JPH01199314A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01199314A JPH01199314A JP18336188A JP18336188A JPH01199314A JP H01199314 A JPH01199314 A JP H01199314A JP 18336188 A JP18336188 A JP 18336188A JP 18336188 A JP18336188 A JP 18336188A JP H01199314 A JPH01199314 A JP H01199314A
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- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録等に用いられる磁気ディスクなどの
磁気記録媒体に関するものである。
磁気記録媒体に関するものである。
近年、磁気記録媒体はますます高密度記録となる傾向に
あシ、保磁力とＳ／Ｎ比を高くする必要がある。
あシ、保磁力とＳ／Ｎ比を高くする必要がある。
基板上に非磁性金属下地層（例えばＣｒ ） をスパ
ッタ法によシ成膜し、引き続き磁性金属層（例えばＣｏ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系）を同様の方法で成膜した
多層膜からなる磁気記録媒体は、一般によく知られてい
る。このような層構成からなる磁気記録媒体の保磁力を
高くするには、非磁性金属下地層を厚くするか、あるい
は磁性金属層を薄くすれば長い。しかし、非磁性金属下
地層を厚くすると結晶粒が粗大化し、その上にエピタキ
シャル成長する磁性金属層の結晶粒も粗大化してＳ／Ｎ
比が低下する。又、磁性金属層を薄くすると残留磁束密
度（Ｓｒ ）が低下し、出力が不足する問題がある。
ッタ法によシ成膜し、引き続き磁性金属層（例えばＣｏ
−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ系）を同様の方法で成膜した
多層膜からなる磁気記録媒体は、一般によく知られてい
る。このような層構成からなる磁気記録媒体の保磁力を
高くするには、非磁性金属下地層を厚くするか、あるい
は磁性金属層を薄くすれば長い。しかし、非磁性金属下
地層を厚くすると結晶粒が粗大化し、その上にエピタキ
シャル成長する磁性金属層の結晶粒も粗大化してＳ／Ｎ
比が低下する。又、磁性金属層を薄くすると残留磁束密
度（Ｓｒ ）が低下し、出力が不足する問題がある。
本発明者らは鋭意検討した結果、基板上に炭素、アルミ
ニウム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群か
ら選ばれた成分を含む下引き層を設けることによって、
非磁性金属層の結晶粒が微細化し、連続してスパッタさ
れる磁性金属層の結晶粒も微細化して、高密度記録に適
した磁気記録媒体が得られることを見出し、本発明に到
達した。
ニウム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群か
ら選ばれた成分を含む下引き層を設けることによって、
非磁性金属層の結晶粒が微細化し、連続してスパッタさ
れる磁性金属層の結晶粒も微細化して、高密度記録に適
した磁気記録媒体が得られることを見出し、本発明に到
達した。
すなわち、本発明の要旨は、基板上に炭素、アルミニウ
ム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群から選
ばれた成分を含む下引き層を設け、該下引き層の上にＣ
ｒを含む中間層を設け、該中間層の上に磁性層を設けて
なる磁気記録媒体に存する。
ム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群から選
ばれた成分を含む下引き層を設け、該下引き層の上にＣ
ｒを含む中間層を設け、該中間層の上に磁性層を設けて
なる磁気記録媒体に存する。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明で使用する基板は、ＮｉＰメツキを施したアルミ
ニウム合金基板である。ＮｉＰメツキ皮膜は公知の無電
解メツキ法により、アルミニウム合金基板上に２０μｍ
”−，２ｓ ｐｍの膜厚に成膜する。その後、基板表面
を機械研摩により、Ｒａ （中心線平均粗さ）で２０
Ａ〜、？ＯＡに仕上げる。
ニウム合金基板である。ＮｉＰメツキ皮膜は公知の無電
解メツキ法により、アルミニウム合金基板上に２０μｍ
”−，２ｓ ｐｍの膜厚に成膜する。その後、基板表面
を機械研摩により、Ｒａ （中心線平均粗さ）で２０
Ａ〜、？ＯＡに仕上げる。
本発明では、基板上に炭素、アルミニウム、チタン、コ
バルト、銅及びニメブよりなる群から選ばれた成分を含
む下引き層を設ける。具体的には、基板上に炭素、アル
ミニウム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群
から選ばれた成分を含む膜を３０θＡ−！０ＯＯＡ、好
ましく１は！００Ａ Ｓ−３０００ＡＣＤ展厚に成膜す
る。
バルト、銅及びニメブよりなる群から選ばれた成分を含
む下引き層を設ける。具体的には、基板上に炭素、アル
ミニウム、チタン、コバルト、銅及びニオブよりなる群
から選ばれた成分を含む膜を３０θＡ−！０ＯＯＡ、好
ましく１は！００Ａ Ｓ−３０００ＡＣＤ展厚に成膜す
る。
その成膜は、通常行われているスパッタ法により行われ
る。例えば、直流式スパッタ装置又は交流式スパッタ装
置を使用して行い、基板を装着した装置内を予め／ Ｘ
１Ｏ−５ｔｏｒｒ以下に排気し、スパッタリング用ガ
スとしてアルゴンを分圧ｊ Ｘ １０−３〜ＩＩ Ｘ
１０−” ｔｏｒｒ装入し、基板を室温から２００℃ま
での範囲で加熱する。
る。例えば、直流式スパッタ装置又は交流式スパッタ装
置を使用して行い、基板を装着した装置内を予め／ Ｘ
１Ｏ−５ｔｏｒｒ以下に排気し、スパッタリング用ガ
スとしてアルゴンを分圧ｊ Ｘ １０−３〜ＩＩ Ｘ
１０−” ｔｏｒｒ装入し、基板を室温から２００℃ま
での範囲で加熱する。
炭素、アルミニウム、チタン、コバルト、銅およびニオ
ブ等の各ターゲットは高純度であるほうが望ましいが、
他の金属をＯ−Ｓθ原子チ含んでもよい。この下引き層
は、中間層、磁性金属層の結晶粒を微細化させる為に重
要であり、その成膜面は緻密であることが望ましい。
ブ等の各ターゲットは高純度であるほうが望ましいが、
他の金属をＯ−Ｓθ原子チ含んでもよい。この下引き層
は、中間層、磁性金属層の結晶粒を微細化させる為に重
要であり、その成膜面は緻密であることが望ましい。
次に、該下引き層の上にクロムを含む中間層を上記スパ
ッタ法と同一条件において！；００１ｋ。
ッタ法と同一条件において！；００１ｋ。
〜１ｏｏｏｏｈの膜厚で成膜するが、高密度記録に使用
するためには、１０００Ａ−ｊθθｏＡの膜厚が望まし
い。ターゲットはクロムを主成分としたものであり、他
の金属な０−１０原子チ含んでいてもよい。
するためには、１０００Ａ−ｊθθｏＡの膜厚が望まし
い。ターゲットはクロムを主成分としたものであり、他
の金属な０−１０原子チ含んでいてもよい。
次に該中間層の上に磁性金属層を上記スパッタ法と同一
条件において２ｏθＡＡ−コθｏｏｌの膜厚で成膜する
。磁性金属層はコバルトを主成分としたものであり、ニ
ッケル、クロム、白金等の他の金属を含んでいてもよい
。ターゲットとしては、例えば、ＣｏｇＯ原子チーＮｉ
コ０原子チ、Ｃｏ７ダ原子％−Ｎｉｌｔ原子％−Ｃｒｇ
原子チ、ＣｏＡ２．！；原子％−Ｎｉ３０原子％ −Ｃ
ｒ７．３原子チのものが一般的に使用される。
条件において２ｏθＡＡ−コθｏｏｌの膜厚で成膜する
。磁性金属層はコバルトを主成分としたものであり、ニ
ッケル、クロム、白金等の他の金属を含んでいてもよい
。ターゲットとしては、例えば、ＣｏｇＯ原子チーＮｉ
コ０原子チ、Ｃｏ７ダ原子％−Ｎｉｌｔ原子％−Ｃｒｇ
原子チ、ＣｏＡ２．！；原子％−Ｎｉ３０原子％ −Ｃ
ｒ７．３原子チのものが一般的に使用される。
このようにして製造された磁気記録媒体は、下引き属の
ない媒体て比べ、磁性金属層の結晶粒を微細化すること
ができる。
ない媒体て比べ、磁性金属層の結晶粒を微細化すること
ができる。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はその
要旨を越えない限り実施例により限定されるものでは、
ない。
要旨を越えない限り実施例により限定されるものでは、
ない。
実施例１
直流式マグネトロンスパッタ装置によりＮｉＰメツキを
施したアルミニウム合金板上べ、下引き層、中間層、磁
性金属層をアルゴン界囲気下次の条件°で連続スパッタ
した。
施したアルミニウム合金板上べ、下引き層、中間層、磁
性金属層をアルゴン界囲気下次の条件°で連続スパッタ
した。
初期排気 ｌ〜コＸ１０″ｔｏｒｒ
アルゴン分圧 ／ Ｘ ／ ０−２ｔｏｏｒ基板加
熱 なしく室温） 下引き層用ターゲット Ｃｏ（純度？？。９多以上）
中間層用ターゲラ）Ｃｒ（純度９９．９％以上）磁性金
属層用ターゲラ） Ｃｏｑａ原子％−Ｎｉ／ｆ原子
チーＣｒざ原子係 下引き層膜厚 約１０００に 中間層膜厚 約、ｙｏｏｏｌ 磁性金属層膜厚 約 ６００）。
熱 なしく室温） 下引き層用ターゲット Ｃｏ（純度？？。９多以上）
中間層用ターゲラ）Ｃｒ（純度９９．９％以上）磁性金
属層用ターゲラ） Ｃｏｑａ原子％−Ｎｉ／ｆ原子
チーＣｒざ原子係 下引き層膜厚 約１０００に 中間層膜厚 約、ｙｏｏｏｌ 磁性金属層膜厚 約 ６００）。
結果を第１表に示した。
実施例コ
下引き層用ターゲットとして銅（純度背、？チ以上）を
使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。結果を
第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は３Ｊ、ＯｄＢであり、後述
の比較例に比べ八、１−ｄＢ向上した。
使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。結果を
第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は３Ｊ、ＯｄＢであり、後述
の比較例に比べ八、１−ｄＢ向上した。
実施例３
下引き層用ターゲットとしてニオブ（純度９９．９％以
上）を使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。
上）を使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。
結果を第１表に示した。
Ｓ／Ｎ比は３ ｙ、２ ｄＢであり、後述の比較例に比
べ２．７ ｄＢ向上した。
べ２．７ ｄＢ向上した。
実施例グ
下引き層用ターゲットとしてチタン（純度９９．９４以
上）を使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。
上）を使用したこと以外は実施例１と同様に行なった。
結果を第１表に示した。
実施例Ｓ
下引き層用ターゲットとして、アルミニウム（純度９９
．９４以上）を使用したこと以外は実施例／と同様に行
なった。結果を第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は、３１１．
ｔ ｄＢであり、後述の比較例に比べ３．！；ｄＢ向上
した。
．９４以上）を使用したこと以外は実施例／と同様に行
なった。結果を第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は、３１１．
ｔ ｄＢであり、後述の比較例に比べ３．！；ｄＢ向上
した。
実施例６
下引き層用ターゲットとして炭素（純度９？、９？９％
）を使用したこと以外は実施例／と同様に行なった。結
果を第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は１．３３．！；ｄＢで
あり、後述の比較例に比ベコ、ＯｄＢ向上した。
）を使用したこと以外は実施例／と同様に行なった。結
果を第１表に示した。Ｓ／Ｎ比は１．３３．！；ｄＢで
あり、後述の比較例に比ベコ、ＯｄＢ向上した。
比較例／
下引き層を成膜しなかった以外は実施例／と同様に行っ
た。結果を第１表に示す。Ｓ／Ｎ 比は３八よｄＢであ
りた。
た。結果を第１表に示す。Ｓ／Ｎ 比は３八よｄＢであ
りた。
第 ／ 表
第１表に示したよう罠、下引き層を有した場合の磁性金
属層の結晶粒は、下引ぎ層がない場合に比べ微細化して
いる。
属層の結晶粒は、下引ぎ層がない場合に比べ微細化して
いる。
本発明によると、磁性金属層の結晶粒を微細化すること
かできるため、高純度記録に適した磁気記録媒体を提供
することができる。
かできるため、高純度記録に適した磁気記録媒体を提供
することができる。
Claims (1)
- （１）基板上に炭素、アルミニウム、チタン、コバルト
、銅及びニオブよりなる群から選ばれた成分を含む下引
き層を設け、該下引き層の上にクロムを含む中間層を設
け、該中間層の上に磁性層を設けてなる磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63183361A JP2797326B2 (ja) | 1987-10-05 | 1988-07-22 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25091587 | 1987-10-05 | ||
| JP62-250915 | 1987-10-05 | ||
| JP63183361A JP2797326B2 (ja) | 1987-10-05 | 1988-07-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01199314A true JPH01199314A (ja) | 1989-08-10 |
| JP2797326B2 JP2797326B2 (ja) | 1998-09-17 |
Family
ID=26501834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63183361A Expired - Fee Related JP2797326B2 (ja) | 1987-10-05 | 1988-07-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2797326B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6804822B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-10-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using same |
| CN102443405A (zh) * | 2010-10-09 | 2012-05-09 | 中国科学院理化技术研究所 | 用于油气冷凝回收的调峰方法及装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63187416A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-03 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63183361A patent/JP2797326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63187416A (ja) * | 1987-01-29 | 1988-08-03 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6804822B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-10-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus using same |
| CN102443405A (zh) * | 2010-10-09 | 2012-05-09 | 中国科学院理化技术研究所 | 用于油气冷凝回收的调峰方法及装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2797326B2 (ja) | 1998-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |