JPH0119803Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0119803Y2 JPH0119803Y2 JP16290183U JP16290183U JPH0119803Y2 JP H0119803 Y2 JPH0119803 Y2 JP H0119803Y2 JP 16290183 U JP16290183 U JP 16290183U JP 16290183 U JP16290183 U JP 16290183U JP H0119803 Y2 JPH0119803 Y2 JP H0119803Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- aperture
- lens
- energy
- fluorescent plate
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 15
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡像及び該像中のエネルギー
を同時に表示する分析電子顕微鏡の改良に関す
る。
を同時に表示する分析電子顕微鏡の改良に関す
る。
従来の分析電子顕微鏡としては、第１図に示す
様な装置が使用されている。第１図中１は電子顕
微鏡の鏡体を示している。２は図示外の試料を透
過した電子線のエネルギーを分析するエネルギー
アナライザであり、該アナライザ２は走査電源３
により掃引される。４はエネルギーアナライザ２
よりの出力信号を検出するための検出器であり、
該検出器４よりの出力信号は走査電源３によつて
水平走査されるCRT５の垂直偏向コイルに入力
されてエネルギースペクトルとして表示される。
６は対物レンズ、中間レンズ、投影レンズで構成
されるレンズ系の投影レンズであり、７は表面に
螢光物質を塗布した螢光板である。８は螢光板７
の下方に配置された入射絞りであり、該入射絞り
８には第２図に示す様なエネルギーアナライザ２
に電子線の入射を制限する円形の電子線通過孔８
ａが穿たれている。９はエネルギーアナライザ２
と検出器４の間に配置された検出スリツトであ
る。
様な装置が使用されている。第１図中１は電子顕
微鏡の鏡体を示している。２は図示外の試料を透
過した電子線のエネルギーを分析するエネルギー
アナライザであり、該アナライザ２は走査電源３
により掃引される。４はエネルギーアナライザ２
よりの出力信号を検出するための検出器であり、
該検出器４よりの出力信号は走査電源３によつて
水平走査されるCRT５の垂直偏向コイルに入力
されてエネルギースペクトルとして表示される。
６は対物レンズ、中間レンズ、投影レンズで構成
されるレンズ系の投影レンズであり、７は表面に
螢光物質を塗布した螢光板である。８は螢光板７
の下方に配置された入射絞りであり、該入射絞り
８には第２図に示す様なエネルギーアナライザ２
に電子線の入射を制限する円形の電子線通過孔８
ａが穿たれている。９はエネルギーアナライザ２
と検出器４の間に配置された検出スリツトであ
る。
この様に構成された従来の装置では、螢光板７
上に結像する電子線を螢光板７で観察し、螢光板
７の中央部を構成する円形又は方形状の小螢光板
７′上にエネルギー分析を必要とする視野がくる
ように試料移動を行う。しかる後、小蛍光板７′
を開いて電子線をエネルギーアナライザ２に導
き、そのエネルギーを分析する。即ち、入射絞り
８は、入射する電子線の開き角を制限するだけで
なく、エネルギーアナライザ２による分析視野を
選択する役割を果している。しかし、この様に構
成された装置では、小螢光板７′と入射絞り８の
形状が一致しないためエネルギーアナライザに入
射する分析視野を精確に知ることができないとい
う欠点があつた。又、入射絞り８の電子線の通過
孔８ａが円形であるため、析出物やセラミツクの
粒界等のように長方形や三角形の分析領域からの
電子を効率よく取り込むことができなかつた。
上に結像する電子線を螢光板７で観察し、螢光板
７の中央部を構成する円形又は方形状の小螢光板
７′上にエネルギー分析を必要とする視野がくる
ように試料移動を行う。しかる後、小蛍光板７′
を開いて電子線をエネルギーアナライザ２に導
き、そのエネルギーを分析する。即ち、入射絞り
８は、入射する電子線の開き角を制限するだけで
なく、エネルギーアナライザ２による分析視野を
選択する役割を果している。しかし、この様に構
成された装置では、小螢光板７′と入射絞り８の
形状が一致しないためエネルギーアナライザに入
射する分析視野を精確に知ることができないとい
う欠点があつた。又、入射絞り８の電子線の通過
孔８ａが円形であるため、析出物やセラミツクの
粒界等のように長方形や三角形の分析領域からの
電子を効率よく取り込むことができなかつた。
本考案は以上の点に鑑みなされたもので、試料
を透過した電子線を対物レンズ、中間レンズ、投
影レンズによつて螢光板の下方に設けられたエネ
ルギーアナライザに導くように構成した装置にお
いて、前記エネルギーアナライザに入射する電子
線を制限する入射絞りを該螢光板と投影レンズと
の間に配置したことを特徴としている。
を透過した電子線を対物レンズ、中間レンズ、投
影レンズによつて螢光板の下方に設けられたエネ
ルギーアナライザに導くように構成した装置にお
いて、前記エネルギーアナライザに入射する電子
線を制限する入射絞りを該螢光板と投影レンズと
の間に配置したことを特徴としている。
以下本考案の一実施例を添付図面に基づき説明
する。
する。
第３図は本考案の一実施例装置の概略構成であ
り、第４図は第３図の一実施例装置で使用される
入射絞りを入射電子線の方向から拡大して表わし
たものである。尚、第１図と同一構成部分には同
一番号を付してその説明を省略する。本実施例装
置が第１図の装置と異なる点は、入射絞り１０を
投影レンズ６と螢光板７の間に配置した点と、第
４図に示す如く入射絞り１０の長板状基体に互い
に孔形の異なる複数の電子線の通過孔を形成し、
基体を移動させることによつて、孔形の異なつた
ものを電子線光軸上の所定の位置へ設定できるよ
う構成した点である。絞り孔の形状としては、１
０ａ，１０ｂ，１０ｃの如くそれぞれ長方形、三
角形、四角形のようなものが選ばれる。この様に
構成することにより、小蛍光板７′を閉じた状態
で絞り１０の、例えば通過孔１０ａを通過する視
野像を観察することができるので、この視野と分
析すべき試料像が一致するように試料位置や像倍
率を調整する。このようにすれば、小蛍光板７′
を開いて分析を行つても、像観察によつて選択し
た視野とエネルギーアナライザー２に入射する分
析視野とを精確に対応させてエネルギー分析する
ことができる。又、入射絞り１０を移動させて調
整することにより、電子線通過孔を円形以外の形
状に変えることができ、析出物等特殊な形をした
試料についても効率のよい分析をすることができ
る。
り、第４図は第３図の一実施例装置で使用される
入射絞りを入射電子線の方向から拡大して表わし
たものである。尚、第１図と同一構成部分には同
一番号を付してその説明を省略する。本実施例装
置が第１図の装置と異なる点は、入射絞り１０を
投影レンズ６と螢光板７の間に配置した点と、第
４図に示す如く入射絞り１０の長板状基体に互い
に孔形の異なる複数の電子線の通過孔を形成し、
基体を移動させることによつて、孔形の異なつた
ものを電子線光軸上の所定の位置へ設定できるよ
う構成した点である。絞り孔の形状としては、１
０ａ，１０ｂ，１０ｃの如くそれぞれ長方形、三
角形、四角形のようなものが選ばれる。この様に
構成することにより、小蛍光板７′を閉じた状態
で絞り１０の、例えば通過孔１０ａを通過する視
野像を観察することができるので、この視野と分
析すべき試料像が一致するように試料位置や像倍
率を調整する。このようにすれば、小蛍光板７′
を開いて分析を行つても、像観察によつて選択し
た視野とエネルギーアナライザー２に入射する分
析視野とを精確に対応させてエネルギー分析する
ことができる。又、入射絞り１０を移動させて調
整することにより、電子線通過孔を円形以外の形
状に変えることができ、析出物等特殊な形をした
試料についても効率のよい分析をすることができ
る。
尚、本考案は以上の実施例に限定されるもので
はなく、本実施例では絞り１０の孔形を選択でき
るように構成したが、絞り１０の孔形を分析試料
によつてその都度交換する様な構成としても同様
な効果を得ることができる。
はなく、本実施例では絞り１０の孔形を選択でき
るように構成したが、絞り１０の孔形を分析試料
によつてその都度交換する様な構成としても同様
な効果を得ることができる。
以上の様に本考案は入射絞りの位置が対物レン
ズと螢光板の間に配置されたため、分析視野の精
確な選択が螢光板上で行うことができる。
ズと螢光板の間に配置されたため、分析視野の精
確な選択が螢光板上で行うことができる。
第１図は従来装置の概略構成図、第２図は第１
図装置の入射絞りを示す図、第３図は本考案の一
実施例を装置の概略構成図、第４図は一実施例装
置の入射絞りの一例を示す図である。 １：鏡体、２：エネルギーアナライザ、３：走
査電源、４：検出器、５：CRT、６：投影レン
ズ、７：螢光板、８，１０：入射絞り、９：検出
スリツト。
図装置の入射絞りを示す図、第３図は本考案の一
実施例を装置の概略構成図、第４図は一実施例装
置の入射絞りの一例を示す図である。 １：鏡体、２：エネルギーアナライザ、３：走
査電源、４：検出器、５：CRT、６：投影レン
ズ、７：螢光板、８，１０：入射絞り、９：検出
スリツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料を透過した電子線を対物レンズ、中間レ
ンズ、投影レンズによつて螢光板の下方に設け
られたエネルギーアナライザに導くように構成
した装置において、前記エネルギーアナライザ
に入射する電子線を制限する入射絞りを該螢光
板と投影レンズとの間に配置したことを特徴と
する分析電子顕微鏡。 (2) 前記入射絞りを互に孔形の異なつた複数個の
絞り孔が選択できる様に構成したことを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第１項記載の分析
電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16290183U JPS6071064U (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 分析電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16290183U JPS6071064U (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 分析電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071064U JPS6071064U (ja) | 1985-05-20 |
| JPH0119803Y2 true JPH0119803Y2 (ja) | 1989-06-07 |
Family
ID=30357594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16290183U Granted JPS6071064U (ja) | 1983-10-21 | 1983-10-21 | 分析電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071064U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB8609740D0 (en) * | 1986-04-22 | 1986-05-29 | Spectros Ltd | Charged particle energy analyser |
-
1983
- 1983-10-21 JP JP16290183U patent/JPS6071064U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6071064U (ja) | 1985-05-20 |
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