JPH01204305A - 誘電体磁器組成物 - Google Patents
誘電体磁器組成物Info
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- JPH01204305A JPH01204305A JP63027150A JP2715088A JPH01204305A JP H01204305 A JPH01204305 A JP H01204305A JP 63027150 A JP63027150 A JP 63027150A JP 2715088 A JP2715088 A JP 2715088A JP H01204305 A JPH01204305 A JP H01204305A
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- dielectric ceramic
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4644—Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
- H05K3/4673—Application methods or materials of intermediate insulating layers not specially adapted to any one of the previous methods of adding a circuit layer
- H05K3/4676—Single layer compositions
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は誘導体磁器組成物に係り、特に低温で焼結でき
、信頼性の高い積層基板用材料として好適な誘電体磁器
組成物に関する。
、信頼性の高い積層基板用材料として好適な誘電体磁器
組成物に関する。
(従来の技術)
最近、ハイブリットIC基板の分野においては、小形化
のため、あるいは低廉化のため、回路の実装密度が高め
られる多層描造の基板が使用されている。この基板材料
としては従来からアルミナ系又はガラスセラミック系の
誘電体磁器組成物が用いられていた1、このうちアルミ
ナ系のものは、アルミナ92〜97重量%と残部がCa
0−Hg0−8102等からなる混合粉末に有機バイン
ダー、溶剤等を加えて泥漿(スラリー)とし、これをド
クターブレード法等によってセラミックグリーンシート
を形成し、この上にタングステン等の導体ペーストで所
望の回路導体パターンを形成し、次いでシートを積み重
ねて熱圧着し、これを加湿水素ガス雰囲気中において1
600°へ・1700℃の高温で焼成して製造される。
のため、あるいは低廉化のため、回路の実装密度が高め
られる多層描造の基板が使用されている。この基板材料
としては従来からアルミナ系又はガラスセラミック系の
誘電体磁器組成物が用いられていた1、このうちアルミ
ナ系のものは、アルミナ92〜97重量%と残部がCa
0−Hg0−8102等からなる混合粉末に有機バイン
ダー、溶剤等を加えて泥漿(スラリー)とし、これをド
クターブレード法等によってセラミックグリーンシート
を形成し、この上にタングステン等の導体ペーストで所
望の回路導体パターンを形成し、次いでシートを積み重
ねて熱圧着し、これを加湿水素ガス雰囲気中において1
600°へ・1700℃の高温で焼成して製造される。
又、ガラスセラミック系の多層基板は、ホウケイ酸鉛ガ
ラスとアルミナ等の金属酸化物との混合粉末に有機バイ
ンダー、溶剤等を加えて泥漿とし、前記と同様の方法で
グリーンシートを形成し、この上にA(1、又はA(]
/ Pd等の導体ペーストで回路導体パターンを形成し
、次いでシートを積み重ねて熱圧着し、これを大気中に
て900°〜1000℃で焼成して製造される。
ラスとアルミナ等の金属酸化物との混合粉末に有機バイ
ンダー、溶剤等を加えて泥漿とし、前記と同様の方法で
グリーンシートを形成し、この上にA(1、又はA(]
/ Pd等の導体ペーストで回路導体パターンを形成し
、次いでシートを積み重ねて熱圧着し、これを大気中に
て900°〜1000℃で焼成して製造される。
(発明が解決しようとする問題点)
アルミナ系の誘電体磁器組成物では1600’〜170
0℃という高い焼成温度を必要とし、そのため製造設備
や諸経費が高くなり、また回路導体用のペーストにも高
温焼成に耐え得るものを使用する必要があり、このよう
なペーストは一般には比抵抗が高いので高周波回路に使
用すると電気特性が劣化するという問題があった。
0℃という高い焼成温度を必要とし、そのため製造設備
や諸経費が高くなり、また回路導体用のペーストにも高
温焼成に耐え得るものを使用する必要があり、このよう
なペーストは一般には比抵抗が高いので高周波回路に使
用すると電気特性が劣化するという問題があった。
一方、ガラスセラミックス系の誘電体磁器組成物では焼
成温度は低くて済むという利点があるが材料中には当然
のこととしてガラス成分が多量に含まれているため、焼
成時に発泡によるピンホールが発生し易く、また回路導
体にA(lを含むものを使用するとAg成分がガラスへ
移行して基板の絶縁を劣化してしまうとしう問題を解決
する必要があった。
成温度は低くて済むという利点があるが材料中には当然
のこととしてガラス成分が多量に含まれているため、焼
成時に発泡によるピンホールが発生し易く、また回路導
体にA(lを含むものを使用するとAg成分がガラスへ
移行して基板の絶縁を劣化してしまうとしう問題を解決
する必要があった。
(問題点を解決するための手段)
本発明は上記問題を解決するためHgOが16.2乃至
32.4重量%、Nb2αか48.2乃至64.8 重
量%、lnOが5乃¥18重量%、B!203が1.2
5乃至7.5重量%、Li2 CO3が1.25重量%
乃至7.5重量%の範囲で総重力を100%として誘電
体磁器組成物とした。。
32.4重量%、Nb2αか48.2乃至64.8 重
量%、lnOが5乃¥18重量%、B!203が1.2
5乃至7.5重量%、Li2 CO3が1.25重量%
乃至7.5重量%の範囲で総重力を100%として誘電
体磁器組成物とした。。
(作用)
上記の本発明の誘電体磁器組成物は1000℃以下の温
度で焼成でき、したがって特に多層基板を製造する場合
に回路導体用ペーストに銀糸のものを使用することがで
き、しかも焼成時に銀の移行が発生することがない。
度で焼成でき、したがって特に多層基板を製造する場合
に回路導体用ペーストに銀糸のものを使用することがで
き、しかも焼成時に銀の移行が発生することがない。
(実施例)
酸化マグネシウム(Hoe)、酸化ニオブ(Nb20s
)酸化耶鉛(lnO)、酸化ビスマス(Bi2Q3)、
炭酸リチウム(Li2CO3)を出願原料としてこれを
第1表に示す17通りの配合比に秤量した後ボールミル
で湿式混合してこれを乾燥し、次いで800゜乃至90
0℃で仮焼を行なった。その後再び仮焼物をボールミル
で湿式粉砕して中間生成物粉体とし、これを乾燥した後
有機バインダー溶剤等を加えてスラリーとした。
)酸化耶鉛(lnO)、酸化ビスマス(Bi2Q3)、
炭酸リチウム(Li2CO3)を出願原料としてこれを
第1表に示す17通りの配合比に秤量した後ボールミル
で湿式混合してこれを乾燥し、次いで800゜乃至90
0℃で仮焼を行なった。その後再び仮焼物をボールミル
で湿式粉砕して中間生成物粉体とし、これを乾燥した後
有機バインダー溶剤等を加えてスラリーとした。
このスラリーを用いて、従来例と同様にドクターブレー
ド法によりセラミックグリーンシートを形成し、この上
にAg/Pdを含む導体ペーストでスクリーン印刷によ
って所望の回路導体パターンを形成しこれを10枚重ね
合わせて熱圧着し、大気中で950℃の温度で焼成して
第1図に示すような多層基板を作成した。このときの回
路導体パターンの面積は4−でありこれを−層おきに接
続して積層コンデンリを形成して2つの電極1.2間で
絶縁抵抗I−Rを測定した。なお第1表には比誘電率ε
、及び誘電正接tanδの測定値も示した。
ド法によりセラミックグリーンシートを形成し、この上
にAg/Pdを含む導体ペーストでスクリーン印刷によ
って所望の回路導体パターンを形成しこれを10枚重ね
合わせて熱圧着し、大気中で950℃の温度で焼成して
第1図に示すような多層基板を作成した。このときの回
路導体パターンの面積は4−でありこれを−層おきに接
続して積層コンデンリを形成して2つの電極1.2間で
絶縁抵抗I−Rを測定した。なお第1表には比誘電率ε
、及び誘電正接tanδの測定値も示した。
表 1
第1表において*印のついた試FANα1.3,7゜8
.11,13.15及び17は本発明の範囲から除かれ
るものであり、tanδが50X10−4よりも大きく
なっているか、又は絶縁抵抗I−Rが100GΩ(ギカ
オーム)よりも小さくなっており、多層基板として望ま
しくない値になっている。
.11,13.15及び17は本発明の範囲から除かれ
るものであり、tanδが50X10−4よりも大きく
なっているか、又は絶縁抵抗I−Rが100GΩ(ギカ
オーム)よりも小さくなっており、多層基板として望ま
しくない値になっている。
本発明の組成物はガラスを含まないため発泡によるピン
ホールや基板内への銀の移行がなく、したがって ta
nδの悪化や絶縁抵抗の劣化が少なくなっている。
ホールや基板内への銀の移行がなく、したがって ta
nδの悪化や絶縁抵抗の劣化が少なくなっている。
(効果)
以上のように本発明によれば多層基板を構成した場合に
おいて、1000℃以下という低温で焼成でき、しかも
銀系の導体ペーストを使用できるので安価な製造設備を
使用でき、また製品の信頼性が向上するので歩留が上げ
られ、低廉なセラミック部品が得られる。
おいて、1000℃以下という低温で焼成でき、しかも
銀系の導体ペーストを使用できるので安価な製造設備を
使用でき、また製品の信頼性が向上するので歩留が上げ
られ、低廉なセラミック部品が得られる。
第1図は本発明を実施した多層基板の断面図を示す。
1.2・・・電極。
Claims (1)
- HgOが16.2乃至32.4重量%、Nb_2O_5
が48.2乃至64.8重量%ZnOが5乃至18重量
%、Si_2O_3が1.25乃至7.5重量%、Li
_2CO_3が1.25乃至7.5重量%の範囲で総重
量を100%としたことを特徴とする誘電体磁器組成物
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63027150A JPH01204305A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63027150A JPH01204305A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 誘電体磁器組成物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01204305A true JPH01204305A (ja) | 1989-08-16 |
Family
ID=12213019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63027150A Pending JPH01204305A (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | 誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01204305A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0585820A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-06 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体磁器組成物 |
| USRE37385E1 (en) | 1985-09-30 | 2001-09-18 | Kabushiki Kaisha Toyoto Chuo Kenkyusho | Composite material and process for manufacturing same |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP63027150A patent/JPH01204305A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE37385E1 (en) | 1985-09-30 | 2001-09-18 | Kabushiki Kaisha Toyoto Chuo Kenkyusho | Composite material and process for manufacturing same |
| JPH0585820A (ja) * | 1991-10-01 | 1993-04-06 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体磁器組成物 |
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