JPH0322331A

JPH0322331A - Ｘ線管球

Info

Publication number: JPH0322331A
Application number: JP15911289A
Authority: JP
Inventors: Jun Hirose; 潤廣瀬; Teiji Takagawa; 悌二高川; Kazunori Miwa; 三輪　和昇; Shigeki Matsuda; 茂樹松田
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1989-06-20
Filing date: 1989-06-20
Publication date: 1991-01-30

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】《産業上の利用分野〉この発明は、Ｘ線分析等に用いるＸ線を発生させるため
のＸ線管球の改良に関する。

く従来の技術および解決しようとする課題〉従来のＸ線
管球（Ｂ）は、第２図に示すように、真空室（２０〉内
に、電子線を発生するフィラメント（２ｌ）と、金属タ
ーゲット（２２〉が対向状態に設けられているものであ
る。上記Ｘ線管球（Ｂ）では、上記フィラメント（２１
）で発生した電子線が、上記金属ターゲット（２２）に
照射され、当該金属ターゲッ｝　（２２）から特性Ｘ線
（固有Ｘ線）が発生する。

しかし、上記金属ターゲット（２２）が固定されている
ため、金属ターゲット（２２）の特定の部位のみに電子
線が照射される。このため、電子線が照射される部分が
汚れて性能が劣化した場合は、Ｘ線管球全体を交換しな
ければならず、不経済であるという問題があった。

また、上記Ｘ線管球（Ｂ）は１種類の金属ターゲット（
２２）　ｔ，か有さないため、１種類の特性Ｘ線しか発
生することができない。このため、異なる種類の特性Ｘ
線を発生させる必要がある場合は、異なる種類の金属タ
ーゲット（２２）を有するＸ線管球（Ｂ）と交換しなけ
ればならず、その手間が面倒であるという問題があった
。

この発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、タ
ーゲットの性能が劣化した場合にも、引き続き使用する
ことができるＸ線管球を提供することを目的とする。ま
た、一つのターゲットで複数の種類の特性Ｘ線を発生さ
せることができるＸ線管球を提供することを目的とする
。

く課題を解決するための手段〉上記問題を解決するためのこの発明のＸ線管球は、上記
ターゲットが、可動状態に設けられていると共に、真空
室に固定され且つ電子線照射位置と対応する部分に開口
部を有するマスクにより被覆されており、真空室の外部
に上記ターゲットを回動または移動するための磁石が配
置されていることを特徴とする。

また、上記ターゲットとしては、複数の金属を配列した
ものでもよい。

く作用〉上記構成のＸ線管球によれば、ターゲットを、真空室外
に設けられた磁石の移動にともなって回動または移動操
作することができる。このため、ターゲットの電子線照
射位置が汚れて性能が劣化しても、上記磁石を操動し、
ターゲットを回転または移動させることにより、電子線
照射位置を変更し、初期の性能を回復することができる
。

また、ターゲットが、複数種の金属を配列したものであ
る上記Ｘ線管球であれば、ターゲットを回転または移動
させることによりマスクの開口部から複数種の金属を選
択的に露出させることにより、異なる種類の特性Ｘ線を
発生させることができる。

く実施例〉次いで、この発明の実施例について図を参照しながら以
下に説明する。

第１図は、この発明に係るＸ線管球（Ａ）の一実施例を
示す断面図である。

上記Ｘ線管球（Ａ）は、ガラス管（１）、金属壁（２）
及びフランジ部（３）によって形成される真空室（５）
に、電子線を放射するフィラメント（８）、電子線を制
御するウエーネルト（７）及び電子線の照射によってＸ
線を放射するターゲット００）が設けられているもので
ある。上記真空室（５）の内部は１０−６ｍｍＨｇ以上
の真空に設定されている。上記金属壁（２）の四方には
、Ｘ線をＸ線管球（＾〉外に取り出すための放射窓（４
）が設けられている。この放射窓（４）は、Ｘ線の透過
率がよいベリリウム金属によって形戊されている。

上記フランジ部（３）には、環状の永久磁石（ｌ１）が
回動可能に設けられている。この磁石（１１）の外周は
、回動操作できるようにフランジ部（３）の外周がら突
出している。

上記ターゲット００）は、電子線の照射によりＸ線を放
射する鉄等の磁性体からなる。このターゲット００）は
、真空室（５）の底面（５ｌ〉に回動自在に載置されて
いると共に、上記磁石（ｌ１〉の磁力により当該磁石（
ｌ１）側に引き付けられており、磁石（ｔｉ）の回動操
作によって回動することができる。

また、ターゲット００）の回動中心は、電子線照射位置
の中心とずらしてある。さらに、ターゲット００）は、
電子線照射位置と対応する部分に開口部（１２ａ）を有
し、真空室（５）の底部（５ｌ）に固定されているマス
ク（１２）により被覆されている。なお、上記開口部（
１２ａ）の大きさは、Ｘ線の焦点サイズ以上のものであ
る。

また、上記フランジ部（３）内には、上記ターゲット０
０）を冷却するための冷却水路（６）が設けられている
。

上記構造のＸ線管球（Ａ）であれば、フィラメント（８
）が加熱されると熱電子が放出される。放出された熱電
子は、上記ウエーネルト（７）でその流れの方向を制御
され、フィラメント（８）とターゲット００）との間に
加えられた高電圧で加速され、ターゲッ｝　（１０）に
衝突する。ターゲット００）に衝突した電子は、その運
動エネルギーをターゲット００）に与え、該運動エネル
ギーの一部はｘｌとしてターゲット００）より放射され
る。ターゲット００）より放射されたＸ線は、上記放射
窓（４）より、Ｘ線管球（Ａ）外に放射される。その際
、上記冷却水路（６）に冷却水を流すことにより、ター
ゲット００）の加熱を防ぐことができる。

そして、上記ターゲット００）が劣化した場合には、磁
石（１１）を回転させることにより、マスク（ｌ２）に
より被覆されていた部分を、開口部（１２ａ）を通して
露出させて、初期の性能を回復させることができる。

この発明のＸ線管球（Ａ）は、上記実施例に限定される
ものではなく、例えば、ターゲット００）を銅、ニッケ
ル等の非磁性体で形成することも可能である。この場合
、該ターゲット００）に適当な磁性体を付加することに
より、ターゲット００）を磁石（１１）の回動にともな
って回動操作できるものとする。

さらに、ターゲット００）としては、回動中心の回りに
、電子線を照射することによりＸ線を発生する複数種の
金属を配列したものであってもよく、この場合には、磁
石（１ｌ〉を回転させて、各金属を開口部（１２ａ）を
通して選択的に露出させることにより、異なった種類の
特性Ｘ線を発生させることができる。

また、上記実施例では、ターゲット００）を回動させる
ことにより、電子線照射位置を変更するＸ線管球（Ａ）
を示したが、ターゲット００）を左右方向や前後方向等
の所定の方向に移動させることにより、電子線魚射位置
を変更するものでもよい。

く７効果〉以上のように、この発明のＸ線管球によれば、夕−ゲッ
トを真空室外に設けられた磁石により回動または移動す
ることができるので、性能が劣化した場合でも、電子線
の照射位置を変えることにより、引き続き使用すること
ができ、経済的である。

また、ターゲットが、複数種の金属を配列したものであ
る上記Ｘ線管球であれば、各金属を開口部を通して選択
的に露出させることにより、ｙコなる種類の特性Ｘ線を
Ｘ線管球を交換することなく得ることができるという特
有の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係るＸ線管球を示す断面図であり
、第２図は、従来のＸ線管球を示す断面図である。（Ａ）・・・Ｘ線管球、（５）・・・真空室、（８）・
・・フィラメント、ＯＯ）・・・ターゲット、（１１）
・・・磁石、（１２）・・・マスク。

Claims

【特許請求の範囲】１、電子線を放射するフィラメントと、電子線の照射によりＸ線を発するターゲットとを、真空室内に有するＸ線管球であって、上記ターゲットが、可動状態に設けられていると共に、真空室に固定され且つ電子線照射位置と対応する部分に開口部を有するマスクにより被覆されており、真空室の外部に上記ターゲットを回動または移動するための磁石が配置されていることを特徴とするＸ線管球。２、ターゲットが、複数種の金属を配列したものである請求項１記載のＸ線管球。