JPH01201814A - 超電導磁気ヘッド - Google Patents
超電導磁気ヘッドInfo
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- JPH01201814A JPH01201814A JP2544288A JP2544288A JPH01201814A JP H01201814 A JPH01201814 A JP H01201814A JP 2544288 A JP2544288 A JP 2544288A JP 2544288 A JP2544288 A JP 2544288A JP H01201814 A JPH01201814 A JP H01201814A
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- Japan
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- magnetic
- superconducting
- layer
- squid
- yoke
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/332—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
- G11B5/11—Shielding of head against electric or magnetic fields
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- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超電導材料より形成きれるスクイラド素子を利
用した磁気ヘッドに関するものである。
用した磁気ヘッドに関するものである。
情報を記録又は記憶する装置として、磁気記録はきわめ
て重要な役割を担っている。特ＫＶＴＲ，カセットテー
プレコーダ、フロッピーディスク装置、コンピュータ用
ハードディスク装置等の装置においてその重要性は著し
いものがある。また磁気記録または再生を行う装置にお
いて、磁気ヘッドは媒体と共に必須のコンポーネントで
あシ、その良否はそのまま装置性能を左右するものであ
る。
て重要な役割を担っている。特ＫＶＴＲ，カセットテー
プレコーダ、フロッピーディスク装置、コンピュータ用
ハードディスク装置等の装置においてその重要性は著し
いものがある。また磁気記録または再生を行う装置にお
いて、磁気ヘッドは媒体と共に必須のコンポーネントで
あシ、その良否はそのまま装置性能を左右するものであ
る。
磁気ヘッドはリング型の磁性材料に、巻線を施されたも
のが一般的である。これは記録、再生、消去のいずれの
ヘッドについてもほぼ共通している。大きさは記録また
は再生を行う信号の周波数と共に変化し、オーディオレ
コーダ用としてはトラック幅数百ミクロンで１０ミリ角
の面積のヘッド、ビデオレコーダ用としては、それぞれ
数十ミクロン、約２非角のもの、高速コンピュータ用ハ
ードディスク装置用としては数十ミクロン、数１００μ
ｍ角の断面積のものが一般的である。
のが一般的である。これは記録、再生、消去のいずれの
ヘッドについてもほぼ共通している。大きさは記録また
は再生を行う信号の周波数と共に変化し、オーディオレ
コーダ用としてはトラック幅数百ミクロンで１０ミリ角
の面積のヘッド、ビデオレコーダ用としては、それぞれ
数十ミクロン、約２非角のもの、高速コンピュータ用ハ
ードディスク装置用としては数十ミクロン、数１００μ
ｍ角の断面積のものが一般的である。
磁記紀録装置をより大容量にするために、記録密度を向
上させる研究開発は、これまで精力的に行なわれて来た
。これまでの研究の結果、記録は、かなりの高密度（０
，２５μｍ／ｂｉｔ ）になることは知られている。ま
た消去方法についても、技術的問題はないと考えられて
いる。
上させる研究開発は、これまで精力的に行なわれて来た
。これまでの研究の結果、記録は、かなりの高密度（０
，２５μｍ／ｂｉｔ ）になることは知られている。ま
た消去方法についても、技術的問題はないと考えられて
いる。
高密度高速動作のために、開発された従来の磁気ヘッド
として薄膜磁気ヘッドが挙げられる。これはヨーク・電
極材を薄膜堆積手段と、フォトリングラフィ技術によっ
て、製造するものでヘッドチップの小型化が図れ、共振
周波数を高くすることができ、高密度化高速化、高効率
化が実現できた。第４図に２トラツク（２チヤンネル）
の従来の薄膜磁気ヘッドの構造例を示す。１は基板、２
は下部磁性ヨーク、３は上部磁性ヨーク、４は磁気ギャ
ップ、５は電極を示す。この種の磁気ヘッドは磁性ヨー
クを小型化することによる効率アップによって出力が、
バルクタイプのリング形磁気ヘッドよシ２〜５ｄＢアッ
プさせることが可能となっている。現状の薄膜ヘッドの
一例としてビデオ信号用２チヤンネルヘツドの性能の例
を示すと次のようになる。
として薄膜磁気ヘッドが挙げられる。これはヨーク・電
極材を薄膜堆積手段と、フォトリングラフィ技術によっ
て、製造するものでヘッドチップの小型化が図れ、共振
周波数を高くすることができ、高密度化高速化、高効率
化が実現できた。第４図に２トラツク（２チヤンネル）
の従来の薄膜磁気ヘッドの構造例を示す。１は基板、２
は下部磁性ヨーク、３は上部磁性ヨーク、４は磁気ギャ
ップ、５は電極を示す。この種の磁気ヘッドは磁性ヨー
クを小型化することによる効率アップによって出力が、
バルクタイプのリング形磁気ヘッドよシ２〜５ｄＢアッ
プさせることが可能となっている。現状の薄膜ヘッドの
一例としてビデオ信号用２チヤンネルヘツドの性能の例
を示すと次のようになる。
即ち、再生出力は８９μＶｒｍＳ、ノイズば８９ｎＶｒ
ｍｓ （△ｆ ＝ １０ ＫＨｚ ）、Ｃ／Ｎば６．０
ｄＢ、トラック幅は６０μｍ、最端波長は０．８μｍ、
最高周波数は７ＭＨｚ、相対速度は５．５ｍ／ｓｅｅ、
使用可能な塗布型メタル媒体はＨｃが１４５゜θｅで、
Ｂｒが２５００Ｇのものである。
ｍｓ （△ｆ ＝ １０ ＫＨｚ ）、Ｃ／Ｎば６．０
ｄＢ、トラック幅は６０μｍ、最端波長は０．８μｍ、
最高周波数は７ＭＨｚ、相対速度は５．５ｍ／ｓｅｅ、
使用可能な塗布型メタル媒体はＨｃが１４５゜θｅで、
Ｂｒが２５００Ｇのものである。
この時１波長２ビツトと考えられるので、ＩＢｉｔ当り
２４μｍ２の面積となる。再生出方は面積に比例し、ノ
イズは面積の平方根に比例することを考えると、光記録
の１ビット２．５誦 と同一の記録密度での出力は９．
５μＶｒｍｓ、ノイズは２９ ｎＶｒｍｓ 、 Ｃ／
Ｎは５０ｄＢ（△ｆ＝１０ＫＨ２）となる。この時のノ
イズレベル２９ｎｖｒｍｓ （△ｆ＝ｌＱＫＨｚ）はヘ
ッドのプリアンプのノイズレベルや薄膜ヘッド自身のも
つインピーダンスノイズよりも低いことは各種測定結果
より明らかになっている。従って、ここで用いられてい
る塗布型メタル媒体自身にこれだけのＣ／Ｎを得る潜在
能力がある。
２４μｍ２の面積となる。再生出方は面積に比例し、ノ
イズは面積の平方根に比例することを考えると、光記録
の１ビット２．５誦 と同一の記録密度での出力は９．
５μＶｒｍｓ、ノイズは２９ ｎＶｒｍｓ 、 Ｃ／
Ｎは５０ｄＢ（△ｆ＝１０ＫＨ２）となる。この時のノ
イズレベル２９ｎｖｒｍｓ （△ｆ＝ｌＱＫＨｚ）はヘ
ッドのプリアンプのノイズレベルや薄膜ヘッド自身のも
つインピーダンスノイズよりも低いことは各種測定結果
より明らかになっている。従って、ここで用いられてい
る塗布型メタル媒体自身にこれだけのＣ／Ｎを得る潜在
能力がある。
しかし、５ Ｑ ｄＢのＣ／Ｎでこれだけの高密度を実
現することはできない。この光記録と同一の記録密度を
再生するためには薄膜ヘッドは直流抵抗を増加させない
で、約３０ターンにしなければならないが、この場合１
ターン当りの効率の低下、インピーダンスの増加による
共振周波数の低下、フォトリソ工程の増加と歩留り低下
を招く結果となる。またマルチトラックが難かしくなる
という欠点も顕在化する。バルク型のヘッドの場合にけ
６０ターンもの巻数となり、巻窓の増大、共振周波数の
低下による駆動、周波数の低下などがあり、６０ターン
は７ＭＨｚ帯域では現実的ではない。
現することはできない。この光記録と同一の記録密度を
再生するためには薄膜ヘッドは直流抵抗を増加させない
で、約３０ターンにしなければならないが、この場合１
ターン当りの効率の低下、インピーダンスの増加による
共振周波数の低下、フォトリソ工程の増加と歩留り低下
を招く結果となる。またマルチトラックが難かしくなる
という欠点も顕在化する。バルク型のヘッドの場合にけ
６０ターンもの巻数となり、巻窓の増大、共振周波数の
低下による駆動、周波数の低下などがあり、６０ターン
は７ＭＨｚ帯域では現実的ではない。
このように現状の記録媒体には記憶保持能力があるにも
かかわらず、高密度記録における再生ヘッドがないとい
う問題があった。他方従来ヘッドのコイル巻数を増加さ
せれば、原理的には再生感度は向上するものの、以下の
如き難点がでてくる。まず共振周波数が低下し、使用帯
域が狭くなり、実用的ではなくなること。次にコイル窓
の増大により、ヘッド効率が低下し、思うような８Ｎ比
が得られないこと。また巻線数が多いために、外来ノイ
ズに弱くなること。更には歩留りが悪くなること、薄膜
ヘッドの特長であるマルチトラックが難しくなること、
等が励起されてしまう。
かかわらず、高密度記録における再生ヘッドがないとい
う問題があった。他方従来ヘッドのコイル巻数を増加さ
せれば、原理的には再生感度は向上するものの、以下の
如き難点がでてくる。まず共振周波数が低下し、使用帯
域が狭くなり、実用的ではなくなること。次にコイル窓
の増大により、ヘッド効率が低下し、思うような８Ｎ比
が得られないこと。また巻線数が多いために、外来ノイ
ズに弱くなること。更には歩留りが悪くなること、薄膜
ヘッドの特長であるマルチトラックが難しくなること、
等が励起されてしまう。
本発明は、スクイツド素子を用いることによシ、低ノイ
ズ化をはかり、現状のメタル塗布型磁気媒体に記録され
た高密度な磁気信号例えば光記録の１０倍の密度の信号
を再生できる磁気ヘッドを提供しようとするものである
。
ズ化をはかり、現状のメタル塗布型磁気媒体に記録され
た高密度な磁気信号例えば光記録の１０倍の密度の信号
を再生できる磁気ヘッドを提供しようとするものである
。
かかる目的下に於いて本発明によれば下部磁性層と、該
下部磁性層上に配された下部超電導層と、該下部超電導
層上に配され前記下部磁性層と共に前記下部超電導層の
回りにリング状磁気コアを構成する上部磁性層と、該上
部磁性層上に配され前記下部超電導層と共にスクイツド
素子を形成する上部超電導層と該上部超電導層と導通さ
れた信号引出用導電部とを有する超電導磁気ヘッドが提
示される。
下部磁性層上に配された下部超電導層と、該下部超電導
層上に配され前記下部磁性層と共に前記下部超電導層の
回りにリング状磁気コアを構成する上部磁性層と、該上
部磁性層上に配され前記下部超電導層と共にスクイツド
素子を形成する上部超電導層と該上部超電導層と導通さ
れた信号引出用導電部とを有する超電導磁気ヘッドが提
示される。
スクイツド素子はわずかな磁束変化に対して電圧変化を
生じるため、極めて高い再生感度が得られ、極めて高い
記録密度の磁気記録についてもその再生が可能となった
。
生じるため、極めて高い再生感度が得られ、極めて高い
記録密度の磁気記録についてもその再生が可能となった
。
本発明の実施例について説明する前に、スクイラド素子
（５ＱＵＩＤ ）について簡単に説明しておく。
（５ＱＵＩＤ ）について簡単に説明しておく。
超電導体を薄い絶縁層（数ｎｍ）を介して接触させると
、両者の干渉電流が観測される。
、両者の干渉電流が観測される。
この接触部分をジョセフソン接合という。半円弧状の超
電導体２つをリング状に接続し、その接続個所にジョセ
フソン接合を用いて、かつ、そのジョセフソン接合部に
電圧を印加しうるようにした素子をｄｃ−スクイツド素
子という。この場合、リング状の部分の磁束がわずかで
も変化すると、電圧変化となってあられれる。検出感度
は３Ｘ１０−５φ０／〜４■−１φａ＝ ２．０７ ｘ
ｌ Ｏ−１５ｗｂときわメチ高い。
電導体２つをリング状に接続し、その接続個所にジョセ
フソン接合を用いて、かつ、そのジョセフソン接合部に
電圧を印加しうるようにした素子をｄｃ−スクイツド素
子という。この場合、リング状の部分の磁束がわずかで
も変化すると、電圧変化となってあられれる。検出感度
は３Ｘ１０−５φ０／〜４■−１φａ＝ ２．０７ ｘ
ｌ Ｏ−１５ｗｂときわメチ高い。
第１図は本発明の第１実施例としての磁気ヘッドの構造
を示す図である。本図において１０はＭ ｎ Ｚ ｎフ
ェライトなどからなる下部磁性層としての磁性基板、１
１は磁気信号を通すための上部磁性層としての磁気ヨー
ク、１２は上部超電導層としての超電導薄膜でできたス
クイツド構成膜、１３は磁性基板に作られ溝に埋めこま
れた下部超電導層としての超電導材料である。超電導材
料１３とスクイツド構成膜は磁気ヨーク１１を周回する
ように構成され、両者は１４ａ、１４ｂで薄い絶縁層（
１０〜５０Ａ）を介して、ジョセフソン結合している。
を示す図である。本図において１０はＭ ｎ Ｚ ｎフ
ェライトなどからなる下部磁性層としての磁性基板、１
１は磁気信号を通すための上部磁性層としての磁気ヨー
ク、１２は上部超電導層としての超電導薄膜でできたス
クイツド構成膜、１３は磁性基板に作られ溝に埋めこま
れた下部超電導層としての超電導材料である。超電導材
料１３とスクイツド構成膜は磁気ヨーク１１を周回する
ように構成され、両者は１４ａ、１４ｂで薄い絶縁層（
１０〜５０Ａ）を介して、ジョセフソン結合している。
１５は電流通電と信号とり出し用のための端子で、超電
導材料、又は通常の導電材料（Ｃｕ 、ＡＰ 、Ａｕ
、 ｋｌなど）の薄膜テする。本図では２トラツクの（
２チヤンネル）例を示したが、図かられかる如く、構造
が簡単でマルチトラック（マルチチャンネル）化が容易
であることがわかる。端子１５から通電された電流は接
地された共通電極１６を通って回路を構成することにな
る。マルチトラックヘッドの場合、超電導材料１３と、
端子１６は共通となる。本図において、磁気ヨーク１１
と磁性基板１０はリングコアを構成し、超電導材料１３
とスクイツド構成膜１２とでスクイツド素子構成する。
導材料、又は通常の導電材料（Ｃｕ 、ＡＰ 、Ａｕ
、 ｋｌなど）の薄膜テする。本図では２トラツクの（
２チヤンネル）例を示したが、図かられかる如く、構造
が簡単でマルチトラック（マルチチャンネル）化が容易
であることがわかる。端子１５から通電された電流は接
地された共通電極１６を通って回路を構成することにな
る。マルチトラックヘッドの場合、超電導材料１３と、
端子１６は共通となる。本図において、磁気ヨーク１１
と磁性基板１０はリングコアを構成し、超電導材料１３
とスクイツド構成膜１２とでスクイツド素子構成する。
この素子に電流を流すことにより端子１５に、磁性ヨー
ク１１の磁束φに応じて電圧変化があられれる。その様
子を第２図に示す。この図で示すようにφ０を周期とし
て電圧変化があられれる。φ０は磁束量子とよばれ、２
．０７ ｘ １ ｏ−１５ｗｂという磁束量である。従
ってどのような大きな磁束も、この電圧変化のピークを
カウントすればφ０のレベルで測定可能であり、周期φ
０の範囲であれば１０−５φＯ／ｊ「の分解能を一般的
に持つ。発明者等の研究によると塗布型メタル磁気媒体
は、光記録の面積２．５μｍ２から、約２２φ０の磁束
が発生しており、上記電圧分解能で十分検知可能である
ことがわかる。さらに光記録の１０倍の密度になっても
十分な分解能をもつことが理解される。本発明において
、この実施例で示した超電導材料はＬａＢａ２Ｃｕ３０
７；ＹＢａ２ＣｕＯ７のセラミックあるいはこれらＫＳ
ｒをドープしたもの、更に、Ｙ−８ｃ −Ｂａ−８ｒ
−Ｃｕ −Ｍｎ −０系のセラミック、また上記セラミ
ック系に希土類元素を加えたもの及び配素にフッ素を加
えたセラミックを使用する。これらのセラミックは常温
で超電導を示すので、常温動作のスクイツド素子なり、
高感度再生ヘッドが作られる。また常温動作する超電導
材料なら、特別限定はない。低温動作の超電導体であれ
ば、冷却装置を必要とすることはいうまでもない。この
ような構造においては全体の工程が少ないので、多数回
巻線を施した薄膜ヘッド（例えば第４図に示したもの）
より、はるかに簡単に製造することができ、マルチトラ
ック化も容易になる。かつ、マルチトラック化した場合
のクロストークは、ヨークの磁性体の大へさて決まるの
で、クロストーク低減も容易となる。
ク１１の磁束φに応じて電圧変化があられれる。その様
子を第２図に示す。この図で示すようにφ０を周期とし
て電圧変化があられれる。φ０は磁束量子とよばれ、２
．０７ ｘ １ ｏ−１５ｗｂという磁束量である。従
ってどのような大きな磁束も、この電圧変化のピークを
カウントすればφ０のレベルで測定可能であり、周期φ
０の範囲であれば１０−５φＯ／ｊ「の分解能を一般的
に持つ。発明者等の研究によると塗布型メタル磁気媒体
は、光記録の面積２．５μｍ２から、約２２φ０の磁束
が発生しており、上記電圧分解能で十分検知可能である
ことがわかる。さらに光記録の１０倍の密度になっても
十分な分解能をもつことが理解される。本発明において
、この実施例で示した超電導材料はＬａＢａ２Ｃｕ３０
７；ＹＢａ２ＣｕＯ７のセラミックあるいはこれらＫＳ
ｒをドープしたもの、更に、Ｙ−８ｃ −Ｂａ−８ｒ
−Ｃｕ −Ｍｎ −０系のセラミック、また上記セラミ
ック系に希土類元素を加えたもの及び配素にフッ素を加
えたセラミックを使用する。これらのセラミックは常温
で超電導を示すので、常温動作のスクイツド素子なり、
高感度再生ヘッドが作られる。また常温動作する超電導
材料なら、特別限定はない。低温動作の超電導体であれ
ば、冷却装置を必要とすることはいうまでもない。この
ような構造においては全体の工程が少ないので、多数回
巻線を施した薄膜ヘッド（例えば第４図に示したもの）
より、はるかに簡単に製造することができ、マルチトラ
ック化も容易になる。かつ、マルチトラック化した場合
のクロストークは、ヨークの磁性体の大へさて決まるの
で、クロストーク低減も容易となる。
第３図は本発明の第２の実施例としての磁気ヘッドの構
成を示す図である。第１図では磁性基板１０に溝を作り
、超電導材で埋めていたが、第３図では、成膜７オトリ
ングラフイ技術によって超電導部材２０を基板１０上に
成膜する。またこの超電導部材は基板１０とヨーク１１
の間にあって磁気ギャップを形成していることも特徴で
ある。このような形状の場合、あらかじめ基板加工が不
要で基板の溝位置とは関係なくフォトリソ工程を経て製
作可能なこと、及び磁気ギャップ部に超電導材が存在す
ることによってヘッドの再生効率が向上することなどの
特長ができる。また第２図の実施例では、超電導層Ｍ１
２に電気的に接続されている電流通電、信号検出のため
の端子１５が超電導薄膜と同一材によシ同−工程で作ら
れている。これに伴い第１図のヘッドにくらベニ程数が
減り、コスト低減が可能となる。
成を示す図である。第１図では磁性基板１０に溝を作り
、超電導材で埋めていたが、第３図では、成膜７オトリ
ングラフイ技術によって超電導部材２０を基板１０上に
成膜する。またこの超電導部材は基板１０とヨーク１１
の間にあって磁気ギャップを形成していることも特徴で
ある。このような形状の場合、あらかじめ基板加工が不
要で基板の溝位置とは関係なくフォトリソ工程を経て製
作可能なこと、及び磁気ギャップ部に超電導材が存在す
ることによってヘッドの再生効率が向上することなどの
特長ができる。また第２図の実施例では、超電導層Ｍ１
２に電気的に接続されている電流通電、信号検出のため
の端子１５が超電導薄膜と同一材によシ同−工程で作ら
れている。これに伴い第１図のヘッドにくらベニ程数が
減り、コスト低減が可能となる。
以上説明した様に本発明の超電導磁気ヘッドによれば、
極めて高い再生感度が得られるため、極めて高密度の磁
気記録に対してもその再生が可能となった。また巻線パ
ターンが少なくて済むので外来雑音に強く製造工程が簡
略化できる。更に構造が簡単であるためマルチチャンネ
ル化が容易である等の効果が得られる。
極めて高い再生感度が得られるため、極めて高密度の磁
気記録に対してもその再生が可能となった。また巻線パ
ターンが少なくて済むので外来雑音に強く製造工程が簡
略化できる。更に構造が簡単であるためマルチチャンネ
ル化が容易である等の効果が得られる。
第１図は本発明の第１の実施例としてのヘッドの構成を
示す図、 第２図は第１図のヘッドの出力特性を説明するための図
、 第３図は本発明の第２の実施例としてのヘッドの構成を
示す図、 第４図は従来の薄膜磁気ヘッドの構成例を示す図である
う 図中、１０は下部磁性層としての磁性基板、１１は上部
磁性層としての磁気ヨーク、１２は上部超電導層として
の超電導膜、１３は下部超電導層としての超電導材、１
５は信号引出部としての導電端子である。
示す図、 第２図は第１図のヘッドの出力特性を説明するための図
、 第３図は本発明の第２の実施例としてのヘッドの構成を
示す図、 第４図は従来の薄膜磁気ヘッドの構成例を示す図である
う 図中、１０は下部磁性層としての磁性基板、１１は上部
磁性層としての磁気ヨーク、１２は上部超電導層として
の超電導膜、１３は下部超電導層としての超電導材、１
５は信号引出部としての導電端子である。
Claims (5)
- （１）下部磁性層と、該下部磁性層上に配された下部超
電導層と、該下部超電導層上に配 され前記下部磁性層と共に前記下部超電導 層の回りにリング状磁気コアを構成する上 部磁性層と、該上部磁性層上に配され前記 下部超電導層と共にスクイツド素子を形成 する上部超電導層と、該上部超電導層と導 通された信号引出用導電部とを有する超電 導磁気ヘッド。 - （２）前記信号引出用導電部が超電導材よりなる特許請
求の範囲第（１）項記載の超電導 磁気ヘッド。 - （３）前記下部超電導層が前記リング状磁気コアの磁気
ギャップとなる様構成された特許 請求の範囲第（１）項記載の超電導磁気ヘ ッド。 - （４）前記下部超電導層を接地することを特徴とする特
許請求の範囲第（１）項記載の超 電導磁気ヘッド。 - （５）下部磁性層と、該下部磁性層上に配された下部超
電導層と、該下部超電導層上に並 列して配され、夫々前記下部磁性層と共に 前記下部超電導層と回りにリング状磁気コ アを構成する複数の上部磁性層と、夫々該 複数の上部磁性層上に配され、前記下部超 電導層と共に複数のスクイツド素子を形成 する複数の上部超電導層と、該複数の上部 超電導層と夫々導通された複数の信号引出 用導電部とを有するマルチチャンネル超電 導磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2544288A JPH01201814A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 超電導磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2544288A JPH01201814A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 超電導磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01201814A true JPH01201814A (ja) | 1989-08-14 |
Family
ID=12166117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2544288A Pending JPH01201814A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | 超電導磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01201814A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060370A1 (de) * | 1999-04-03 | 2000-10-12 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Magnetflusssensor mit schleifenförmigem magnetfeldleiter sowie dessen herstellung |
| KR102544478B1 (ko) * | 2022-07-25 | 2023-06-21 | 가나산업개발 (주) | 이동식 습식사우나 |
-
1988
- 1988-02-04 JP JP2544288A patent/JPH01201814A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060370A1 (de) * | 1999-04-03 | 2000-10-12 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Magnetflusssensor mit schleifenförmigem magnetfeldleiter sowie dessen herstellung |
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