JPH01205485A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
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- JPH01205485A JPH01205485A JP2992788A JP2992788A JPH01205485A JP H01205485 A JPH01205485 A JP H01205485A JP 2992788 A JP2992788 A JP 2992788A JP 2992788 A JP2992788 A JP 2992788A JP H01205485 A JPH01205485 A JP H01205485A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 14
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 6
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、エキシマレーザ装置などのレーザ媒質を循環
させて放電する形式のレーザ発振器に関する。
させて放電する形式のレーザ発振器に関する。
従来 レーザ媒質を循環さぜ゛て放電する形式のレーザ
発振器としてエキシマし・−ザ装置が知られている。
発振器としてエキシマし・−ザ装置が知られている。
第３図は 特開昭６２ １．８１．４８２号に開示され
ているようなエキシマレーザ装置の概略断面図である。
ているようなエキシマレーザ装置の概略断面図である。
第３図のエキシマレーザ装置５０では、容器５１内にレ
ーザ媒質が封入され、容器５１の上部には基板５４．５
５が絶縁柱（図示せず）により互いに所定の間隔をへた
て対向して配置されている。基板５４．５５には主放電
型［５２，５３がそれぞ）′シ取付けられ、基板５４．
５５の主放電電極５２，５３め両側には、予備ｊ電離電
極５６゜５７およびピーキングキ、Ｖパシタ５８が容器
５１の長さ方向に治って複数個配置されている。主放電
電極５２．基板５４ 、−Ｐ価電離電極５６は互いに同
電位にｆ５％持され また主放電型・陶５３．基板５５
も互いに同電位に保持されている。容器５１内のレーザ
媒質は、ファン０１によってガス流６２として主放電電
極５２．５”３に送られるようになっている。
ーザ媒質が封入され、容器５１の上部には基板５４．５
５が絶縁柱（図示せず）により互いに所定の間隔をへた
て対向して配置されている。基板５４．５５には主放電
型［５２，５３がそれぞ）′シ取付けられ、基板５４．
５５の主放電電極５２，５３め両側には、予備ｊ電離電
極５６゜５７およびピーキングキ、Ｖパシタ５８が容器
５１の長さ方向に治って複数個配置されている。主放電
電極５２．基板５４ 、−Ｐ価電離電極５６は互いに同
電位にｆ５％持され また主放電型・陶５３．基板５５
も互いに同電位に保持されている。容器５１内のレーザ
媒質は、ファン０１によってガス流６２として主放電電
極５２．５”３に送られるようになっている。
このような構成ては、主放電電極５３．基板５５を接地
し、主放電電極５２．基板５４．予備電離電極５０に高
電圧パルスＨＶを印加すると、先つ予備電離電極５（”
ｉ、５７間てアーク放電５９が生し、ピーキンクキャパ
シタ５８にはエネルギーが蓄えられる。アーク放電５９
から放出される紫外光６０によって主放電電極５２．５
３間のレーザ媒質を＠離する。次いて主放電電極５２．
５３間が絶縁破壊電圧に達すると、ピーキンクキャパシ
タ５８に蓄えられたエネルギーを放出する形で主放電電
極５２．５３間に主放電が起こり、これにより紫外光域
の波長をもつレーザビームか得られる。
し、主放電電極５２．基板５４．予備電離電極５０に高
電圧パルスＨＶを印加すると、先つ予備電離電極５（”
ｉ、５７間てアーク放電５９が生し、ピーキンクキャパ
シタ５８にはエネルギーが蓄えられる。アーク放電５９
から放出される紫外光６０によって主放電電極５２．５
３間のレーザ媒質を＠離する。次いて主放電電極５２．
５３間が絶縁破壊電圧に達すると、ピーキンクキャパシ
タ５８に蓄えられたエネルギーを放出する形で主放電電
極５２．５３間に主放電が起こり、これにより紫外光域
の波長をもつレーザビームか得られる。
〔発明が解決しようとする問題点１
ところて第３図のエキシマレーザ装置５０ては、主放電
電極５２．５３の両側に配置されたピーキンクキャパシ
タ５８．予価電離電極５６，５７により レーザ媒質の
ガス流６２の循環が妨げられるという欠点かあった。ず
なわち レー→）゛発振において平」り出力特性は理想
的には繰返し周波数に比例するが、主放電電極間を通過
するガス流速に影響され、ガス流速か低いと高い繰返し
周波数では主放電電極による主放電は集中したものとな
り放電の均一性か損なわｔし、レーザ発振の効率が低下
するという問題かあった。
電極５２．５３の両側に配置されたピーキンクキャパシ
タ５８．予価電離電極５６，５７により レーザ媒質の
ガス流６２の循環が妨げられるという欠点かあった。ず
なわち レー→）゛発振において平」り出力特性は理想
的には繰返し周波数に比例するが、主放電電極間を通過
するガス流速に影響され、ガス流速か低いと高い繰返し
周波数では主放電電極による主放電は集中したものとな
り放電の均一性か損なわｔし、レーザ発振の効率が低下
するという問題かあった。
本発明は、レーザ媒質σ）ガス？Ａを安定して循環させ
−高い繰返し周波数におＣ−＋るレーザ発振の効率低下
を有効に（！Ｕ止することめ可能なレーザ発振器を提供
することを目的としている。
−高い繰返し周波数におＣ−＋るレーザ発振の効率低下
を有効に（！Ｕ止することめ可能なレーザ発振器を提供
することを目的としている。
〔間Ｍ１．ｊを解決するだめの手段１
本発明は、一対の主放電電極と、主放電電極に主放電を
生じさせるためのエネルギーを供給するエネルギー供給
手段とを有し、レーザ媒質を前記−月の主放電電極間に
ｆｌｉ’Ｉ環させる通路はほぼ環状のものてあって、Ｎ
？ｒ ｎＥエネルギー供給手段は前記通路を循環するレ
ーザ媒質り）ガス流を効けないような位７６）に配置さ
れていることを特徴とするレーザ発振器によって、上記
従来技術の問題点を改善するものである。
生じさせるためのエネルギーを供給するエネルギー供給
手段とを有し、レーザ媒質を前記−月の主放電電極間に
ｆｌｉ’Ｉ環させる通路はほぼ環状のものてあって、Ｎ
？ｒ ｎＥエネルギー供給手段は前記通路を循環するレ
ーザ媒質り）ガス流を効けないような位７６）に配置さ
れていることを特徴とするレーザ発振器によって、上記
従来技術の問題点を改善するものである。
本発明では、エネルギー供給手段４例えば予価電離電極
とピーキンクキャパシタとの組合せからのエネルギーに
よって一対の主放電電極に主放電を生しさせるようにな
っている。
とピーキンクキャパシタとの組合せからのエネルギーに
よって一対の主放電電極に主放電を生しさせるようにな
っている。
ところて、主放電を生じるレーザ媒質は通路を循環する
が、この通路をほぼ環状のものにし、さらに通路を循環
するレーザ媒質のガス流を妨げないような位置にエネル
ギー供給手段を配置しているのて、レーザ媒質のガス流
は通路内を安定して循環し一対の主放電電極間を通過す
るガス流の速度の低下を防止できる。
が、この通路をほぼ環状のものにし、さらに通路を循環
するレーザ媒質のガス流を妨げないような位置にエネル
ギー供給手段を配置しているのて、レーザ媒質のガス流
は通路内を安定して循環し一対の主放電電極間を通過す
るガス流の速度の低下を防止できる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。なお
レーザ発振器としてエキシマレーザ装置を例にとって説
明する。
レーザ発振器としてエキシマレーザ装置を例にとって説
明する。
第１区は本実施例のレーザ発振器、すなわちエキシマレ
ーザ装置の断面図である。
ーザ装置の断面図である。
第１区ジ）エキシマレーザ装置１は、容器２０内−嘱
− １ｌ−− にレーザ奴質が封入されており、容器２０の上部には基
板４，５がそれぞれ導電壁２１．導電部材２２により互
いに所定の間隔をへたて対向して配置され容器２０の長
さ方向に沿って延びている。
− １ｌ−− にレーザ奴質が封入されており、容器２０の上部には基
板４，５がそれぞれ導電壁２１．導電部材２２により互
いに所定の間隔をへたて対向して配置され容器２０の長
さ方向に沿って延びている。
なお基板４は絶縁性のものてあり、基板５は導電性のも
のである。また導電壁２１は容器２０の長さ方向に沿っ
て延びており、容器２０．基板４と協働して容器２０内
を外部から隔絶している。これに対し、導電部材２２は
それぞれの個々の分離した部材てあって容器２０の長さ
方向に沿って所定の間隔て複数個配置されている。
のである。また導電壁２１は容器２０の長さ方向に沿っ
て延びており、容器２０．基板４と協働して容器２０内
を外部から隔絶している。これに対し、導電部材２２は
それぞれの個々の分離した部材てあって容器２０の長さ
方向に沿って所定の間隔て複数個配置されている。
絶縁性の基板４には、導電性の支持部材２３が取付りら
れいる。この支持部材２３の先端中央部には主放電電橋
２か設けられ、支持部材２３の先端両端部には予備電離
電極６が設けられている。
れいる。この支持部材２３の先端中央部には主放電電橋
２か設けられ、支持部材２３の先端両端部には予備電離
電極６が設けられている。
また導電性の基板５上には主放電電極３が主放電電橋２
と対向して設けられている。
と対向して設けられている。
さらに導電壁２１の側壁にはピーキングキャパシタ８が
取付けられ、ピーキンクキャパシタ８の導電壁２１と反
対の側には予備電離電極７が設け−６＝ られている。なお、十数電電＠１２２．３は、各々容器
２０の長さ方向に沿って延びているが、ピーキンクキャ
パシタ８．予（ｉｔｔｆ電離′ｌＥ極６，７．は、各々
、容器２０の長さ方向に沿って所定の間隔をへたて複数
個配置されている。
取付けられ、ピーキンクキャパシタ８の導電壁２１と反
対の側には予備電離電極７が設け−６＝ られている。なお、十数電電＠１２２．３は、各々容器
２０の長さ方向に沿って延びているが、ピーキンクキャ
パシタ８．予（ｉｔｔｆ電離′ｌＥ極６，７．は、各々
、容器２０の長さ方向に沿って所定の間隔をへたて複数
個配置されている。
このようにして、ピーキングキャパシタ８、予備電離電
極６，７．主放電電極２は、導電壁２１の下端位置より
も下方に位置決めされることなく、導電壁２１内で導電
壁２１の下端位置にほぼ沿って配置される。
極６，７．主放電電極２は、導電壁２１の下端位置より
も下方に位置決めされることなく、導電壁２１内で導電
壁２１の下端位置にほぼ沿って配置される。
これにより、レーザ媒質のガス流をファン２／１によっ
てｔ１＾環さぜる通路２６をほぼ環状のものとし、通１
’？ｒ２６の−に部においてガス流がピーキンクキャパ
シタ８．予ｆ曲電ｉＩ！１電４Ｇ、７によって妨げられ
ることがないようにしている。
てｔ１＾環さぜる通路２６をほぼ環状のものとし、通１
’？ｒ２６の−に部においてガス流がピーキンクキャパ
シタ８．予ｆ曲電ｉＩ！１電４Ｇ、７によって妨げられ
ることがないようにしている。
このような構成のレーザ発振器１の動作を説明する。上
述めような構成では、主放電電極２と予備電離電極６と
が導電性の支持部材２３を介し電気的に接続され、主放
電電極３とピーキンクキャパシタ８の一端とが基板５．
導電部材２２．導電壁２１を介して電気的に接続され、
ピーキンクキャパシタ８の他端と予備電離電極７とが電
気的に接続されているので、これり、の電気的接続は第
２図め等価回路で示される。
述めような構成では、主放電電極２と予備電離電極６と
が導電性の支持部材２３を介し電気的に接続され、主放
電電極３とピーキンクキャパシタ８の一端とが基板５．
導電部材２２．導電壁２１を介して電気的に接続され、
ピーキンクキャパシタ８の他端と予備電離電極７とが電
気的に接続されているので、これり、の電気的接続は第
２図め等価回路で示される。
従って、導電壁２１を接地電位に保持し、導電性の支持
部材２３に高電圧パルスを印加すると、先づ予備電離電
極６．７間てアーク放電か生しピーキングキ六・パシタ
８にエネルギ− このアーク放電て放出される紫外光１０によって主放電
電極２．３間のレーザ媒質を電離する。次いて主放電電
極２，３間が絶縁破壊電圧に達すると、ピーキンクキャ
パシタ８に蓄えられたエネルギーを放出する形で主放電
電極２，３間に主放電が起こり、紫外光域の波長をもつ
レーザ発振器が得られる。
部材２３に高電圧パルスを印加すると、先づ予備電離電
極６．７間てアーク放電か生しピーキングキ六・パシタ
８にエネルギ− このアーク放電て放出される紫外光１０によって主放電
電極２．３間のレーザ媒質を電離する。次いて主放電電
極２，３間が絶縁破壊電圧に達すると、ピーキンクキャ
パシタ８に蓄えられたエネルギーを放出する形で主放電
電極２，３間に主放電が起こり、紫外光域の波長をもつ
レーザ発振器が得られる。
ところで、本実施例のレーザ発振器１では、子連のよう
にレーザ媒質のガス流を循環させる通路２６をほぼ環状
のものとし、さらにこの通路２６にピー去ンクキャパシ
タ８や予備電離＠極６，７か配置されないのて、レーザ
媒質のガス流を通路２６内で安定して循環させ、主放電
電極２，３間を通過するガス流速の低下を防止できる。
にレーザ媒質のガス流を循環させる通路２６をほぼ環状
のものとし、さらにこの通路２６にピー去ンクキャパシ
タ８や予備電離＠極６，７か配置されないのて、レーザ
媒質のガス流を通路２６内で安定して循環させ、主放電
電極２，３間を通過するガス流速の低下を防止できる。
これにより、高い繰返し周波数てあっても主放電電極２
。
。
３による主放電が集中して放電の均一性が損なわれるの
を阻止てきて、レーザ発振の効率の低下を有効に防止す
ることが可能となる。
を阻止てきて、レーザ発振の効率の低下を有効に防止す
ることが可能となる。
なお、上述の実施例では、予備電離電極６．７によって
アーク放電を生しさせ、このアーク放電時のエネルギー
をピーキングキャパシタ８に充電し、ピーキングキャパ
シタ８に放電されたエネルギーを放電することにより主
放電電極２，３に主放電を生じさせるようにしており、
予備電離電極６、７とピーキンクキャパシタ８とが主放
電電極２、３に主放電を生じさせるだめのエネルギーを
供給するエネルギー供給手段を形成しているとして説明
したが、エネルギー供給手段を予備電離電極６．７とピ
ーキングキャパシタ８との一Ｆ述の構成によらず実現す
ることも可能である。
アーク放電を生しさせ、このアーク放電時のエネルギー
をピーキングキャパシタ８に充電し、ピーキングキャパ
シタ８に放電されたエネルギーを放電することにより主
放電電極２，３に主放電を生じさせるようにしており、
予備電離電極６、７とピーキンクキャパシタ８とが主放
電電極２、３に主放電を生じさせるだめのエネルギーを
供給するエネルギー供給手段を形成しているとして説明
したが、エネルギー供給手段を予備電離電極６．７とピ
ーキングキャパシタ８との一Ｆ述の構成によらず実現す
ることも可能である。
また、エネルギー供給手段，すなわち予備電離電極６，
７とピーキングキャパシタ８とが導電壁２１の下端位置
に治って並置され通路２６に配置されないとして説明し
たか、エネルギー供給手段は循環するレーザ媒質のガス
流を妨げないような位置にずなわち主放電電橋２，３間
におけるガス流速が低下しないような位置に配置されれ
ば良く、上述の例に限らず種々の変形をとることも可能
である。
７とピーキングキャパシタ８とが導電壁２１の下端位置
に治って並置され通路２６に配置されないとして説明し
たか、エネルギー供給手段は循環するレーザ媒質のガス
流を妨げないような位置にずなわち主放電電橋２，３間
におけるガス流速が低下しないような位置に配置されれ
ば良く、上述の例に限らず種々の変形をとることも可能
である。
〔発明の効果］
以上に説明したように、本発明によれば、レーザ々某質
を一対の主放電電極間に循環させる通路をほぼ環状のも
のにし、さらに通路を循環するレーザ媒質のガス流を妨
のないような位置にエネルギー供給手段を配置している
ので、レーザ媒質のガス流を安定して循環させ、高い繰
返し周波数におＣ′ｌるレーザ発振の効率低下を有効に
防止することかてきる。
を一対の主放電電極間に循環させる通路をほぼ環状のも
のにし、さらに通路を循環するレーザ媒質のガス流を妨
のないような位置にエネルギー供給手段を配置している
ので、レーザ媒質のガス流を安定して循環させ、高い繰
返し周波数におＣ′ｌるレーザ発振の効率低下を有効に
防止することかてきる。
第１図は本発明に係るレーザ発振器の一実施例の断面図
、第２図は第１図のレーザ発振器の充放電原理を説明す
るための等何回路を示す図、第３図は従来のエキシマレ
ーザ装置の断面図である。 １・・・レーザ発振器、２．３・主放電電極、４．５・
・・基板、６，７・・予６’ａ電離＠極、８・・ピーキ
ンクキャパシタ、２０・・容器、２１・・導電壁、２２
・・導電部材、 ２３・・・支持部祠、２６・・通路、２４・・ファン特
許出願人 浜松ホトニクス株式会社代理人 有理
子 植 本 雅 治手続補正書（岐） 特３′１′庁長官小川 邦夫 殿 ２ 考案の名称 レーザ発振器 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県浜松市市野町１１２６番地の１名 称
浜松ホトニクス株式会社 代表者 書 馬 輝 夫 ４代理人 住 所 （郵便番号１４０） ５ 補止命令の日（」 自発 ６ 補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」の１１′Ｊ１＝ １−
（の ７ 補正σ）内容 明細書第１頁第３行目の次に［２、特許請求の範囲」を
挿入する。
、第２図は第１図のレーザ発振器の充放電原理を説明す
るための等何回路を示す図、第３図は従来のエキシマレ
ーザ装置の断面図である。 １・・・レーザ発振器、２．３・主放電電極、４．５・
・・基板、６，７・・予６’ａ電離＠極、８・・ピーキ
ンクキャパシタ、２０・・容器、２１・・導電壁、２２
・・導電部材、 ２３・・・支持部祠、２６・・通路、２４・・ファン特
許出願人 浜松ホトニクス株式会社代理人 有理
子 植 本 雅 治手続補正書（岐） 特３′１′庁長官小川 邦夫 殿 ２ 考案の名称 レーザ発振器 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 静岡県浜松市市野町１１２６番地の１名 称
浜松ホトニクス株式会社 代表者 書 馬 輝 夫 ４代理人 住 所 （郵便番号１４０） ５ 補止命令の日（」 自発 ６ 補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」の１１′Ｊ１＝ １−
（の ７ 補正σ）内容 明細書第１頁第３行目の次に［２、特許請求の範囲」を
挿入する。
Claims (1)
- レーザ媒質を循環させて放電する形式のレーザ発振器
において、一対の主放電電極と、主放電電極に主放電を
生じさせるためのエネルギーを供給するエネルギー供給
手段とを有し、レーザ媒質を前記一対の主放電電極間に
循環させる通路はほぼ環状のものであって、前記エネル
ギー供給手段は前記通路を循環するレーザ媒質のガス流
を妨げないような位置に配置されていることを特徴とす
るレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2992788A JPH01205485A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2992788A JPH01205485A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01205485A true JPH01205485A (ja) | 1989-08-17 |
Family
ID=12289623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2992788A Pending JPH01205485A (ja) | 1988-02-10 | 1988-02-10 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01205485A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0502228A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-09 | Rustem Dr. Osmanow | Multigas-Excimerlaser |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6189687A (ja) * | 1984-10-08 | 1986-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | パルスレ−ザ発振方式 |
| JPS61228690A (ja) * | 1985-04-02 | 1986-10-11 | Hitachi Ltd | 超音速エキシマレ−ザ装置 |
| JPS62181482A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-08 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | エキシマレ−ザ−装置 |
| JPS63217687A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレ−ザ発振器 |
| JPH01140689A (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-01 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置 |
-
1988
- 1988-02-10 JP JP2992788A patent/JPH01205485A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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