JPH01197338A - フッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその製造装置 - Google Patents
フッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその製造装置Info
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- JPH01197338A JPH01197338A JP1961288A JP1961288A JPH01197338A JP H01197338 A JPH01197338 A JP H01197338A JP 1961288 A JP1961288 A JP 1961288A JP 1961288 A JP1961288 A JP 1961288A JP H01197338 A JPH01197338 A JP H01197338A
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- optical fiber
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- melt
- gas
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/01265—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting entirely or partially from molten glass, e.g. by dipping a preform in a melt
- C03B37/01277—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments starting entirely or partially from molten glass, e.g. by dipping a preform in a melt by projecting or spraying the melt, e.g. as droplets, on a preform
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/80—Non-oxide glasses or glass-type compositions
- C03B2201/82—Fluoride glasses, e.g. ZBLAN glass
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- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は低損失、かつ長尺なフッ化物光ファイバ用母材
の製造方法およびその製造方法を実施するための装置に
関するものである。
の製造方法およびその製造方法を実施するための装置に
関するものである。
（従来の技術）
フッ化物ガラスを素材とする光ファイバは、石英系を凌
ぐ１０− ”ｄＢ／ｋｍ以下の伝送損失が期待されてお
り、ＺｒＦ、を主成分とするフッ化物ガラスは、光ファ
イバ素材として、最も有望視されｔいる。
ぐ１０− ”ｄＢ／ｋｍ以下の伝送損失が期待されてお
り、ＺｒＦ、を主成分とするフッ化物ガラスは、光ファ
イバ素材として、最も有望視されｔいる。
従来、このようなフッ化物ガラスを製造する場合、固相
原料バッチの溶融法で作製したガラス融液を鋳型に流し
込゛み、冷却して、ガラスロッドを作製する鋳型法（キ
ャスティング法）が採用されていた。また光ファイバ用
母材の製造方法としては、ビルトインキヤスティング法
（特開昭５７−１９１２４０）、２層融液法（特開昭６
ｌ−９１０３２）が採用されていた。
原料バッチの溶融法で作製したガラス融液を鋳型に流し
込゛み、冷却して、ガラスロッドを作製する鋳型法（キ
ャスティング法）が採用されていた。また光ファイバ用
母材の製造方法としては、ビルトインキヤスティング法
（特開昭５７−１９１２４０）、２層融液法（特開昭６
ｌ−９１０３２）が採用されていた。
前述のようなフッ化物光ファイバの製造における最大の
問題は、ガラスの熱的安定性が低い点に起因していた。
問題は、ガラスの熱的安定性が低い点に起因していた。
すなわちガラス融液から固体ガラスに移行する際、結晶
化が生じるという欠点があった。このため鋳型を大きく
することが不可能であり、大型の長尺ファイバ用母材を
作製することが困難であった。
化が生じるという欠点があった。このため鋳型を大きく
することが不可能であり、大型の長尺ファイバ用母材を
作製することが困難であった。
またキャスティング法によるコア・クラッドの作製では
固化途中のクラッド融液を流し出し、その内にコア融液
を流し出す方法（ビルドインキヤスティング法）または
クラッド融液の上部にコア融液をキャスティングしてお
き、クラッド融液がなかば固化した状態で鋳型の底から
、固化していないクラッド融液を流し出すことにより、
コアガラスをクラッドの中央に導入するという方法（２
層融液法）が用いら、れていた。
固化途中のクラッド融液を流し出し、その内にコア融液
を流し出す方法（ビルドインキヤスティング法）または
クラッド融液の上部にコア融液をキャスティングしてお
き、クラッド融液がなかば固化した状態で鋳型の底から
、固化していないクラッド融液を流し出すことにより、
コアガラスをクラッドの中央に導入するという方法（２
層融液法）が用いら、れていた。
この方法では、コア・クラツド径比の安定した光ファイ
バ用母材を作製できないという欠点があった。
バ用母材を作製できないという欠点があった。
（発明が解決しようとする課題）
本発明は前記欠点に鑑みなされたもので、低損失、かつ
長尺なフッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその
製造装置を提供することにある。
長尺なフッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその
製造装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明はクラッドガラス組成に調製した固相フッ化物ガ
ラス原料をチャンバに内設したルツボ内で溶融し、引き
続いてチャンバ内を加圧用ガスを用いて加圧することに
より、ルツボ下端に連設した供給管を通じてガラス融液
を塗布ノズルまたは噴霧ノズルに供給し、事前に加熱延
伸したコアガラス表面にクラッドガラス層を形成させる
ことにより、フッ化物光ファイバ用母材を作製する。
ラス原料をチャンバに内設したルツボ内で溶融し、引き
続いてチャンバ内を加圧用ガスを用いて加圧することに
より、ルツボ下端に連設した供給管を通じてガラス融液
を塗布ノズルまたは噴霧ノズルに供給し、事前に加熱延
伸したコアガラス表面にクラッドガラス層を形成させる
ことにより、フッ化物光ファイバ用母材を作製する。
従来の母材の作製法がルツボから融液を鋳型に流し込ん
でガラス融液を作製していたのに対し、本発明では、ガ
ス加圧により融液を連続供給し、コアガラスロッド表面
に塗布または吹き付けることにより、クラッドガラス層
を連続的に作製する。
でガラス融液を作製していたのに対し、本発明では、ガ
ス加圧により融液を連続供給し、コアガラスロッド表面
に塗布または吹き付けることにより、クラッドガラス層
を連続的に作製する。
（実施例）
以下、実施例に基づいて本発明の詳細な説明するが、本
発明の範囲をこれらの実施例に限定するものではない。
発明の範囲をこれらの実施例に限定するものではない。
実ＪＬｆ生り
第１図は実施例１で使用したフッ化物光ファイバ用母材
の製造装置の概略図、第２図は実施例１で使用した塗布
ノズルの概略を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図
である。第１図において、６はクラッド組成のガラス原
料融液であり、この実施例においてはＺｒＦａ （４７
，５モル％） ＢａＦｚ （２３，５モル％）ＬａＦ
＋（２，５モル％） −ＹＦ３（２モル％） Ａ
ｆＦｉ（４，５モル％） −ＮａＦ （２０モル％）の
組成を有している。１４はコア組成のガラスロッドであ
り、ＺｒＦ。
の製造装置の概略図、第２図は実施例１で使用した塗布
ノズルの概略を示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は側面図
である。第１図において、６はクラッド組成のガラス原
料融液であり、この実施例においてはＺｒＦａ （４７
，５モル％） ＢａＦｚ （２３，５モル％）ＬａＦ
＋（２，５モル％） −ＹＦ３（２モル％） Ａ
ｆＦｉ（４，５モル％） −ＮａＦ （２０モル％）の
組成を有している。１４はコア組成のガラスロッドであ
り、ＺｒＦ。
（４９モル％） Ｂａｎｇ （２５モル％） Ｌａ
Ｆ３（３，５モ）し％） ＹＦ＋（２モアし％）
ＡｆＦ３ （２，５モ）し％）−ＬｉＦ （１８モ
ル％）の組成を有している。このコアガラスロッドは、
キャスティング法で作製し、表面を研磨した後、Ｈｅ
Ｃ３０ｖｏｌ、％） ＩＰ （５０ｖｏｉ！。
Ｆ３（３，５モ）し％） ＹＦ＋（２モアし％）
ＡｆＦ３ （２，５モ）し％）−ＬｉＦ （１８モ
ル％）の組成を有している。このコアガラスロッドは、
キャスティング法で作製し、表面を研磨した後、Ｈｅ
Ｃ３０ｖｏｌ、％） ＩＰ （５０ｖｏｉ！。
％）混合ガス気流中２８０°Ｃで外径２０ｍｍのロッド
を外径５ ａｍのロッドに延伸しである。キャスティン
グ後のコアガラス表面には研磨の際にＯＨ基が付着する
。このため前記方法で延伸することなくクラッドガラス
を外付けした場合、以下の反応により、Ｚｒ０ｚがコア
、クラッド界面に析出し、散乱損失の原因となり、反応
しないで残留した０■基は、吸収損失の原因となる。
を外径５ ａｍのロッドに延伸しである。キャスティン
グ後のコアガラス表面には研磨の際にＯＨ基が付着する
。このため前記方法で延伸することなくクラッドガラス
を外付けした場合、以下の反応により、Ｚｒ０ｚがコア
、クラッド界面に析出し、散乱損失の原因となり、反応
しないで残留した０■基は、吸収損失の原因となる。
、 Ｚｒ Ｆ ＋ ）Ｚｒ ＯＨ
−＋； Ｚｒ −０−Ｚｒ ”３− 十〇Ｆ↑しかしＨ
Ｆ雰囲気下で加熱延伸することにより、上記反応による
ＺｒＯ□の生成を抑制しながら延伸することが可能とな
り、ＯＨ基のガラス表面での密度を低下させることが可
能となる。
Ｆ雰囲気下で加熱延伸することにより、上記反応による
ＺｒＯ□の生成を抑制しながら延伸することが可能とな
り、ＯＨ基のガラス表面での密度を低下させることが可
能となる。
さらにＩＩＦがフッ素化剤として作用し、以下の反応に
より、表面上の０１１基を除去する効果がある。
より、表面上の０１１基を除去する効果がある。
；ｚｒ−ｏｌｌ ＋ ＩＦ −＋−；Ｚｒ−Ｆ ＋ １
１．０↑この結果、この方法により作製したファイバで
は界面に散乱体の析出はほとんど観察されなかった。さ
らにＯＨ基による吸収損失は未延伸の場合、約５００
ｄＢ／ｋｍであるのに対し、延伸した場合、約５０ｄＢ
／ｋｍ以下となった。
１．０↑この結果、この方法により作製したファイバで
は界面に散乱体の析出はほとんど観察されなかった。さ
らにＯＨ基による吸収損失は未延伸の場合、約５００
ｄＢ／ｋｍであるのに対し、延伸した場合、約５０ｄＢ
／ｋｍ以下となった。
第１図に示したチャンバ４は白金製であり、ルツボ５、
供給管８および塗布ノズル１０は金製である。クラッド
ガラス組成の固体混合物は９００°Ｃに保持されたルツ
ボ内で溶融される。その際、加圧ガスｌのバルブは閉じ
られており、雰囲気ガス供給管２および排気管３のバル
ブが開かれ、５１／ｍｉｎのＡｒガスがガラス溶融チャ
ンバ４内に流れている。ルツボ内でガラスを溶融した後
、雰囲気ガス供給口２および排気口３のバルブを閉じ、
加圧ガス供給口１のバルブを開け、５気圧のＡｒをチャ
ンバ４内に導入し、融液を融液供給管８に押し出す。こ
の際、供給管８はヒータ９によって７００°Ｃに保温さ
れている。供給管８の温度が６００℃以下になると、ガ
ラス融液の粘性が高くなり、ガス加圧による安定した供
給が困難になり、１０００°Ｃ以上になるとガラス融液
成分の蒸気圧の増加が顕著になるので、供給管８の温度
は６５０〜９５０℃に保つことが望ましい。供給管８を
通じて供給されたガラス融液は先端を６００°Ｃに保た
れた塗布ノズルに供給される。
供給管８および塗布ノズル１０は金製である。クラッド
ガラス組成の固体混合物は９００°Ｃに保持されたルツ
ボ内で溶融される。その際、加圧ガスｌのバルブは閉じ
られており、雰囲気ガス供給管２および排気管３のバル
ブが開かれ、５１／ｍｉｎのＡｒガスがガラス溶融チャ
ンバ４内に流れている。ルツボ内でガラスを溶融した後
、雰囲気ガス供給口２および排気口３のバルブを閉じ、
加圧ガス供給口１のバルブを開け、５気圧のＡｒをチャ
ンバ４内に導入し、融液を融液供給管８に押し出す。こ
の際、供給管８はヒータ９によって７００°Ｃに保温さ
れている。供給管８の温度が６００℃以下になると、ガ
ラス融液の粘性が高くなり、ガス加圧による安定した供
給が困難になり、１０００°Ｃ以上になるとガラス融液
成分の蒸気圧の増加が顕著になるので、供給管８の温度
は６５０〜９５０℃に保つことが望ましい。供給管８を
通じて供給されたガラス融液は先端を６００°Ｃに保た
れた塗布ノズルに供給される。
この実施例においては塗布ノズル１０の上方にコアロッ
ド１４を配置しているが、塗布ノズル下方にコアロッド
を配置してもよい。
ド１４を配置しているが、塗布ノズル下方にコアロッド
を配置してもよい。
塗布ノズル１０とコアガラスロッド１４との間には１ｍ
ｍの距離があり、ガラス融液の表面張力でガラスロッド
に接触している。
ｍの距離があり、ガラス融液の表面張力でガラスロッド
に接触している。
コアガラスロッドは６０ｒｐｍの速度で回転しながら、
６ｃｍ／ｗｉｎの速度で水平方向に移動している。
６ｃｍ／ｗｉｎの速度で水平方向に移動している。
その際、冷却ガス供給管１２から１０ｆｆｉ１０＋ｉｎ
のＨｅを流し、融液を冷却している。１回転で付着する
クラッドガラスの膜厚は０．５ ｍｍであり、コアガラ
スロッド表面に均一に薄く付着されるので、効率よ＜１
１ｅによりガス冷却される。このためコアガラス表面の
再加熱による結晶化は生じなかった。しかし１回転で付
着するクラッドガラスの厚さを２ｍｍ以上にすると冷却
が十分に行われず、コアガラスに結晶が析出したので、
１回転で付着するガラスの厚さは１．５ｍｍ以下にする
のが望ましい。このガラスの厚さは、加圧ガスの圧力お
よび塗布ノズルとコアガラスの距離を変化させることに
より、容易に調整できる。ガラスの塗布部分は保温炉１
３で２５０°Ｃに保温されている。このようにしてクラ
ッドガラスの付着を繰り返し行うことにより、２５ｍｍ
φＸ１２０ｍｍのフッ化物光ファイバ用母材を得た。
のＨｅを流し、融液を冷却している。１回転で付着する
クラッドガラスの膜厚は０．５ ｍｍであり、コアガラ
スロッド表面に均一に薄く付着されるので、効率よ＜１
１ｅによりガス冷却される。このためコアガラス表面の
再加熱による結晶化は生じなかった。しかし１回転で付
着するクラッドガラスの厚さを２ｍｍ以上にすると冷却
が十分に行われず、コアガラスに結晶が析出したので、
１回転で付着するガラスの厚さは１．５ｍｍ以下にする
のが望ましい。このガラスの厚さは、加圧ガスの圧力お
よび塗布ノズルとコアガラスの距離を変化させることに
より、容易に調整できる。ガラスの塗布部分は保温炉１
３で２５０°Ｃに保温されている。このようにしてクラ
ッドガラスの付着を繰り返し行うことにより、２５ｍｍ
φＸ１２０ｍｍのフッ化物光ファイバ用母材を得た。
母材の比屈折率差は１．０％であり、長手方向のコアク
ラツド径比に変動は見られなかった。この方法で得られ
た母材を線引きして、１論長のフッ化物光ファイバを得
た。第３図は得られたファイバの損失特性を示す。
ラツド径比に変動は見られなかった。この方法で得られ
た母材を線引きして、１論長のフッ化物光ファイバを得
た。第３図は得られたファイバの損失特性を示す。
１施１
クラッドガラス付着を第４図に示すように内管の内径０
．４ ｍａ、外径１．０ ｍｍ、外管の内径１．８ ｍ
ｍ、外径２．５閣の２重管ノズルとした以外は、実施例
１と同様にして、フッ化物光ファイバ用母材を製造した
。クラッド組成の融液の供給速度は、チャンバに導入し
た加圧ガスの圧力で調整し、圧力５気圧で供給速度は１
０＋＋／！／ｓｉｎとした。２重管ノズルの外管に流し
た噴霧ガス流量は５１ ／ｌｌｌ１ｎとした。ノズル先
端とガラスロッドの間の距離は５ｃａ＋／ｍｉｎとした
。ノズル先端で霧化されたガラス融液はコアガラスロッ
ド表面に付着と同時に薄膜となり、■ｅガスによって冷
却される。
．４ ｍａ、外径１．０ ｍｍ、外管の内径１．８ ｍ
ｍ、外径２．５閣の２重管ノズルとした以外は、実施例
１と同様にして、フッ化物光ファイバ用母材を製造した
。クラッド組成の融液の供給速度は、チャンバに導入し
た加圧ガスの圧力で調整し、圧力５気圧で供給速度は１
０＋＋／！／ｓｉｎとした。２重管ノズルの外管に流し
た噴霧ガス流量は５１ ／ｌｌｌ１ｎとした。ノズル先
端とガラスロッドの間の距離は５ｃａ＋／ｍｉｎとした
。ノズル先端で霧化されたガラス融液はコアガラスロッ
ド表面に付着と同時に薄膜となり、■ｅガスによって冷
却される。
この方法で得られた母材は、３０ｍｏ＋φＸ１２０ｎｕ
であり、実施例１に比べて約１．５倍の付着速度が達成
できた。このようにして得られた母材を線引きした後、
１ｋｎｌ長で伝送損失を測定した結果、２．５μＩで１
１ｄＢ／ｌａｎの最低損失値を示した。
であり、実施例１に比べて約１．５倍の付着速度が達成
できた。このようにして得られた母材を線引きした後、
１ｋｎｌ長で伝送損失を測定した結果、２．５μＩで１
１ｄＢ／ｌａｎの最低損失値を示した。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明の光ファイバ用母材の製造
方法によれば、鋳型を必要とせず、連続的にクラッド層
を作製することができるので、従来の方法に比べて、大
型のフッ化物光ファイバ用母材が作製できる。さらに本
発明の製造方法によれば、ガス圧力によって融液の供給
速度を任意に制御性よく変化させることができるので、
コア・クラツド径比の制御が容易であり、かつ長尺にわ
たってコア・クラツド径比の安定した光ファイバ用母材
が作製できる。
方法によれば、鋳型を必要とせず、連続的にクラッド層
を作製することができるので、従来の方法に比べて、大
型のフッ化物光ファイバ用母材が作製できる。さらに本
発明の製造方法によれば、ガス圧力によって融液の供給
速度を任意に制御性よく変化させることができるので、
コア・クラツド径比の制御が容易であり、かつ長尺にわ
たってコア・クラツド径比の安定した光ファイバ用母材
が作製できる。
さらに本発明の製造方法によれば、ガラス融液を塗布ま
たは吹き付けることによって薄膜を付着させて固化させ
るので、冷却効率がよく、ガラス形成能の小さい物質で
も、結晶化させることなく、ガラス化することが可能で
ある。
たは吹き付けることによって薄膜を付着させて固化させ
るので、冷却効率がよく、ガラス形成能の小さい物質で
も、結晶化させることなく、ガラス化することが可能で
ある。
第１図は本発明の実施例１で使用したフッ化物光ファイ
バ用母材の製造装置の概略図、第２図は本発明の実施例
１で使用した塗布ノズルの概略を示し、（ａ）は断面図
、℃）は側面図、第３図は本発明の実施例１で得られた
フッ化物光ファイバの伝送損失特性図、 第４図は本発明の実施例２で使用した噴霧ノズルの概略
図である。 １・・・加圧ガス供給口 ２・・・雰囲気ガス供給口
３・・・排気口 ４・・・ガラス融液チャン
バ５・・・ルツボ ６・・・クラッドガラス
融液７・・・ガラス融液炉 ８・・・融液供給管９
・・・供給管保温ヒータ １０・・・塗布ノズル１１・
・・フッ化物光ファイバ用母材 １２・・・冷却ガス供給管 １３・・・保温炉１４・
・・コアガラスロッド １５・・・コアガラスロッド１
６・・・塗布ノズル １７・・・クラッドガラス
融液１８・・・クラッドガラス融液 第１図 １４−一一つア刀゛ラスロッド 第２図 （ａ ） （ｂ ）
バ用母材の製造装置の概略図、第２図は本発明の実施例
１で使用した塗布ノズルの概略を示し、（ａ）は断面図
、℃）は側面図、第３図は本発明の実施例１で得られた
フッ化物光ファイバの伝送損失特性図、 第４図は本発明の実施例２で使用した噴霧ノズルの概略
図である。 １・・・加圧ガス供給口 ２・・・雰囲気ガス供給口
３・・・排気口 ４・・・ガラス融液チャン
バ５・・・ルツボ ６・・・クラッドガラス
融液７・・・ガラス融液炉 ８・・・融液供給管９
・・・供給管保温ヒータ １０・・・塗布ノズル１１・
・・フッ化物光ファイバ用母材 １２・・・冷却ガス供給管 １３・・・保温炉１４・
・・コアガラスロッド １５・・・コアガラスロッド１
６・・・塗布ノズル １７・・・クラッドガラス
融液１８・・・クラッドガラス融液 第１図 １４−一一つア刀゛ラスロッド 第２図 （ａ ） （ｂ ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、クラッドガラス組成に調製した固体混合物を加熱溶
融して得た融液を、コア組成のガラスロッドの表面に塗
布または吹き付け、クラッドガラスの層を作製すること
により、光ファイバ用母材を作製することを特徴とする
フッ化物光ファイバ用母材の製造方法。 ２、コア組成のガラスロッドを、不活性ガスの気流中ま
たは不活性ガスと含ハロゲンガスとの混合ガスの気流中
で、加熱延伸する工程を有することを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のフッ化物光ファイバ用母材の製造
方法。 ３、特許請求の範囲第２項記載の含ハロゲンガスがフッ
素ガスもしくは塩素ガスであるか、または水素、炭素、
ホウ素、イオウ、ケイ素のうちの少なくともいずれか一
つとフッ素もしくは塩素との化合物のガスであることを
特徴とするフッ化物光ファイバ用母材の製造方法。 ４、ガラス組成に調製した固体混合物を加熱溶融するた
めの溶融手段、ガラス融液を塗布または噴霧ノズルまで
給送するための供給手段、ガラス融液を塗布または吹き
付けるためのノズルから成るフッ化物光ファイバ用母材
の製造装置において、前記溶融手段は、ガラス溶融ルツ
ボを内設したチャンバおよび電気炉から成っており、チ
ャンバの上部にはチャンバ内部の加圧ガス供給口を有し
ており、前記供給手段は、ルツボ下端に設けたガラス融
液供給管から成っており、前記ノズルは、ガラス融液を
供給する細管と連結した半円筒の供給口から成る塗布ノ
ズルまたは２重管から成る噴霧ノズルであることを特徴
とするフッ化物光ファイバ用母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1961288A JPH01197338A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | フッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1961288A JPH01197338A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | フッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01197338A true JPH01197338A (ja) | 1989-08-09 |
Family
ID=12004005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1961288A Pending JPH01197338A (ja) | 1988-02-01 | 1988-02-01 | フッ化物光ファイバ用母材の製造方法およびその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01197338A (ja) |
-
1988
- 1988-02-01 JP JP1961288A patent/JPH01197338A/ja active Pending
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