JPH01197992A - エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法 - Google Patents
エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法Info
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- JPH01197992A JPH01197992A JP63022491A JP2249188A JPH01197992A JP H01197992 A JPH01197992 A JP H01197992A JP 63022491 A JP63022491 A JP 63022491A JP 2249188 A JP2249188 A JP 2249188A JP H01197992 A JPH01197992 A JP H01197992A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体表示素子、コンデンサー、半導体素子等の
電気素子およびその製造方法に関する。
電気素子およびその製造方法に関する。
固体表示素子、コンデンサー、半導体素子等の１ｆｔ気
素子にあって、製品としての信頼性、安定性等を確保す
るため、定格ψ軸電圧以上の電圧を一定時間印加したり
するエージング処理が従来より行われている。
素子にあって、製品としての信頼性、安定性等を確保す
るため、定格ψ軸電圧以上の電圧を一定時間印加したり
するエージング処理が従来より行われている。
例えば固体表示素子の一例として、従来のエレクトロル
ミネッセンス表示索子におけるエージング処理は、以下
のようにして行われている。まずガラス等からなる基板
とに透明電極、絶１ｔｆｆｉ、発光層、絶縁！ゼ、体向
電極をＩＩＩＩＩ次積層し、ざらにガラスキャップや合
成樹脂を用いてその背面を防湿封止してエレクトロルミ
ネッセンス表示素子を作成する。そして、このエレクト
ロルミネッセンス表示素子の透明電極および対向′Ｗ１
４５！の端部に導線あるいはプリント配線板の端子部を
半田付けして、該表示素子をプリント配線に取り付け、
この導線またはプリント配線板の導体部に該表示素子の
定格電圧の２倍程度の電圧を一定時間加え、該表示素子
の透明電極および対向電極間にエージング電圧を印加す
ることにより行われている。
ミネッセンス表示索子におけるエージング処理は、以下
のようにして行われている。まずガラス等からなる基板
とに透明電極、絶１ｔｆｆｉ、発光層、絶縁！ゼ、体向
電極をＩＩＩＩＩ次積層し、ざらにガラスキャップや合
成樹脂を用いてその背面を防湿封止してエレクトロルミ
ネッセンス表示素子を作成する。そして、このエレクト
ロルミネッセンス表示素子の透明電極および対向′Ｗ１
４５！の端部に導線あるいはプリント配線板の端子部を
半田付けして、該表示素子をプリント配線に取り付け、
この導線またはプリント配線板の導体部に該表示素子の
定格電圧の２倍程度の電圧を一定時間加え、該表示素子
の透明電極および対向電極間にエージング電圧を印加す
ることにより行われている。
この際、絶縁層、発光層にピンホール、異物等の欠陥部
があると、この欠陥部を起点として透明電極と対抗電極
との間がショートし、この時の発熱によフて絶縁破壊が
発生し発光層が破壊される。
があると、この欠陥部を起点として透明電極と対抗電極
との間がショートし、この時の発熱によフて絶縁破壊が
発生し発光層が破壊される。
そして、この破壊部の大きさが１０−１５μｍ以下の非
常に小さい場合は、破壊部を肉眼で視認できないが、そ
の大きさが１００μｍ以上になると非発光の黒点として
視認され、不良品とされる。
常に小さい場合は、破壊部を肉眼で視認できないが、そ
の大きさが１００μｍ以上になると非発光の黒点として
視認され、不良品とされる。
他にも共誘電性セラミック材等を用いたコンデンサーや
各種ＩＣ、ダイオード、センサー等の半導体素子におい
ても同様のエージング電圧を印加する処理がおこなわれ
ている。
各種ＩＣ、ダイオード、センサー等の半導体素子におい
ても同様のエージング電圧を印加する処理がおこなわれ
ている。
〔発明が解決しようとする！！’ｄ）
このような電気素子および製造方法にあっては、エージ
ング中刃−不良品が発生した場合、防湿封止済の電気業
子を対称としているため、完成品の電気素子がそのまま
不良となることになり、防湿封止のための材料やその加
工等が無駄となって経済的に大きな損失となる。
ング中刃−不良品が発生した場合、防湿封止済の電気業
子を対称としているため、完成品の電気素子がそのまま
不良となることになり、防湿封止のための材料やその加
工等が無駄となって経済的に大きな損失となる。
このため、防湿封止をおこなう前に電気素子に対してエ
ージングすることも考えられる。しかしながら、この場
合電気素子が防湿構造となってはいないため、大気中の
湿度の影響を受け、電極間に挟持されている素材・部材
等が劣化し素子寿命が短くなってしまうという問題があ
り、特に固体表示素子においては絶縁破壊が発生した時
の熱発散が防湿材料が存在しないため不十分となり、破
壊現象がこの熱によって連鎖的に進行し、破壊部が大き
く拡大し、黒点となって肉眼で見えるようになって表示
品位が悪くなる等の問題があり、防湿封止をおこなう前
に電気素子を対象としてエージング処理を施すことはむ
ずかしかった。
ージングすることも考えられる。しかしながら、この場
合電気素子が防湿構造となってはいないため、大気中の
湿度の影響を受け、電極間に挟持されている素材・部材
等が劣化し素子寿命が短くなってしまうという問題があ
り、特に固体表示素子においては絶縁破壊が発生した時
の熱発散が防湿材料が存在しないため不十分となり、破
壊現象がこの熱によって連鎖的に進行し、破壊部が大き
く拡大し、黒点となって肉眼で見えるようになって表示
品位が悪くなる等の問題があり、防湿封止をおこなう前
に電気素子を対象としてエージング処理を施すことはむ
ずかしかった。
本発明はこのような事情に鑑み、前記ｒＲＨを解決した
電気素子およびその製造方法を提供することを目的する
。
電気素子およびその製造方法を提供することを目的する
。
上記目的を達成するために、本発明の電気素子は、少な
くとも複数個の電極を具備した電気素子本体を絶縁オイ
ル中に浸漬しつつ、前記電極間にエージング電圧を印加
したことを特徴とするものである。
くとも複数個の電極を具備した電気素子本体を絶縁オイ
ル中に浸漬しつつ、前記電極間にエージング電圧を印加
したことを特徴とするものである。
また、本発明の電気素子の製造方法は、少なくとも複数
個の電極を具備した電気素子本体を絶縁オイル中に浸漬
しつつ、前記電極間にエージング電圧を印加することを
特徴とするものである。
個の電極を具備した電気素子本体を絶縁オイル中に浸漬
しつつ、前記電極間にエージング電圧を印加することを
特徴とするものである。
ここで用いられる絶縁オイルとしては、絶縁性を有する
ものならば何でもよく、植物油、動物油、合成油等を単
一又は混合して用いる。エージング電圧を印加した際に
は発熱が伴うため、好ましくは熱電導性の良いフッ素オ
イルやシリコーンオイルが良く、発生した熱を速く放出
拡散させて、発熱による不良発生を未然に防止すること
ができる。
ものならば何でもよく、植物油、動物油、合成油等を単
一又は混合して用いる。エージング電圧を印加した際に
は発熱が伴うため、好ましくは熱電導性の良いフッ素オ
イルやシリコーンオイルが良く、発生した熱を速く放出
拡散させて、発熱による不良発生を未然に防止すること
ができる。
この電気素子は絶縁オイル中でのエージング処理が施さ
れているので、湿度による影響を受けず素子構成材料の
劣化が生じないため、駆動時の安定性や信頼性に優れて
いる。
れているので、湿度による影響を受けず素子構成材料の
劣化が生じないため、駆動時の安定性や信頼性に優れて
いる。
またこの電気素子の製造方法は作成された電気素子本体
の防湿封止工程前に絶縁オイル中でニー０ソング処理を
施すので、不良が早く光漏されてムダがなく、駆動時の
安定性と信頼性に優れた電気素子を安価に歩留り良く製
造することができる。
の防湿封止工程前に絶縁オイル中でニー０ソング処理を
施すので、不良が早く光漏されてムダがなく、駆動時の
安定性と信頼性に優れた電気素子を安価に歩留り良く製
造することができる。
（実施例１）
ＩＴＯ（インジウム−スズ酸化物）膜からなる透明電極
を形成したガラス製基板上にＴａ２０５からなる絶縁層
、マンガンを付活した硫化亜鉛からなる発光層、Ｔａ２
０５からなる絶縁層を順次スパッタリング法によって積
層して形成し、さらにその玉にアルミニウムからなる対
向電極をパターン形成し、エレクトロルミネッセンス表
示素子本体を作製した。
を形成したガラス製基板上にＴａ２０５からなる絶縁層
、マンガンを付活した硫化亜鉛からなる発光層、Ｔａ２
０５からなる絶縁層を順次スパッタリング法によって積
層して形成し、さらにその玉にアルミニウムからなる対
向電極をパターン形成し、エレクトロルミネッセンス表
示素子本体を作製した。
ざらに、このエレクトロルミネッセンス表示素子本体に
透明電極と対向電極との両端子に各々リード線をとりつ
け、該表示素子本体をシリコーンオイル中に浸漬し、２
７０Ｖの電圧を２．５時間連続して印加した。
透明電極と対向電極との両端子に各々リード線をとりつ
け、該表示素子本体をシリコーンオイル中に浸漬し、２
７０Ｖの電圧を２．５時間連続して印加した。
その後、エレクトロルミネッセンス表示素子本体を溶剤
で洗浄してシリコーンオイルを完全に除去した。そして
リード線をはずし、ガラスキャップをかぶせて防湿封止
をおこない、通常の定格電圧で駆動させたところ、安定
に動作し、また表示品位も優れていた。
で洗浄してシリコーンオイルを完全に除去した。そして
リード線をはずし、ガラスキャップをかぶせて防湿封止
をおこない、通常の定格電圧で駆動させたところ、安定
に動作し、また表示品位も優れていた。
（実験例２）
エレクトロルミネッセンス表示素子本体のかわりに通常
のコンデンサー本体を作製し、定格電圧の２倍程の電圧
で前記と同様のエージング処理をおこない、防湿封止を
してコンデンサーを作製し、前記と同様に定格電圧で駆
動させたところ安定な動作を示した。
のコンデンサー本体を作製し、定格電圧の２倍程の電圧
で前記と同様のエージング処理をおこない、防湿封止を
してコンデンサーを作製し、前記と同様に定格電圧で駆
動させたところ安定な動作を示した。
（実験例３）
エレクトロルミネッセンス表示素子本体のかわりに通常
のＩＣチップ本体を作製し、定格電圧の２倍程の電圧で
前記と同様のエージング処理をおこない、防湿封止をし
てＩＣチップを作製し、前記と同様に定格電圧で駆動さ
せたところ安定な動作を示した。
のＩＣチップ本体を作製し、定格電圧の２倍程の電圧で
前記と同様のエージング処理をおこない、防湿封止をし
てＩＣチップを作製し、前記と同様に定格電圧で駆動さ
せたところ安定な動作を示した。
本発明は、以上説明したように構成されているので、以
下に記載されるような効果を奏する。
下に記載されるような効果を奏する。
この電気素子は絶縁オイル中でのエージング処理が施さ
れているので、湿度による影響を受けず素子構成材料の
劣化が生じないため、駆動時の安定性や信頼性に優れて
いる。
れているので、湿度による影響を受けず素子構成材料の
劣化が生じないため、駆動時の安定性や信頼性に優れて
いる。
またこの電気素子の製造方法は作製された電気素子本体
の防湿封止工程前に絶縁オイル中でエージング処理を施
すので、不良が早く発屈されてムダがなく、駆動時の安
定性を信頼性に優れた電気素子を安価に歩留り良く製造
することができる。
の防湿封止工程前に絶縁オイル中でエージング処理を施
すので、不良が早く発屈されてムダがなく、駆動時の安
定性を信頼性に優れた電気素子を安価に歩留り良く製造
することができる。
Claims (2)
- （１）少なくとも複数個の電極を具備した電気素子本体
を絶縁オイル中に浸漬しつつ、前記電極間にエージング
電圧を印加したことを特徴とする電気素子。 - （２）少なくとも複数個の電極を具備した電気素子本体
を絶縁オイル中に浸漬しつつ、前記電極間にエージング
電圧を印加することを特徴とする電気素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63022491A JPH0754747B2 (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63022491A JPH0754747B2 (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01197992A true JPH01197992A (ja) | 1989-08-09 |
| JPH0754747B2 JPH0754747B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=12084201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63022491A Expired - Fee Related JPH0754747B2 (ja) | 1988-02-02 | 1988-02-02 | エレクトロルミネッセンス表示素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754747B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1020635C2 (nl) * | 2002-05-21 | 2003-11-24 | Otb Group Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een polymere OLED. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50351A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-01-06 | ||
| JPS5627913A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-18 | Nissin Electric Co Ltd | Method of manufacturing gasssealed condenser |
-
1988
- 1988-02-02 JP JP63022491A patent/JPH0754747B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50351A (ja) * | 1973-05-08 | 1975-01-06 | ||
| JPS5627913A (en) * | 1979-08-14 | 1981-03-18 | Nissin Electric Co Ltd | Method of manufacturing gasssealed condenser |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1020635C2 (nl) * | 2002-05-21 | 2003-11-24 | Otb Group Bv | Werkwijze voor het vervaardigen van een polymere OLED. |
| WO2003098716A1 (en) * | 2002-05-21 | 2003-11-27 | Otb Group B.V. | Method for manufacturing a polymer oled |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0754747B2 (ja) | 1995-06-07 |
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Legal Events
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