JPH01194973A - スピンコート用塗布装置 - Google Patents

スピンコート用塗布装置

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Publication number
JPH01194973A
JPH01194973A JP63017341A JP1734188A JPH01194973A JP H01194973 A JPH01194973 A JP H01194973A JP 63017341 A JP63017341 A JP 63017341A JP 1734188 A JP1734188 A JP 1734188A JP H01194973 A JPH01194973 A JP H01194973A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
fins
disk
coated
scattered
Prior art date
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Pending
Application number
JP63017341A
Other languages
English (en)
Inventor
Keiji Kakinuma
柿沼 敬二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EMI Music Japan Inc
Original Assignee
Toshiba Emi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Emi Ltd filed Critical Toshiba Emi Ltd
Priority to JP63017341A priority Critical patent/JPH01194973A/ja
Publication of JPH01194973A publication Critical patent/JPH01194973A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、コンパクトディスクと通称されるオーディオ
用デジタルディスク等の被コーティング部材に、平均し
た略一定の厚さの塗膜を形成するため、回転している被
コーティング部材上に塗膜材料を滴下し、遠心力によっ
て塗膜厚を一定化すると共に余分な塗膜材料を遠心力で
飛ばしてしまうスピンコート用塗布装置の改良に関する
〔従来の技術〕
従来のコンパクトディスクの製造に使用されるスピンコ
ート用塗布装置を、第11図、第12図について説明す
る。
1はコンパクトディスクを支持して回転する支持回転台
で、その周囲には一定の間隔を介してハウジング2が設
けられており、その上部のコンパクトディスク面と交わ
る反射板3は、コンパクトディスク面と45度の角度を
なす円錐形面となっている。
従って、コンパクトディスク面に塗膜を形成するコーテ
ィング材料を滴下しコンパクトディスクを高速で回転さ
せると、その遠心力で外側に向って移行しながら、コン
パクトディスク面に−様の厚さのコーティング面を形成
する。
そして、このコーティング面を形成した後の余分なコー
ティング材料は、遠心力によってコンパクトディスクの
周縁から、略接線方向に飛ばされ、反射板3に当ってハ
ウジング2の下方に滴下する。
そのため、コンパクトディスク面には−様な厚さのコー
ティング面が形成されると共に、余分なコーティング材
料がコンパクトディスクの周縁に溜ることはないもので
ある。
〔発明が解決しようとする課題〕
このようなスピンコート用塗布装置においては、コンパ
クトディスクの周縁から略接線方向に飛び敗ったコーテ
ィング材料が反射板3に当って、その一部がはね返り、
コンパクトディスク面に再び付着することがある。
このはね返りにより付着を防止するためには、反射板3
とコンパクトディスクの周縁との距離を充分にとり、は
ね返ったコーティング材料がコンパクトディスクに達し
ないようにしなければならない。
そのため、装置全体が大型化し、スペースファクタを悪
くしていた欠点があった。
又、そのように大型化しても、尚一部がコンパクトディ
スク面にまでははね返り、製品の仕上りを悪くし、歩留
りを低下させていた欠点があった。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、従来のスピンコート用塗布装置の前述の欠点
を解消し、小型化してスペースファクタが向上するにも
拘らず、飛散したコーティング材料のはね返りが被コー
ティング部材に付着しないスピンコート用塗布装置を提
供するためのもので、その手段は、被コーティング部材
を支持して回転する支持回転台と、該支持回転台上に支
持されて回転する被コーティング部材上に塗膜材料を滴
下する塗布用ノズルと、前記支持回転台の周囲の同心円
上に略等間隔で、支持回転台の中心から略放射方向に複
数設置されたフィンとを備えたスピンコート用塗布装置
によってなされる。
〔作 用] 未発明のスピンコート用塗布装置は、被コーティング部
材の周縁から遠心力で飛散したコーティング材料は、フ
ィンに当る。
しかし、このフィンは、中心から略放射状に、縦方向に
列設されているので、これに当ってはね返る飛沫は、フ
ィンの外側方向に向って飛び敗るので被コーティング部
材方向に向うコーティング材の飛沫は極めて少い。
そして、コーティング材方向に戻る方向にはね返ったと
しても、隣接のフィンに当る確率が極めて高く、被コー
ティング部材にはね返るコーティング材料は絶無に近い
ものとなる。
〔発明の実施例〕
本発明のコンパクトディスクの裏面(レーベル面)のコ
ート用に使用するスピンコート用塗布装置の実施例につ
いて説明する。
第1図、第2図において、4はハウジングで、その内部
にはコンパクトディスク5が載置されて回転する回転軸
6が設けられている。
そして、この回転軸6で支持されて回転するコンパクト
ディスク5の周縁には、後述するフィン7がハウジング
4に取付けられている。
又、ハウジング4の4隅には排気口8が設けられ、ハウ
ジング4の中心部に設けられた給気口9から給入された
空気は排気口8から排出され、コーティング材料の溶剤
等の気化物が、この排気と共に排出されるものである。
10は塗布用ノズルで、例えば大日本インキ製5D−1
7等の保護膜用塗料を滴下するもので、第2図の鎖線の
位置間を移動できるものである。
前記フィン7は第3図、第4図に示すように、回転軸6
の中心から同心円に、9度の間隔で40枚、放射状に、
且つ縦方向には15度の傾斜をもって列設されているも
のである。
前記の塗布用ノズル10から滴下された保護膜用塗料は
、コンパクトディスク5の高速回転によって生じる遠心
力で、周縁方向に移行しながらコンパクトディスク5上
に、5〜10ミクロン程度の均一な厚さの塗膜を形成す
る。
そして、この塗膜を形成するのに余分であった保護膜用
塗料はコンパクトディスク5の外周縁から遠心力で飛散
するものであるが、その時の塗料滴5aが飛ぶ方向は、
コンパクトディスク5の外周縁の接線Zに対して角αが
0〜30度の方向に飛ぶものである。
そして、第6図のようにその時に塗料滴5aが面Yにθ
なる角で当り、点線の矢印の方向にはね返るものである
が、その角θが45度以下では反射角がθよりも小さく
なり、面Yに付着する塗料滴5aが多くなって、はね返
る塗料滴5aが少くなることが実験から明らかになった
この面Yが本実施例においては、フィン7はコンパクト
ディスク5の外周から僅かに離れた位置に設置されてい
るので、第7図の2点A 、 A’からの塗料滴5aが
フィン7に当る入射角は、次のようにして求めることが
できる。
n=oτ′=r(半径) 0は回転中心0B=f   
OB’ =i’  ZBOA=aα=半径rの円の接線
からのずれ角度 β−ZBOc=ZAOA’  、フィン7の設置間隔の
角度とすると ZABO=θ= −−(a+α) である。
又、回転中心Oから塗料滴5aがフィン7に当る距離2
は 同様にしてA′からの入射角θ′、距離2′はZA’ 
B’ O=θ′−θ−β = −−(a+β+α) となる。
そして、余弦定理から cos a=x 、sin cr=bとおけばf”x”
+2r2(b”  1)x −b”r”−b2j!”+
r2=0となる。
これをコンパクトディスク5の半径60順で計算すると
、前述のようにα−0〜30度であるから、塗料粘度約
35cps、回転数3000rpm、フィン7の設置間
隔9度(40枚)として計算すると、 θ=45度、α−0度(θ′−36度、a=45度)の
時 !!、=85価、f’=102胴 となる。
そこで、フィン7の内径を前記の2に従って851nI
11を採用すれば、α=30度の時ff1=85mm、
 1’ =108.3鵬となる。
従って、フィン7の外径を110mmとすれば、このフ
ィン7への塗料滴5aの入射角は45°以下となる。
そのため、遠心力で飛散した塗料滴5aの大部分はフィ
ン7に付着し、はね返った塗料滴5aはフィン7の外径
方向に飛散する。
又、乱反射的にはね返った塗料滴5aは隣接のフィン7
に大部分が当り、コンパクトディスク5に達する塗料滴
5aは絶無に近いものである。
斯くして、フィン7に付着した塗料滴5aは、フィン7
が縦方向には15度の角度で傾いているので、これによ
って流下し易くなり、フィン7上に止まるものは少くな
る。
なお、第8図に示したように、フィン7には端面があり
、この端面に当った塗料滴5aの反射角は、コンパクト
ディスク5の方向へ向うこと−なるので、この塗料滴5
aがコンパクトディスク5に付着する危険性がある。
これを少しでも減少するために、フィン7の端面に面取
り7aを行って、端面に当る塗料滴5aを減少させるよ
うにするのが望ましい。
更に、第9図、第10図は他の実施例を示すもので、こ
の実施例においては、回転中心を通る放射線fflに対
し、フィン7の角度を角Tだけ斜めにしたものである。
この実施例における塗料滴5aの入射角度θ“、θ”は
、 ZBOA−r=θ“=θ−γ ZBDA’=θ′−θ−T−β ZDOB=ψ となる。
従って、塗料滴5aの入射角θ“、θ〜は小さくなって
、はね返る塗料滴5aを前実施例よりも少くすることが
可能となる。
しかし、フィン7の端面に対する塗料滴5aの入射角が
第10図のように45度又はそれ以上となり、コンパク
トディスク5にはね返る塗料滴5aが多くなるおそれが
あるので、端面の面取り7aの必要性は前実施例よりも
必要性が高(なる。
更に、前実施例のフィン7と同じ内径P=85胴、フィ
ン7の間隔角度β=9度とした場合でも、フィン7の傾
斜角T=10度とした場合には、0D=119.4mm
と大きくなり、ハウジング4の内径を大きくせざるを得
なくなる。
〔発明の効果] 本発明は畝上のように、被コーティング部材の外周に、
中心から放射状にフィンを列設したので、被コーティン
グ部材から遠心力で飛散したコーティング滴は、フィン
に対し45以下の角度で入射するので、その大部分はフ
ィンに付着し、はね返るものは少くなる。
そして、はね返ったとしても、その反射角は被コーティ
ング部材から遠ざかる方向であるので、はね返ったコー
ティング滴が被コーティング部材に付着することがない
又、万一乱反射的にはね返ったコーティング滴があって
も、その大部分は隣接のフィンに当ってしまうため、被
コーティング部材に飛散したコーティング摘が戻って付
着することはない。
更に、このようなフィンの設置によって、その外径は小
さくなるので、装置全体が小型化され、スペースファク
タが向上される。
そして、製品歩留まりの向上、装置内外の汚れが改善さ
れる等の効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す第2図のA−A線断面
図、 第2図は同上の平面図、 第3図はフィンの側面図、 第4図はその平面図、 第5図は塗料滴の飛散方向の説明図、 第6図はその入射角の説明図、 第7図はフィンと飛散する塗料滴の説明図、第8図はそ
の一部の拡大説明図、 第9図はフィンと飛散する塗料滴の他の実施例の説明図
、 第10図は同上の一部の拡大説明図、 第11図は従来のスピンコート用塗布装置の第12図に
おけるB−B線断面図、 第12図は同上の平面図である。 5・・・コンパクトディスク、5a・・・塗料滴、6・
・・回転軸、7・・・フィン、8・・・排気口、9・・
・給気口、10・・・塗布用ノズル。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  被コーティング部材を支持して回転する支持回転台と
    、該支持回転台上に支持されて回転する被コーティング
    部材上に塗膜材料を滴下する塗布用ノズルと、前記支持
    回転台の周囲の同心円上に略等間隔で、支持回転台の中
    心から略放射方向に複数設置されたフィンとを備えたこ
    とを特徴とするスピンコート用塗布装置。
JP63017341A 1988-01-29 1988-01-29 スピンコート用塗布装置 Pending JPH01194973A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63017341A JPH01194973A (ja) 1988-01-29 1988-01-29 スピンコート用塗布装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63017341A JPH01194973A (ja) 1988-01-29 1988-01-29 スピンコート用塗布装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01194973A true JPH01194973A (ja) 1989-08-04

Family

ID=11941355

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63017341A Pending JPH01194973A (ja) 1988-01-29 1988-01-29 スピンコート用塗布装置

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JP (1) JPH01194973A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016195980A (ja) * 2015-04-06 2016-11-24 トヨタ自動車株式会社 スピンコート装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5889966A (ja) * 1981-11-24 1983-05-28 Hitachi Ltd 塗布装置

Patent Citations (1)

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