸発させる真空乾燥方法。 - (2)開口を気密に閉基自在な蓋体を有する第一の真空
容器と第二の真空容器とを、接続管により気密に接続す
ると共に、この接続管の途中から、真空ポンプに通じる
管を分岐させ、第一、第二の真空容器同士の連通と、真
空ポンプと第一の真空容器との連通と、真空ポンプと第
二の真空容器との連通とを切り換える弁機構を設けて成
る真空乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63014657A JP2565963B2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 真空乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63014657A JP2565963B2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 真空乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01193584A true JPH01193584A (ja) | 1989-08-03 |
| JP2565963B2 JP2565963B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=11867283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63014657A Expired - Lifetime JP2565963B2 (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 | 真空乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2565963B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992020984A1 (fr) * | 1991-05-24 | 1992-11-26 | Nikku Industry Co., Ltd. | Appareil de sechage sous vide |
| JP2012197979A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Shin Ootsuka Kk | ワークの乾燥装置およびワークの洗浄乾燥装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4992850B2 (ja) * | 2008-07-25 | 2012-08-08 | トヨタ自動車株式会社 | 液体付着量測定装置および液体付着量測定方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196529U (ja) * | 1985-05-22 | 1986-12-08 |
-
1988
- 1988-01-27 JP JP63014657A patent/JP2565963B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61196529U (ja) * | 1985-05-22 | 1986-12-08 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992020984A1 (fr) * | 1991-05-24 | 1992-11-26 | Nikku Industry Co., Ltd. | Appareil de sechage sous vide |
| US5377425A (en) * | 1991-05-24 | 1995-01-03 | Nikku Industry Co., Ltd. | Vacuum drying apparatus |
| JP2012197979A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Shin Ootsuka Kk | ワークの乾燥装置およびワークの洗浄乾燥装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2565963B2 (ja) | 1996-12-18 |
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