JPH01204337A - 点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球 - Google Patents
点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球Info
- Publication number
- JPH01204337A JPH01204337A JP2670588A JP2670588A JPH01204337A JP H01204337 A JPH01204337 A JP H01204337A JP 2670588 A JP2670588 A JP 2670588A JP 2670588 A JP2670588 A JP 2670588A JP H01204337 A JPH01204337 A JP H01204337A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- electron gun
- target
- line
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、水冷式のターゲットを有するＸ線管球に関し
、特に点焦点と線焦点を切り換え可能にしたＸ線管球に
関する。
、特に点焦点と線焦点を切り換え可能にしたＸ線管球に
関する。
［従来の技術］
Ｘ線管球では、電子銃からの電子線をターゲットに線状
に当ててＸ線を発生させている。したがって、Ｘ線の発
生部分は線状になる。そして、この線状のＸ線をＸ線管
球から取り出す方向によって、点焦点または線焦点のＸ
線源として利用している。
に当ててＸ線を発生させている。したがって、Ｘ線の発
生部分は線状になる。そして、この線状のＸ線をＸ線管
球から取り出す方向によって、点焦点または線焦点のＸ
線源として利用している。
Ｘ線を利用した分析装置などにおいては、使用目的によ
って点焦点と線焦点とを使い分ける必要があり、もし１
台のＸ線管球でこれらを使い分けることができれば便利
である。従来は、Ｘ線管球からのＸ線の取り出し方向に
よってこれらを使い分けている。
って点焦点と線焦点とを使い分ける必要があり、もし１
台のＸ線管球でこれらを使い分けることができれば便利
である。従来は、Ｘ線管球からのＸ線の取り出し方向に
よってこれらを使い分けている。
［発明が解決しようとする課題］
もし、特定の一つの方向において点焦点と線焦点とを切
り替えようとすれば、封入式のＸ線管球にあっては、管
球全体を９０度だけ回転してセツティングをし直すこと
になり、一方、開放式のＸ線管球にあっては、真空を大
気に戻してターゲットや電子銃の取り付は角度を変更す
ることになり、どちらの場合も手間がかかる。後者の場
合は、原理的には、電子銃の取り付は角度を変更するだ
けで切替可能であるが、ターゲット裏面の冷却水の噴出
口の形状が電子の当たる領域に対応して線状になってい
るため、ターゲットの取り付は角度をも変更しなければ
ならないという事情がある。
り替えようとすれば、封入式のＸ線管球にあっては、管
球全体を９０度だけ回転してセツティングをし直すこと
になり、一方、開放式のＸ線管球にあっては、真空を大
気に戻してターゲットや電子銃の取り付は角度を変更す
ることになり、どちらの場合も手間がかかる。後者の場
合は、原理的には、電子銃の取り付は角度を変更するだ
けで切替可能であるが、ターゲット裏面の冷却水の噴出
口の形状が電子の当たる領域に対応して線状になってい
るため、ターゲットの取り付は角度をも変更しなければ
ならないという事情がある。
以上の点に鑑み、本発明の目的は、非常に簡単な操作で
、同一方向において点焦点とＸ線焦点とを切替可能にし
たＸ線管球を提供することにある。
、同一方向において点焦点とＸ線焦点とを切替可能にし
たＸ線管球を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
以上の目的を達成するため、請求項１の発明に係るＸ線
管球では、電子線の当るターゲット面の裏側の冷却水噴
出口の形状を十字形とし、電子銃を真空容器に対して回
転可能に取り付けたことを特徴とする。
管球では、電子線の当るターゲット面の裏側の冷却水噴
出口の形状を十字形とし、電子銃を真空容器に対して回
転可能に取り付けたことを特徴とする。
また、請求項２の発明に係るＸ線管球では、電子線の当
たるターゲット面の裏側の冷却水噴出口の形状を十字形
とし、電子銃からターゲットに向かう電子線の進行方向
を変更させる電磁レンズを真空容器に設け、この電磁レ
ンズに流す電流の極性を切替可能としたことを特徴とす
る。
たるターゲット面の裏側の冷却水噴出口の形状を十字形
とし、電子銃からターゲットに向かう電子線の進行方向
を変更させる電磁レンズを真空容器に設け、この電磁レ
ンズに流す電流の極性を切替可能としたことを特徴とす
る。
［作用］
請求項１の発明では、電子銃を真空容器に対して９０度
回転させれば、ターゲット面上の線状の電子線照射領域
が９０度回転して、点焦点を線焦点に、あるいはその逆
に、切替可能となる。そして、ターゲット裏面の冷却水
噴出口が十字形となっているため、ターゲット面上の線
状の電子線照射領域が９０度回転しても、電子線照射領
域は常に冷却水で十分に冷却されることになる。すなわ
ち、ターゲットは固定したままで済む。
回転させれば、ターゲット面上の線状の電子線照射領域
が９０度回転して、点焦点を線焦点に、あるいはその逆
に、切替可能となる。そして、ターゲット裏面の冷却水
噴出口が十字形となっているため、ターゲット面上の線
状の電子線照射領域が９０度回転しても、電子線照射領
域は常に冷却水で十分に冷却されることになる。すなわ
ち、ターゲットは固定したままで済む。
請求項２の発明では、電子銃を回転させるのに代えて、
電子銃からターゲットに向かう電子線の進行方向を変更
させている。すなわち、電子銃も固定したままで良い。
電子銃からターゲットに向かう電子線の進行方向を変更
させている。すなわち、電子銃も固定したままで良い。
電磁レンズに流す電流の極性を切り替えることにより、
ターゲット面上の線状の電子線照射領域が９０度回転す
ることになる。
ターゲット面上の線状の電子線照射領域が９０度回転す
ることになる。
ターゲット裏面の冷却水噴出口の形状は請求項１の発明
と同じであり、ターゲットは同様に冷却される。
と同じであり、ターゲットは同様に冷却される。
し実施例］
次に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図は請求項１の発明の一実施例の一部断面正面図で
ある。このＸ線管球１０は、開放式であり、真空容器１
２の内部に、ターゲット１４と電子銃１６を含む。電子
銃１６は、Ｏ（オー）リング１８によって真空封止され
、゛軸受２０によって真空容器１２に回転可能に取り付
けられている。
ある。このＸ線管球１０は、開放式であり、真空容器１
２の内部に、ターゲット１４と電子銃１６を含む。電子
銃１６は、Ｏ（オー）リング１８によって真空封止され
、゛軸受２０によって真空容器１２に回転可能に取り付
けられている。
なお、０リング１８は、他のシール手段たとえば磁性流
体を利用したシール手段に変更することもできる。
体を利用したシール手段に変更することもできる。
ターゲット１４は、第２図に示すように、水冷式となっ
ている。冷却水２２は、ターゲット１４の内側通路２４
を通過して、噴出口２６から勢い良く噴出し、電子線の
当たるターゲット面２８の裏側を冷却する。その後、冷
却水は外側通路３０を通って排出される。噴出口２６は
、第３図に示すように、十字形になっており、ターゲッ
ト面２８を十字形の範囲で十分に冷却する。
ている。冷却水２２は、ターゲット１４の内側通路２４
を通過して、噴出口２６から勢い良く噴出し、電子線の
当たるターゲット面２８の裏側を冷却する。その後、冷
却水は外側通路３０を通って排出される。噴出口２６は
、第３図に示すように、十字形になっており、ターゲッ
ト面２８を十字形の範囲で十分に冷却する。
次に、このＸ線管球の使用方法を説明する。まず、第４
図に示すように、フィラメント３２が鉛直方向になるよ
うに電子銃が設定されていると仮定する。この場合、フ
ィラメント３２から発射される電子線３４は、鉛直方向
に延びたラインとなって、ターゲット面２８に当たり、
第４図の左手前方向には線状のＸ線ビーム３６が出てく
る。すなわち、線焦点のＸ線３Ｂが得られる。ターゲッ
ト面２８上に描いた破線は、その裏面にある冷却水噴出
口２６の位置を示す。
図に示すように、フィラメント３２が鉛直方向になるよ
うに電子銃が設定されていると仮定する。この場合、フ
ィラメント３２から発射される電子線３４は、鉛直方向
に延びたラインとなって、ターゲット面２８に当たり、
第４図の左手前方向には線状のＸ線ビーム３６が出てく
る。すなわち、線焦点のＸ線３Ｂが得られる。ターゲッ
ト面２８上に描いた破線は、その裏面にある冷却水噴出
口２６の位置を示す。
次に、第１図の右方向から見て電子銃１６を時計方向に
９０度回転させると、第４図においてフィラメント３２
が時計方向に９０度回転し、第５図の状態になる。この
状態では、フィラメント３２から発射される電子線３４
は水平方向に延びるラインとなり、その結果、第５図の
左手前方向には点焦点のＸ線４０が得られる。
９０度回転させると、第４図においてフィラメント３２
が時計方向に９０度回転し、第５図の状態になる。この
状態では、フィラメント３２から発射される電子線３４
は水平方向に延びるラインとなり、その結果、第５図の
左手前方向には点焦点のＸ線４０が得られる。
第６図は請求項２の発明の一実施例の一部断面正面図で
ある。このＸ線管球５０は、真空容器１２の内部にター
ゲット１４と電子銃１６を含む。
ある。このＸ線管球５０は、真空容器１２の内部にター
ゲット１４と電子銃１６を含む。
この管球は、機械的可動部分が無く、封入式でも開放式
でも良い。電子銃１６は真空容器１２に固定されている
。電子銃１６のフィラメント３２は、第７図に示すよう
に、鉛直方向から４５度傾いた状態で固定されている。
でも良い。電子銃１６は真空容器１２に固定されている
。電子銃１６のフィラメント３２は、第７図に示すよう
に、鉛直方向から４５度傾いた状態で固定されている。
第６図に戻って、真空容器１２の外側には、電磁レンズ
５２が設けられている。電磁レンズ５２は、鉄などの強
磁性体材料５４で周囲を覆われたコイル５６によって形
成されている。強磁性体材料５４の一部は開口していて
、この近傍に磁場５Ｂが形成される。この磁場５８が電
子線に影響を与えることになる。
５２が設けられている。電磁レンズ５２は、鉄などの強
磁性体材料５４で周囲を覆われたコイル５６によって形
成されている。強磁性体材料５４の一部は開口していて
、この近傍に磁場５Ｂが形成される。この磁場５８が電
子線に影響を与えることになる。
電磁レンズ５２のコイル５６は、電源６０に接続され、
コイル５６に流れる電流の極性は、切替スイッチ６２に
よって切り替えられる。すなわち、２極双投形の切替ス
イッチ６２を、第６図の右側または左側に倒すことによ
って、電流の極性を切り替えることができる。
コイル５６に流れる電流の極性は、切替スイッチ６２に
よって切り替えられる。すなわち、２極双投形の切替ス
イッチ６２を、第６図の右側または左側に倒すことによ
って、電流の極性を切り替えることができる。
このＸ線管球５０のターゲット１４は、第２図と第３図
に示すのと同じ冷却構造をしている。
に示すのと同じ冷却構造をしている。
次に、このＸ線管球５０の使用方法を説明する。
まず、切替スイッチ６２が第６図の左側に倒れていると
仮定する。この場合、第７図において、電子銃１６のフ
ィラメント３２から発射された電子線３４は、最初は鉛
直方向に対して４５度傾いたラインとなって進むが、電
磁レンズの磁場の影響によって、矢印６４の方向に全体
が回転し、ターゲット面２８に当たるときは鉛直状態と
なる。したがって、このときは、第７図の左手前方向に
線焦点のＸ線３８が得られる。
仮定する。この場合、第７図において、電子銃１６のフ
ィラメント３２から発射された電子線３４は、最初は鉛
直方向に対して４５度傾いたラインとなって進むが、電
磁レンズの磁場の影響によって、矢印６４の方向に全体
が回転し、ターゲット面２８に当たるときは鉛直状態と
なる。したがって、このときは、第７図の左手前方向に
線焦点のＸ線３８が得られる。
次に、第６図の切替スイッチ６２を右側に倒すと、電磁
レンズ５２のコイル５６に流れる電流の極性が切り替わ
り、磁場５８は逆転する。すると、第８図において、電
子線３４は今度は矢印６４の方向に全体として４５度回
転・してターゲット面２８に当たる。その結果、点焦点
のＸ線４０が得られる。
レンズ５２のコイル５６に流れる電流の極性が切り替わ
り、磁場５８は逆転する。すると、第８図において、電
子線３４は今度は矢印６４の方向に全体として４５度回
転・してターゲット面２８に当たる。その結果、点焦点
のＸ線４０が得られる。
第７図と第８図のいずれの場合も、ターゲット面２８は
十字形の噴出口２６から噴出される冷却水によって十分
に冷却される。
十字形の噴出口２６から噴出される冷却水によって十分
に冷却される。
なお、電子銃からターゲットに至る電子ビームの回転角
度は、電磁レンズからターゲット面までの距離、電磁レ
ンズによる磁場の強さ、電子の加速電圧によって定まり
、これらを適当に選択することによって、電子ビームを
４５°だけ回転させることができる。本実施例では、電
磁レンズによる磁場の中心からターゲラ”ト面までの距
離が１３０ｍｍ、電磁レンズの内径が３４ｍｍ、電磁レ
ンズのアンペアターンが９２０〜９５０アンペアターン
、Ｘ線管球の印加電圧が５０ｋＶのとき、電子ビームが
４５°だけ回、転している。
度は、電磁レンズからターゲット面までの距離、電磁レ
ンズによる磁場の強さ、電子の加速電圧によって定まり
、これらを適当に選択することによって、電子ビームを
４５°だけ回転させることができる。本実施例では、電
磁レンズによる磁場の中心からターゲラ”ト面までの距
離が１３０ｍｍ、電磁レンズの内径が３４ｍｍ、電磁レ
ンズのアンペアターンが９２０〜９５０アンペアターン
、Ｘ線管球の印加電圧が５０ｋＶのとき、電子ビームが
４５°だけ回、転している。
［発明の効果］
請求項１の発明は、ターゲットの冷却水噴出口を十字形
にすると共に、電子銃を回転可能に取り付けたことによ
り、電子銃を９０度回転させるだけで、点焦点と線焦点
を切り替えることができるという効果がある。
にすると共に、電子銃を回転可能に取り付けたことによ
り、電子銃を９０度回転させるだけで、点焦点と線焦点
を切り替えることができるという効果がある。
請求項２の発明は、ターゲットの冷却水噴出口を十字形
にすると共に、電磁レンズに流す電流の極性を切替可能
にしたことにより、ターゲットおよび電子銃を何ら動か
すこと無く、電磁レンズの電気回路のスイッチ操作だけ
で、点焦点と線焦点を切り替えることができるという効
果がある。
にすると共に、電磁レンズに流す電流の極性を切替可能
にしたことにより、ターゲットおよび電子銃を何ら動か
すこと無く、電磁レンズの電気回路のスイッチ操作だけ
で、点焦点と線焦点を切り替えることができるという効
果がある。
第１図は請求項１の発明の一実施例の一部断面正面図、
第２図はターゲットの縦断面図、
第３図は第２図の■−■線に沿う横断面図、第４図は電
子線およびＸ線の軌跡を示す斜視図、第５図は別の動作
状態を示す第４図と同様の斜視図、 第６図は請求項２の発明の一実施例の一部断面正面図、 第７図および第８図は第４図および第５図と同様の斜視
図である。 １０・・・Ｘ線管球 １２・・・真空容器 １４・・・ターグツド １６・・・電子銃 ２０・・・軸受 ２６・・・冷却水噴出口 ３８・・・線焦点のＸ線 ４０・・・点焦点のＸ線 ５２・・・電磁レンズ ６２・・・切替スイッチ
子線およびＸ線の軌跡を示す斜視図、第５図は別の動作
状態を示す第４図と同様の斜視図、 第６図は請求項２の発明の一実施例の一部断面正面図、 第７図および第８図は第４図および第５図と同様の斜視
図である。 １０・・・Ｘ線管球 １２・・・真空容器 １４・・・ターグツド １６・・・電子銃 ２０・・・軸受 ２６・・・冷却水噴出口 ３８・・・線焦点のＸ線 ４０・・・点焦点のＸ線 ５２・・・電磁レンズ ６２・・・切替スイッチ
Claims (2)
- （１）真空容器の内部に電子銃と水冷式のターゲットと
を含むＸ線管球において、電子線の当たるターゲット面
の裏側の冷却水噴出口の形状を十字形とし、前記電子銃
を前記真空容器に対して回転可能に取り付けたことを特
徴とする、点焦点と線焦点を切替可能なＸ線管球。 - （２）真空容器の内部に電子銃と水冷式のターゲットと
を含むＸ線管球において、電子線の当たるターゲット面
の裏側の冷却水噴出口の形状を十字形とし、前記電子銃
からターゲットに向かう電子線の進行方向を変更させる
電磁レンズを前記真空容器に設け、前記電磁レンズに流
す電流の極性を切替可能としたことを特徴とする、点焦
点と線焦点を切替可能なＸ線管球。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026705A JP2827121B2 (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63026705A JP2827121B2 (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01204337A true JPH01204337A (ja) | 1989-08-16 |
| JP2827121B2 JP2827121B2 (ja) | 1998-11-18 |
Family
ID=12200800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63026705A Expired - Lifetime JP2827121B2 (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 | 点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2827121B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5515414A (en) * | 1993-07-05 | 1996-05-07 | U.S. Philips Corporation | X-ray diffraction device comprising cooling medium connections provided on the X-ray tube |
| EP1732101A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-12-13 | Bruker AXS, Inc. | Multiple-position x-ray tube for diffractometer |
| WO2017038302A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び方法、並びに試料測定システム |
| JP2017050053A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び方法、並びに試料測定システム |
| JP2017084713A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び試料測定システム |
| JP2024541777A (ja) * | 2021-05-05 | 2024-11-13 | チェルニアウスキ，ジャスティン | 電子操作を有する透過型ｘ線システム及び使用方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA3204404A1 (en) * | 2021-01-08 | 2022-07-14 | Proto Patents Ltd. | X-ray source for x-ray diffraction apparatus, related apparatus and method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139351A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Ｘ線発生装置 |
| JPS62188149A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Hitachi Ltd | 照射装置 |
-
1988
- 1988-02-09 JP JP63026705A patent/JP2827121B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139351A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Ｘ線発生装置 |
| JPS62188149A (ja) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Hitachi Ltd | 照射装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5515414A (en) * | 1993-07-05 | 1996-05-07 | U.S. Philips Corporation | X-ray diffraction device comprising cooling medium connections provided on the X-ray tube |
| EP1732101A1 (en) * | 2005-04-21 | 2006-12-13 | Bruker AXS, Inc. | Multiple-position x-ray tube for diffractometer |
| US7248672B2 (en) | 2005-04-21 | 2007-07-24 | Bruker Axs, Inc. | Multiple-position x-ray tube for diffractometer |
| WO2017038302A1 (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び方法、並びに試料測定システム |
| JP2017050053A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び方法、並びに試料測定システム |
| KR20180042328A (ko) * | 2015-08-31 | 2018-04-25 | 브루커 제팬 가부시키가이샤 | X 선 발생 장치 및 방법, 그리고 시료 측정 시스템 |
| JP2017084713A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | ブルカー・エイエックスエス株式会社 | Ｘ線発生装置及び試料測定システム |
| JP2024541777A (ja) * | 2021-05-05 | 2024-11-13 | チェルニアウスキ，ジャスティン | 電子操作を有する透過型ｘ線システム及び使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2827121B2 (ja) | 1998-11-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9916961B2 (en) | X-ray tube having magnetic quadrupoles for focusing and steering | |
| JPH01234562A (ja) | 陰極アーク放電蒸発装置 | |
| US6542574B2 (en) | System for inspecting the contents of a container | |
| JPH10505633A (ja) | 矩形真空アークプラズマ源 | |
| JPH07296751A (ja) | Ｘ線管装置 | |
| JP2002540581A (ja) | Ｘ線ターゲットの寿命を長引かせる方法及び装置 | |
| KR100343033B1 (ko) | 진공아크 증발원 및 진공아크 증착장치 | |
| JP6527239B2 (ja) | 焦点調節のための磁気四重極及び操向のための磁気双極子を有するｘ線管 | |
| CN114072251B (zh) | 电子束焊接装置 | |
| JPH01204337A (ja) | 点焦点と線焦点を切替可能なｘ線管球 | |
| JP2016126969A (ja) | Ｘ線管装置 | |
| KR100599922B1 (ko) | 마그네트론 및 타깃을 구비한 스퍼터 장치 | |
| US2292859A (en) | X-ray tube | |
| US3814829A (en) | Device for electron-beam heating of materials mainly for their melting and evaporation | |
| JPS6091544A (ja) | オ−ジエ分析装置 | |
| JPS6151410B2 (ja) | ||
| US3217200A (en) | Internal magnetic lens for electron beams | |
| JPH11269634A (ja) | 真空アーク蒸発源 | |
| JPS5848336A (ja) | 冷陰極マグネトロン入射電子銃 | |
| JPH0322331A (ja) | Ｘ線管球 | |
| JPH06325721A (ja) | 電子線装置 | |
| JPH08323491A (ja) | レーザ溶接用レーザヘッド | |
| JPS6329230Y2 (ja) | ||
| JPH0412442A (ja) | 高速走査型ｘ線発生装置 | |
| JPS6139351A (ja) | Ｘ線発生装置 |