JPH01202710A - 音響光学光変調素子 - Google Patents
音響光学光変調素子Info
- Publication number
- JPH01202710A JPH01202710A JP2942188A JP2942188A JPH01202710A JP H01202710 A JPH01202710 A JP H01202710A JP 2942188 A JP2942188 A JP 2942188A JP 2942188 A JP2942188 A JP 2942188A JP H01202710 A JPH01202710 A JP H01202710A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- medium
- acousto
- ultrasonic medium
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、音響光学光変調素子に関するものである。
音波による光の散乱現象が、レーザ光を制御する有効な
手段である事は知られており、この制御法による音響光
学光変調素子を固体レーザ装置に応用し、そのレーザ光
により微細加工を行うレーザ加工装置は広く用いられて
いる。音響光学変課素子は第３図（ｂ）に示すように超
音波媒体４に超音波振動子を接着した構造を有しており
、これをたとえば、連続発振する固体レーザの共振器中
に挿入し、レーザ光をＱスイッチングさせるための変調
素子として用いる場合、超音波媒体４のレーザビーム１
７通過位置１５に歪１６が存在すると、Ｑスイッチング
動作をした時、出力するレーザ光のエネルギー損失、モ
ード変換を生じさせる結果、レーザ性能を著しく低下さ
せる。
手段である事は知られており、この制御法による音響光
学光変調素子を固体レーザ装置に応用し、そのレーザ光
により微細加工を行うレーザ加工装置は広く用いられて
いる。音響光学変課素子は第３図（ｂ）に示すように超
音波媒体４に超音波振動子を接着した構造を有しており
、これをたとえば、連続発振する固体レーザの共振器中
に挿入し、レーザ光をＱスイッチングさせるための変調
素子として用いる場合、超音波媒体４のレーザビーム１
７通過位置１５に歪１６が存在すると、Ｑスイッチング
動作をした時、出力するレーザ光のエネルギー損失、モ
ード変換を生じさせる結果、レーザ性能を著しく低下さ
せる。
超音波媒体内に生じる歪の原因は、超音波媒体に超音波
振動子を接着する事により、互の応力による複雑な歪が
形成される。従来は、１個の超音波媒体４を用いている
ため、第３図（ｂ）に示すように歪１６は超音波媒体全
体に分布する。
振動子を接着する事により、互の応力による複雑な歪が
形成される。従来は、１個の超音波媒体４を用いている
ため、第３図（ｂ）に示すように歪１６は超音波媒体全
体に分布する。
本発明の目的は、少なく・とも超音波媒体のレーザ光が
通過する部分では歪が存在せず、エネルギー損失、モー
ド変換等によるレーザ性能の低下を抑止し、効率良いＱ
スイッチングを行わせることができる音響光学光変調素
子を提供する事にある。
通過する部分では歪が存在せず、エネルギー損失、モー
ド変換等によるレーザ性能の低下を抑止し、効率良いＱ
スイッチングを行わせることができる音響光学光変調素
子を提供する事にある。
次に、この発明について図面を参照して説明する。
第１図は、この発明の概略構成を示す。音響光学光変調
素子１は、超音波媒体２と、超音波振動子３が接着され
た超音波媒体４と、インピーダンス整合回路５から構成
され、高周波ドライバ７から高周波信号が印加されてい
る。超音波媒体２と４は光学的接着法により６の部分で
接合されている。光学的接着法は、接合しようとする互
の面を光学研磨により曲率を等しく、合せた時に生じる
光波干渉縞が、いわゆるワンカラーの状態を達成すれば
、一部を押え付ける事により、その部分から接合状態に
入り、やがて全面接合に至る。このようにして接合され
た超音波媒体は、１個の固体と見なされるが、第３図（
ａ）に示すように超音波振動子の接着された側の超音波
媒体４内に生じた歪１６は、相手側（超音波媒体２）に
は影響を与えず、超音波振動についても接合面での反射
損失は無視できる程少ない。
素子１は、超音波媒体２と、超音波振動子３が接着され
た超音波媒体４と、インピーダンス整合回路５から構成
され、高周波ドライバ７から高周波信号が印加されてい
る。超音波媒体２と４は光学的接着法により６の部分で
接合されている。光学的接着法は、接合しようとする互
の面を光学研磨により曲率を等しく、合せた時に生じる
光波干渉縞が、いわゆるワンカラーの状態を達成すれば
、一部を押え付ける事により、その部分から接合状態に
入り、やがて全面接合に至る。このようにして接合され
た超音波媒体は、１個の固体と見なされるが、第３図（
ａ）に示すように超音波振動子の接着された側の超音波
媒体４内に生じた歪１６は、相手側（超音波媒体２）に
は影響を与えず、超音波振動についても接合面での反射
損失は無視できる程少ない。
第２図に、本発明の実施例として、固体レーザ発振器に
応用した場合の概略構成を示す。固体レーザ物質は、励
起ランプつと、集光器１０により励起され、反射鏡１１
．１２からなる共振器の中におかれている。この励起ラ
ンプ９には、励起用電源１３により電力が供給されてい
る。そして連続発振光をＱスイッチパルス化させるため
の音響光学光変調素子１は、第１図で説明したように石
英ガラスで作られた超音波媒体２．４と、超音波媒体２
．４に位相回折格子１４を形成するための超音波振動子
３と、インピーダンス整合回路５から構成され、高周波
ドライバ７から高周波信号が印加されている。
応用した場合の概略構成を示す。固体レーザ物質は、励
起ランプつと、集光器１０により励起され、反射鏡１１
．１２からなる共振器の中におかれている。この励起ラ
ンプ９には、励起用電源１３により電力が供給されてい
る。そして連続発振光をＱスイッチパルス化させるため
の音響光学光変調素子１は、第１図で説明したように石
英ガラスで作られた超音波媒体２．４と、超音波媒体２
．４に位相回折格子１４を形成するための超音波振動子
３と、インピーダンス整合回路５から構成され、高周波
ドライバ７から高周波信号が印加されている。
本発明では、レーザ共振器内に置かれた超音波媒体に歪
を存在させないようにした事により、レーザ共振器内の
Ｑ値がより高められ、エネルギー損失やモード変換も生
じない、安定したＱスイッチパルス発振光が得られる。
を存在させないようにした事により、レーザ共振器内の
Ｑ値がより高められ、エネルギー損失やモード変換も生
じない、安定したＱスイッチパルス発振光が得られる。
超音波媒体内の歪の影響は、その部分を通過するレーザ
ビームに対し、散乱、吸収等によって損失となる結果、
出力されるエネルギーの低下、ビームの形を変える、い
わゆるモード変換の原因となる。また超音波振動による
位相回折格子の格子間隔の乱れによる回折効率の低下原
因ともなる。
ビームに対し、散乱、吸収等によって損失となる結果、
出力されるエネルギーの低下、ビームの形を変える、い
わゆるモード変換の原因となる。また超音波振動による
位相回折格子の格子間隔の乱れによる回折効率の低下原
因ともなる。
従って、できる限り歪のない状態にし、エネルギー損失
や、モード変換を抑止する事が重要となる。
や、モード変換を抑止する事が重要となる。
本発明の音響光学光変調素子では、超音波媒体を２個の
部分で楕成し、互に光学的接着法により接合する事で歪
の無い部分において変調作用を行わせる事ができるため
、エネルギー損失や、モード変換等を生じさせる事なく
、共振器内の高いＱ値による安定したＱスイッチパルス
発振光を得る事ができる。
部分で楕成し、互に光学的接着法により接合する事で歪
の無い部分において変調作用を行わせる事ができるため
、エネルギー損失や、モード変換等を生じさせる事なく
、共振器内の高いＱ値による安定したＱスイッチパルス
発振光を得る事ができる。
尚、実施例では超音波媒体を２つ接合した例について説
明したが、３つ以上の超音波媒体を接合しても同様の効
果が得られる。
明したが、３つ以上の超音波媒体を接合しても同様の効
果が得られる。
第１図は、この発明の音響光学光変調素子の概略構成を
示す。第２図は、実施例の概略構成を示す。第３図は、
本発明による音響光学光変調素子と、従来の音響光学光
変調素子におけるレーザビームと歪の関係を立体的に示
したものである。 第１図から第３図までにおいて、１・・・音響光学光変
調素子、２・・・超音波媒体、３・・・超音波振動子、
４・・・超音波媒体、５・・・インピーダンス整合回路
、６・・・光学的接着部、７・・・高周波ドライバ、８
・・・固体レーザ物質、９・・・励起ランプ、１０・・
・集光器、１１〜１２・・・反射鏡、１３・・・励起用
電源、１４・・・位相回折格子、１５・・・レーザビー
ムが通過する位置を示す、１６・・・歪の状態、１７・
・・レーザビームである。
示す。第２図は、実施例の概略構成を示す。第３図は、
本発明による音響光学光変調素子と、従来の音響光学光
変調素子におけるレーザビームと歪の関係を立体的に示
したものである。 第１図から第３図までにおいて、１・・・音響光学光変
調素子、２・・・超音波媒体、３・・・超音波振動子、
４・・・超音波媒体、５・・・インピーダンス整合回路
、６・・・光学的接着部、７・・・高周波ドライバ、８
・・・固体レーザ物質、９・・・励起ランプ、１０・・
・集光器、１１〜１２・・・反射鏡、１３・・・励起用
電源、１４・・・位相回折格子、１５・・・レーザビー
ムが通過する位置を示す、１６・・・歪の状態、１７・
・・レーザビームである。
Claims (1)
- 超音波媒体と、超音波媒体に固着した超音波振動子と、
超音波振動子に接続したインピーダンス整合回路とを備
えている音響光学光変調素子において、超音波振動子が
付いた超音波媒体と、超音波振動子が付いていない少な
くとも１個の超音波媒体が光学的接着法によって整合さ
れている事を特徴とする音響光学光変調素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2942188A JPH01202710A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 音響光学光変調素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2942188A JPH01202710A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 音響光学光変調素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01202710A true JPH01202710A (ja) | 1989-08-15 |
Family
ID=12275665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2942188A Pending JPH01202710A (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 音響光学光変調素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01202710A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013172100A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置の調整方法およびレーザ装置の製造方法 |
-
1988
- 1988-02-09 JP JP2942188A patent/JPH01202710A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013172100A (ja) * | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置の調整方法およびレーザ装置の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4330699A (en) | Laser/ultrasonic welding technique | |
| US6108356A (en) | Intracavity optical parametric oscillators | |
| CA2240694A1 (en) | Ultrasonic apparatus | |
| US3656068A (en) | Resonant self-pulsing acousto-optical modulator | |
| CN103594916A (zh) | 声光调制的腔倒空co2激光器 | |
| US3828276A (en) | High efficiency acousto-optical q-switch | |
| US4979176A (en) | Acousto-optical device with lithium tantalate transducer | |
| GB2052842A (en) | Fast acousto-optic q-switch laser | |
| JP5088623B2 (ja) | レーザ共振器 | |
| JPH01202710A (ja) | 音響光学光変調素子 | |
| JPH1152443A (ja) | レーザ光発生装置 | |
| EP1128506A3 (en) | Ultrashort pulse laser oscillator | |
| JP2956279B2 (ja) | Ｑスィッチ制御レーザ装置 | |
| JPS6313386A (ja) | 短パルスレ−ザ光発生装置 | |
| CN211208892U (zh) | 一种双声光调q的u形谐振腔激光器 | |
| JP3633045B2 (ja) | 波長フィルタ | |
| JPH02146786A (ja) | 光変調素子 | |
| JPS5878119A (ja) | 音響光学的光変調素子 | |
| JPS5775482A (en) | Q switch laser device | |
| JPS58156919A (ja) | 音響光学光変調素子 | |
| JPS59125713A (ja) | 超音波ｑスイツチ装置 | |
| JPH0310686Y2 (ja) | ||
| SU556688A1 (ru) | Лазер с внутренней ультразвуковой модул цией интенсивности излучени | |
| JPH01164920A (ja) | 音響光学素子 | |
| JPS60144715A (ja) | 光周波数変調器 |