JPH01194255A

JPH01194255A - 分析点の自動記録装置

Info

Publication number: JPH01194255A
Application number: JP63015658A
Authority: JP
Inventors: Yutaka Nakano; 仲野　裕
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1988-01-26
Filing date: 1988-01-26
Publication date: 1989-08-04

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、試料の分析点を試料の状態観察像に記録する
分析点の自動記録装置に関する。

〔従来の技術〕

従来より被検体の定性・定量分析では、試料表面の処理
等により分析精度が左右されるため、通常、分析点の近
傍で数点の分析を行うことによってバラツキのない分析
値又はスペクトルを得、これを分析者が判断し分析結果
として採用している。

一方、分析点の選択、設定は、相や粒界、組成の相異に
よる試料面からの二次電子像や組成像等による情報を媒
体として行っている。

上記の如き二次電子像や組成像等のいずれにおいても、
試料表面の状態観察で分析点を決めており、分析結果が
得られた場合には、どの部分で分析がなされたかを対比
する必要がある。この場合の対比の方法としては、例え
ば分析者が倍率を選定し、分析点に印をつけ像を撮影し
たり、又は別に紙を用いて像を模写し、その像に分析点
を記入している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記いずれの方式も分析結果と分析点と
を対比するための分析者の労力も少なくなく、また模写
のために精度が悪いという問題がある。

本発明は、上記の問題点を解決するものであって、分析
者の負担を軽減し、分析結果と分析点との対比精度を高
めることができる分析点め自動記録装置を提供すること
を目的とする〔問題点を解決するための手段〕そのために本発明の分析点の自動記録装置は、試料の状
態観察像によって試料の分析点を設定し、該分析点の定
性・定量分析を行う分析装置において、試料の分析結果
や分析点を出力する出力手段、試料ステージの移動量か
ら分析点の座標を検出して該座標を記憶し自動記録処理
する処理手段を備え、処理手段により試料ステージ移動
に伴う複数の分析点が一画面中に合焦点像で表示される
倍率を設定し、各分析点を状態観察像の画面上に重ねて
出力することを特徴とするものである。

〔作用〕

本発明の分析点の自動記録装置では、各分析点への試料
ステージ移動に伴ってその分析点の座標が処理手段に検
出され記憶される。そして、処理手段では、複数の分析
点が一画面中に合焦点像で表示される倍率を設定し、各
分析点を状態観察像の画面上に重ねて出力するので、複
数の分析点を自動的に対応させることができる。

〔実施例〕

以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。

第１図は本発明に係る分析点の自動記録装置の１実施例
を示す図であり、ｌは試料、２と８は走査コイル、３．
６．７と１１はアンプ、４は信号発生回路、５と９は検
出器、１０は試料ステージ、１２はステージ操作部、１
３は座標演算・制御部、１４はモニターを示す。

第１図において、試料ｌは、試料ステージ１１の上に載
置され、荷電粒子Ｃがその表面に照射される。検出器５
と９は、試料表面に荷電粒子Ｃを照射することにより励
起される二次電子や特性Ｘ線、その他試料の分析情報を
検出するものである。

信号発生回路４は、走査信号を発生するものであり、こ
の走査信号をアンプ３を通して走査コイル２に供給する
ことにより、荷電粒子Ｃにより試料１の表面が走査され
、モニターされる。ステージ操作部１２は、試料ステー
ジｌＯをＸ、Ｙ、Ｚ方向に移動させるものであり、この
操作信号に従って実際にアンプ１１を通して試料ステー
ジｌＯに移動°信号を送り、その信号から試料ステージ
１０の座標を演算するのが座標演算・制御部１３である
。また、座標演算・制御部１３は、メモリを内蔵し設定
された分析点の座標を記憶すると共に、走査信号に従っ
て記憶した座標をアンプ６に送出し、分析点を状態観察
像と重ねてモニター１４に表示する処理も行うものであ
る。

体料の分析点の設定、分析結果と分析点との対比を行う
場合には、走査コイル２に走査信号を供給することによ
って、試料１から発生する情報を検出器５で検出してモ
ニター１４に走査像を試料の状態観察像として表示する
。また、試料を定性・定量分析する場合には、ステージ
操作部１２の操作によって試料１の分析点を荷電粒子Ｃ
の照射点に移動させる。試料１から発生する分析目的の
情報、例えばＸ線等は、検出器９で検出され、図示しな
いが分析データ処理部へ送られる。

次に動作を説明する。

まず、信号発生回路４の発生する走査信号を走査コイル
２に供給して荷電粒子Ｃを試料ｌの表面で走査し、試料
より発生する情報を検出器５で検出する。この信号をア
ンプ６で増幅した後、走査コイル２と同期した信号と共
にアンプ７を介して走査コイル８に送ることにより、モ
ニター１４上に試料の走査像を表示する。この走査像よ
り試料の状態観察を行い分析点の設定がなされる。そし
て、分析時には、走査コイル２に走査信号を流さず、荷
電粒子Ｃを点として試料１の分析点に照射する。試料１
上の分析点は、ステージ操作部１２の操作により設定さ
れ、その信号により座標演算・制御部１３がアンプ１１
を介して試料ステージ１０のｘ−ｙ−ｚを各々駆動する
。この時、各々の分析点は、座標演算・制御部１３に記
憶され、分析終了時には分析点間の距離により走査コイ
ル２に流す電流、即ち倍率の演算が行われる。そして、
分析結果と分析点との対比では、各分析点に対応した点
を輝度変調として、アンプ６に与えることによってモニ
ター１４の走査像上に分析点が重ね表示される。

次に、分析点を設定した後の分析処理における分析点の
自動記録を説明する。

■　各分析点即ち、ｘ、ｙ軸の座標を分析毎に座標演算
・制御部１３のメモリに記憶する。

■　複数の分析点の分析の終了後、各分析点を一画面に
表示する為に、Ｘ、Ｙ軸の各々の座標から、その中心を
演算して求め、必要に応じ試料を中心に移動する。

■　Ｚ軸に対しても同様に最大のＺの値と、最小のＺの
値の中心に試料を移動する。

■　先に求めたＸ、Ｙ座標の最大値による座標間距離か
ら全分析点を一画面に納める倍率ｍを演算する。

■　ここでＺ軸に関しては、試料の高低を示す。

高低差、即ち焦点深度は像記録時間開となる。焦点深度
（Ｄ）は、Ｄ＝０．２／αＭただし、Ｍ−倍率、α：対物開き角の関係があるから、全画面に合焦点像を得る為には二次
元の倍率ｍが深さ方向の倍率Ｍよりも小さくなければな
らない、即ち、ｍ＜Ｍを満足する最大のｍ′を算出しそ
のｍ′を撮影倍率とする。

■　逼影に当っての各分析点の座標、即ちＸ−Ｙ座標は
、移動した中心点と倍率に応じて変換し、走査線上に輝
度変化を与えて分析点である事を示す、この時分析順に
例えばスポット等の輝度変化の他に、順番を示す記号等
を同時に表示してもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、分析
者が分析点を設定して分析を行うに際してこれらの記録
をとることな（、−被検体の複数の分析点を自動的に記
録することができるので、分析者の負担を軽減すること
ができる。しかも、１個の記録で且つ正確に分析結果と
自動的に対応させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る分析点の自動記録装宜のｌ実施例
を示す図である。１・・・試料、２と８・・・走査コイル、３．６．７と
１１・・・アンプ、４・・・信号発生回路、５と９・・
・検出器、１０・・・試料ステージ、１２・・・ステー
ジ操作部、１３・・・座標演算・制御部、１４・・・モ
ニター。出　願　人　　日本電子株式会社

Claims

【特許請求の範囲】

（１）試料の状態観察像によって試料の分析点を設定し
、該分析点の定性・定量分析を行う分析装置において、
試料の分析結果や分析点を出力する出力手段、試料ステ
ージの移動量から分析点の座標を検出して該座標を記憶
し自動記録処理する処理手段を備え、処理手段により試
料ステージ移動に伴う複数の分析点が一画面中に合焦点
像で表示される倍率を設定し、各分析点を状態観察像の
画面上に重ねて出力することを特徴とする分析点の自動
記録装置。