JPH01203033A

JPH01203033A - 輸送容器装置及びこれを用いた輸送方法

Info

Publication number: JPH01203033A
Application number: JP63025684A
Authority: JP
Inventors: Takao Yasue; 孝夫安江
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1988-02-08
Filing date: 1988-02-08
Publication date: 1989-08-15
Anticipated expiration: 2010-05-10
Also published as: US5043148A; JPH0741157B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は試料を高真空度状態に保持したまま真空装置
間の輸送を行なう輸送容器装置及びこれを用いた輸送方
法に関するものである。

〔従来の技術〕

−ｍに、高真空度あるいは中真空度の真空装置内で各種
の処理がなされた試料を一旦その装置から取り出し、後
に再びその真空装置内または他の真空装置内に収容させ
る場合には、試料を大気に晒すことなく真空状官に保持
したまま輸送することが要求されることがある。従来、
このような要求に応えるものとして、第４図に示される
ような輸送容器装置が用いられていた。この輸送容器装
置は容器本体（１）の下部に開閉自在に設けられた連結
部（２）と、容器本体（１）の側部に接続部（３）を介
して気密に接続されたイオンポンプ等からなる真空ポン
プ（４）とを備えている。そして、連結部（２）を閉じ
たままこれを図示しない真空装置に気密に連結させると
共に真空ポンプ（４）により容器本体（１）内を真空引
きして高真空度あるいは中真空度に保持させる。この状
態で連結部（２）を開いて真空装置内から試料（５）を
容器本体（１）内に移送しこれをホルダ（６）に支持さ
せた後、連結部（２）を閉じる。その後、連結部（２）
を開いて試料（５）を再び真空装置内に収容させるか、
あるいは連結部（２）を真空装置から切り離して他の真
空装置に連結し試料く５）をその中に収容させる。

このようにして、試料（５）は大気に晒されることなく
真空装置間を輸送される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、容器本体（１）内の真空度を保つために
は電源ケーブル（７）を通して電源（図示せず）から真
空ポンプ（４）に電力を供給することにより、輸送の間
絶えず真空ポンプ（４）を作動させる必要がある０通常
、電源は固定されているため、輸送容器装置の可動範囲
が電源ケーブル（７）の移動可能な範囲に制限されると
いう問題点があった。

また、真空ポンプを用いているので輸送容器装置が高価
になるという問題もあった。

この発明は、このような課題を解決するためになされた
もので、優れた可搬性を有すると共に安価な輸送容器装
置を提供することを目的とする。

さらに、この発明はこのような輸送容器装置を用いて高
真空度状態を保持したまま試料の輸送を行なう輸送方法
を提供することも目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

第１の発明に係る輸送容器装置は、真空装置から取り出
した試料を収容し支持する密閉容器と。

この密閉容器内の気体を吸着することにより密閉容器内
を減圧するための減圧手段とを備えたものである。

また、第２の発明に係る輸送方法は、試料が収容されて
いる真空装置に第１の発明の輸送容器装置の密閉容器を
気密に連絡する工程と、真空装置から密閉容器内に試料
を移動し且つこの試料を密閉容器内に保持させる工程と
、密閉容器を密閉した状態でこれを真空装置から切り離
す工程と、密閉容器を他の真空装置に気密に連結する工
程と、試料を密閉容器から他の真空装置内に移送する工
程とを有している。

〔作用〕

この発明で用いる減圧手段は、モレキュラーシーブ等の
吸着剤に気体を吸着させることにより排気を行なうもの
であり、電源及び電源ケーブルを必要としない。

従って、真空ポンプの代わりにこのような減圧手段を用
いれば、可搬性に優れた輸送容器装置が実現される。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図はこの発明の一実施例に係る輸送容器装置を示す
要部破断側面図である。第１図において、輸送容器装置
は筒状の容器本体（１）を有し、この容器本体（１）の
一端が開放されると共にこの開放端部に開閉自在に連結
部（２）が設けられており、これら容器本体（１）と連
結部（２）とによって密閉容器（Ｖ）が形成されている
。

この密閉容器（Ｖ）の内壁には半導体装置のような試料
（５）を支持するためのホルダ（６）が取り付けられて
いる。

また、容器本体（１）の外側部には接続部（３）を介し
て減圧手段（８）が気密に接続されている。この減圧手
段（８）は有底円筒形状の吸着剤収容部（１０）を有し
、この吸着剤収容部（１０）の上端にＬ字形の接続管（
９）が接続されると共にその接続管（９）が接続部（３
）に気密に接続されている。吸着剤収容部（１０）の外
周部にはこの吸着剤収容部（１０）を収容する断熱容器
（１１）が設けられている。断熱容器（１１）と吸着剤
収容部（１０）との間には空隙が形成されており、この
空隙内に液体窒素等の冷却媒体（１２）が収容されてい
る。また、接続管（９）の−部には圧力解放のための安
全弁（１３）が設けられている。さらに、吸着剤収容部
（１０）内には吸着剤として人工ゼオライトモレキュラ
ーシーブ（１４）が収容されている。

次に、この実施例の作用を説明する。

予め密閉容器（Ｖ）を、連結部（２）を介して真空装置
（図示せず）に気密に連結させる。この状態で連結部（
２）を開き、真空装置の１Ｊ＃気装置（図示せず）によ
り密閉容器（Ｖ）内を真空装置内と共に真空引き（荒引
き土木引き）して高真空状態とする。

次に、真空装置内から試料（５）を収り出して容器本体
（１）内のホルダ（６）に支持させた後、連結部（２）
を閉じる。

これにより試料（５）の密閉容器（Ｖ）内への移送が行
なわれるが、このとき吸着剤収容部（１０）内のモレキ
ュラーシーブ（１４）は断熱容器（１１）内の冷却媒体
（１２）により低温に冷却されている。−最に、モレキ
ュラーシーブ等の吸着剤は低温低圧下で空気の成分に対
し高い吸着能力を有している。従って、密閉容器（Ｖ）
内に残留している空気は減圧手段（８）内のモレキュラ
ーシーブ（１４）に吸着される。

すなわち、密閉容器（Ｖ）内の真空度の低下が抑制され
、高真空度状態が維持される。

その後、連結部（２）を開いて試料（５）を再び元の真
空装置内に移送するか、あるいは連結部（２）をその真
空装置から切り離して他の真空装置に連結し試料（５）
の移送を行なう、このとき、従来と異なり真空ポンプを
用いていないのでこの輸送容器装置には真空ポンプを電
源に接続するための電源ケーブルが存在せず、このため
移動範囲に制限を受けることなく自由に試料（５）を内
蔵した輸送容器装置を移動することができる。

このようにして、試料（５）を高真空度状態に保持した
まま真空装置間の輸送が行なわれる。

なお、モレキュラーシーブ（１４）は、高温に加熱する
ことにより既に吸着した水蒸気をよく脱離し、また室温
では既に吸着した他の全ての気体をよく脱離する。そこ
で、減圧手段（８）の吸着剤収容部（１０）を断熱容器
（１１）から取り出し、これを加熱することにより、モ
レキュラーシーブ（１４）の吸着能力は十分に回復する
。すなわち、モレキュラーシーブ（１４）の再利用が可
能である。この場合、モレキュラーシーブ（１４）から
脱離した気体は、接続管（９）の外側部に設けられてい
る安全弁（１３）から外部に放出される。

また、減圧手段（８）の吸着能力が十分に高い場合には
、吸着剤収容部（１０）を常時冷却媒体（１２）で冷却
せずに、ある所定時間間隔で吸着剤収容部（１０）を断
熱容器（１１）内に挿入して冷却しても、密閉容器（Ｖ
）内の真空度を保持することができる。

逆に、減圧手段（８）の吸着能力が低くて１台の減圧手
段（８）では密閉容器（Ｖ）内の真空度を保持すること
が難しい場合には、密閉容器（Ｖ）に複数の接続部（３
）を設けて、複数台の減圧手段（８）を密閉容器（Ｖ）
に収り付けると効果的である。

なお、断熱容器（１１）内に収容する冷却媒体（１２）
としては液体窒素に限るものではなく、液体空気等の他
の冷媒を用いることもできる。

また、ヘキ開、熱処理、薬品処理等の処理が施された試
料（５）を輸送する場合には、初めに試料（５）を真空
装置内に入れるのではなく、まず試料（５）を密閉容器
（Ｖ）内に挿入して減圧手段（８）により密閉容器（Ｖ
）内を荒引きすることが望ましい。

このようにすれば、処理を施した時に試料（５）に汚染
が生じても、真空装置内への汚染の広がりを軽減し、真
空装置を保護することができる。もちろん、密閉容器（
Ｖ）内は汚染されることになるが、この密閉容器（Ｖ）
は真空装置に比べてはるかに小さい容積を有しているの
で、そのクリーニングは容易である。

さらに、上述したように密閉容器（Ｖ）に複数台の減圧
手段（８）を取り付けた場合には、一部の減圧手段く８
）をクリーニングする間にも残りの減圧手段（８）によ
って運転することができるので、装置の稼動率が大幅に
向上する。

〔発明の効果〕以上説明したようにこの発明によれば、密閉容器に接続
された軽量の減圧手段により該密閉容器内を排気するよ
うな構成としたので、真空ポンプを用いずに密閉容器内
を高真空度状態に保持することができる。従って、従来
用いられていた電源ケーブルが不要となり優れた可搬性
を示すようになり、また、真空ポンプを用いないので、
安価な輸送容器装置を実現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る輸送容器装置を示す
要部破断側面図、第２図は従来例を示す要部破断側面図
である。図において、（１）は容器本体、（２）は連結部、（３
）は接続部、（５）は試料、（６）はホルダ、（８）は
減圧手段、（９）は接続管、（１０）は吸着剤収容部、
（１１）は断熱容器、（１２）は冷却媒体、（１４）は
モレキュラーシーブ、（Ｖ）は密閉容器である。なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。第　１　閃Ｑド積鉢俸２：連結部３：樗絖邪５：試料６：ホルダ８：へ圧手段９：撓繞管１０：漿渚剤収容邪１１：断熱容器１２：玲卸珠床１４：モレキュラーシーフ゛Ｖ：ウロ■客ネ（

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空装置から取り出した試料を内部に収容し支持
する密閉容器と、該密閉容器内の気体を吸着することに
よりこの密閉容器内を減圧するための減圧手段とを備え
たことを特徴とする輸送容器装置。
（２）前記減圧手段は、その内部が前記密閉容器内に連
通している第１の容器と、該第１の容器内に収容される
と共に前記密閉容器内の気体を吸着するための吸着剤と
、前記第１容器が収容されると共に、その第１の容器を
介して前記吸着剤を冷却するための冷却媒体が収容され
ている第２の容器とを有することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の輸送容器装置。
（３）前記吸着剤はモレキュラーシーブであることを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の輸送容器装置。
（４）前記冷却媒体は液体窒素からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の輸送容器装置。
（５）前記密閉容器と前記減圧手段とが一体化されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の輸送容
器装置。
（６）前記密閉容器と前記減圧手段との一体化がこれら
を気密に接続する接続部を介してなされることを特徴と
する特許請求の範囲第５項記載の輸送容器装置。
（７）前記密閉容器は一端を開放した容器本体と、その
開放端に開閉自在に設けられると共に真空装置に気密に
接続されうる連結部とからなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の輸送容器装置。
（８）試料が収容されている真空装置に、密閉容器と該
密閉容器内の気体を吸着することによりこの密閉容器内
を減圧するための減圧手段とを備えた輸送容器装置の前
記密閉容器を気密に連結する工程と、前記真空装置から前記密閉容器内に前記試料を移動し且
つこの試料を前記密閉容器内に保持させる工程と、前記密閉容器を密閉した状態でこれを前記真空装置から
切り離す工程と、前記密閉容器を他の真空装置に気密に連結する工程と前記試料を前記密閉容器から前記他の真空装置内に移送
する工程とを有することを特徴とする輸送容器装置を用いた輸送方
法。
（９）前記試料は半導体装置であることを特徴とする特
許請求の範囲第８項記載の輸送方法。