JPH01194282A - セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 - Google Patents
セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置Info
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- JPH01194282A JPH01194282A JP63017729A JP1772988A JPH01194282A JP H01194282 A JPH01194282 A JP H01194282A JP 63017729 A JP63017729 A JP 63017729A JP 1772988 A JP1772988 A JP 1772988A JP H01194282 A JPH01194282 A JP H01194282A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明はセラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに
酸素分析装置に係り、特に安価且つ耐久性に優れたセラ
ミック・ヒータ及びそれを備えた電気化学的素子並びに
そのような電気化学的素子を用いた酸素分析装置に関す
るものである。
酸素分析装置に係り、特に安価且つ耐久性に優れたセラ
ミック・ヒータ及びそれを備えた電気化学的素子並びに
そのような電気化学的素子を用いた酸素分析装置に関す
るものである。
（背景技術）
従来から、セラミック・ヒータとして、所定形状のセラ
ミックス体上に、発熱部と該発熱部に給電を行なうため
のリード部とからなるヒータエレメントを一体的に設け
てなるものが用いられており、そしてそのヒータエレメ
ントは、その発熱部とリード部とを含む全体が、単に１
種の金属を導体として使用して形成された構成となって
いる。
ミックス体上に、発熱部と該発熱部に給電を行なうため
のリード部とからなるヒータエレメントを一体的に設け
てなるものが用いられており、そしてそのヒータエレメ
ントは、その発熱部とリード部とを含む全体が、単に１
種の金属を導体として使用して形成された構成となって
いる。
例えば、安価なセラミック・ヒータとして、そのヒータ
エレメントをタングステンやモリブデン等の卑金属を利
用して形成したものが知られているのである。しかしな
がら、このような構成のヒータを、長時間に亘って、空
気の如き酸化性雰囲気中において高温状態にしておくと
、そのヒータエレメントの発熱部の卑金属が酸化され、
ヒータ断線を惹起する等の問題があった。
エレメントをタングステンやモリブデン等の卑金属を利
用して形成したものが知られているのである。しかしな
がら、このような構成のヒータを、長時間に亘って、空
気の如き酸化性雰囲気中において高温状態にしておくと
、そのヒータエレメントの発熱部の卑金属が酸化され、
ヒータ断線を惹起する等の問題があった。
このため、実用上のセラミック・ヒータにあっては、そ
のヒータエレメントは白金やロジウム等の貴金属を利用
して形成されており、これによってヒータ断線の問題は
良好に解消され得ることとなったが、高価な貴金属を材
料とするものであるところから、必然的にセラミック・
ヒータが価格的に高価となる問題が新たに発生したので
ある。
のヒータエレメントは白金やロジウム等の貴金属を利用
して形成されており、これによってヒータ断線の問題は
良好に解消され得ることとなったが、高価な貴金属を材
料とするものであるところから、必然的にセラミック・
ヒータが価格的に高価となる問題が新たに発生したので
ある。
特に、セラミック・ヒータに用いられるヒータエレメン
トのパターンは、その発熱部で効率よく発熱させるため
に、リード部の電気抵抗がなるべく低くなるように大き
な断面積のリード部として構成されることが多いところ
から、リード部での貴金属の使用量が特に多くなり、そ
のために、コストアップの問題は特に重要となっている
。加えて、貴金属は、一般にセラミックスとの接着強度
が低く、そのために外部リードとの接続部が剥離し易い
欠点もあったのである。
トのパターンは、その発熱部で効率よく発熱させるため
に、リード部の電気抵抗がなるべく低くなるように大き
な断面積のリード部として構成されることが多いところ
から、リード部での貴金属の使用量が特に多くなり、そ
のために、コストアップの問題は特に重要となっている
。加えて、貴金属は、一般にセラミックスとの接着強度
が低く、そのために外部リードとの接続部が剥離し易い
欠点もあったのである。
（解決課題）
かかる状況下において、本発明の解決課題とするところ
は、所定のセラミックス体上にヒータエレメントが一体
的に設けられてなるセラミック・ヒータにおける、該ヒ
ータエレメントの高温下でのヒータ断線の問題を解消し
て、その耐久性を向上せしめると共に、かかるヒータエ
レメントの形成に、用いられる貴金属の使用量を低減せ
しめて、セラミック・ヒータのコストダウンを有利に達
成しようとすることにある。
は、所定のセラミックス体上にヒータエレメントが一体
的に設けられてなるセラミック・ヒータにおける、該ヒ
ータエレメントの高温下でのヒータ断線の問題を解消し
て、その耐久性を向上せしめると共に、かかるヒータエ
レメントの形成に、用いられる貴金属の使用量を低減せ
しめて、セラミック・ヒータのコストダウンを有利に達
成しようとすることにある。
また、本発明は、かかるセラミック・ヒータの外部リー
ドとの接続部の接着強度を有利に高めようとすることに
ある。
ドとの接続部の接着強度を有利に高めようとすることに
ある。
そしてまた、本発明は、そのようなセラミック・ヒータ
を設けた電気化学的素子、更にはその電気化学的素子を
用いた酸素分析装置の信顛性の向上やコストダウンを図
ることをも、その解決課題とす名ものである。
を設けた電気化学的素子、更にはその電気化学的素子を
用いた酸素分析装置の信顛性の向上やコストダウンを図
ることをも、その解決課題とす名ものである。
（解決手段）
そして、本発明は、上記した課題を解決するために、（
ａ）所定形状のセラミックスと、（ｂ）該セラミックス
体上にあって、主として貴金属よりなる金属とセラミッ
クスとを含むサーメットからなる発熱部と、主として卑
金属よりなる金属若しくは該金属とセラミックスとを含
むサーメットからなるリード部と、それら発熱部とリー
ド部を電気的に接続する接続部とを有するヒータエレメ
ントとを含んで、目的とするセラミック・ヒータが構成
されるようにしたことを、その要旨とするものである。
ａ）所定形状のセラミックスと、（ｂ）該セラミックス
体上にあって、主として貴金属よりなる金属とセラミッ
クスとを含むサーメットからなる発熱部と、主として卑
金属よりなる金属若しくは該金属とセラミックスとを含
むサーメットからなるリード部と、それら発熱部とリー
ド部を電気的に接続する接続部とを有するヒータエレメ
ントとを含んで、目的とするセラミック・ヒータが構成
されるようにしたことを、その要旨とするものである。
なお、かかる本発明に従うセラミック・ヒータにおいて
、ヒータエレメントの発熱部とリード部を電気的に接続
する接続部は、好ましくは、それら発熱部とリード部の
重ね合わせによって形成されたり、また主として発熱部
の貴金属とリード部の卑金属との合金若しくはそれを含
むサーメットにて構成されている。更に、かかる接続部
は、発熱部やリード部とは別の接続部材の少なくとも一
つを用いて、それら発熱部とリード部とを橋絡するよう
に電気的に接続することによって、構成することも可能
である。その際、接続部材は、導体として貴金属や卑金
属或いはそれらの合金を含んで構成されているものであ
る。
、ヒータエレメントの発熱部とリード部を電気的に接続
する接続部は、好ましくは、それら発熱部とリード部の
重ね合わせによって形成されたり、また主として発熱部
の貴金属とリード部の卑金属との合金若しくはそれを含
むサーメットにて構成されている。更に、かかる接続部
は、発熱部やリード部とは別の接続部材の少なくとも一
つを用いて、それら発熱部とリード部とを橋絡するよう
に電気的に接続することによって、構成することも可能
である。その際、接続部材は、導体として貴金属や卑金
属或いはそれらの合金を含んで構成されているものであ
る。
また、本発明にあっては、好ましくは、セラミックス体
のうち少なくともヒータエレメントの発熱部と接触する
表面は、電気絶縁性セラミックスにて構成されているも
のであり、更に、そのようなヒータエレメントの少なく
とも発熱部が、電気絶縁性セラミックスによって埋設さ
れていることが望ましい。
のうち少なくともヒータエレメントの発熱部と接触する
表面は、電気絶縁性セラミックスにて構成されているも
のであり、更に、そのようなヒータエレメントの少なく
とも発熱部が、電気絶縁性セラミックスによって埋設さ
れていることが望ましい。
そして、本発明の有利な実施態様によれば、ヒータエレ
メントの少なくとも発熱部が、セラミックス体との同時
焼成によって、かかるセラミックス体上に一体的に形成
されるものであり、これによって、ヒータエレメントの
少なくとも発熱部の高温耐久性がより一層向上せしめら
れ得ることとなるのである。
メントの少なくとも発熱部が、セラミックス体との同時
焼成によって、かかるセラミックス体上に一体的に形成
されるものであり、これによって、ヒータエレメントの
少なくとも発熱部の高温耐久性がより一層向上せしめら
れ得ることとなるのである。
また、本発明にあっては、ヒータエレメントの発熱部は
、一般に、貴金属として少なくとも白金を含んで構成さ
れる一方、そのリード部は、好ましくは、主として卑金
属よりなる金属とセラミックスとを含むサーメットにて
形成され、更に卑金属として少なくともニッケルを含ん
でいるようにすれば、大気中でのリード部の焼成が可能
となる利点が生じる。
、一般に、貴金属として少なくとも白金を含んで構成さ
れる一方、そのリード部は、好ましくは、主として卑金
属よりなる金属とセラミックスとを含むサーメットにて
形成され、更に卑金属として少なくともニッケルを含ん
でいるようにすれば、大気中でのリード部の焼成が可能
となる利点が生じる。
なお、かかる本発明に従うセラミック・ヒータは、グロ
ープラグ、バーナー点火器、各種ガスセンサの加熱用発
熱体等の各種の用途に適用され得るものであるが、特に
本発明にあっては、自動車用内燃機関の排気ガス中の酸
素濃度を検出する酸素センサの如きガスセンサを構成す
る電気化学的素子の加熱体として有利に用いられるもの
である。
ープラグ、バーナー点火器、各種ガスセンサの加熱用発
熱体等の各種の用途に適用され得るものであるが、特に
本発明にあっては、自動車用内燃機関の排気ガス中の酸
素濃度を検出する酸素センサの如きガスセンサを構成す
る電気化学的素子の加熱体として有利に用いられるもの
である。
そして、そのような電気化学的素子は、所定の固体電解
質体と該固体電解質体に接して設けられた少なくとも一
対の電極とを含む電気化学的セルの少なくとも一つを有
するものであって、そのような電気化学的セルが、本発
明に従うセラミック・ヒータにて加熱せしめられる構造
において、電気化学的素子が構成されるのである。
質体と該固体電解質体に接して設けられた少なくとも一
対の電極とを含む電気化学的セルの少なくとも一つを有
するものであって、そのような電気化学的セルが、本発
明に従うセラミック・ヒータにて加熱せしめられる構造
において、電気化学的素子が構成されるのである。
要するに、かかる電気化学的素子は、（ａ）固体電解質
体と、該固体電解質体に接して設けられた少なくとも一
対の電極とを含む電気化学的セルの少なくとも一つと、
（ｂ）所定形状のセラミックス体と；該セラミックス体
上にあって、主として貴金属よりなる金属とセラミック
スとを含むサーメットからなる発熱部と、主として卑金
属よりなる金属若しくは該金属とセラミックスとを含む
サーメットからなるリード部と、それら発熱部とリード
部を電気的に接続する接続部とを有するヒータエレメン
トとを含むセラミック・ヒータとを、有するものである
。
体と、該固体電解質体に接して設けられた少なくとも一
対の電極とを含む電気化学的セルの少なくとも一つと、
（ｂ）所定形状のセラミックス体と；該セラミックス体
上にあって、主として貴金属よりなる金属とセラミック
スとを含むサーメットからなる発熱部と、主として卑金
属よりなる金属若しくは該金属とセラミックスとを含む
サーメットからなるリード部と、それら発熱部とリード
部を電気的に接続する接続部とを有するヒータエレメン
トとを含むセラミック・ヒータとを、有するものである
。
また、かかる電気化学的素子は、酸素検出素子として酸
素分析装置に有利に用いられ得るものであって、その場
合において、酸素分析装置は、（ａ）酸素イオン伝導性
の固体電解質体と、該固体電解質体に接して設けられた
少なくとも一対の電極とを含む電気化学的セルの少なく
とも一つと、（ｂ）所定形状のセラミックス体と；該セ
ラミックス体上にあって、主として貴金属よりなる金属
とセラミックスとを含むサーメットからなる発熱部と、
主として卑金属よりなる金属若しくは該金属とセラミッ
クスとを含むサーメットからなるリード部と、それら発
熱部とリード部を電気的に接続する接続部とを有するヒ
ータエレメントとを含むセラミック・ヒータとを用いて
、構成されることとなる。
素分析装置に有利に用いられ得るものであって、その場
合において、酸素分析装置は、（ａ）酸素イオン伝導性
の固体電解質体と、該固体電解質体に接して設けられた
少なくとも一対の電極とを含む電気化学的セルの少なく
とも一つと、（ｂ）所定形状のセラミックス体と；該セ
ラミックス体上にあって、主として貴金属よりなる金属
とセラミックスとを含むサーメットからなる発熱部と、
主として卑金属よりなる金属若しくは該金属とセラミッ
クスとを含むサーメットからなるリード部と、それら発
熱部とリード部を電気的に接続する接続部とを有するヒ
ータエレメントとを含むセラミック・ヒータとを用いて
、構成されることとなる。
（実施例）
以下、本発明に従うセラミック・ヒータの幾つかの実施
例を示す図面を参照しつつ、本発明を更に具体的に明ら
かにすることとする。
例を示す図面を参照しつつ、本発明を更に具体的に明ら
かにすることとする。
先ず、第１図において、２は、セラミックス体としての
セラミックス基板であり、このセラミックス基板２の一
方の面上にヒータエレメント４が一体的に形成されてい
る。そして、このヒータエレメント４は、通電によって
発熱する発熱部６と、この発熱部６を外部の電源（図示
せず）に対して接続せしめ、かかる発熱部６に給電を行
なうリード部８．８と、それら発熱部６とリード部８．
８を電気的に接続する接続部１０．１０とから構成され
ている。
セラミックス基板であり、このセラミックス基板２の一
方の面上にヒータエレメント４が一体的に形成されてい
る。そして、このヒータエレメント４は、通電によって
発熱する発熱部６と、この発熱部６を外部の電源（図示
せず）に対して接続せしめ、かかる発熱部６に給電を行
なうリード部８．８と、それら発熱部６とリード部８．
８を電気的に接続する接続部１０．１０とから構成され
ている。
ところで、かかるヒータエレメント４の発熱部６は、主
として貴金属よりなる金属とセラミックスとを含むサー
メットにて構成されており、セラミックス基板２との同
時焼成によって一体的な構造とされ、またそれによって
、その高温耐久性が増大せしめられている。この同時焼
成は、通常は、大気中で行なわれることとなる。なお、
用いられる貴金属としては、白金、ロジウム、パラジウ
ム、ルテニウム、オスニウム、イリジウムの如き白金族
金属が選ばれる。また、サーメットを構成するセラミッ
クスとしては、セラミックス基板２に対する発熱部６の
接合性の観点から、セラミックス基板２と同様なセラミ
ックス材料が選択されることとなる。
として貴金属よりなる金属とセラミックスとを含むサー
メットにて構成されており、セラミックス基板２との同
時焼成によって一体的な構造とされ、またそれによって
、その高温耐久性が増大せしめられている。この同時焼
成は、通常は、大気中で行なわれることとなる。なお、
用いられる貴金属としては、白金、ロジウム、パラジウ
ム、ルテニウム、オスニウム、イリジウムの如き白金族
金属が選ばれる。また、サーメットを構成するセラミッ
クスとしては、セラミックス基板２に対する発熱部６の
接合性の観点から、セラミックス基板２と同様なセラミ
ックス材料が選択されることとなる。
また、かかるヒータエレメント４を構成するリード部８
．８は、主として卑金属よりなる金属にて構成されたり
、或いはそのような金属とセラミックスとを含むサーメ
ットから構成されることとなる。なお、卑金属としては
、ニオブ、モリブデン、タンタル、タングステン等の高
融点金属の他に、アルミニウム、チタン、クロム、マン
ガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅等の金属が用いられ
る。
．８は、主として卑金属よりなる金属にて構成されたり
、或いはそのような金属とセラミックスとを含むサーメ
ットから構成されることとなる。なお、卑金属としては
、ニオブ、モリブデン、タンタル、タングステン等の高
融点金属の他に、アルミニウム、チタン、クロム、マン
ガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅等の金属が用いられ
る。
そして、かかるヒータエレメント４の発熱部６とリード
部８，８とを電気的に接続する接続部１０．１０は、例
えば、第２図（ａ）〜（ｅ）に示される如き各種の形態
において形成されることとなる。
部８，８とを電気的に接続する接続部１０．１０は、例
えば、第２図（ａ）〜（ｅ）に示される如き各種の形態
において形成されることとなる。
例えば、第ｒ図（ａ）に示される接続部１０にあっては
、発熱部６とリード部８との端部の重ね。
、発熱部６とリード部８との端部の重ね。
合わせ構造において形成されており、また第２図（ｂ）
に示される接続部ｌＯは、発熱部６とリード部８とが別
体の接続部材１２により接続せしめられた構造となって
いるのである。なお、この接続部材１２は、貴金属若し
くは卑金属或いはそれらの合金から構成されたり、また
はそのような金属若しくは合金のセラミックスとのサー
メットから構成されたりするものである。
に示される接続部ｌＯは、発熱部６とリード部８とが別
体の接続部材１２により接続せしめられた構造となって
いるのである。なお、この接続部材１２は、貴金属若し
くは卑金属或いはそれらの合金から構成されたり、また
はそのような金属若しくは合金のセラミックスとのサー
メットから構成されたりするものである。
また、貴金属の層と卑金属の層とを重ね合わせて高温焼
成すると、それら金属は合金化するようになるが、その
−例が、第２図（ｃ）及び（ｄ）に示されており、そこ
ではクロスハツチング部分が合金化部分である。なお、
この第２図（ｃ）及び（ｄ）は、それぞれ、第２図（ａ
）及び（ｂ）に示される形態の重ね合わせ構造において
合金化が行なわれたものである。尤も、そのような合金
化を行なうことなく、そのような合金若しくはそれを含
む材料を用いて接続部１０（クロスハツチング部分）を
形成し、発熱部６とリード部８との電気的接続を行なう
ことも可能であることは、言うまでもないところである
。
成すると、それら金属は合金化するようになるが、その
−例が、第２図（ｃ）及び（ｄ）に示されており、そこ
ではクロスハツチング部分が合金化部分である。なお、
この第２図（ｃ）及び（ｄ）は、それぞれ、第２図（ａ
）及び（ｂ）に示される形態の重ね合わせ構造において
合金化が行なわれたものである。尤も、そのような合金
化を行なうことなく、そのような合金若しくはそれを含
む材料を用いて接続部１０（クロスハツチング部分）を
形成し、発熱部６とリード部８との電気的接続を行なう
ことも可能であることは、言うまでもないところである
。
さらに、第２図（ｅ）に示される接続部ｌＯにあっては
、それが複数の接続部材１２ａ、１２ｂ・・・にて構成
され、その組成が発熱部６からリード部８に向って漸次
若しくは段階的に変化せしめられるようになっている。
、それが複数の接続部材１２ａ、１２ｂ・・・にて構成
され、その組成が発熱部６からリード部８に向って漸次
若しくは段階的に変化せしめられるようになっている。
即ち、貴金属は発熱部６からリード部８に向って少なく
なり、卑金属はリード部８から発熱部６に向って少なく
なるように構成されているのである。
なり、卑金属はリード部８から発熱部６に向って少なく
なるように構成されているのである。
ところで、このようなヒータエレメント４を構成する、
発熱部６．リード部８．接続部１０は、目的とするヒー
タパターンを形成するように、印刷法の如き公知の手法
によってセラミックス基板２上に適用され、そして焼成
や焼付等の操作によってセラミックス基板２と一体化せ
しめられるものであるが、その際、発熱部６のみならず
、リード部８も含めてセラミックス基板２と同時焼成す
ることは、ヒータ耐久性にとって有利なことである。而
して、この場合には、通常、大気中での焼成は困難であ
り、中性若しくは還元性の雰囲気焼成が行なわれること
になる。また、このように、発熱部６とリード部８とを
セラミックス基板２と同時焼成する場合には、セラミッ
クス基板２の高い焼結温度に貴金属と卑金属とが保持さ
れることによって、通常、発熱部６とリード部８の接続
部１０は各々の金属の合金となることが多いところから
、そのような合金の安定性を考慮する必要がある。
発熱部６．リード部８．接続部１０は、目的とするヒー
タパターンを形成するように、印刷法の如き公知の手法
によってセラミックス基板２上に適用され、そして焼成
や焼付等の操作によってセラミックス基板２と一体化せ
しめられるものであるが、その際、発熱部６のみならず
、リード部８も含めてセラミックス基板２と同時焼成す
ることは、ヒータ耐久性にとって有利なことである。而
して、この場合には、通常、大気中での焼成は困難であ
り、中性若しくは還元性の雰囲気焼成が行なわれること
になる。また、このように、発熱部６とリード部８とを
セラミックス基板２と同時焼成する場合には、セラミッ
クス基板２の高い焼結温度に貴金属と卑金属とが保持さ
れることによって、通常、発熱部６とリード部８の接続
部１０は各々の金属の合金となることが多いところから
、そのような合金の安定性を考慮する必要がある。
尤も、発熱部６のみをセラミックス基板２と同時焼成し
、その後にリード部８を設ける場合にあっては、リード
部８の焼付温度はセラミックス基板２の焼結温度より通
常は低くなるため、かかる発熱部６とリード部８との接
続部１０は、通常、合金となることは少なく、そのよう
な接続部１０による電気的な接続は、単なる接触乃至は
界面のみに形成される薄い合金層を介して行なわれるこ
ととなる。この場合、リード部８は、卑金属のみでもよ
く、また卑金属とセラミックスのサーメットであっても
よいが、卑金属のみの場合にあっては、セラミックス基
板２に対する付着強度が低いので、通常、ガラス等の被
覆を施すことと、なる。
、その後にリード部８を設ける場合にあっては、リード
部８の焼付温度はセラミックス基板２の焼結温度より通
常は低くなるため、かかる発熱部６とリード部８との接
続部１０は、通常、合金となることは少なく、そのよう
な接続部１０による電気的な接続は、単なる接触乃至は
界面のみに形成される薄い合金層を介して行なわれるこ
ととなる。この場合、リード部８は、卑金属のみでもよ
く、また卑金属とセラミックスのサーメットであっても
よいが、卑金属のみの場合にあっては、セラミックス基
板２に対する付着強度が低いので、通常、ガラス等の被
覆を施すことと、なる。
また、かかるリード部８の焼付は、比較的低い温度にて
行なわれるので、大気中であっても、中性乃至は還元性
に調整された雰囲気中であっても、何等差支えない。
行なわれるので、大気中であっても、中性乃至は還元性
に調整された雰囲気中であっても、何等差支えない。
なお、このように、ヒータエレメント４が一体的に形成
されるセラミックス基板２は、ジルコニア、アルミナ、
ムライト、コージェライト、フォルステライト、ベリリ
ア、窒化ケイ素等を主成分とするセラミックス、或いは
これらの複合体によって構成される他、金属板の表面に
上記の如きセラミックスを所定厚さで被覆したものにて
構成されても、何等差支えない。また、かかるセラミッ
クス基板２にて構成されるセラミックス体の形状は、製
造上において、例示の如く板状とすることが望ましいが
、円柱状等の形状であっても、何等差支えないのである
。
されるセラミックス基板２は、ジルコニア、アルミナ、
ムライト、コージェライト、フォルステライト、ベリリ
ア、窒化ケイ素等を主成分とするセラミックス、或いは
これらの複合体によって構成される他、金属板の表面に
上記の如きセラミックスを所定厚さで被覆したものにて
構成されても、何等差支えない。また、かかるセラミッ
クス基板２にて構成されるセラミックス体の形状は、製
造上において、例示の如く板状とすることが望ましいが
、円柱状等の形状であっても、何等差支えないのである
。
従って、かくの如き構造のセラミック・ヒータにあって
は、そのヒータエレメント４の大きな部分を占めるリー
ド部８，８が安価な卑金属を用いて形成されているため
に、ヒータエレメント全体が貴金属を用いて形成される
場合に比して、貴金属の使用量が低減され、以てセラミ
ック・ヒータの製造コストが効果的に低下せしめられ得
るのであり、また高温となるヒータエレメント４の発熱
部６は貴金属を用いたサーメットにて形成されているた
めに、かかる発熱部６でのヒータ断線の問題は惹起され
るようなことがなく、その耐久性は優れたものとなって
いるのである。また、卑金属はセラミックスとの界面に
中間層を形成し接着強度を高めることが容易であるため
、外部リードとの接続部の接着強度が大きくなり、信頼
性の高いヒータを得ることが出来るのである。更に、外
部リードと卑金属部とをろう接などにより接着固定せし
めた場合には、−層その信頼性が高められることとなる
のである。
は、そのヒータエレメント４の大きな部分を占めるリー
ド部８，８が安価な卑金属を用いて形成されているため
に、ヒータエレメント全体が貴金属を用いて形成される
場合に比して、貴金属の使用量が低減され、以てセラミ
ック・ヒータの製造コストが効果的に低下せしめられ得
るのであり、また高温となるヒータエレメント４の発熱
部６は貴金属を用いたサーメットにて形成されているた
めに、かかる発熱部６でのヒータ断線の問題は惹起され
るようなことがなく、その耐久性は優れたものとなって
いるのである。また、卑金属はセラミックスとの界面に
中間層を形成し接着強度を高めることが容易であるため
、外部リードとの接続部の接着強度が大きくなり、信頼
性の高いヒータを得ることが出来るのである。更に、外
部リードと卑金属部とをろう接などにより接着固定せし
めた場合には、−層その信頼性が高められることとなる
のである。
以上、本発明に従うセラミック・ヒータの最も簡単な構
造の一例に基づいて、本発明の詳細な説明してきたが、
本発明が、かかる例示のセラミック・ヒータの構造のみ
に限定して解釈されるものでは決してなく、本発明には
、第３図以下に例示される如き各種の構造が、当業者の
知識に基づいて採用され得るものであることは、言うま
でもないところである。
造の一例に基づいて、本発明の詳細な説明してきたが、
本発明が、かかる例示のセラミック・ヒータの構造のみ
に限定して解釈されるものでは決してなく、本発明には
、第３図以下に例示される如き各種の構造が、当業者の
知識に基づいて採用され得るものであることは、言うま
でもないところである。
因みに、第３図に示されるセラミック・ヒータにあって
は、アルミナからなるセラミックス基板２上に一体的に
前例と同様なヒータエレメント４が形成されており、そ
してその上に、該ヒータエレメント４の発熱部６を覆う
ように、アルミナからなる発熱部保護層１４が積層一体
化せしめられて、セラミック・ヒータが構成されており
、これによって、ヒータ発熱部６が保護されるようにな
っている。なお、この発熱部保護層１４は、緻密な層と
して若しくは多孔質な層として形成されることとなるが
、それを緻密層とした場合にあっては、高温となる発熱
部６からの貴金属の揮散が良好に阻止され、且つ発熱部
６に対する周囲雰囲気の影響も有利に回避され得ること
となり、また多孔質層とされた場合にあっては、サーマ
ルショックの回避等を良好に行ない得る等の利点を享受
することが出来る。また、ここでは、セラミックス基板
２や発熱部保護層１４がアルミナにて形成されているこ
とにより、ヒータエレメント４の電気絶縁が有効に行な
われているのである。
は、アルミナからなるセラミックス基板２上に一体的に
前例と同様なヒータエレメント４が形成されており、そ
してその上に、該ヒータエレメント４の発熱部６を覆う
ように、アルミナからなる発熱部保護層１４が積層一体
化せしめられて、セラミック・ヒータが構成されており
、これによって、ヒータ発熱部６が保護されるようにな
っている。なお、この発熱部保護層１４は、緻密な層と
して若しくは多孔質な層として形成されることとなるが
、それを緻密層とした場合にあっては、高温となる発熱
部６からの貴金属の揮散が良好に阻止され、且つ発熱部
６に対する周囲雰囲気の影響も有利に回避され得ること
となり、また多孔質層とされた場合にあっては、サーマ
ルショックの回避等を良好に行ない得る等の利点を享受
することが出来る。また、ここでは、セラミックス基板
２や発熱部保護層１４がアルミナにて形成されているこ
とにより、ヒータエレメント４の電気絶縁が有効に行な
われているのである。
また、第４図に示されるセラミック・ヒータにあっては
、セラミックス基板２がジルコニアから形成されている
と共に、発熱部保護層１４もジルコニアからなる気密質
セラミックスにて構成されており、そのために、ヒータ
エレメント４の電気絶縁を行なうべく、かかるヒータエ
レメント４は、多孔質のアルミナからなるポーラスな電
気絶縁層１６．１８を介して、セラミックス基板２１発
熱部保護層１４に積層せしめられるようになっている。
、セラミックス基板２がジルコニアから形成されている
と共に、発熱部保護層１４もジルコニアからなる気密質
セラミックスにて構成されており、そのために、ヒータ
エレメント４の電気絶縁を行なうべく、かかるヒータエ
レメント４は、多孔質のアルミナからなるポーラスな電
気絶縁層１６．１８を介して、セラミックス基板２１発
熱部保護層１４に積層せしめられるようになっている。
即ち、ヒータエレメント４は、ポーラスな電気絶縁層１
６によってセラミックス基板２から電気的に絶縁されて
おり、また気密な発熱部保護層１４に対しては、電気絶
縁層１８によって発熱部６が電気的に絶縁されているの
である。
６によってセラミックス基板２から電気的に絶縁されて
おり、また気密な発熱部保護層１４に対しては、電気絶
縁層１８によって発熱部６が電気的に絶縁されているの
である。
さらに、第５図に示されるセラミック・ヒータにおいて
は、発熱部保護層１４が、第４図の如く積層によって形
成される方式とは異なり、印刷によって形成された緻密
なジルコニア層にて構成されており、またヒータエレメ
ント４のリード部８゜８部分が、ガラス等からなるリー
ド部保護層２０によって被覆されて保護されるようにな
っている。
は、発熱部保護層１４が、第４図の如く積層によって形
成される方式とは異なり、印刷によって形成された緻密
なジルコニア層にて構成されており、またヒータエレメ
ント４のリード部８゜８部分が、ガラス等からなるリー
ド部保護層２０によって被覆されて保護されるようにな
っている。
なお、このリード部保護層２０は、セラミック・ヒータ
基部側において二つの切欠部２２．２２を有しており、
それら切欠部２２によって、かかるリード部保護層２０
が積層されても、各リード部８の端部が露出せしめられ
るようになっており、このリード部露出部を通じて、外
部電源に対する接続端子に電気的に接続せしめられるよ
うになっているのである。
基部側において二つの切欠部２２．２２を有しており、
それら切欠部２２によって、かかるリード部保護層２０
が積層されても、各リード部８の端部が露出せしめられ
るようになっており、このリード部露出部を通じて、外
部電源に対する接続端子に電気的に接続せしめられるよ
うになっているのである。
そして、このような本発明に従うセラミック・ヒータは
、各種の用途に適用されることとなるのであるが、その
適用の一例が、第６図に示されている。即ち、第６図は
、本発明に従うセラミック・ヒータを設けた電気化学的
素子としての酸素検出素子の最も簡単な構造の一例を示
すものである。
、各種の用途に適用されることとなるのであるが、その
適用の一例が、第６図に示されている。即ち、第６図は
、本発明に従うセラミック・ヒータを設けた電気化学的
素子としての酸素検出素子の最も簡単な構造の一例を示
すものである。
そして、このような酸素検出素子の加熱に際しては、最
も効率よく酸素検出素子（電気化学的セル）を加熱する
ために、そのような酸素検出素子とセラミック・ヒータ
とを焼結一体化した構造が採用されているのである。
も効率よく酸素検出素子（電気化学的セル）を加熱する
ために、そのような酸素検出素子とセラミック・ヒータ
とを焼結一体化した構造が採用されているのである。
より具体的には、第６図において、酸素検出素子を構成
する電気化学的セルは、よく知られているように、ジル
コニア等の酸素イオン伝導性のセラミックスからなる板
状の固体電解質体３０とその両側の面に接して設けられ
た一対の電極、即ち測定電極３２及び基準電極３４とか
ら構成されており、そしてそれら電極３２．３４が、そ
れぞれ、リード部３６．３８を通じて外部の検出機器に
接続せしめられることによって、公知の検出原理に基づ
いて、測定電極３２の接触せしめられる雰囲気中の酸素
濃度が、基準電極３４から測定電極３２へ電流を流すこ
とによってほぼ一定の酸素濃度に保たれる該基準電極３
４の酸素濃度と比較して、検出されるようになっている
のである。
する電気化学的セルは、よく知られているように、ジル
コニア等の酸素イオン伝導性のセラミックスからなる板
状の固体電解質体３０とその両側の面に接して設けられ
た一対の電極、即ち測定電極３２及び基準電極３４とか
ら構成されており、そしてそれら電極３２．３４が、そ
れぞれ、リード部３６．３８を通じて外部の検出機器に
接続せしめられることによって、公知の検出原理に基づ
いて、測定電極３２の接触せしめられる雰囲気中の酸素
濃度が、基準電極３４から測定電極３２へ電流を流すこ
とによってほぼ一定の酸素濃度に保たれる該基準電極３
４の酸素濃度と比較して、検出されるようになっている
のである。
そして、このような電気化学的セル（３０，３２，３４
）に対して、多孔質アルミナからなる電気絶縁層４０を
介して、発熱部４２及びリード部４４．４４を有する本
発明に従うヒータエレメントが設けられている。なお、
このヒータエレメントは、発熱部４２と同様な材質から
なる取出部４６．４６を有しており、それら取出部４６
．４６と発熱部４２とを橋絡するように、それらの間に
リード部４４．４４が設けられているのである。
）に対して、多孔質アルミナからなる電気絶縁層４０を
介して、発熱部４２及びリード部４４．４４を有する本
発明に従うヒータエレメントが設けられている。なお、
このヒータエレメントは、発熱部４２と同様な材質から
なる取出部４６．４６を有しており、それら取出部４６
．４６と発熱部４２とを橋絡するように、それらの間に
リード部４４．４４が設けられているのである。
また、かかるヒータエレメントの発熱部４２上には、多
孔質アルミナからなる電気絶縁層４８が設けられ、更に
その上に緻密なジルコニアからなる発熱部保護層５０が
設けられている。一方、かかるヒータエレメントのリー
ド部４４．４４上には、それらを覆うように、ガラス等
からなるリード部保護層５２が積層形成されている。
孔質アルミナからなる電気絶縁層４８が設けられ、更に
その上に緻密なジルコニアからなる発熱部保護層５０が
設けられている。一方、かかるヒータエレメントのリー
ド部４４．４４上には、それらを覆うように、ガラス等
からなるリード部保護層５２が積層形成されている。
そして、このような構造の電気化学的素子にあっては、
好適には、固体電解質体３０や、測定電極３２、基準電
極３４、それらのリード部３６゜３８、電気絶縁１ｉ４
０、発熱部４２、取出部４６゜４６、電気絶縁°層４８
、発熱部保護層５０が順次積層乃至は印刷せしめられて
、同時焼成され、そして発熱部４２と取出部４６．４６
とがリード部４４．４４にて接続せしめられ、更にその
後、リード部保護層５２を形成することによって、目的
とする電気化学的素子が作製されることとなるのである
。
好適には、固体電解質体３０や、測定電極３２、基準電
極３４、それらのリード部３６゜３８、電気絶縁１ｉ４
０、発熱部４２、取出部４６゜４６、電気絶縁°層４８
、発熱部保護層５０が順次積層乃至は印刷せしめられて
、同時焼成され、そして発熱部４２と取出部４６．４６
とがリード部４４．４４にて接続せしめられ、更にその
後、リード部保護層５２を形成することによって、目的
とする電気化学的素子が作製されることとなるのである
。
従って、このような電気化学的素子にあっては、酸素濃
度を検出するための電気化学的セル部分とセラミック・
ヒータとが焼結一体化せしめられて、かかる電気化学的
セルの電極３２．３４配置部分を最も効率よく加熱し得
ることとなるのである。
度を検出するための電気化学的セル部分とセラミック・
ヒータとが焼結一体化せしめられて、かかる電気化学的
セルの電極３２．３４配置部分を最も効率よく加熱し得
ることとなるのである。
なお、ここでは、本発明に従うセラミック・ヒー夕は、
電気化学的セルを構成する固体電解質体３０をセラミッ
クス体として、その上にヒータエレメント（４２，４４
）が設けられた構成となり、そのセラミックス体が、ま
た電気化学的セルの一部を兼ねる構造となっている。ま
た、ここに示したように、取出部４６．４６を貴金属と
しておけば、その表面の酸化は殆ど無視できるので、外
部リードとの接続を、特開昭６０−１５０４４９号公報
に示されるように、単なる接触によって確保することも
可能である。
電気化学的セルを構成する固体電解質体３０をセラミッ
クス体として、その上にヒータエレメント（４２，４４
）が設けられた構成となり、そのセラミックス体が、ま
た電気化学的セルの一部を兼ねる構造となっている。ま
た、ここに示したように、取出部４６．４６を貴金属と
しておけば、その表面の酸化は殆ど無視できるので、外
部リードとの接続を、特開昭６０−１５０４４９号公報
に示されるように、単なる接触によって確保することも
可能である。
そして、このような構造において、ヒータエレメントの
発熱部４２は、白金等の貴金属から主としてなる金属と
セラミックスを含むサーメットにて形成されて、焼成さ
れるものであるところから、かかる発熱部４２は、高温
下においても、ヒータ断線等の問題を発生するようなこ
とは殆どなく、その耐久性は一段と高められ得ることと
なったのであり、またリード部４４にあっては、発熱す
ることが少なく、温度が低いために、ニッケルの如き卑
金属から主として構成される金属若しくはそのような金
属とセラミックスとからなるサーメットにて形成されて
いることにより、ヒータエレメントの全体を貴金属を用
いて形成する場合とは異なり、貴金属の使用量が著しく
低減され得ることとなったのであり、これによって、ヒ
ータエレメントのコスト、ひいては電気化学的素子、更
にはそのような電気化学的素子を酸素検出素子として用
いた酸素分析装置のコストを有利に低減せしめ得ること
となったのである。
発熱部４２は、白金等の貴金属から主としてなる金属と
セラミックスを含むサーメットにて形成されて、焼成さ
れるものであるところから、かかる発熱部４２は、高温
下においても、ヒータ断線等の問題を発生するようなこ
とは殆どなく、その耐久性は一段と高められ得ることと
なったのであり、またリード部４４にあっては、発熱す
ることが少なく、温度が低いために、ニッケルの如き卑
金属から主として構成される金属若しくはそのような金
属とセラミックスとからなるサーメットにて形成されて
いることにより、ヒータエレメントの全体を貴金属を用
いて形成する場合とは異なり、貴金属の使用量が著しく
低減され得ることとなったのであり、これによって、ヒ
ータエレメントのコスト、ひいては電気化学的素子、更
にはそのような電気化学的素子を酸素検出素子として用
いた酸素分析装置のコストを有利に低減せしめ得ること
となったのである。
また、このような電気化学的素子にあっては、それを構
成する電気化学的セルの一対の電極３２゜３４も、リー
ド部３６．３８を介して、外部の検出機器に接続される
ものであるところから、そのようなリード部３６．３８
も、本発明に従うセラミック・ヒータのヒータエレメン
トにおけるリード部４４．４４と同様に、主として卑金
属からなる金属若しくはそのような金属とセラミックス
とを含むサーメットにて構成するようにすれば、電気化
学的素子における高価な貴金属の使用割合を更に低減せ
しめることが出来るのであり、これによって、より一層
のコストダウンを図ることが可能となるのである。
成する電気化学的セルの一対の電極３２゜３４も、リー
ド部３６．３８を介して、外部の検出機器に接続される
ものであるところから、そのようなリード部３６．３８
も、本発明に従うセラミック・ヒータのヒータエレメン
トにおけるリード部４４．４４と同様に、主として卑金
属からなる金属若しくはそのような金属とセラミックス
とを含むサーメットにて構成するようにすれば、電気化
学的素子における高価な貴金属の使用割合を更に低減せ
しめることが出来るのであり、これによって、より一層
のコストダウンを図ることが可能となるのである。
なお、かかる第６図の例にあっては、一つの電気化学的
セルにて構成される電気化学的素子を示したが、特開昭
６０−３６９４９号公報や特開昭６１−６１０５１号公
報等に示されるように、複数の電気化学的セルを設けて
、所定のガス成分濃度を測定するようにした電気化学的
素子の加熱にも、本発明に従うセラミック・ヒータは有
利に適用され得るものであり、更には、他の用途におけ
る加熱手段として、本発明に従うセラミック・ヒータが
適宜に変形された形態において用いられるものであるこ
とが、理解されるべきである。
セルにて構成される電気化学的素子を示したが、特開昭
６０−３６９４９号公報や特開昭６１−６１０５１号公
報等に示されるように、複数の電気化学的セルを設けて
、所定のガス成分濃度を測定するようにした電気化学的
素子の加熱にも、本発明に従うセラミック・ヒータは有
利に適用され得るものであり、更には、他の用途におけ
る加熱手段として、本発明に従うセラミック・ヒータが
適宜に変形された形態において用いられるものであるこ
とが、理解されるべきである。
その他、具体例を一々列挙することは割愛するが、本発
明が、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知
識に基づき種々なる変更、修正、改良等を施した態様で
実施し得ることは、言うまでもないところである。
明が、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知
識に基づき種々なる変更、修正、改良等を施した態様で
実施し得ることは、言うまでもないところである。
（発明の効果）
以上の説明から明らかなように、本発明に従うセラミッ
ク・ヒータは、そのヒータエレメントの発熱部に、主と
して貴金属からなる金属とセラミックスとを含むサーメ
ットを用いて焼成しているところから、高温下における
ヒータ断線等の問題が良好に防止され得て、ヒータ耐久
性が効果的に向上されていると共に、リード部には安価
な卑金属から主として構成される金属が用いられている
ところから、セラミック・ヒータのコストダウンを有利
に図り得たのである。そして、そのようなセラミック・
ヒータを電気化学的素子等に一体的に組み込むようにす
ることによって、また、そのような電気化学的素子等の
コストダウンも有利に図り得るのである。
ク・ヒータは、そのヒータエレメントの発熱部に、主と
して貴金属からなる金属とセラミックスとを含むサーメ
ットを用いて焼成しているところから、高温下における
ヒータ断線等の問題が良好に防止され得て、ヒータ耐久
性が効果的に向上されていると共に、リード部には安価
な卑金属から主として構成される金属が用いられている
ところから、セラミック・ヒータのコストダウンを有利
に図り得たのである。そして、そのようなセラミック・
ヒータを電気化学的素子等に一体的に組み込むようにす
ることによって、また、そのような電気化学的素子等の
コストダウンも有利に図り得るのである。
第１図は、本発明に係るセラミック・ヒータの最も単純
な構造の一例を示す斜視図であり、第２図（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）及び（ｅ）は、それぞ
れ、ヒータエレメントの発熱部とリード部とを接続する
接続部の異なる構造を示す要部断面説明図である。また
、第３図、第４図及び第５図は、それぞれ、本発明に従
うセラミック・ヒータの異なる例を示す、展開状態にお
ける斜視説明図である。更に、第６図は、本発明に従う
セラミック・ヒータを組み込んでなる電気化学的素子の
一例を示す、展開状態における斜視説明図である。 ２：セラミソクス基板 ４：ヒータエレメント ６：発熱部 ８：リード部 ｌＯ：接続部 １２：接続部材１４：発熱部保
護層 １６．１８：電気絶縁層 ２０：リード部保護層 ３０：固体電解質体３２：測定
電極 ３４：基準電極３６．３８：リード部 ４０．４８：電気絶縁層 ４２：発熱部 ４４：リード部４６：取出部
５０：全熱部保護層５２：リード部保護層 第１図 第２図 第３図 ｗｉ４図 第５図
な構造の一例を示す斜視図であり、第２図（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）、 （ｄ）及び（ｅ）は、それぞ
れ、ヒータエレメントの発熱部とリード部とを接続する
接続部の異なる構造を示す要部断面説明図である。また
、第３図、第４図及び第５図は、それぞれ、本発明に従
うセラミック・ヒータの異なる例を示す、展開状態にお
ける斜視説明図である。更に、第６図は、本発明に従う
セラミック・ヒータを組み込んでなる電気化学的素子の
一例を示す、展開状態における斜視説明図である。 ２：セラミソクス基板 ４：ヒータエレメント ６：発熱部 ８：リード部 ｌＯ：接続部 １２：接続部材１４：発熱部保
護層 １６．１８：電気絶縁層 ２０：リード部保護層 ３０：固体電解質体３２：測定
電極 ３４：基準電極３６．３８：リード部 ４０．４８：電気絶縁層 ４２：発熱部 ４４：リード部４６：取出部
５０：全熱部保護層５２：リード部保護層 第１図 第２図 第３図 ｗｉ４図 第５図
Claims (3)
- （１）所定形状のセラミックス体と、 該セラミックス体上にあって、主として貴金属よりなる
金属とセラミックスとを含むサーメットからなる発熱部
と、主として卑金属よりなる金属若しくは該金属とセラ
ミックスとを含むサーメットからなるリード部と、それ
ら発熱部とリード部を電気的に接続する接続部とを有す
るヒータエレメントとを、 含んで構成されてなるセラミック・ヒータ。 - （２）固体電解質体と、該固体電解質体に接して設けら
れた少なくとも一対の電極とを含む電気化学的セルの少
なくとも一つと、 所定形状のセラミックス体と；該セラミックス体上にあ
って、主として貴金属よりなる金属とセラミックスとを
含むサーメットからなる発熱部と、主として卑金属より
なる金属若しくは該金属とセラミックスとを含むサーメ
ットからなるリード部と、それら発熱部とリード部を電
気的に接続する接続部とを有するヒータエレメントとを
含むセラミック・ヒータとを、 有することを特徴とする電気化学的素子。 - （３）（ａ）酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固
体電解質体に接して設けられた少なくとも一対の電極と
を含む電気化学的セルの少なくとも一つと、 （ｂ）所定形状のセラミックス体と；該セラミックス体
上にあって、主として貴金属よりなる金属とセラミック
スとを含むサーメットからなる発熱部と、主として卑金
属よりなる金属若しくは該金属とセラミックスとを含む
サーメットからなるリード部と、それら発熱部とリード
部を電気的に接続する接続部とを有するヒータエレメン
トとを含むセラミック・ヒータとを、有する電気化学的
素子を用いた酸素分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63017729A JPH01194282A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 |
| US07/299,531 US4952903A (en) | 1988-01-28 | 1989-01-23 | Ceramic heater having portions connecting heat-generating portion and lead portions |
| DE3902484A DE3902484C2 (de) | 1988-01-28 | 1989-01-27 | Keramischer elektrischer Heizkörper und dessen Verwendung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63017729A JPH01194282A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01194282A true JPH01194282A (ja) | 1989-08-04 |
Family
ID=11951835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63017729A Pending JPH01194282A (ja) | 1988-01-28 | 1988-01-28 | セラミック・ヒータ及び電気化学的素子並びに酸素分析装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4952903A (ja) |
| JP (1) | JPH01194282A (ja) |
| DE (1) | DE3902484C2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002071628A (ja) * | 2000-06-16 | 2002-03-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにこれを備えるガスセンサ |
| JP2002521689A (ja) * | 1998-07-30 | 2002-07-16 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 排ガスセンサ |
| JP2006091009A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-04-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミック電子機能部材、およびガスセンサ |
| JP2006242667A (ja) * | 2005-03-02 | 2006-09-14 | Kyocera Corp | 電極パターン、セラミックヒーター、ガスセンサー素子およびこれらの製造方法 |
| JP2007198970A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
Families Citing this family (27)
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