JPH01205443A - シート引き伸ばし機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の製造工程において用いられるシー
１−引き伸ばし機構に関する。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程において、素子が形成されたウェ
ハは、シートに貼付けられた状態てス１〜リー１〜にそ
ってクイシンクされた後、個々のペレットに分割される
。その中から必要なペレッ１〜のみを、ペレッ）へ寸法
より大きいコレラ１〜を用いて、シートの裏面よりペレ
ットを突き上げると同時に真空チャックによりペレット
を吸着し、ピックアップしている。

従来上記方法によりペレットをピックアップする為には
、まず第３図（ａ）に示す様に、周辺をフラットリング
′３により保持されたシート２にウェハ１を貼付げクイ
シンクしてペレット１ｏを形成したのち、ウェハ１の外
側の円周部分のシート２を支持する円筒リング７を設け
たピックアップステージ上に移動させる。

次て第３図（１：＋　）に示すように、シート２を円筒
リング７て支持しながらシート２を貼付けたフラットリ
ング３をモータ９（、二連系吉されたリング押え８によ
り下方に押し下け、シート２を引き伸けずことにより、
ペレット］０の相互間にすき間を与えていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

−に述した従来のシート引き伸ばし機構では、円筒リン
グ７の上端面をシート２の下面かずへりなから引き仲は
されていく為、円筒リング７とシー）へ２との摩擦抵抗
により、円筒リング′７の外側のシートが内側のシート
より伸びか大きくなる。従ってペレット相互間に規定の
すき間を設けるには、フラットリング３の押し下は量を
大きくとる必要がある。このためシート引き伸ばし機構
部が大きくなり、シート２の引き伸ばしに要する時間も
長くなっていた。

また、シート２と円筒リング７との摩擦抵抗か円筒リン
グ７の」二端面全周で均一でない為、シー１−２を引き
伸ばした後、ペレッ１へ１０がイ頃いたり、ペレッ）−
間隔にばらつきを生し、ペレッ１−１０の位置検出時、
余分な時間かかかるという欠点かある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のシート引き伸はし機構け、タイシンクさる半導
体ウェハを貼イ」けるためのシートと該シートの周辺部
を保持するフラッ１へリングと、シートを引き伸ずため
の円筒リングとからなり、前記フラットリングを押し下
けると共に前記シートを円筒リングの上端面に接触させ
てシートを押し広げ、タイシンされた前記半導体ウェハ
のペレット間に隙間を与えるように構成されたシーＦ−
引き伸はし機構であって、前記円筒リングの上端部には
回転可能な複数の回転体か設けられているものである。

ある。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照し、て説明す
る。

第１図は本発明の一実施例の断面図である。

第１図において、周辺部をフラジ１〜リング３により保
持されたシート２上にはウェハ］か貼付けられたのち、
タイシンクされペレッＩ・１０が形成される。そしてこ
のシート２は、ピックアップステージに固定された円筒
リング７Ａ上に供給されたのち、モータ９に連結され／
ごリング押え８によりフラットリング３を介して押し下
けられる。この円筒リング７Ａのシート２か接触する上
端部には全周にわたって複数の回転体５か設けられてお
り、シート２か押し下けられて外方向に引き仲はされる
時は、この回転体らか回転するように構成されている。

このように構成された本実施例によれは、シート２か゛
リング押え８と円筒リング゛７Ａとにより引き伸ばされ
る場合、シート２と円筒リング７Ａとの摩擦抵抗は、回
転体５か存在するため小さくてき、しかもこの摩擦抵抗
は円筒リング上端部の全周にわたってほぼ同一となる。

従って、シート２は全体がほぼ均一に引き伸されるため
、ペレット］０の間隔は均一となり、ペレット１０か傾
いたりすることはなくなる。

尚、上記実施例においてはシー）へ２を押し下げる場合
について説明したか、円筒リングを押し上げる場合であ
ってもよいことは勿論である。

−５＝ 第２図（ａ）〜（ｂ）は本発明の一実施例に用いられる
回転体の一例の上面図、正面図及び側面図である。

第２図（ａ）〜（ｃ）において、リング状の回転体５は
回転軸６により回転軸支持フロック］１に固定されてい
る。そして複数個の回転軸支持ブロック１１はピックア
ップステージ４に固定されて円筒リング７Ａを構成して
おり、シート２の伸びに従い回転体５は回転するように
なっている。

また、回転体としては球状のものであってもよい。この
場合、円筒リングの上端部に溝を設け、この講の中に球
状の回転体を埋め込むようなりＩ造とすることかてきる
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、シート引き伸ばし機構を
構成する円筒リングの上端面に複数の回転体を設けるこ
とにより、シート裏面との摩擦抵抗を最小限にてきる。

よってシートを保持するフラットリングの押し下は量を
少くしてもペレット相互間に規定のすき間が得られるた
め、シート引＝６− き伸ばし１ｆ！構部を小さくてきると共に、シートの引
き伸ばしを短時間で行なえる効果かある。また、シー１
−を均一に引き伸はずことが可能となるため、ベレッ１
〜の傾き及びペレット間隔にほらつきかなくなり、ペレ
ッ１への位置検出か短時間で、行なえるという効果もあ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図（ａ）〜（
Ｃ）は、本発明の一実施例に用いられる回転体の上面図
、正面図及び側面図、第３図（ａ）、（＋））は従来の
シート引き伸ばし機構を説明するための断面図である。 ］・ウェハ、２・シート、３　・フラットリング、４　
・ピックアップステージ、５・回転体、６−回転軸、７
，７Ａ・・円筒リング、８　・リング押え、９・モータ
、１０・・ペレッ１〜．１］・回転軸支持フロック。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ダイシングされる半導体ウェハを貼付けるためのシー
   トと該シートの周辺部を保持するフラットリングと、シ
   ートを引き伸すための円筒リングとからなり、前記フラ
   ットリングを押し下げると共に前記シートを円筒リング
   の上端面に接触させてシートを押し広げ、ダイシングさ
   れた前記半導体ウェハのペレット間に隙間を与えるよう
   に構成されたシート引き伸ばし機構において、前記円筒
   リングの上端部には回転可能な複数の回転体が設けられ
   ていることを特徴とするシート引き伸ばし機構。