JPH01201123A - 殺菌線放射照度測定方法および装置 - Google Patents
殺菌線放射照度測定方法および装置Info
- Publication number
- JPH01201123A JPH01201123A JP63026104A JP2610488A JPH01201123A JP H01201123 A JPH01201123 A JP H01201123A JP 63026104 A JP63026104 A JP 63026104A JP 2610488 A JP2610488 A JP 2610488A JP H01201123 A JPH01201123 A JP H01201123A
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- JP
- Japan
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- irradiance
- wavelength
- germicidal
- absolute
- radiation
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/429—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to measurement of ultraviolet light
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
水銀ランプから得られる波長２５３．７ｎｍの水銀輝線
は、従来から殺菌放射源として広く利用されている。ま
た、近年この放射は、その有機科学分解効果を利用した
半導体洗浄や印刷の分野における高速乾燥など、幅広く
利用されるようになり、それぞれの用途に応じた放射源
の開発がさかんにおこなわれるようになった。このため
、この波長２５３．７ｎｍの水銀輝線の放射量を精度良
く測定する技術が要求されている。本発明は、この波長
２５３．７ｎｍの水銀輝線の放射量を精度良く測定する
殺菌線放射照度測定方法および装置に関するものである
。
は、従来から殺菌放射源として広く利用されている。ま
た、近年この放射は、その有機科学分解効果を利用した
半導体洗浄や印刷の分野における高速乾燥など、幅広く
利用されるようになり、それぞれの用途に応じた放射源
の開発がさかんにおこなわれるようになった。このため
、この波長２５３．７ｎｍの水銀輝線の放射量を精度良
く測定する技術が要求されている。本発明は、この波長
２５３．７ｎｍの水銀輝線の放射量を精度良く測定する
殺菌線放射照度測定方法および装置に関するものである
。
従来の技術
波長２５３．７ｎｍ放射の絶対量に関しては、国家標準
がないため、これまでこの種の測定には、熱形検出器（
主にサーモパイル）とフィルタを組み合わせた方法によ
る測定が行なわれている。（中周はか： 「２５３．７
ｎｍ放射照度（殺菌放射照度）値付け、照明学会誌 ７
ｌ−１０（昭和６２年）６４６）発明が解決しようとす
る課題 熱形検出器は、応答度が低く、周囲の擾乱による出力変
動が大きいため測定精度が低い。また、放ＯＯ射の絶対
量の値付けは、基本的には国際温度目盛にもとすく黒体
放射を一次標準とし、それから二次標準として全放射ｊ
７４度標準電球や高度標準電球に値を移し、その二次標
準を使って熱形検出器（主にサーモパイル）とフィルタ
を組み合わせた方法ｔこよる測定で、波長２５３．７ｎ
ｍ故射の絶対量を測定する。したがって、−次標準から
の値のトレースによる測定誤差の蓄積を考えると、実用
的な絶対測定の方法としては問題がある。
がないため、これまでこの種の測定には、熱形検出器（
主にサーモパイル）とフィルタを組み合わせた方法によ
る測定が行なわれている。（中周はか： 「２５３．７
ｎｍ放射照度（殺菌放射照度）値付け、照明学会誌 ７
ｌ−１０（昭和６２年）６４６）発明が解決しようとす
る課題 熱形検出器は、応答度が低く、周囲の擾乱による出力変
動が大きいため測定精度が低い。また、放ＯＯ射の絶対
量の値付けは、基本的には国際温度目盛にもとすく黒体
放射を一次標準とし、それから二次標準として全放射ｊ
７４度標準電球や高度標準電球に値を移し、その二次標
準を使って熱形検出器（主にサーモパイル）とフィルタ
を組み合わせた方法ｔこよる測定で、波長２５３．７ｎ
ｍ故射の絶対量を測定する。したがって、−次標準から
の値のトレースによる測定誤差の蓄積を考えると、実用
的な絶対測定の方法としては問題がある。
課題を解決するための手段
上記の課題を解決するために、応答１度が高く、安定で
大出力直線性に優れたシリコンフォトダイオードを、自
己校正法により波長２５３．７ｎｍの絶対応答度の値付
けをおこない、これと精密アパーチャとを組み合わせた
受光器により、水銀輝線光源とｔｉ長２５３．７ｎｍに
のみ透過帯域を持つ帯域フィルタとを組み合わせた２５
３．７ｎｍ故射源から、ある距離ｄにおける絶対放射Ｉ
Ｋｔ度を逆校正し、その逆校正した放射照度の値から、
殺菌線放射照度計の目盛を校正する方法である。
大出力直線性に優れたシリコンフォトダイオードを、自
己校正法により波長２５３．７ｎｍの絶対応答度の値付
けをおこない、これと精密アパーチャとを組み合わせた
受光器により、水銀輝線光源とｔｉ長２５３．７ｎｍに
のみ透過帯域を持つ帯域フィルタとを組み合わせた２５
３．７ｎｍ故射源から、ある距離ｄにおける絶対放射Ｉ
Ｋｔ度を逆校正し、その逆校正した放射照度の値から、
殺菌線放射照度計の目盛を校正する方法である。
作用
上記の方法によって、応答度が高く、安定で大出力直線
性に優れたシリコンフォトダイオードを自己校正法によ
り、波長２５３．７ｎｍの絶対応答度の値付けをおこな
なうことにより、安定性、再現性を維持することが難し
い電球などの放射源を標準として使用することもなく、
また、標準からの値のトレースによる測定誤差の蓄積も
小さいため、放射照度の絶対値の精度が十分高いものが
得られる。また、熱形検出器に比べ応答度が高く安定で
大出力直線性に優れたシリコンフォトダイオードを、殺
菌線放射照度計として構成するため、実用りきわめて安
定な殺菌線の放射照度の測定が可能となる。
性に優れたシリコンフォトダイオードを自己校正法によ
り、波長２５３．７ｎｍの絶対応答度の値付けをおこな
なうことにより、安定性、再現性を維持することが難し
い電球などの放射源を標準として使用することもなく、
また、標準からの値のトレースによる測定誤差の蓄積も
小さいため、放射照度の絶対値の精度が十分高いものが
得られる。また、熱形検出器に比べ応答度が高く安定で
大出力直線性に優れたシリコンフォトダイオードを、殺
菌線放射照度計として構成するため、実用りきわめて安
定な殺菌線の放射照度の測定が可能となる。
実施例
本発明の一実施例を図面を使って説明する。ｐｎ接合シ
リコンフォトダイオードには、量子効率を低下させる要
因とし５１０２とＳｉ表面との境界面、ｎ領域における
再結合、およびｎ領域における再結合の各損失が主に考
えられ、各、全子効０’ｌＥ０、Ｅａ、Ｅ、は１になら
ない。これらの量子効率を測定することによりシリコン
フォトダイオードの絶対応答度を自己校正することがで
きる。
リコンフォトダイオードには、量子効率を低下させる要
因とし５１０２とＳｉ表面との境界面、ｎ領域における
再結合、およびｎ領域における再結合の各損失が主に考
えられ、各、全子効０’ｌＥ０、Ｅａ、Ｅ、は１になら
ない。これらの量子効率を測定することによりシリコン
フォトダイオードの絶対応答度を自己校正することがで
きる。
（Ｅａは１に非常に近く、適切な測定方法がないのでこ
こでは考えない、）ある波長λにおけるシリコンフォト
ダイオードの内部量子効率Ｅ（λ）は次のように表せる
。
こでは考えない、）ある波長λにおけるシリコンフォト
ダイオードの内部量子効率Ｅ（λ）は次のように表せる
。
Ｅ（λ）＝Ｅ０（λ）Ｅ、（λ）
／（１−［１−Ｅ ｏ（λ）１［１−Ｅ、（λ）］）あ
る波長人における放射に対する絶対応答度Ｒ（λ）は、 Ｒ（λ）＝［ｌ−ρ（λ）コＥ（λ）λ／ＫＫ ＝ｅ／
ｈ−ｃ−１．２３９８５［ｕｍ−Ｗ／ Ａ ］ρ（λ）
：Ｓｉ表面の波長λに対する反射率そこで、波長６３２
．８ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザーを使用して、ρ（λ）Ｓ
ｉ表面の鏡面反射成分を測定して求め、Ｅｏ（λ）は水
電極法により求め、Ｅ、（λ）は逆バイアス法により求
める。
る波長人における放射に対する絶対応答度Ｒ（λ）は、 Ｒ（λ）＝［ｌ−ρ（λ）コＥ（λ）λ／ＫＫ ＝ｅ／
ｈ−ｃ−１．２３９８５［ｕｍ−Ｗ／ Ａ ］ρ（λ）
：Ｓｉ表面の波長λに対する反射率そこで、波長６３２
．８ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザーを使用して、ρ（λ）Ｓ
ｉ表面の鏡面反射成分を測定して求め、Ｅｏ（λ）は水
電極法により求め、Ｅ、（λ）は逆バイアス法により求
める。
次に、シリコンフォトダイオードの相対分光応答度を波
長６３２．８ｎｍと２５３．７ｎｍとで測定する。この
とき分光応答度標準は、応答度が波長依存性のない熱形
検出器を使用する。上記の測定により波長２５３、７ｎ
ｍにおけるシリコンフォトダイオードの絶対応答度が得
られる。
長６３２．８ｎｍと２５３．７ｎｍとで測定する。この
とき分光応答度標準は、応答度が波長依存性のない熱形
検出器を使用する。上記の測定により波長２５３、７ｎ
ｍにおけるシリコンフォトダイオードの絶対応答度が得
られる。
第１図に、波長２５３．７ｎｍの単一輝線放射源の逆校
正の光学系を示す。図において殺菌灯１と波長２５３．
７ｎｍ付近にのみ透過帯をもつ第１の干渉フィルタ２と
組み合わせて、波長２５３．７ｎｍの単一輝線放射源を
つくり、自己校正法により絶対応答度を求めたシリコン
フォトダイオード３と、面積のわかっている精密アパー
チャ４により、前記単一ｎ線放射源から距離ｄの点にお
ける放射照度を値づけする。
正の光学系を示す。図において殺菌灯１と波長２５３．
７ｎｍ付近にのみ透過帯をもつ第１の干渉フィルタ２と
組み合わせて、波長２５３．７ｎｍの単一輝線放射源を
つくり、自己校正法により絶対応答度を求めたシリコン
フォトダイオード３と、面積のわかっている精密アパー
チャ４により、前記単一ｎ線放射源から距離ｄの点にお
ける放射照度を値づけする。
第２図に、殺菌線（波長２５３．７ｎｍの単一輝Ｕ）放
射照度計の構造を示す０図において波長２５３．７ｎｍ
付近にのみ透過帯をもつ第２の干渉フィルタ５を、前記
精密アパーチャ４と前記シリコンフォトダイオード３と
の間に挿入したものである。この殺菌線放射照度計を、
前記単一輝線放射源から距離ｄの点において値づけられ
だ放射照度をつかつ０て絶対応答度（ＡＷ−’ｍ”）を
値づけする。
射照度計の構造を示す０図において波長２５３．７ｎｍ
付近にのみ透過帯をもつ第２の干渉フィルタ５を、前記
精密アパーチャ４と前記シリコンフォトダイオード３と
の間に挿入したものである。この殺菌線放射照度計を、
前記単一輝線放射源から距離ｄの点において値づけられ
だ放射照度をつかつ０て絶対応答度（ＡＷ−’ｍ”）を
値づけする。
これによって、殺菌線放射照度の精度の高い測定が可能
となる。
となる。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明によって、応答度が高く
、安定で入出力直線性に優れたシリコンフォトダイオー
ドを 自己校正法により、波入２５３．７ｎｍの絶対応
答度の値付けをおこななうことにより、安定性、再現性
を維持することが難しい電球などの放射源を標準として
使用することもなく、また、標準からの値のトレースに
よる測定誤差の蓄積も小さいため、放射照度の絶対値の
精度が十分高いものが得られる。また、熱形検出器に比
べ応答度が高く安定で入出力直線性に優れたシリコンフ
ォトダイオードを、殺菌線放射照度計として構成するた
め、実用上きわめて安定な殺菌線の放射照度の測定が可
能となる。
、安定で入出力直線性に優れたシリコンフォトダイオー
ドを 自己校正法により、波入２５３．７ｎｍの絶対応
答度の値付けをおこななうことにより、安定性、再現性
を維持することが難しい電球などの放射源を標準として
使用することもなく、また、標準からの値のトレースに
よる測定誤差の蓄積も小さいため、放射照度の絶対値の
精度が十分高いものが得られる。また、熱形検出器に比
べ応答度が高く安定で入出力直線性に優れたシリコンフ
ォトダイオードを、殺菌線放射照度計として構成するた
め、実用上きわめて安定な殺菌線の放射照度の測定が可
能となる。
第１図は本発明の殺菌線放射照度測定方法説明のだめの
光学系を示す図、第２図は本発明の一実施例における殺
菌線放射照度測定装置の断側面図である。 １１０．殺菌灯、２００．第１の干渉フィルタ、３００
．シリコンフォトダイオード、４００．精密アパーチャ
５１１．第２の干渉フィルタ
光学系を示す図、第２図は本発明の一実施例における殺
菌線放射照度測定装置の断側面図である。 １１０．殺菌灯、２００．第１の干渉フィルタ、３００
．シリコンフォトダイオード、４００．精密アパーチャ
５１１．第２の干渉フィルタ
Claims (2)
- （１）自己校正法により、波長２５３．７ｎｍの絶対応
答度の値付けをおこなったシリコンフォトダイオードと
精密アパーチャとを組み合わせた受光器により、水銀輝
線光源と波長２５３．７ｎｍ付近にのみ透過帯域を持つ
帯域フィルタとを組み合わせた２５３．７ｎｍ放射源か
ら、ある距離ｄにおける絶対放射照度を逆校正し、その
逆校正した放射照度の値から、殺菌線放射照度計の指示
目盛を校正する殺菌線放射照度測定方法。 - （２）特許請求の範囲第１項記載の方法により絶対放射
照度に対する指示目盛を校正したシリコンフォトダイオ
ードと、波長２５３．７ｎｍにのみ透過帯域を持つ帯域
フィルタと、精密アパーチャとを組み合わせた殺菌線放
射照度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026104A JPH0638056B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 殺菌線放射照度測定方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026104A JPH0638056B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 殺菌線放射照度測定方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01201123A true JPH01201123A (ja) | 1989-08-14 |
| JPH0638056B2 JPH0638056B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=12184287
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63026104A Expired - Lifetime JPH0638056B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 殺菌線放射照度測定方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638056B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780670A1 (en) * | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Shimadzu Corporation | Spectrophotometers and colorimeters |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110823364A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-02-21 | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 | 一种强光照度计定标装置及定标方法 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63026104A patent/JPH0638056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0780670A1 (en) * | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Shimadzu Corporation | Spectrophotometers and colorimeters |
| US5751420A (en) * | 1995-12-21 | 1998-05-12 | Shimadzu Corporation | Spectropotometer with a field restrictor and its application to a colorimeter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638056B2 (ja) | 1994-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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