JPH01201838A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JPH01201838A
JPH01201838A JP63025613A JP2561388A JPH01201838A JP H01201838 A JPH01201838 A JP H01201838A JP 63025613 A JP63025613 A JP 63025613A JP 2561388 A JP2561388 A JP 2561388A JP H01201838 A JPH01201838 A JP H01201838A
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recording
width
substrate
layer
recording medium
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Osamu Ueno
修 上野
Kiichi Kamiyanagi
喜一 上柳
Hironori Goto
後藤 広則
Hiroyuki Hotta
宏之 堀田
Kaoru Yasukawa
薫 安川
Shoji Yamaguchi
昭治 山口
Nobuo Nishimura
伸郎 西村
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Abstract

PURPOSE:To obtain a recording medium which has a high track density and C/N and decreased medium noises by providing tracks formed of recording layers via intervals on a substrate and setting the width size thereof at about the width equal to the half-amplitude level of a light spot or below. CONSTITUTION:The tracks 4 consisting of the recording layers 3 are formed on the substrate 2 and the width T thereof is set at the half-amplitude level OMEGA2 of the semiconductor laser spot for recording or below. The laser is projected to the prescribed sections of the layer 3 to form recording dots 6 of the width OMEGA2 or below. The width B of the dots 6 is, therefore, the same as the width T of the tracks 4 and since this width is smaller than the width OMEGA2, the track pitch TP can be set smaller and the track density is increased. Since the dots 6 can be formed nearly to a rectangular shape, the waveform distortions at time of reproduction are eliminated and the C/N and jitter are improved; in addition, the layers 3 are not formed except in the tracks 4 and, therefore, the medium noises are decreased. The high-quality medium is thereby obtd.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ガスレーザ、半導体レーザ等の集束光を照射
させて光学的に情報の記録・再生、あるいは記録・再生
・消去を行う光ディスク、光磁気ディスク等光記録媒体
に係わり、特に、トラック密度、C/N比等が向上し、
かつ、再生ノイズ、サーボ信号ノイズが少なく、しかも
、長期に亘って記録性能が劣化しない光記録媒体の改良
に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to optical discs and optical discs that optically record and reproduce information, or record, reproduce, and erase information by irradiating focused light from gas lasers, semiconductor lasers, etc. Regarding optical recording media such as magnetic disks, track density, C/N ratio, etc. are improved, and
The present invention also relates to an improvement of an optical recording medium which has less reproduction noise and servo signal noise and whose recording performance does not deteriorate over a long period of time.

[従来の技術] 従来の光記録媒体は、片面側に記録層を備えるタイプを
例に挙げて説明すると、第12図〜第13図に示すよう
にフォーカシング及びトラッキングサーボ用のプリグル
ープ(pre−groove)  (a )が施された
透明基板(b)と、この基板(b)全面に設けられた記
録層(C)と、この記録JB(c)全面に設けられた保
護層(d)とでその主要部が構成され、かつ、この光記
録媒体(e)への記録情報の入力は、第14図に示すよ
うに集光レンズ(f)により集光された半導体レーザ等
光源からの記録用集束光(CI)を上記記録層(C)の
所定部位へ照射し、その照射部位について記録層(C)
の相変化、磁化反転、あるいは変形等を起こさせ、非照
射部とは反射率若しくはカー回転角の異なる記録ドツト
(h)(第13図参照)を形成して行なわれるものであ
る。この場合、光源からの集束光i)を上記記録!!1
(c)の所定部位へ確実に照射させるため上記プリグル
ープ(a)を利用してフォーカシング、並びにトラッキ
ングサーボ制御を行うと共に、上記記録ドツト(h)の
幅寸法(B)を第15図に示すように記録用集束光スポ
ット(i)における強度変化が最も急峻な値を示す半値
幅(Ω2)程度に設定し、略同−サイズの記録ドツト(
h)が安定して形成されるように調整されている。
[Prior Art] To explain a conventional optical recording medium using a type having a recording layer on one side as an example, as shown in FIGS. 12 and 13, a pre-group for focusing and tracking servo is used. A transparent substrate (b) on which groove) (a) is applied, a recording layer (C) provided on the entire surface of this substrate (b), and a protective layer (d) provided on the entire surface of this recording JB (c). The main part of the optical recording medium (e) is inputted by recording information from a light source such as a semiconductor laser focused by a condensing lens (f) as shown in FIG. The focused light (CI) is irradiated onto a predetermined portion of the recording layer (C), and the irradiated portion is exposed to the recording layer (C).
This is done by causing a phase change, magnetization reversal, deformation, etc., and forming recording dots (h) (see FIG. 13) having a different reflectance or Kerr rotation angle from the non-irradiated area. In this case, the focused light i) from the light source is recorded above! ! 1
In order to reliably irradiate the predetermined area in (c), focusing and tracking servo control are performed using the pre-group (a), and the width dimension (B) of the recording dot (h) is shown in FIG. The recording dot (
h) is adjusted so that it is stably formed.

一方、上記記録情報の再生時においては、第16図〜第
17図に示すように再生用集束光(9)を光記B媒体(
e)の記録面へ照射し、この反射光を光ダイオード等受
光素子(j)へ入力させて再生するものである。この場
合、再生用集束光スポット全体の光が再生に利用されて
おり、第15図に示すように代表的には再生用集束光ス
ポット(+)における1/e2全1(Ωe)領域の光が
再生信号に寄与するものと考えられる。
On the other hand, when reproducing the recorded information, as shown in FIGS.
e) is irradiated onto the recording surface, and the reflected light is input to a light receiving element (j) such as a photodiode for reproduction. In this case, the light from the entire focused light spot for reproduction is used for reproduction, and typically, as shown in FIG. is considered to contribute to the reproduced signal.

[発明が解決しようとする課題] ところで、従来の光記録媒体(0)は上述のように基板
(b)の全面に記録層(C)を備えているため、以下に
示すような種々の問題点を有するものであった。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, since the conventional optical recording medium (0) is provided with the recording layer (C) on the entire surface of the substrate (b) as described above, it has various problems as shown below. It had points.

先ず、光記録媒体(e)におけるトラックピッチ(TP
)は再生信号に隣接トラック上の信号が混入しないとこ
ろまで狭く設定することができ、その最小値(TP  
・ )は再生時における隣接ト1n ラックとのクロストークのみを考慮すると、第18図(
d)から (TPlo) =8/2+ (Ωe−B)/2+8/2=(B+Ωe)
/2 により求めることができる。
First, the track pitch (TP
) can be set narrowly to the point where signals on adjacent tracks do not mix with the reproduced signal, and its minimum value (TP
・ ) is the result of Figure 18 (
d) to (TPlo) =8/2+ (Ωe-B)/2+8/2=(B+Ωe)
/2.

但し、(B)は記録ドツト(h)の幅寸法、(Ωe)は
再生用集束光スポット(i)における1/e2全幅を示
している。
However, (B) shows the width dimension of the recording dot (h), and (Ωe) shows the 1/e2 full width at the focused light spot for reproduction (i).

一方、従来において記録ドツト(h)の幅寸法(B)は
上述のように記録用集束光スポット(i)の半値幅くΩ
2)程度に設定されているため、光記録媒体におけるト
ラック密度を向上させるためには、結局、上記集束光(
a)のスポット径(Ωe1Ω2)を小さく設定するとい
った方法しか無く、かつ、上記スポット径(Ω2)につ
いてもこれを余り小さく設定すると基板表面の僅かな寸
法誤差で記録誤動作を起こすことから一定以下に設定で
きない制約があるため、上記密度向上には一定の限界を
有する問題点があった。
On the other hand, conventionally, the width dimension (B) of the recording dot (h) is equal to the half width of the recording focused light spot (i), Ω.
2), in order to improve the track density on an optical recording medium, the focused light (
The only way is to set the spot diameter (Ωe1Ω2) in a) small, and if the spot diameter (Ω2) is set too small, a slight dimensional error on the substrate surface will cause a recording malfunction, so it must be kept below a certain level. Since there are restrictions that cannot be set, there is a problem in that the density improvement described above has a certain limit.

また、上記記録層(C)を構成する記録材料は通常熱伝
導性を有しているため、この熱伝導性の影響により記録
スポットの走査が進むにつれ熱が周辺に漏れ易くなって
記録幅が増大し、第19図に示すように記録ドツト(h
)の形状が所謂「涙滴形ドツト」となる場合があった。
Furthermore, since the recording material constituting the recording layer (C) usually has thermal conductivity, as the scanning of the recording spot progresses, heat tends to leak to the periphery due to the influence of this thermal conductivity, and the recording width decreases. As shown in FIG. 19, recording dots (h
) sometimes took the form of a so-called "teardrop-shaped dot."

このため、第5図においてαで示すように再生信号が歪
んでしまって大きなジッターが発生し易いと共に、C/
N比が低下するといった問題点があった。
For this reason, the reproduced signal is distorted as shown by α in FIG. 5, which tends to cause large jitter, and the C/
There was a problem that the N ratio decreased.

更に、再生用集束光スポット(+)の径寸法(Ωe)は
上述のように記録ドツト(h)の径寸法(B)より大き
く、しかも、上記光記録媒体(e)についてはその基板
(b)全面に記録層(C)が設けられているため、再生
時において光記録媒体(e)ノイズが再生信号に大きく
影響を及ぼすといった欠点があった。
Furthermore, the diameter (Ωe) of the focused light spot for reproduction (+) is larger than the diameter (B) of the recording dot (h) as described above, and moreover, for the optical recording medium (e), its substrate (b) ) Since the recording layer (C) is provided on the entire surface, there is a drawback that the noise of the optical recording medium (e) greatly affects the reproduced signal during reproduction.

すなわち、第20図に示すように光記録媒体(e)の記
録層(C)面には、媒体自体の欠陥、結晶粒等に基因す
る反射率の異なるノイズ発生部位(nl)〜(nl)が
多数存在し、かつ、上記記録ドツト(h)の周縁部にも
ドツト形状のむらに基因するノイズ発生部位(n2)〜
(n2)が存在してこれ等ノイズが再生信号に混入する
ため、再生信号におけるC/N比向上向上きな障害とな
っていた(第7図においてαで示されたC/N比参照。
That is, as shown in FIG. 20, on the surface of the recording layer (C) of the optical recording medium (e), there are noise generation sites (nl) to (nl) with different reflectances due to defects in the medium itself, crystal grains, etc. There are a large number of noise generation areas (n2) due to the unevenness of the dot shape also at the peripheral edge of the recording dot (h).
(n2) and these noises are mixed into the reproduced signal, which has been an obstacle to improving the C/N ratio of the reproduced signal (see the C/N ratio indicated by α in FIG. 7).

但し、Cは主1シリア信号レベル、Nはノイズ信号レベ
ルを夫々示している)。
However, C indicates the main 1 serial signal level, and N indicates the noise signal level.)

また、記録・再生・消去用の光記録媒体においては、記
録情報を消去する場合、経時劣化を基因とする記録層の
感度低下、消去用集束光の出力変動、並びにトラッキン
グずれ等の原因によって第21図に示すように記録情報
を完全に消去できなくなるといった欠点があり、一方、
この欠点を解消するため消去用集束光のスポット径(Ω
)を記録用集束光のスポット径(Ω2)より大きく設定
すると、トラック密度の低下を招くといった問題点があ
った。
In addition, in optical recording media for recording, reproduction, and erasing, when erasing recorded information, it is difficult to erase due to factors such as a decrease in sensitivity of the recording layer due to aging, fluctuations in the output of the focused light for erasing, and tracking deviation. As shown in Figure 21, there is a drawback that recorded information cannot be completely erased, but on the other hand,
In order to eliminate this drawback, the spot diameter of the focused light for erasing (Ω
) is set larger than the spot diameter (Ω2) of the focused recording light, there is a problem in that the track density decreases.

また、従来の光記録媒体においてはその基板(b)全面
に記録層(C)が形成されているため、記録層(C)形
成時におけるストレスや基板(b)と記録1(c)との
膨張率の違い等によって、第22図に示すように記録層
(C)に二次元的な内部ストレス(St)が加わり易く
経時的に記録性能が劣化し易い問題点があった。
In addition, in conventional optical recording media, the recording layer (C) is formed on the entire surface of the substrate (b), so stress during formation of the recording layer (C) and the stress between the substrate (b) and the recording layer (c) are also important. Due to differences in expansion rates, etc., two-dimensional internal stress (St) tends to be applied to the recording layer (C) as shown in FIG. 22, resulting in a problem that the recording performance tends to deteriorate over time.

尚、特開昭58−37857号公報には基板全面に記録
層を形成せずトラック状に配録層を形成した光記録媒体
が開示されているが、この公報に開示されている手段は
従来におけるトラッキングサーボ用のプリグループの形
成を省略し、単に、光記録媒体の製造コスト低減を図っ
たものに過ぎないものである。
Incidentally, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-37857 discloses an optical recording medium in which a recording layer is formed in a track shape without forming a recording layer on the entire surface of the substrate, but the means disclosed in this publication is different from the conventional one. The formation of the pre-group for tracking servo in the above is omitted, and this is merely an attempt to reduce the manufacturing cost of the optical recording medium.

従って、上記公報では上述した各諸問題について何等の
言及がなされておらず、製造コスト低減のため記録層を
トラック状に形成した以外は依然として上記諸問題が未
解決のものに過ぎないものである。
Therefore, the above-mentioned publication does not make any mention of the above-mentioned problems, and the above-mentioned problems are still unresolved except for forming the recording layer in a track shape to reduce manufacturing costs. .

[課題を解決するための手段] 本発明は以上の問題点に着目してなされたもので、その
課題とするところは、トラック密度、C/N比等が高く
、かつ、再生ノイズ、サーボ信号ノイズが少なく、しか
も長期に亘って記録性能が劣化しない光記録媒体を提供
することにある。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made in view of the above-mentioned problems. To provide an optical recording medium with less noise and whose recording performance does not deteriorate over a long period of time.

すなわち本発明は、集束光を照射させて光学的に情報の
記録再生、あるいは記録再生消去を行う光記録媒体を前
提とし、基板と、この基板の少なくとも一面に間隔を介
し記録層にて形成された複数のトラックとで構成され、
上記トラックの幅寸法が記録用集束光スポットの半値幅
と同程度以下に設定されていることを特徴とするもので
ある。
That is, the present invention is based on an optical recording medium in which information is optically recorded and reproduced, or recorded and erased by irradiation with focused light, and includes a substrate and a recording layer formed on at least one surface of the substrate with a gap therebetween. It consists of multiple tracks,
The width of the track is set to be equal to or less than the half width of the focused recording light spot.

この様な技術的手段において上記基板としては、この基
板側から集束光を照射させる関係上光透過性の材料が望
ましく、例えば、ガラス、ポリカーボネート、ポリアク
リロニトリル、ポリメタクリル酸メチル、エポキシ樹脂
、ポリベンテン等が挙げられる。また、単一の光透過性
材料でもって上記基板を構成してもよく、あるいは上記
光透過性材料を複数積層して基板としても当然のことな
がらよい。更に、上記基板の形状については通常円形状
とするが、カード型の光記録媒体とする場合には矩形状
とするのが好ましい。またこの技術的手段におては、基
板に間隔を介し記録層にて形成された複数のトラックを
利用し、記録時、再生時、乃至消去時におけるフォーカ
シング、並びにトラッキングサーボ制御が可能となるた
め、従来におけるプリグループを備えていないものも基
板として使用することが可能である。尚、基板の反対側
から集束光を照射させて記録・再生、あるいは記録・再
生・消去を行う光記録媒体においては、当然のことなが
ら上記光透過性以外の光不透過性の材料でもって基板を
構成してもよい。
In such technical means, the substrate is desirably made of a light-transmissive material since focused light is irradiated from the substrate side, such as glass, polycarbonate, polyacrylonitrile, polymethyl methacrylate, epoxy resin, polybenthene, etc. can be mentioned. Further, the substrate may be made of a single light-transmitting material, or the substrate may be formed by laminating a plurality of the light-transmitting materials. Furthermore, although the shape of the substrate is usually circular, it is preferably rectangular in the case of a card-type optical recording medium. In addition, this technical means makes it possible to perform focusing and tracking servo control during recording, playback, and erasing by using multiple tracks formed on the recording layer at intervals on the substrate. However, it is also possible to use a substrate that does not have a conventional pre-group. In addition, in optical recording media in which recording/reproduction or recording/reproduction/erasing is performed by irradiating focused light from the opposite side of the substrate, the substrate is naturally made of a light-opaque material other than the above-mentioned light-transmitting material. may be configured.

また、上記基板上においてトラックを形成する記録層は
、円形基板においては渦巻き状、若しくは同心円状に形
成された複数、若しくは単一の帯状層により構成され、
一方、矩形基板においては互いに平行に形成された複数
の帯状層により構成される。
Further, the recording layer forming tracks on the substrate is composed of a plurality of spirally or concentrically formed strip layers or a single strip layer in the case of a circular substrate,
On the other hand, a rectangular substrate is composed of a plurality of strip-like layers formed parallel to each other.

そして、上記記録層の形成方法としては基板上に記録材
料を一様に形成し、次いで、上記トラック以外の部位の
記録材料を除去して形成する手段が適用できる。
As a method for forming the recording layer, a method can be applied in which a recording material is uniformly formed on the substrate, and then the recording material is removed from areas other than the tracks.

具体的には記録材料を一様に形成する手段として、例え
ば、上記記録材料を直接基板上に形成する蒸着法、スパ
ッタリング法等のドライプロセスが、また、溶剤に溶解
若しくは分散された記録材料を基板上に塗布形成するウ
ェットプロセスが適用できる。
Specifically, methods for uniformly forming the recording material include, for example, dry processes such as vapor deposition and sputtering in which the recording material is directly formed on the substrate; A wet process for coating and forming on a substrate can be applied.

一方、上記トラック以外の部位に形成された余分な記録
材料を除去する手段としては、溶剤などを用いて部分的
に除去するエツチング法や、パフ研磨、レーザカッティ
ング等の機械的除去法等が適用できる。
On the other hand, as means for removing excess recording material formed in areas other than the above-mentioned tracks, etching methods that partially remove it using a solvent, mechanical removal methods such as puff polishing, laser cutting, etc. are applied. can.

更に、他の記録層の形成方法としては、基板上にパター
ン状にレジスト層を形成し、次いで、この全面上に記録
材料を一様に形成した後、上記レジスト層とこの上に形
成された記録材料層を除去することによっても可能であ
る。
Furthermore, as another method for forming a recording layer, a resist layer is formed in a pattern on a substrate, and then a recording material is uniformly formed on the entire surface of the resist layer, and then the resist layer and the layer formed on the resist layer are formed on the substrate. This is also possible by removing the recording material layer.

尚、これ等手段によって形成される記録層、すなわちト
ラックの幅寸法■はトラック密度、C/N比等を上げる
ため記録用集束光スポットの半値幅(Ω2)程度以下、
好ましくはΩ2/3〜2XΩ2/3程度に設定するもの
であり、一方、上記トラックピッチTPについては、記
録用集束光スポットの1/e2全幅をΩeとした場合に
おいて、トラック密度を上げるため略(T+Ωe)/2
に設定することが望ましい。
Note that the width dimension (2) of the recording layer formed by these means, that is, the track, is approximately equal to or less than the half width (Ω2) of the focused recording light spot in order to increase the track density, C/N ratio, etc.
Preferably, it is set to about Ω2/3 to 2XΩ2/3. On the other hand, the track pitch TP is approximately ( T+Ωe)/2
It is desirable to set it to .

次に、上記記録層を構成する記録材料としては、光記録
材料として広く知られている全ての材料を使用すること
ができる。
Next, as the recording material constituting the recording layer, all materials widely known as optical recording materials can be used.

すなわち、Te、Se、 S、、Sb、As%P、Pb
、Sn、Ge、S i 、Tj、1n1Qa。
That is, Te, Se, S,, Sb, As%P, Pb
, Sn, Ge, S i , Tj, 1n1Qa.

AI、Zn、Au、AoS Cu、Pt、Mo、Ti、
Ni、Cr、及びW等の元素のうち少なくとも一成分以
上を含む単体、若しくは化合物、あるいはそれらが他の
材料中に分散された材料を使用することができる。この
うち10%5e−Te。
AI, Zn, Au, AoS Cu, Pt, Mo, Ti,
A single substance or a compound containing at least one component of elements such as Ni, Cr, and W, or a material in which these elements are dispersed in another material can be used. Of this, 10% is 5e-Te.

Pb−8e−Te、Te−C等は書換不能な記録・再生
タイプである穴開は形の材料に適しており、TeO、T
eax (Ge、Sn添加)、In−× Se、In−8b1 In−Te、5b2Se。
Pb-8e-Te, Te-C, etc. are non-rewritable recording/reproducing types. Holes are suitable for shaped materials, and TeO, T
eax (Ge, Sn added), In-x Se, In-8b1 In-Te, 5b2Se.

”re−Ge−3n、Te−Ge−8n−Au、As2
S3.5b−Te、Te−N、Ge−Te。
"re-Ge-3n, Te-Ge-8n-Au, As2
S3.5b-Te, Te-N, Ge-Te.

Aa−1n、Ao−Zn、Cu−Al、Ag−Al−C
u、 Cu−Al−Ni、 Au−Ti、及びCr−T
i等は書換可能な記録・再生・消去ターイブである相変
化形記録材料に適している。
Aa-1n, Ao-Zn, Cu-Al, Ag-Al-C
u, Cu-Al-Ni, Au-Ti, and Cr-T
i, etc. are suitable for phase change recording materials that are rewritable recording/reproducing/erasing plates.

また、書換可能な光磁気記録材料としては、Fe、C0
1Ni、Mn等の遷移金属、及びTb、Gd、Nd、P
m、Sm1En1Dy、Ho、Er、4m、Yb、lu
等の希土類元素のうち少なくとも一成分以上を含む磁気
材料、代表的にはTb−Fe−Co、Tb−Fe、Dy
−Fe。
In addition, rewritable magneto-optical recording materials include Fe, CO
1 Transition metals such as Ni and Mn, and Tb, Gd, Nd, and P
m, Sm1En1Dy, Ho, Er, 4m, Yb, lu
Magnetic materials containing at least one component of rare earth elements such as Tb-Fe-Co, Tb-Fe, Dy
-Fe.

Mn−B i 、 Pt−Mn−8b等が適用できる。Mn-Bi, Pt-Mn-8b, etc. can be applied.

更に、記録層を構成する材料としては、上記以外にシア
ニン色素、フタロシアニン、ナフトキノン、スクアリリ
ウム、ポリチオフェン、ポリジアセチレンに代表される
有機色素材料、及びスビ0ピラン、フルギド、アゾベン
ゼン等に代表されるフォトクロミック材料等が使用可能
である。
In addition to the above materials, materials constituting the recording layer include organic dye materials such as cyanine dyes, phthalocyanine, naphthoquinone, squarylium, polythiophene, and polydiacetylene, and photochromic materials such as subpyran, fulgide, and azobenzene. etc. are available.

また、この技術的手段は片面側にのみ記録層を備える光
記録媒体に適用できる他、両面側に記録層を備える光記
録媒体にも適用できる。この場合後者のものは、記録層
を向い合せにし接着剤を介して2枚貼り合せて形成する
ことができ、また、この接着剤としては、ウレタン系接
着剤、エポキシ系接着剤、硬化性シリコーン樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル樹脂等のホットメルト型接着剤、ポリ
塩化ビニル樹脂等の高周波接着剤等が利用できる。
Furthermore, this technical means can be applied not only to an optical recording medium having a recording layer on one side only, but also to an optical recording medium having recording layers on both sides. In this case, the latter can be formed by placing two recording layers facing each other and bonding them together with an adhesive, and examples of this adhesive include urethane adhesive, epoxy adhesive, and curable silicone. Resins, hot melt adhesives such as ethylene-vinyl acetate resin, high frequency adhesives such as polyvinyl chloride resin, etc. can be used.

一方、前者のものにおいては上記記録層を保護するため
の保護層を記録層側基板全面に設けてもよく、この材料
としてSiO2、ZnS1zr02、AlN1Si3N
4等が利用できる。
On the other hand, in the former case, a protective layer for protecting the recording layer may be provided on the entire surface of the substrate on the recording layer side, and this material may be SiO2, ZnS1zr02, AlN1Si3N.
4th class is available.

また、この光記録媒体の記録層へ集束光を照射させて情
報の記録・再生、あるいは記録・再生・消去を行う光源
としては、従来法において利用されている光源が使用で
き、具体的にはGaAlAs系半導体レーザ、GaAI
InP系半導体レーザ、Ga1nAsP系半導体レーザ
等の半導体レーザや、He−Neレーザ、Arレーザ、
He−Cdレーザ等のガスレーザ等が挙げられる。
In addition, the light source used in conventional methods can be used as a light source for recording/reproducing information or recording/reproducing/erasing information by irradiating the recording layer of this optical recording medium with focused light. GaAlAs semiconductor laser, GaAI
Semiconductor lasers such as InP semiconductor lasers and Ga1nAsP semiconductor lasers, He-Ne lasers, Ar lasers,
Examples include gas lasers such as He-Cd lasers.

更に、本発明に係る光記録媒体は、コンパクトディスク
等の音楽用、ビデオデスク等の画像用に加えて計n機用
光ディスク等各種用途に適用できる。
Furthermore, the optical recording medium according to the present invention can be applied to various uses such as optical discs for a total of n machines in addition to music recording media such as compact discs, and image recording media such as video desks.

[作用] 上述したような技術的手段によればこの光記録媒体は、
基板と、この基板の少なくとも一面に間隔を介し配録層
にて形成された複数のトラックとで構成され、互いに隣
接するトラック間には記録層が形成されていないため、
再生時における媒体ノイズが減少し、かつ、記録情報の
消去時における消し残りが発生し難いと共に、上記トラ
ック内の記録層は長さ方向においてのみ連続し幅方向に
おいては連続してないため記録層の内部ストレスが減少
し、一方、上記トラックの幅寸法は記録用集束光スポッ
トの半値幅程度以下に設定されているためトラックピッ
チを小さめに設定でき、かつ、記録ドツトの形状を略矩
形状に近似させることが可能となる。
[Function] According to the technical means described above, this optical recording medium can:
It is composed of a substrate and a plurality of tracks formed of a recording layer at intervals on at least one surface of the substrate, and no recording layer is formed between adjacent tracks.
Media noise during playback is reduced, and unerased information is less likely to occur when erasing recorded information, and the recording layer in the track is continuous only in the length direction and not in the width direction, so the recording layer On the other hand, since the width of the track is set to less than the half width of the focused recording light spot, the track pitch can be set smaller, and the shape of the recording dot can be made approximately rectangular. It becomes possible to approximate.

[実施例] 以下、片面側に記録層を備える光記録媒体に本発明を適
用した実施例について図面を参照して詳細に説明すると
、この光記録媒体(1)は、第1図〜第2図に示すよう
に円形状のガラス製基板(2)と、この基板(2)上に
おいて同心円状に設けられた記録層(3)により形成さ
れたトラック(4)と、上記記録層(3)側基板(2)
面上に一様に形成された保護層(5)とでその主要部が
構成されるものである。
[Example] Hereinafter, an example in which the present invention is applied to an optical recording medium having a recording layer on one side will be described in detail with reference to the drawings. As shown in the figure, a circular glass substrate (2), a track (4) formed by a recording layer (3) provided concentrically on this substrate (2), and the recording layer (3) Side board (2)
The main part is composed of a protective layer (5) uniformly formed on the surface.

また、上記記録層(3)、すなわちトラック(4)の幅
寸法Tは記録用半導体レーザスポットの半値幅(Ω2)
[第3図(b)及び(C)参照]以下の5000オング
ストロームに設定されており、かつ、上記記録B(3)
は300オングストローム厚のTeOxにより構成され
ている。
The width T of the recording layer (3), that is, the track (4) is the half width (Ω2) of the recording semiconductor laser spot.
[See Figures 3 (b) and (C)] The thickness is set to 5000 angstroms below, and the above record B (3)
is made of 300 angstrom thick TeOx.

そして、上記同心円状の記録層(3)で形成されたトラ
ック(4)を利用してフォーカシング、並びにトラッキ
ング制御を行いながら、第2図〜第3図に示すように記
録層(3)の所定部位に記録用半導体レーザを照射しそ
の径が半導体レーザスポットの半値幅(Ω2)程度の記
録ドツト(6)を形成し記録情報の入力を行うと共に、
この記録ドツト(6)を再生用半導体レーザにより読取
って再生信号を得るものである。
Then, while performing focusing and tracking control using the tracks (4) formed by the concentric recording layer (3), a predetermined position of the recording layer (3) is performed as shown in FIGS. A recording semiconductor laser is irradiated onto the site to form recording dots (6) whose diameter is about the half-width (Ω2) of the semiconductor laser spot, and recording information is input.
This recording dot (6) is read by a reproducing semiconductor laser to obtain a reproduced signal.

尚、第1図中(7)は再生用の光ヘッドを示しており、
半導体レーザ〈71)と、このレーザ光を光記録媒体(
1)面へ結像させる集光レンズ(72)と、光記録媒体
(1)からの反射ビームを偏光させるビームスプリッタ
(73)、ハーフミラ−(74)と、及びサーボ信号検
出器(75)並びに再生信号受光器(76)とでその主
要部が構成されているものである。また、従来同様再生
用半導体レーザスポットの1/e2全幅(Ωe)領域の
光が再生信号に寄与しているものと考えられる。
In addition, (7) in Fig. 1 shows the optical head for reproduction.
A semiconductor laser (71) and the laser beam are transferred to an optical recording medium (
1) A condensing lens (72) that forms an image onto a surface, a beam splitter (73) that polarizes the reflected beam from the optical recording medium (1), a half mirror (74), a servo signal detector (75), and The main part thereof is composed of a reproduced signal receiver (76). Further, as in the conventional case, it is considered that the light in the 1/e2 full width (Ωe) region of the reproducing semiconductor laser spot contributes to the reproduced signal.

ここでこの光記録媒体(1)は、基板全面に記録層の形
成された従来の光記録媒体と比較して以下に示すような
種々の効果を有している。
Here, this optical recording medium (1) has various effects as shown below compared to conventional optical recording media in which a recording layer is formed on the entire surface of the substrate.

先ずこの光記録媒体(1)は、従来の光記録媒体と較べ
てトラックピッチ(TP)を著しく小さく設定すること
が可能となる。
First, this optical recording medium (1) allows the track pitch (TP) to be set significantly smaller than that of conventional optical recording media.

すなわち、光記録媒体のトラックピッチの最小値(TP
Ill、、)は上述したように、(TPffiin) =8/2+  (Ωe−B)/2+B/2=(B+Ωe
)/2 により求めることができる。
That is, the minimum value of the track pitch (TP
As mentioned above, (TPffiin) =8/2+ (Ωe-B)/2+B/2=(B+Ωe
)/2.

但し、(B)は記録ドツトの幅寸法、(Ωe〉は再生用
集束光スポットにおける1/e2全幅を示している。
However, (B) shows the width dimension of the recording dot, and (Ωe>) shows the 1/e2 full width of the focused light spot for reproduction.

一方、この光記録媒体(1)においては、第3図(b)
及び(d)に示すように上記記録ドツト(6)の幅寸法
(B)がトラック(4)の幅寸法(T)と同一となって
おり、かつ、この幅寸法(T)は従来の光記録媒体にお
ける記録ドツト径(Ω2)より小さく設定されているた
め、実施例に係る光記録媒体(1)のトラックピッチの
最小値(TP’  、  ’)と、従来における光記録
媒体の1n トラックピッチの最小値(TP、)との関係は、1n (TP” ・ )<(TP・ ) 111n             1lInとなり、
従来と較べてトラックピッチ(TP)を著しく小さく設
定でき、トラック密度の向上が図れる利点を有している
On the other hand, in this optical recording medium (1), as shown in FIG.
And as shown in (d), the width dimension (B) of the recording dot (6) is the same as the width dimension (T) of the track (4), and this width dimension (T) is different from that of the conventional optical Since it is set smaller than the recording dot diameter (Ω2) in the recording medium, the minimum track pitch (TP', ') of the optical recording medium (1) according to the embodiment and the 1n track pitch of the conventional optical recording medium The relationship with the minimum value (TP, ) is 1n (TP” ・ ) < (TP・ ) 111n 1lIn,
This has the advantage that the track pitch (TP) can be set significantly smaller than in the past, and the track density can be improved.

また、実施例に係る光記録媒体(1)においてはそのト
ラック(4)が帯状の記録層(3)により構成されてい
るため、第4図に示すように従来の「涙滴形状」と異な
って矩形状に近い記録ドツト(6)を形成することがで
きる。
In addition, in the optical recording medium (1) according to the embodiment, the track (4) is composed of a strip-shaped recording layer (3), so it is different from the conventional "teardrop shape" as shown in FIG. Thus, recording dots (6) having a nearly rectangular shape can be formed.

従って、第5図においてβで示すように再生時における
再生信号波形が歪まないため、従来と比較してC/N比
、及びジッター共向上する利点を有している。
Therefore, as shown by β in FIG. 5, the reproduced signal waveform during reproduction is not distorted, and this has the advantage of improving both the C/N ratio and jitter compared to the conventional method.

更に、この光記録媒体(1)においては、上記トラック
(4)以外の部位に記録層(3)を有していないため媒
体ノイズが低減し、しかも記録ドツト(6)の形状は、
トラック(4)にのみ形成された帯状の記録層(3)の
形状により規制されてばらつかないため、記録ドツト(
6)の境界部における反射率むらや磁区分布むらが低減
して再生信号におけるC/N比が向上する長所を有して
いる。
Furthermore, since this optical recording medium (1) does not have a recording layer (3) in any part other than the track (4), medium noise is reduced, and the shape of the recording dots (6) is
The recording dots (
6) has the advantage that reflectance unevenness and magnetic domain distribution unevenness at the boundary are reduced and the C/N ratio of the reproduced signal is improved.

すなわち再生時における再生信号ノイズは、半導体レー
ザ等光源のノイズを充分に押えた場合、一般的には光記
録媒体の欠陥、結晶粒等に基因する媒体ノイズと、記録
ドツト形状のむらに基因する記録ノイズとが支配的とな
る。そしてこの光記録媒体においては、トラック(4)
以外の部位に記録層(3)を有していないため上記媒体
ノイズが低減すると共に、第6図に示すように記録ドツ
ト(6)の両側縁は高い精度で形成された帯状の記録層
(3)により規制されて形状むらが起こり難いため記録
ノイズも低減する。従って、再、生信号に上記のノイズ
信号が混入し難くなるため、第7図においてβにて示す
ようにC/N比が著しく向上する長所を有するものであ
る。
In other words, when the noise of a light source such as a semiconductor laser is sufficiently suppressed, the reproduced signal noise during reproduction generally consists of medium noise caused by defects, crystal grains, etc. in the optical recording medium, and recording noise caused by unevenness in the shape of recording dots. Noise becomes dominant. In this optical recording medium, track (4)
Since the recording layer (3) is not provided in other parts, the medium noise is reduced, and as shown in FIG. 3), recording noise is also reduced because shape irregularities are less likely to occur. Therefore, since the above-mentioned noise signal is less likely to be mixed into the reproduced and raw signal, the C/N ratio has the advantage of being significantly improved as shown by β in FIG.

尚、この光記録媒体(1)においては記録ドツト(6)
の幅寸法(T)が従来のそれより狭くなるため、第7図
で示すようにキャリア信号レベルCが若干減少するが、
ノイズ信号レベルNについても大幅に減少するため結果
的にC/N比は増加することとなる。また、サーボ信号
ノイズも同様に減少するため、サーボ制御の安定化にも
貢献することとなる。特に、トラッキングザーボ制御は
、トラック部とトラック間との反射率差を大きく設定で
・きることと相まって大きく安定化する長所を有してい
る。
In addition, in this optical recording medium (1), the recording dot (6)
Since the width dimension (T) of the carrier signal is narrower than that of the conventional one, the carrier signal level C decreases slightly as shown in FIG.
Since the noise signal level N is also significantly reduced, the C/N ratio increases as a result. Furthermore, since servo signal noise is similarly reduced, it also contributes to stabilization of servo control. In particular, tracking servo control has the advantage of being able to set a large difference in reflectance between the track section and the tracks, and also greatly stabilizing the structure.

また更に、本発明を記録・再生・消去用の光記録媒体に
適用した場合、従来においては経時劣化を基因とする記
録層の感度低下、消去用集束光の出力変動、並びにトラ
ッキングずれ等の原因によって記録情報を完全に消去で
きなくなるといった欠点が存したが、第8図に示すよう
に消し残りが発生する領域には記録層(3)が存在しな
いため、消し残りが生じない長所を有している。
Furthermore, when the present invention is applied to an optical recording medium for recording, reproduction, and erasing, conventional causes such as a decrease in sensitivity of the recording layer due to deterioration over time, fluctuations in the output of the focused light for erasing, and tracking deviation are caused. However, as shown in Fig. 8, there is no recording layer (3) in the area where unerased information occurs, so it has the advantage that no unerased information occurs. ing.

また、上記トラック(4)を構成する帯状の記録層(3
)は長さ方向においてのみ連続し幅方向においては連続
していないため、第8図に示すように記録層(3)の内
部ストレス(St)は−次元的となって大幅に緩和され
ると共に、記録材料が相変化タイプの場合、記録消去工
程における結晶化、アモルファス化という原子移動過程
も一次元的に進行するため、記録層(3)内の組成変動
や組成の面内ばらつきが生じ難くなり、記録層(3)や
記録ビットの安定性の他に、繰返し書換え性も改善され
長期に亘って記録性能が安定する長所を有しており、か
つ、−次元的に記録・消去の過程が進行するため、各過
程の高速化が図れて高速の記録・消去が可能となる長所
を有している。
Further, a strip-shaped recording layer (3) constituting the track (4) is also provided.
) is continuous only in the length direction and not in the width direction, so the internal stress (St) of the recording layer (3) becomes -dimensional and is significantly alleviated as shown in Fig. 8. When the recording material is of a phase change type, the atomic movement processes of crystallization and amorphization in the recording and erasing process also proceed one-dimensionally, making it difficult for composition fluctuations and in-plane composition variations in the recording layer (3) to occur. In addition to the stability of the recording layer (3) and recording bits, it has the advantage of improved repeatability and stable recording performance over a long period of time. This process has the advantage of speeding up each process and enabling high-speed recording and erasing.

◎光記録媒体の製造 以下、実施例に係る光記録媒体(1)の製造法について
説明する。
◎Manufacture of optical recording medium A method of manufacturing the optical recording medium (1) according to the example will be described below.

(第一製法例) まず、第9図(a)に示す円形状のガラス製基板(2)
面上にスピンコード法によりポジタイプの7オトレジス
ト材料(ヘキスト社製 商品名AZ1350J)を塗布
し、2000オングストローム厚の7オトレジスト層(
10)を形成する(第9図す参照)。次いで、図示外の
フォトマスクを介し露光して露光部位のフォトレジスト
層(10)を変質させ現像剤であるアルカリ水溶液に可
溶性とすると共に、そ1の露光部位をアルカリ水溶液に
より溶解除去して幅Tが5000オングストローム、深
さ約2000オングストロームの凹溝(11)を形成す
る(第9図C参照)。尚、上記凹溝(11)の深さ寸法
は500〜6000オングストローム、好ましくは10
00〜4000オングストローム程度に設定することが
望ましい。
(First manufacturing method example) First, a circular glass substrate (2) shown in FIG. 9(a)
A positive type 7-otoresist material (manufactured by Hoechst, trade name AZ1350J) was applied onto the surface using a spin code method, and a 2000 angstrom thick 7-otoresist layer (
10) (see Figure 9). Next, the photoresist layer (10) at the exposed area is changed in quality by exposure through a photomask (not shown) and made soluble in an alkaline aqueous solution as a developer, and the first exposed area is dissolved and removed by the alkaline aqueous solution to form a width. A groove (11) having a T of 5000 angstroms and a depth of about 2000 angstroms is formed (see FIG. 9C). The depth of the groove (11) is 500 to 6000 angstroms, preferably 10 angstroms.
It is desirable to set the thickness to about 0.00 to 4000 angstroms.

この理由は、上記凹溝(11)の段差を利用し以下工程
に基づいて所定部位に記録層(3)を形成する関係上、
上記深さ寸法が浅ずぎると各トラック(5)間の記録膜
が除去できなくなり、一方、深すぎると段差の影の部分
に記録膜が付き難くなるためである。
The reason for this is that the recording layer (3) is formed at a predetermined location based on the following steps using the step of the groove (11).
This is because if the depth dimension is too shallow, it becomes impossible to remove the recording film between the tracks (5), while if it is too deep, it becomes difficult for the recording film to adhere to the shadow part of the step.

次いで、上記基板(2)のフォトレジスト層(11)側
面上に300オングストローム厚のTeO薄層(12)
を蒸着法により均一に形成す× る(第9図d参照)。尚、この?1層(12)の層厚は
記録材料の種類により異なるが、通常、100〜200
0オングストローム程度に設定される。また、上記基板
(2)と記録材料との親和性が弱い場合には、必要に応
じ基板(2)面上に下地材料を塗布形成するとよい。
Next, a 300 angstrom thick TeO thin layer (12) is deposited on the side surface of the photoresist layer (11) of the substrate (2).
is uniformly formed by a vapor deposition method (see Figure 9d). Furthermore, this? The layer thickness of the first layer (12) varies depending on the type of recording material, but is usually 100 to 200 mm.
It is set to about 0 angstrom. Furthermore, if the substrate (2) has a weak affinity with the recording material, a base material may be coated on the surface of the substrate (2) if necessary.

次に、アセトン等の有機溶剤により露光部位のフォトレ
ジスト層(10)と、このフォトレジスト層(10)上
の薄層(12)を溶解除去して基板(2)上に幅Tが5
000オングストローム、厚さ300オングストローム
の記録層(3)を形成する(第9図e参照)。
Next, the photoresist layer (10) in the exposed area and the thin layer (12) on the photoresist layer (10) are dissolved and removed using an organic solvent such as acetone, and a width T of 5 is formed on the substrate (2).
A recording layer (3) having a thickness of 300 angstroms and a thickness of 300 angstroms is formed (see FIG. 9e).

更に、第9図(f)に示すように、上記記録層(3)側
基板(2)面上にSiO2にて構成される保護層(5)
を均一に形成し、基板(2)上において同心円状に設け
られた記録層(3)により形成されたトラック(4)を
備える光記録媒体(1)を製造した。
Furthermore, as shown in FIG. 9(f), a protective layer (5) made of SiO2 is formed on the surface of the substrate (2) on the side of the recording layer (3).
An optical recording medium (1) was manufactured which includes tracks (4) formed by recording layers (3) arranged concentrically on a substrate (2).

(第二製法例) まず、第10図(a)に示す円形状のガラス製基板(2
)面上に、300オングストローム厚で、Qe、3nが
添加されたTeOx薄層(20)を蒸着法により均一に
形成し、かつ、その面上にスピンコード法によりフォト
レジスト材料(ヘキスト社製 商品名A11350J)
を塗布し、5000オングストローム厚のフォトレジス
ト層(21)を形成する(第10図C参照)。
(Second manufacturing method example) First, a circular glass substrate (2
), a 300 angstrom thick TeOx thin layer (20) doped with Qe and 3n was formed uniformly by vapor deposition, and a photoresist material (manufactured by Hoechst) was deposited on the surface by spin cording. name A11350J)
A photoresist layer (21) having a thickness of 5000 angstroms is formed (see FIG. 10C).

次いで第10図(b)に示すように、Cr薄Iをバター
ニングして作成したフォトマスク〈22)を上記フォト
レジスト層(21)上に密着させた後、KrFを用いた
エキシマ−レーザ光(波長2490オングストローム)
を照射し、フォトレジスト層(21)を部分的に現像液
可溶性に変質させて上記マスターパターンを転写する。
Next, as shown in FIG. 10(b), a photomask (22) prepared by patterning thin Cr I was brought into close contact with the photoresist layer (21), and then an excimer laser beam using KrF was applied. (wavelength 2490 angstroms)
is irradiated to partially change the photoresist layer (21) to be soluble in a developer, and the master pattern is transferred.

尚、露光光源としては上記以外に、XeC1を用いたエ
キシマ−レーザ光(波長3080オングストローム)、
X線等が利用可能である。また、上記フォトレジスト層
(21)面上にフォトマスク(22)を密着させる代り
に、フォトレジスト層(21)とフォトマスク(22)
間に結像レンズを介装し、投影露光によって上記マスタ
ーパターンを転写する手段をとってもよい。
In addition to the above, the exposure light source may include excimer laser light (wavelength: 3080 angstroms) using XeC1;
X-rays etc. can be used. Moreover, instead of bringing the photomask (22) into close contact with the surface of the photoresist layer (21), the photoresist layer (21) and the photomask (22)
An imaging lens may be interposed therebetween, and the master pattern may be transferred by projection exposure.

次に、フォトレジスト層(21)の露光部位を現像液で
あるアルカリ水溶液により溶解除去し、幅Tが5000
オングストロームのトラックパターンを形成する(第1
0図C参照)。更に、上記TeOxのil!(20)を
残留するフォトレジスト層(21)により保護した状態
でもってエツチング処理を施し、露出するTeOxのi
EI層(20)を溶解除去する(第10図C参照)。こ
こで上記エツチング法としては、CCl2H2をエツチ
ングガスとしたドライエツチング(反応性イオンエツチ
ング)法を使用した。尚、ドライエツチング法に替えH
C,1を主体とした溶剤を用いたウェットエツチング法
を適用してもよい。
Next, the exposed portion of the photoresist layer (21) is dissolved and removed using an alkaline aqueous solution as a developer, and the width T is 5000.
Form a track pattern of angstroms (first
(See Figure 0C). Furthermore, the above TeOx il! (20) is protected by the remaining photoresist layer (21) and etched to remove the exposed TeOx i.
The EI layer (20) is dissolved and removed (see Figure 10C). Here, as the etching method, a dry etching (reactive ion etching) method using CCl2H2 as an etching gas was used. In addition, instead of dry etching method
A wet etching method using a solvent mainly composed of C,1 may be applied.

次いで、残留する上記フォトレジスト層(21)をアセ
トン等の有機溶剤により溶解除去した後、上記記録層(
3)側基板(2)面上にSiO2にて構成される保護層
(5)を均一に形成し、基板(2)上において同心円状
に設けられた記録層(3)にて形成されたトラック(4
)を備える光記録媒体(1)を製造した(第10図C参
照)。
Next, the remaining photoresist layer (21) is dissolved and removed using an organic solvent such as acetone, and then the recording layer (21) is removed.
3) A protective layer (5) composed of SiO2 is uniformly formed on the side substrate (2) surface, and tracks are formed with a recording layer (3) provided concentrically on the substrate (2). (4
) was produced (see FIG. 10C).

尚、この製法例においてはフォトマスク(22)を使用
し、上記フォトレジストII(21)をトラックパター
ン状に変質させる方法が採られているが、−様にフォト
レジスト層が形成された基板を回転させながら、上記フ
ォトレジスト層面に集束させたレーザ光を1トラツクず
つ照射させ、このフォトレジスト層(21)をトラック
パターン状に現像液可溶性に変質させる方法を採っても
よい。この場合、Arレーザ光(波長4579オングス
トローム)、Krイオンレーザ光(波長4131オング
ストローム)、及びHe−Cdレーザ光(1長4416
.tンクストローム)等のレーザ光が使用できる。
In this manufacturing method example, a photomask (22) is used to transform the photoresist II (21) into a track pattern. A method may also be adopted in which the surface of the photoresist layer (21) is irradiated track by track with a focused laser beam while rotating, thereby changing the photoresist layer (21) into a developer-soluble one in a track pattern. In this case, Ar laser light (wavelength 4579 angstroms), Kr ion laser light (wavelength 4131 angstroms), and He-Cd laser light (1 length 4416 angstroms) are used.
.. It is possible to use a laser beam such as a laser beam such as a laser beam (e.g.

(第三製法例) この方法は、第11図(a)〜(、C)に示すようにガ
ラス製基板(2)全面に形成されたTeOxの薄層をレ
ーザビームを照射させるレーザカッティング処理により
部分的に除去して記録層(3)を形成し、渦巻き状のト
ラック(4)を伺える光記録媒体(1)を製造するもの
である。
(Third manufacturing method example) This method is performed by a laser cutting process in which a thin layer of TeOx formed on the entire surface of a glass substrate (2) is irradiated with a laser beam, as shown in FIGS. 11(a) to (, C). A recording layer (3) is formed by partially removing it, and an optical recording medium (1) in which a spiral track (4) can be seen is manufactured.

この場合、上記基板(2)にはトラッキングサーボ用の
凹溝(30)を形成し、上記レーザビームを所定部位へ
確実に照射させる方法が採られる。
In this case, a method is adopted in which a groove (30) for tracking servo is formed in the substrate (2) to ensure that the laser beam is irradiated to a predetermined location.

また、上記凹溝(30)は、上述のようにレーザカッテ
ィング処理の際に利用されるものであって、光記録媒体
(1)の記録、再生時において利用されるもので無いた
め、第11図(b)に示すように上記凹溝(30)と記
録層(3)の幅寸法は一致せずどもよい。
In addition, the groove (30) is used during the laser cutting process as described above, and is not used when recording or reproducing the optical recording medium (1). As shown in Figure (b), the width dimensions of the groove (30) and the recording layer (3) do not have to match.

[発明の効果] 本発明は以上のように、トラックピッチを小さめに設定
でき、媒体ノイズの減少が図れ、かつ、記録ドツトの形
状を矩形状に近似させることが可能となるため、トラッ
ク密度、C/N比、並びにジッターの向上を図ることが
可能になると共に、再生ノイズ等を減少できる効果を有
しており、しかも、記録層の内部ストレスが減少するた
め長期に亘って記録性能が劣化しない効果を有している
[Effects of the Invention] As described above, the present invention makes it possible to set the track pitch to a smaller value, reduce medium noise, and approximate the shape of the recording dots to a rectangular shape. It not only makes it possible to improve the C/N ratio and jitter, but also has the effect of reducing reproduction noise, etc. Moreover, since the internal stress of the recording layer is reduced, recording performance deteriorates over a long period of time. It has no effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図〜第11図は本発明の実施例を示しており、第1
図は実施例に係る光記録媒体の斜視図、第2図はその部
分断面斜視図、第3図(a)は光記録媒体の部分断面図
、第3図(b)はその部分平面図、第3図(C)は記録
、再生用半導体レーザスポットの照度分布、第3図(d
)はトラックピッチを最小にした場合の光記録媒体の部
分平面図、第4図、第6図、及び第8図は記録層、トラ
ック及び記録ドツトの形状を示す平面図、第5図は再生
信号レベルと時間との関係図、第7図は再生信号におけ
るキャリア信号レベルとノイズ信号レベルとの関係を示
す関係図、第9図(a)〜(f)は光記録媒体の第−製
造例を示す工程説明図、第10図(a)〜(e)は光記
録媒体の第二製造例を示す工程説明図、第11図(a)
〜(C)は第三製法例により得られた光記録媒体の断面
図を夫々示し、第12図〜第22図は従来における光記
録媒体を示しており、第12図はその斜視図、第13図
及び第16図はその部分断面斜視図、第14図は半導体
レーザ等光源の照度分布とその収束光スポットの照度分
布、第15図は第14図におけるIの拡大図、第17図
は光記録媒体の再生時における説明図、第18図(a)
は光記録媒体の部分断面図、第18図(b)はその部分
平面図、第18図(C)は記録、再生用半導体レーザス
ポットの照度分布、第18図(d)はトラックピッチを
最小にした場合の光記録媒体の部分平面図、第19図〜
第21図はトラック、記録層、及び記録ドツトの形状を
示す平面図、及び第22図は記録層に加わる内部ストレ
スを示す説明図である。 [符号説明] (1)・・・光記録媒体 (2) −・・基板 (3)・・・記録層 (4)・・・トラック (5)・・・保′S層 (6)・・・記録ドツト (7)・・・光ヘッド 特 許 出 願 人 富士ゼロックス株式会社代  理
  人  弁理士  中  村  智  廣 (外3名
)第1図 第3図 第4図 第5図 時間 第6図 第7図 再生信号レベル(dB) 第8図 第9図 第10図 力 第11図 第12図 第14図 第15図 第16図 第17図 第19図 り 第20図 第21図 第22図
1 to 11 show embodiments of the present invention.
The figure is a perspective view of an optical recording medium according to an embodiment, FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view thereof, FIG. 3(a) is a partial cross-sectional view of the optical recording medium, and FIG. 3(b) is a partial plan view thereof. Figure 3 (C) shows the illuminance distribution of the recording and reproducing semiconductor laser spot, Figure 3 (d)
) is a partial plan view of the optical recording medium when the track pitch is minimized, FIGS. 4, 6, and 8 are plan views showing the shapes of the recording layer, tracks, and recording dots, and FIG. 5 is a plan view of the optical recording medium when the track pitch is minimized. A diagram showing the relationship between signal level and time. Figure 7 is a diagram showing the relationship between the carrier signal level and noise signal level in the reproduced signal. Figures 9 (a) to (f) are manufacturing examples of optical recording media. 10(a) to (e) are process explanatory diagrams showing a second manufacturing example of an optical recording medium, and FIG. 11(a)
12 to 22 show conventional optical recording media, and FIG. 12 is a perspective view thereof. Figures 13 and 16 are partial cross-sectional perspective views, Figure 14 is the illuminance distribution of a light source such as a semiconductor laser and its convergent light spot, Figure 15 is an enlarged view of I in Figure 14, and Figure 17 is an enlarged view of I in Figure 14. Explanatory diagram when reproducing an optical recording medium, FIG. 18(a)
18(b) is a partial plan view of the optical recording medium, FIG. 18(C) is the illuminance distribution of the recording and reproducing semiconductor laser spot, and FIG. 18(d) is the minimum track pitch. Partial plan view of the optical recording medium in the case of
FIG. 21 is a plan view showing the shapes of tracks, recording layers, and recording dots, and FIG. 22 is an explanatory diagram showing internal stress applied to the recording layer. [Explanation of symbols] (1)... Optical recording medium (2) -... Substrate (3)... Recording layer (4)... Track (5)... Storage layer (6)...・Recording dot (7)... Optical head patent Applicant: Fuji Xerox Co., Ltd. Agent: Patent attorney: Tomohiro Nakamura (3 others) Figure 1 Figure 3 Figure 4 Figure 5 Time Figure 6 Fig. 7 Reproduction signal level (dB) Fig. 8 Fig. 9 Fig. 10 Fig. 11 Fig. 12 Fig. 14 Fig. 15 Fig. 16 Fig. 17 Fig. 19 Fig. 20 Fig. 21 Fig. 22

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)集束光を照射させて光学的に情報の記録再生、あ
るいは記録再生消去を行う光記録媒体であつて、基板と
、この基板の少なくとも一面に間隔を介し記録層にて形
成された複数のトラックとを備え、上記トラックの幅寸
法が記録用集束光スポットの半値幅と同程度以下に設定
されていることを特徴とする光記録媒体。
(1) An optical recording medium that optically records, reproduces, or erases information by irradiating it with focused light, which includes a substrate and a plurality of recording layers formed at intervals on at least one surface of the substrate. an optical recording medium, characterized in that the width of the track is set to be approximately equal to or less than the half width of a focused recording light spot.
(2)上記トラックの幅寸法をT、記録用集束光スポッ
トの1/e^2全幅をΩeとした場合において、上記ト
ラックピッチが略(T+Ωe)/2に設定されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光記録媒体
(2) The track pitch is set to approximately (T+Ωe)/2, where T is the width of the track and Ωe is the 1/e^2 full width of the focused recording light spot. An optical recording medium according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS59154658A (en) * 1983-02-23 1984-09-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Optical disk memory medium

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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