JPH01206176A - 流量調整弁 - Google Patents
流量調整弁Info
- Publication number
- JPH01206176A JPH01206176A JP3147588A JP3147588A JPH01206176A JP H01206176 A JPH01206176 A JP H01206176A JP 3147588 A JP3147588 A JP 3147588A JP 3147588 A JP3147588 A JP 3147588A JP H01206176 A JPH01206176 A JP H01206176A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- chamber
- valve stem
- valve chamber
- stem
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 title claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空装置へ供給するガスの流量を調整する
流量調整弁に関する。
流量調整弁に関する。
本発明は、圧電素子を用いたノーマルクローズタイプの
流量調整弁において、弁室外に弁棒支え機構を設け、弁
室内の摺動部を取り除くことにより、弁室をコンパクト
化し、弁室から発塵を防ぐようにしたものである。
流量調整弁において、弁室外に弁棒支え機構を設け、弁
室内の摺動部を取り除くことにより、弁室をコンパクト
化し、弁室から発塵を防ぐようにしたものである。
従来、圧電素子を利用したノーマルクローズタイプの流
量調整弁は、第４図に示すように弁室１８内に弁棒１６
とバネ１７を設は図の下方向からバネ１７のバネ力によ
り弁棒１６を押し上げ、弁座部１９のシールを行い、上
方向から圧電素子２０により弁棒２１に力を加えて、弁
座部１９の開閉を調整していた。
量調整弁は、第４図に示すように弁室１８内に弁棒１６
とバネ１７を設は図の下方向からバネ１７のバネ力によ
り弁棒１６を押し上げ、弁座部１９のシールを行い、上
方向から圧電素子２０により弁棒２１に力を加えて、弁
座部１９の開閉を調整していた。
上記の様に、弁室内に弁棒とバネがある構造では、弁室
が大形化するとともに弁棒とバネの摺動部２１から発塵
を生じ、高純度の流体には適さないという欠点を有して
いた。
が大形化するとともに弁棒とバネの摺動部２１から発塵
を生じ、高純度の流体には適さないという欠点を有して
いた。
上記、問題点を解決するために本発明においては、弁座
部とメタルダイヤフラムを連結した弁棒を弁蓋に取り付
け、弁棒と弁蓋に対して横からビンを取り付け、弁棒の
支えを弁室外に設けることによって、弁室内の摺動部を
なくし発塵を防止するようにした。
部とメタルダイヤフラムを連結した弁棒を弁蓋に取り付
け、弁棒と弁蓋に対して横からビンを取り付け、弁棒の
支えを弁室外に設けることによって、弁室内の摺動部を
なくし発塵を防止するようにした。
上記の構造によれば、弁室内での支えなしに弁棒を支え
ることが可能となり、弁室を小形化でき、発塵を防止す
ることができる。
ることが可能となり、弁室を小形化でき、発塵を防止す
ることができる。
以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図（ａ）、第１図（ｂ）において、弁棒１１にメタル
ダイヤフラム６を取り付けて、弁座シール８を固着した
弁部１０を圧入して固着する。弁Ｍ５に弁棒１１を取り
付ける。ピン４を、弁蓋５に固着する。弁棒１１は、そ
の軸方向と垂直方向に穴２２がおいており、ピン４に対
しては、移動可能となる。
１図（ａ）、第１図（ｂ）において、弁棒１１にメタル
ダイヤフラム６を取り付けて、弁座シール８を固着した
弁部１０を圧入して固着する。弁Ｍ５に弁棒１１を取り
付ける。ピン４を、弁蓋５に固着する。弁棒１１は、そ
の軸方向と垂直方向に穴２２がおいており、ピン４に対
しては、移動可能となる。
又、弁棒１１の軸方向にあけた他の穴に通電により上下
方向に伸びる圧電素子１２をリード線２３を入れて取り
付け、ピン４を支えとしてネジ２で固定する。弁棒１１
の上部には、圧縮バネ１３を取り付けて調整ネジ１で固
定する。圧縮バネ１３によって、弁棒は常に下へ作用す
る力を受ける。弁本体９に、ガスケット７と一体化され
た弁蓋５を取り付ける。
方向に伸びる圧電素子１２をリード線２３を入れて取り
付け、ピン４を支えとしてネジ２で固定する。弁棒１１
の上部には、圧縮バネ１３を取り付けて調整ネジ１で固
定する。圧縮バネ１３によって、弁棒は常に下へ作用す
る力を受ける。弁本体９に、ガスケット７と一体化され
た弁蓋５を取り付ける。
上記の構成において、リード線２３を介して圧電素子１
２に電流を流すと、第２図に示すようにピン４を支えと
して圧電素子１２が図中の、上側に伸び、弁棒１１を上
へ押し上げ、弁棒１１の上部に付いている圧縮バネ１３
を縮める。この時、弁部ｌＯは、上方に移動し、オリフ
ィス１４は開放状態になる。
２に電流を流すと、第２図に示すようにピン４を支えと
して圧電素子１２が図中の、上側に伸び、弁棒１１を上
へ押し上げ、弁棒１１の上部に付いている圧縮バネ１３
を縮める。この時、弁部ｌＯは、上方に移動し、オリフ
ィス１４は開放状態になる。
非通電時には、第３図に示すように圧電素子１２は縮み
、弁棒１１は上部に設けである圧縮バネ１３の力で、下
側へ押さえ付けられる。この時、弁部ｌＯは下方に移動
し、オリフィス１４は閉じた状態になる。
、弁棒１１は上部に設けである圧縮バネ１３の力で、下
側へ押さえ付けられる。この時、弁部ｌＯは下方に移動
し、オリフィス１４は閉じた状態になる。
上記の構造にすると、弁室を小形化でき、弁室内の摺動
部が削減できる。
部が削減できる。
この発明は、以上説明したように、弁座部とメタルダイ
ヤフラムを連結した弁棒を弁蓋に取り付け、弁棒と弁蓋
に対して横からピンを取り付け、弁棒の支えを弁室外に
設けるという構造である。
ヤフラムを連結した弁棒を弁蓋に取り付け、弁棒と弁蓋
に対して横からピンを取り付け、弁棒の支えを弁室外に
設けるという構造である。
これにより、弁室内に存在する弁棒とバネをなくすこと
ができ、その金属表面からの放出ガスを減少できる。又
、部品の削減から弁室の小形化及びプントスペースの削
減が可能となり、弁室表面からの放出ガスも減少できる
。更に弁室内の摺動部がなくなるため、発塵も減少でき
る。
ができ、その金属表面からの放出ガスを減少できる。又
、部品の削減から弁室の小形化及びプントスペースの削
減が可能となり、弁室表面からの放出ガスも減少できる
。更に弁室内の摺動部がなくなるため、発塵も減少でき
る。
第１図ｉ８）は本発明の縦断面図、第１図Ｔｂｌは横断
面図、第２図は通電時の縦断面図、第３図は非通電時の
縦断面図である。第４図は従来の流量調整弁の縦断面図
である。 １・・・調整ネジ ２・・・ネジ ３・・・スペーサ ４・・・ピン ５・・・弁蓋 ６・・・メタルダイヤフラム ７・・・ガスケット ８・・・弁座シール ９・・・弁本体 ｌＯ・・・弁部 １１・・・弁棒 １２・・・圧電素子 １３・・・圧縮バネ １４・・・オリフィス １５・・・弁室 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 通電時の縦ｔｍ面図 弔２図 ４ｋｉ！！電峙の縦膚市Ｉ５ 弔３図 従来の流量調整弁の縦面面図 第４図
面図、第２図は通電時の縦断面図、第３図は非通電時の
縦断面図である。第４図は従来の流量調整弁の縦断面図
である。 １・・・調整ネジ ２・・・ネジ ３・・・スペーサ ４・・・ピン ５・・・弁蓋 ６・・・メタルダイヤフラム ７・・・ガスケット ８・・・弁座シール ９・・・弁本体 ｌＯ・・・弁部 １１・・・弁棒 １２・・・圧電素子 １３・・・圧縮バネ １４・・・オリフィス １５・・・弁室 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 通電時の縦ｔｍ面図 弔２図 ４ｋｉ！！電峙の縦膚市Ｉ５ 弔３図 従来の流量調整弁の縦面面図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 弁座を開閉する弁棒において、弁座部とメタルダイヤフ
ラムを連結した前記弁棒を、弁蓋に打ち込んだピンに固
定した圧電素子により、 前記弁棒を支え、前記弁棒の上部に圧縮バネを設けて、
弁室外で前記弁棒を支えるようにしたことを特徴とする
流量調整弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3147588A JPH01206176A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 流量調整弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3147588A JPH01206176A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 流量調整弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01206176A true JPH01206176A (ja) | 1989-08-18 |
Family
ID=12332290
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3147588A Pending JPH01206176A (ja) | 1988-02-13 | 1988-02-13 | 流量調整弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01206176A (ja) |
-
1988
- 1988-02-13 JP JP3147588A patent/JPH01206176A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0434275A (ja) | 常閉型流体制御バルブ | |
| JP4119109B2 (ja) | 圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁 | |
| CA2163613A1 (en) | Controller | |
| JP2001317646A (ja) | 圧電式流体制御弁 | |
| US4421292A (en) | Air-operated oil pressure control valve | |
| JPH10281310A (ja) | 弁 | |
| JP4275463B2 (ja) | 電空変換式空気レギュレータ | |
| KR950006290A (ko) | 밸브 장치 | |
| JPH01206176A (ja) | 流量調整弁 | |
| JP2000197374A (ja) | ピエゾアクチュエ―タ並びにこれを用いた制御弁 | |
| JPH01206177A (ja) | 微少流量制御弁 | |
| JP3681463B2 (ja) | 減圧弁 | |
| JPS5850378A (ja) | 比例制御弁 | |
| JPH07311626A (ja) | 絶対圧調整器 | |
| JPH0712101A (ja) | 電空変換器 | |
| JP3619490B2 (ja) | 電空変換式空気レギュレータ | |
| JP4166552B2 (ja) | 圧力調整器 | |
| JPH0754154B2 (ja) | 自動制御機器 | |
| JPH06129564A (ja) | バルブアクチェータ | |
| JPH04405Y2 (ja) | ||
| JP2670399B2 (ja) | 制御弁 | |
| ATE205611T1 (de) | Gasdruckregler | |
| JPH0335681B2 (ja) | ||
| JPH02118281A (ja) | 閉止機能付比例弁 | |
| JPH0627897Y2 (ja) | 流体弁装置 |